JP2006080176A - 電子部品のピックアップ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】
カメラの移動を行わずに照明を電子部品に近づけ、電子部品の撮像による位置認識が正確にでき、且つ、カメラを固定にしてカメラの振動対策を不要とする電子部品のピックアップ装置とする。
【解決手段】
電子部品のピックアップ装置に次の手段を採用する。
第1に、電子部品が配列され平面上を移動可能な載置ステージを設ける。
第2に、電子部品に照明を当ててカメラにより撮像して位置認識を行う認識手段を設ける。
第3に、ピックアップ位置と受け渡し位置との間で移動可能な電子部品を吸着する吸着ノズルを設ける。
第4に、載置ステージのピックアップ位置の電子部品を吸着ノズルで吸着し、受け渡し位置で次の工程に電子部品を供給する。
第5に、上記認識手段のカメラを装置本体に固定して設ける。
第6に、照明を吸着ノズルと一体に移動するように設ける。
【選択図】 図1
Description
第1に、電子部品が配列され平面上を移動可能な載置ステージを有する電子部品のピックアップ装置とする。
第2に、電子部品に照明を当ててカメラにより撮像して位置認識を行う認識手段を有する電子部品のピックアップ装置とする。
第3に、ピックアップ位置と受け渡し位置との間で移動可能な電子部品を吸着する吸着ノズルを有する電子部品のピックアップ装置とする。
第4に、載置ステージのピックアップ位置の電子部品を吸着ノズルで吸着し、受け渡し位置で次の工程に電子部品を供給する電子部品のピックアップ装置とする。
第5に、上記認識手段のカメラを装置本体に固定して設ける。
第6に、照明を吸着ノズルと一体に移動するように設ける。
第1に、X軸及びY軸駆動機構11を作動させて載置ステージ7を移動し、図3に示すように第1の部品であるチップ2を固定化されたカメラ3の下方の撮像位置に移動する。この時、移動体6により照明4も撮像位置上方に位置している。
第3に、位置認識の結果により載置ステージ7を移動して、第1のチップ2の位置を補正するとともに、ヘッド側の移動体6を移動して、図4に示すように吸着ノズル10をピックアップ位置上方に移動する。
第6に、第2のチップ2を撮像して位置を確認する。この時、吸着ノズル10は第1のチップ2を他のノズル(実施例では図1に示される外観検査部15のインデックスノズル16)に受け渡す。本実施例における電子部品のピックアップ装置は以上の動作を繰り返す。
2.....チップ
3.....カメラ
4.....照明
5.....吸着ヘッド
6.....移動体
7.....載置ステージ
8.....突き上げピン
9.....突き上げ装置
10....吸着ノズル
11....X軸及びY軸駆動機構
12....レンズ
13....フレームベース
14....固定具
15....外観検査部
16....インデックスノズル
17....Z軸モータ
18....横移動モータ
19,20....ボールねじ
21,22....タイミングプーリ
23....タイミングベルト
24....ノズル支持部材
25....ガイドレール
Claims (3)
- 電子部品が配列され平面上を移動可能な載置ステージと、電子部品に照明を当ててカメラにより撮像して位置認識を行う認識手段と、ピックアップ位置と受け渡し位置との間で移動可能な電子部品を吸着する吸着ノズルと、を有し、載置テーブルのピックアップ位置の電子部品を吸着ノズルで吸着し、受け渡し位置で次の工程に電子部品を供給する電子部品のピックアップ装置において、前記認識手段のカメラを装置本体に固定して設けるとともに、照明を吸着ノズルと一体に移動するように設けたことを特徴とする電子部品のピックアップ装置。
- 吸着ノズルが、カメラで撮像している時に、吸着している電子部品を受け渡し位置にて次工程へ受け渡すことを特徴とする請求項1記載の電子部品のピックアップ装置。
- 電子部品が、ウエハをダイシングして製造されたチップであり、ピックアップ位置の載置ステージの下方に電子部品を突き上げる突き上げ手段を設けた請求項1または2記載の電子部品のピックアップ装置。
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- 2004-09-08 JP JP2004260528A patent/JP4258770B2/ja active Active
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