JP2006071358A - プローブカード及びプローブカードの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 カンチレバー構造のプローブ針2を基板1上に多数備えたプローブカードであって、絶縁チューブで被覆した各プローブ針2の中間部を、基板1上の接地配線8に接続した一体状の導電材6に埋め込んだ。
【選択図】 図1
Description
近年、半導体デバイスの高集積化、微細化にともない、ボンディングパッドあるいは検査用パッドの間隔が狭くなり、かつパッド数も増加している。この結果、プローブカードに搭載されるプローブ針も密集することとなる。また、検査コストを低減するために複数の半導体デバイスを同時に検査することも行われるため、1つのプローブカードに搭載されるプローブ針の本数がさらに増大し、かつ密集度も上がっている。このような状況では、検査時に近接するプローブ針が互いに影響しあい、クロストーク等のノイズが発生する。そこで、密集度を低下させることなく、ノイズの影響を抑制し得るプローブカードが必要となっている。
このようなプローブカードでは、各プローブ針2は針立て部3と固定部材4との間で宙に浮いた状態であるため、プローブ針の本数が増大すると、近接するプローブ針が互いに影響しあって、クロストーク等のノイズを拾いやすくなる。また、複数の半導体デバイスを同時に検査するようなプローブカードでは、プローブ針が上下方向に近接して配置される場合もあり、さらにノイズを拾いやすくなっている。
このようなプローブ針によるノイズの影響を低減するために、同軸構造のプローブ針を使用したプローブカードが提案されている。この同軸構造のプローブ針は、中心導体の中間部を絶縁チューブで被覆し、さらにその周囲を導電性の金属チューブにてなる外部導体で被覆したものである。
特許文献1,2には、同軸構造のプローブ針を使用したプローブカードが開示されている。
ところが、このような同軸針は径が大きくなるため、通常の針間隔より大きな間隔を確保する必要があるとともに、径の相違によりパッドを押圧する力が通常のプローブ針と異なるため、その針跡管理が煩雑となる。
以下、この発明を具体化した一実施の形態を図面に従って説明する。前記従来例と同一構成部分は、同一符号を付して説明する。
従って、各プローブ針2は絶縁性樹脂5と固定部材4との間で、同軸構造のプローブ針と実質的に同等となる。
(1)各プローブ針2は絶縁性樹脂5と固定部材4との間で、同軸構造のプローブ針と実質的に同等となるので、同軸構造のプローブ針と同等のノイズ抑制効果を得ることができる。
(2)絶縁チューブのみで被覆した通常のプローブ針2を使用しながら、すべてのプローブ針2を同軸構造のプローブ針と同等とすることができるので、ノイズの影響を受けにくいプローブカードを形成することができる。
(3)プローブ針2の針立て工程は、従来と同様な針立てルールで行うことができる。従って、プローブカードの組み立てを容易に行うことができる。
(第二の実施の形態)
図6は、第二の実施の形態の製造工程を示す。未加工の基板1の中心部に透孔7を形成した後、その透孔7の周囲の接地配線8上に導電性台座9を形成する。この導電性台座9は導電性ゴムあるいは金属プレート等である。導電性台座9の上面(図6においては下面)は、基板1の外周側に向かって下がる斜面となっている。
すると、半田付け部分と固定部材4との間のプローブ針2は、導電性台座9及び導電性接着剤10で覆われ、導電性台座9は接地配線8に接続されている。
・前記第一の実施の形態は、導電性接着材6以外の導電性流動体を流し込んで乾燥させるようにしてもよい。導電性流動体は、ゾル状あるいはゲル状の導電性ゴム、溶剤に導電物質を混ぜたものでもよい。導電物質は、銅、銅合金、銀、ニッケル、半田等の低融点合金の微粒子、酸化亜鉛、酸化インビジウム等の金属酸化物微粒子、各種カーボンブラック、ポリピロールやポリアニリン等の導電性ポリマー粒子、金属で被覆したポリマー微粒子、貴金属で被覆した銅や銀の微粒子、金属繊維、炭素繊維等を使用してもよい。その他、すず、鉛、亜鉛、鉄、りん、珪素、クロム、ビスマス、カドミウム、チタン、マグネシウム、アルミニウム、ひ素、アンチモン、モリブデン、コバルト等でもよい。
・第二の実施形態において、導電性台座9はゾル状またはゲル状の導電性ゴムあるいは導電性接着剤とし、その導電性台座9にプローブ針2を埋め込むようにしてもよい。
・第二の実施の形態において、導電性台座9はプローブ針2の針立て時に干渉しない高さとし、針立て後に導電性接着剤を塗布して、プローブ針2を導電性台座9との間に埋め込むようにしてもよい。
2 プローブ針
4 固定部材
6,10 導電材(導電性接着剤)
8 接地配線
9 導電性台座
Claims (7)
- カンチレバー構造のプローブ針を基板上に多数備えたプローブカードであって、
絶縁チューブで被覆した各プローブ針の中間部を、基板上の接地配線に接続した一体状の導電材に埋め込んだことを特徴とするプローブカード。 - 前記導電材は、導電性接着剤としたことを特徴とする請求項1記載のプローブカード。
- 中間部を絶縁チューブで被覆したプローブ針を、基板上でカンチレバー構造となるように針立てを行い、前記プローブ針の中間部を導電材で埋め込み、該導電材を前記基板上の接地配線に接続することを特徴とするプローブカードの製造方法。
- 中間部を絶縁チューブで被覆したプローブ針を、基板上でカンチレバー構造となるように針立てを行い、前記プローブ針の中間部を導電性接着剤で埋め込み、該導電性接着剤を乾燥させて前記基板上の接地配線に接続することを特徴とするプローブカードの製造方法。
- 前記導電性接着剤での埋め込みに先立って、前記プローブ針の基端部の半田付け部分を絶縁性樹脂で被覆したことを特徴とする請求項4記載のプローブカードの製造方法。
- 基板上の設置配線上に導電性台座を形成し、中間部を絶縁チューブで被覆したプローブ針の該中間部を前記導電性台座に埋め込んで、カンチレバー構造となるように針立てを行うことを特徴とするプローブカードの製造方法。
- 基板上の接地配線上に導電性台座を形成し、中間部を絶縁チューブで被覆したプローブ針の該中間部を前記導電性台座上でカンチレバー構造となるように針立てを行い、前記導電性台座上のプローブ針を導電材で覆うことを特徴とするプローブカードの製造方法。
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