JP2006071053A - プロセスガス用配管の連結部構造。 - Google Patents

プロセスガス用配管の連結部構造。 Download PDF

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Abstract

【課題】 配管系で内部に段差が存在することによってガスの流れが阻害されたり、異物(反応生成物等)が堆積し、配管内を閉塞させやすくすることや、堆積物の剥離による汚染の影響を極力抑えることを可能にする。
【解決手段】 フランジ11を一端に設け、他端側を上流側配管1に連結する上流側連結管10と、フランジ21を一端に設け、他端側を下流側配管2に連結する下流側連結管20とを有し、該フランジ端面間の間隙に、前記上流側連結管1および下流側連結管2の連結側の端部内径面に連なる内径面を有するインナーリング30を介設し、該インナーリングの外周側に前記間隙を封止するOリング40を介設してアウターリング50を配設する。上下流側連結管10、20は、上下流配管に連結される側の内径面が該上下流側配管の内径面と略同じであり、上下流側連結管に連結される側とフランジ側との間に内径が一方向に変化するテーパ内径面10a1、20a2を有する。
【選択図】 図1

Description

この発明は、半導体製造プロセスなどに用いられるプロセスガスを輸送する配管同士を連結するためのプロセスガス用配管の連結部構造に関する。
従来、半導体プロセスなどで用いられるプロセスガスを輸送する配管を配設する際に、中途で配管同士を連結して配管長さを調整するなどの必要が生じる。配管同士の連結方法としては種々の方法があり、配管に設けたフランジ同士を圧着して接合する方法などがある。しかし、この方法では、配管にフランジを設けておくことが必要であり、汎用性に欠けるため、配管の端部間に連結部を介設することで配管同士の連結を行うものが提案されている。図10〜13は、従来の連結部構造の一例を示すものであり、各連結部は、2つの連結配管とその間に配置するインナーリング、Oリング、アウターリングで構成されている。以下に、詳細を説明する。
プロセスガス用配管を構成する上流側配管1と下流側配管2との間に、上流側連結管110と下流側連結管120とが配置され、両連結管110、120間にインナーリング130とアウターリング132とが同軸に配置されている。インナーリング130とアウターリング132との間にはOリング131を介設することでシール性を確保した連結部が構成されている。なお、上流側連結管110は一端にフランジ111が形成され、他端を上流側配管1に溶接などによって連結している。また下流側連結管120は一端にフランジ121が形成され、他端を下流側配管2に溶接などによって連結している。フランジ111、121は、図示しないクランプによって互いに近接するように押圧することでシール性を確実にして連結固定される。
なお、図10、11に示す連結部では、該フランジ111、121の内面先端部にそれぞれ環状凹部を形成し、両者が連なった環状凹部115にインナーリング130の内周部側に形成した環状帯部130aが嵌り込んでいる。そして環状帯部130aの外周側に形成された環状突条130bが上記フランジ111、121の先端面間に位置している。また、インナーリング130の外周側に介設されるOリング131とアウターリング132とは、フランジ111、121によって軸方向に押圧狭持されている。
この連結部では、環状帯部130aが環状凹部115に嵌り込むことでインナーリング130の径方向の位置決めがなされる。また、インナーリング130の軸方向の位置決めは、フランジ111、121間に環状突条130bが位置することによってなされている。
一方、図12、13に示す連結部では、該フランジ111、121の内面先端部に環状突条を形成し、これら環状突条で形成される環状段部116の内周面にインナーリング130の内周部側に形成した環状帯部130aの外周面が当接しており、該環状帯部130aの外周側に形成された環状突条130bが上記フランジ111、121の先端面間に位置している。また、インナーリング130の外周側に介設されるOリング131とアウターリング132とは、フランジ111、121によって軸方向に押圧狭持されている。
この連結部では、環状帯部130aが環状段部116に当接することでインナーリング130の径方向の位置決めがなされる。また、インナーリング130の軸方向の位置決めは、フランジ111、121間に環状突条130bが位置することによってなされている。
しかし、上記した連結部構造では、インナーリングに配管とは異なる内径のものを使用しているため、配管と連結管との接続位置や連結管とインナーリングとの接続位置に段差が生じてしまう。
これらの段差は、配管内のガスの流れやすさ(コンダクタンス)に悪影響を与え、流れに乱れを生じるという問題があり、半導体製造装置におけるガスや副生物などが付着して堆積しやすく、配管内を閉塞させやすい。また、これが剥離し、プロセスへの汚染の影響を招くという問題がある。これを避けるためには配管内部を定期的に清掃などして堆積物を除去しなければならず、作業負担が多大となる。また、段差に付着した異物の除去は困難性を伴うという問題がある。
本発明は、上記事情を背景としてなされたものであり、配管系において最大限の流れやすさ(コンダクタンス)を確保し、流れの乱れを極力抑え、かつ溜まり部となる段差を最小にすることで、異物の付着しにくさや除去に最大限の効果をもたらすことのできる連結部構造を提供することを基本的な目的とする。
すなわち、本発明のプロセスガス用配管の連結部構造のうち、請求項1記載の発明は、プロセスガス用の上流側配管と下流側配管とを連結するプロセスガス用配管の連結部構造において、フランジが一端に設けられ、他端側が上流側配管に連結される上流側連結管と、フランジが一端に設けられ、他端側が下流側配管に連結される下流側連結管とを有しており、前記上流側連結管は、上流側配管に連結される側の内径面が該上流側配管の内径面と略同じであるとともに上流側配管に連結される側とフランジ側との間に内径が一方向に変化するテーパ内径面を有し、前記下流側連結管は、下流側配管に連結される側の内径が該下流側配管と略同じ内径からなるとともに下流側配管に連結される側とフランジ側との間に内径が一方向に変化するテーパ内径面を有し、前記上流側連結管と下流側連結管とは、それぞれ互いのフランジ端面および管端面が対向するように間隙を有して配置され、該間隙に、該上流側連結管および下流側連結管の端部内径面に連なる内径面を有するインナーリングが介設され、該インナーリングの外周側に前記間隙を封止するOリングを介設してアウターリングが配設されていることを特徴とする。
請求項2記載のプロセスガス用配管の連結部構造の発明は、請求項1記載の発明において、前記上流側連結管および下流側連結管のフランジ側管端面の内周側縁部にそれぞれ環状凹部が形成され、前記インナーリングの内周部側に前記両環状凹部に収まる環状帯部が形成されており、該環状帯部の内周面がインナーリング内径面を構成していることを特徴とする。
請求項3記載のプロセスガス用配管の連結部構造の発明は、請求項1記載の発明において、前記アウターリングは、その外周部側が前記両フランジの少なくとも一つに対し外周側に位置して該フランジの外周面に外接するリム部を有していることを特徴とする。
請求項4記載のプロセスガス用配管の連結部構造の発明は、請求項1〜3のいずれかに記載の発明において、前記両フランジを押圧挟持する締付具を備えることを特徴とする。
すなわち本発明のプロセスガス用配管の連結部構造によれば、上流側配管に接続される上流側連結管からインナーリングに至るまで、かつ下流側配管に接続される下流側連結管からインナーリングに至るまで内壁の段差をなくしてなだらかな内径面で配管を連結することができる。なお、インナーリングの軸方向の位置決めは、連結管の両フランジ狭持により行われる。また、径方向の位置決めは、インナーリングに設けた環状帯部やアウターリングに設けたリム部と連結管との当接によって行うことができる。
特に前記アウターリングが、その外周部側が前記両フランジの少なくとも一つに対し外周側に位置して該フランジの外周面に外接するリム部を有するものとすれば、インナーリングの両側面と連結管の管端面とを密着させて連結することができ、両者間に小隙間が生じないように連結することができる。
なお、上流側連結管および下流側連結管は、配管への連結側からインナーリングへの連結側の間にテーパ内径面を有している。このテーパ内径面は、インナーリングの径の大きさに従ってインナーリング側に向けて径が減少するか増加するかの一方向の内径変化を有している。本発明としてはいずれであってもよい。また、テーパ内径面は、配管への連結側からインナーリングへの連結側の間の領域の一部に形成されていても良く、また領域全部に亘って形成されていても良く、また、軸方向に沿って複数箇所に形成されているものであってもよい。また、テーパ内径面が軸方向に沿って平滑面でもよく、また湾曲面であってもよい。
以上説明したように本発明のプロセスガス用配管の連結部構造によれば、プロセスガス用の上流側配管と下流側配管とを連結するプロセスガス用配管の連結部構造において、フランジが一端に設けられ、他端側が上流側配管に連結される上流側連結管と、フランジが一端に設けられ、他端側が下流側配管に連結される下流側連結管とを有しており、前記上流側連結管は、上流側配管に連結される側の内径面が該上流側配管の内径面と略同じであるとともに上流側配管に連結される側とフランジ側との間に内径が一方向に変化するテーパ内径面を有し、前記下流側連結管は、下流側配管に連結される側の内径が該下流側配管と略同じ内径からなるとともに下流側配管に連結される側とフランジ側との間に内径が一方向に変化するテーパ内径面を有し、前記上流側連結管と下流側連結管とは、それぞれ互いのフランジ端面および管端面が対向するように間隙を有して配置され、該間隙に、該上流側連結管および下流側連結管の端部内径面に連なる内径面を有するインナーリングが介設され、該インナーリングの外周側に前記間隙を封止するOリングを介設してアウターリングが配設されているので、配管の内面に段差が生じないようにして配管と内径の異なるインナーリングを用いることができる。配管内に段差が生じないことによって流れを乱す要因が無くなり、最大限の流れやすさ(コンダクタンス)を確保できる。また、溜まり部である隙間も極めて少ないことより、異物の付着しにくさや除去に最大限の効果をもたらすことができる。
例えば、従来のクランプ継手を用いた配管系で半導体製造装置の排気系に用いた場合、特に物理的・化学的な反応を利用して処理する装置の排気系においては、配管系内壁の凸凹した起伏に反応生成物や処理室から排気された副生成物等が付着しやすい。また、それらを含めた異物の除去に関しても困難となる。これに対し本発明の構成を採用することにより、配管内の異物は減少、かつ除去しやすくなることで、定期的な保守頻度は格段に減ることになる。また、異物の逆拡散による汚染等による製品不良の低減にもつながる。
(実施形態1)
以下に、本発明の一実施形態を図1〜3に基づいて説明する。なお、前記従来技術で説明したものと同様の構成については同一の符号を付している。
この実施形態の連結部構造は、上流側配管1に接続する上流側連結管10、下流側配管2に接続する下流側連結管20、上流側連結管10と下流側連結管20の間に配置されるインナーリング30、Oリング40、アウターリング50とによって構成されている。
上流側連結管10は、上流側配管1側に該上流側配管1と同一径、同一形状の内径面10a0を有しており、その一端が上流側配管1に溶接などによって連結されるものとされ、他端側にフランジ11が形成されている。上流側連結管10は、フランジ11側の内径が他端側よりも小径とされ、インナーリング30の内径面30aと同一径、同一形状の内径面10a2を有している。上記内径面10a0から内径面10a2に掛けては、次第に径が小さくなるテーパ内径面10a1が形成されている。フランジ11は、その先端面が管端面に達しており、管端面には、内周側縁部に環状凹部13が形成されている。一方、下流側連結管20は、下流側配管2側に該下流側配管2と同一径、同一形状の内径面20a0を有しており、その一端が下流側配管2に溶接などによって連結されるものとされ、他端側にフランジ21が形成されている。下流側連結管20は、フランジ21側の内径が他端側よりも小径とされ、インナーリング30の内径面30aと同一径、同一形状の内径面20a2を有している。上記内径面20a0から内径面20a2に掛けては、次第に径が小さくなるテーパ内径面20a1が形成されている。フランジ21は、その先端面が管端面に達しており、管端面には、内周側縁部に環状凹部13が形成されている。
インナーリング30は、内周側に環状帯部31を有しており、該環状帯部31の内周面がインナーリング30の内径面30aとして、上流側連結管10の内径面10a2、下流側連結管20の内径面20a2と同一径、同一形状になっている。上記環状帯部31の外周側に環状突条32が形成されており、その外径は、フランジ11、21の外径よりも小さくなっている。また、環状突条32の外周面32dは、Oリング40の内周面側を保持するように、断面が湾曲面形状に形成されている。
上記Oリング40は、上記環状突条32の外周面32dに収まる内径を有し、インナーリング30の環状突条32の軸方向幅よりもやや大きい径のO形状断面を有している。
このOリング40の外周側には、環状突条32と軸方向に略同じ幅のアウターリング50が同心に配置されている。
アウターリング50の内周面50dは、Oリング40の片面(外周面)側を保持するように、断面が湾曲面形状に形成されており、前記したインナーリング30の環状突条32の外周面32dとアウターリング50の内周面50dとで前記Oリング40が狭持される。
次に、上記連結構造を得るための工程の手順の一例を説明する。
上流側配管1に、フランジ11とは他端になる上流側連結管10の管端面を密着させ、シーム溶接によって両方の管を隙間なく接合する。一方、下流側配管2には、フランジ21と他端になる下流側連結管20の管端面を密着させ、シーム溶接によって両方の管を隙間なく接合する。
また、インナーリング30の環状突条32の外周面32dにOリング40の内周面を嵌め込み、このOリング40の外周側に、アウターリング50の外周面50dを嵌め込んで、インナーリング30、Oリング40、アウターリング50を組み付ける。この組み付けたリングに対し、軸方向外側から上流側連結管10のフランジ11を同軸となるように近接させ、環状帯部31の一側を上流側連結管10の環状凹部13に納め、フランジ端面11bをインナーリング30の環状突条32の側面およびアウターリング50の側面に近接させる。一方、上記と同様にして組み付けられたリングに対し、軸方向外側から下流側連結管20のフランジ21を同軸となるように近接させ、環状帯部31の他側を下流側連結管20の環状凹部13に納め、フランジ端面21bをインナーリング30の環状突条32の側面およびアウターリング50の側面に近接させる。この状態でフランジ11、21をさらに互いに近接する方向に押圧することで、Oリング40がフランジ11、21で圧縮されてフランジ11、21間が封止される。フランジ11、21は、適宜の器具などによって押圧した状態で固定することで上流側連結管10と下流側連結管20とが隙間無く連結される。なお、上記器具としては、例えば、図2に示すようにフランジ11、21の外周側から環状に覆って締め付け固定するクランプ60を例示することができる。なお、上記手順は一例であって、本願発明がこれに限定されるものではない。
上記で得られる連結部構造は、上流側配管1の内径面1aから下流側配管2の内径面2aに至るまで、上流側連結管10の内径面10a0、10a1、10a2、インナーリング内径面30a、下流側連結管20の内径面20a0、20a1、20a2が段差なく連なっている。したがって、上流側配管1から下流側配管2にかけてプロセスガスが流れる際に、ガスの流れの乱れは少なく円滑に流れる。また、内壁面への反応生成物等の付着堆積が助長されることはなく、また、仮に堆積物が生じた際にも容易に除去することができる。
(実施形態2)
次に、他の実施形態を図4〜6に基づいて説明する。なお、この実施形態において前記実施形態と同様の構造については同一の符号を付して、その説明を省略または簡略化する。
上流側連結管10は、上流側配管1側に該上流側配管1と同一径、同一形状の内径面10a0を有しており、その一端が上流側配管1に溶接などによって連結されるものとされ、他端側にフランジ11が形成されている。上流側連結管10は、フランジ11側の内径が小径とされ、インナーリング35の内径面35aと同一径、同一形状の内径面10a2を有している。上記内径面10a0から内径面10a2に掛けては、次第に径が小さくなるテーパ内径面10a1が形成されている。フランジ11は、その先端面が管端面10bに達して管端面10bと面一に形成されている。一方、下流側連結管20は、下流側配管2側に該下流側配管2と同一径、同一形状の内径面20a0を有しており、その一端が下流側配管2に溶接などによって連結されるものとされ、他端側にフランジ21が形成されている。下流側連結管20は、フランジ21側の内径が小径とされ、インナーリング35の内径面35aと同一径、同一形状の内径面20a2を有している。上記内径面20a0から内径面20a2に掛けては、次第に径が小さくなるテーパ内径面20a1が形成されている。フランジ21は、その先端面が管端面20cに達して管端面20cと面一に形成されている。
インナーリング35は、上流側連結管10、下流側連結管20の内径面10a2、20a2と同一内径、同一形状の内径面35aを有しており、外径は、フランジ11、21の外径よりも小さくなっている。また、インナーリング35の両側面35b、35cは、上流側連結管10の管端面10b、下流側連結管20の管端面20cに沿う形状となっている。また、インナーリング35の外周面35dは、Oリング40の内周面側を保持するように、断面が湾曲面形状に形成されている。
上記Oリング40は、上記インナーリング35の外周面35dに収まる内径を有し、インナーリング35の軸方向幅よりもやや大きい径のO形状断面を有している。
このOリング40の外周側には、インナーリング35と軸方向に略同じ幅のアウターリング55が同心に配置されている。なお、アウターリング55の軸方向幅は、インナーリング35の軸方向幅よりも僅かに小さいのが望ましい。これにより、アウターリング55の両側面が干渉することなくフランジ11、21の先端面にインナーリング35の両側面35b、35cを確実に密着させることができる。
アウターリング55の内周面55dは、Oリング40の片面(外周面)側を保持するように、断面が湾曲面形状に形成されており、前記したインナーリング35の外周面35dとアウターリング55の内周面55dとで前記Oリング40が狭持される。アウターリング55は、フランジ11、21の外径を超える外径を有しており、フランジ11、21を超える位置では、軸方向に幅広になるリム部56が設けられている。リム部56は、内面がフランジ11、21の外周面に外接するものとして形成されている。このリム部56にフランジ11、21が内接することでOリング40を介してインナーリング35の径方向の位置決めがなされる。
次に、上記連結構造を得るための工程の手順の一例を説明する。
上流側配管1に、フランジ11とは他端になる上流側連結管10の管端面を密着させ、シーム溶接によって両方の管を隙間なく接合する。一方、下流側配管2には、フランジ21と他端になる下流側連結管20の管端面を密着させ、シーム溶接によって両方の管を隙間なく接合する。
また、インナーリング35の外周面35dにOリング40の内周面を嵌め込み、このOリング40の外周側に、アウターリング55の外周面55dを嵌め込んで、インナーリング35、Oリング40、アウターリング55を一体化する。この一体化されているリングに対し、軸方向外側から上流側連結管10のフランジ11を同軸となるように近接させ、フランジ11をリム部56の内側に挿入し、管端面10bをインナーリング35の側面35bに密着させる。一方、上記と同様にして一体化されているリングに対し、軸方向外側から下流側連結管20のフランジ21を同軸となるように近接させ、フランジ21をリム部56の内側に挿入し、管端面20cをインナーリング35の側面35cに密着させる。この状態でフランジ11、21を互いに近接する方向に押圧することで、Oリング40がフランジ11、21で圧縮されてフランジ11、21間が封止される。フランジ11、21は、適宜の器具などによって押圧した状態で固定することで上流側連結管10と下流側連結管20とが隙間無く連結される。なお、上記器具としては、例えば、図5に示すようにフランジ11、21の外周側から環状に覆って締め付け固定するクランプ60を例示することができる。なお、上記手順は一例であって、本願発明がこれに限定されるものではない。
上記で得られる連結部構造は、上流側配管1の内径面1aから下流側配管2の内径面2aに至るまで、上流側連結管10の内径面10a0、10a1、10a2、インナーリング内径面35a、下流側連結管20の内径面20a0、20a1、20a2によって段差なく連なっている。また、インナーリング35の両側面35b、35cは、管端面10b、20cに密着しているので、これらの面同士に隙間が殆ど生じない。したがって、上流側配管1から下流側配管2にかけてプロセスガスが流れる際に、ガスがより円滑に流れる。また、内壁面への副生成物等の付着堆積が助長されることはなく、また、仮に堆積物が生じた際にも容易に除去することができる。
(実施形態3)
次に、他の実施形態を図7〜図9に基づいて説明する。なお、この実施形態において前記実施形態と同一の構造については同一の符号を付してその説明を省略または簡略化する。
この実施形態では、インナーリングの内径が上流側配管1および下流側配管2の内径よりも大きくなっている例である。
この実施形態の連結部構造は、上流側配管1に接続する上流側連結管15、下流側配管2に接続する下流側連結管25、上流側連結管15と下流側連結管25の間に配置されるインナーリング35、Oリング40、アウターリング55によって構成されている。
上流側連結管15は、上流側配管1側に該上流側配管1と同一径、同一形状の内径面15a0を有しており、その一端が上流側配管1に溶接などによって連結されるものとされ、他端側にフランジ16が形成されている。上流側連結管15は、フランジ16側の内径が他端側よりも大径とされ、インナーリング35の内径面35aと同一径、同一形状の内径面15a2を有している。上記内径面15a0から内径面15a2に掛けては、次第に径が大きくなるテーパ内径面15a1が形成されている。フランジ16は、その先端面が管端面15bに達して管端面15bと面一に形成されている。一方、下流側連結管25は、下流側配管2側に該下流側配管2と同一径、同一形状の内径面25a0を有しており、その一端が下流側配管2に溶接などによって連結されるものとされ、他端側にフランジ26が形成されている。下流側連結管25は、フランジ26側の内径が他端側よりも大径とされ、インナーリング35の内径面35aと同一径、同一形状の内径面25a2を有している。上記内径面25a0から内径面25a2に掛けては、次第に径が大きくなるテーパ内径面25a1が形成されている。フランジ26は、その先端面が管端面25cに達して管端面25cと面一に形成されている。
上記連結構造は前記実施形態と同様に、上流側配管1への上流側連結管15の溶接、下流側配管2への下流側連結管25がなされ、インナーリング35、Oリング40、アウターリング55を同心に組み込んだリング群に上記上流側連結管15、下流側連結管25を連結して配管系を得る。この連結部構造においても、上記実施形態と同様に、配管内部の段差や隙間をなくすことができる。
なお、本発明の使用用途は半導体製造装置に限定されるものではなく、堆積物の混入が問題となる種々の用途に適用することができる。ただし、特に清浄度が要求される半導体製造プロセスの用途に用いるのが特に好適である。
すなわち本願発明は、上記実施形態の説明に限定されるものではなく、本願発明の範囲内において適宜変更が可能である。
本発明の一実施形態における連結構造の分解図である。 同じく、正面断面図である。 同じく、拡大した一部正面断面図である。 本発明の他の実施形態における連結構造の分解図である。 同じく、正面断面図である。 同じく、拡大した一部正面断面図である。 本発明のさらに他の実施形態における連結構造の分解図である。 同じく、正面断面図である。 同じく、拡大した一部正面断面図である。 従来の連結構造を示す正面断面図である。 同じく連結構造を拡大して示す一部正面断面図である。 従来の他の連結構造を示す正面断面図である。 同じく連結構造を拡大して示す一部正面断面図である。
符号の説明
1 上流側配管
1a 内径面
2 下流側配管
2a 内径面
10 上流側連結管
10a0 内径面
10a1 テーパ内径面
10a2 内径面
10b 管端面
15 上流側連結管
15a0 内径面
15a1 テーパ内径面
15a2 内径面
15b 管端面
20 下流側連結管
20a0 内径面
20a1 テーパ内径面
20a2 内径面
20c 管端面
25 下流側連結管
25a0 内径面
25a1 テーパ内径面
25a2 内径面
25c 管端面
30 インナーリング
30a 内径面
35 インナーリング
35a 内径面
35b 側面
35c 側面
40 Oリング
50、55 アウターリング
56 リム部

Claims (4)

  1. プロセスガス用の上流側配管と下流側配管とを連結するプロセスガス用配管の連結部構造において、フランジが一端に設けられ、他端側が上流側配管に連結される上流側連結管と、フランジが一端に設けられ、他端側が下流側配管に連結される下流側連結管とを有しており、前記上流側連結管は、上流側配管に連結される側の内径面が該上流側配管の内径面と略同じであるとともに上流側配管に連結される側とフランジ側との間に内径が一方向に変化するテーパ内径面を有し、前記下流側連結管は、下流側配管に連結される側の内径が該下流側配管と略同じ内径からなるとともに下流側配管に連結される側とフランジ側との間に内径が一方向に変化するテーパ内径面を有し、前記上流側連結管と下流側連結管とは、それぞれ互いのフランジ端面および管端面が対向するように間隙を有して配置され、該間隙に、該上流側連結管および下流側連結管の端部内径面に連なる内径面を有するインナーリングが介設され、該インナーリングの外周側に前記間隙を封止するOリングを介設してアウターリングが配設されていることを特徴とするプロセスガス用配管の連結部構造。
  2. 前記上流側連結管および下流側連結管のフランジ側管端面の内周側縁部にそれぞれ環状凹部が形成され、前記インナーリングの内周部側に前記両環状凹部に収まる環状帯部が形成されており、該環状帯部の内周面がインナーリング内径面を構成していることを特徴とする請求項1記載のプロセスガス用配管の連結部構造。
  3. 前記アウターリングは、その外周部側が前記両フランジの少なくとも一つに対し外周側に位置して該フランジの外周面に外接するリム部を有していることを特徴とする請求項1記載のプロセスガス用配管の連結部構造。
  4. 前記両フランジを押圧挟持する締付具を備えることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のプロセスガス用配管の連結部構造。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008069802A (ja) * 2006-09-12 2008-03-27 Kobelco Eco-Solutions Co Ltd オゾン使用設備用シール部材
JP2009162252A (ja) * 2007-12-28 2009-07-23 Mitsubishi Heavy Industries Food & Packaging Machinery Co Ltd 配管継手
WO2013153672A1 (ja) * 2012-04-13 2013-10-17 株式会社ウェステックフィールド 着脱式シールリング

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