JP2006066366A - Method for manufacturing display panel and apparatus for coating viscosity and moisture-absorbing member - Google Patents

Method for manufacturing display panel and apparatus for coating viscosity and moisture-absorbing member Download PDF

Info

Publication number
JP2006066366A
JP2006066366A JP2004361788A JP2004361788A JP2006066366A JP 2006066366 A JP2006066366 A JP 2006066366A JP 2004361788 A JP2004361788 A JP 2004361788A JP 2004361788 A JP2004361788 A JP 2004361788A JP 2006066366 A JP2006066366 A JP 2006066366A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
viscous
absorbing member
moisture absorbing
display panel
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004361788A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Satoshi Takato
聡 高藤
Kazuhiro Monzen
和博 門前
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Display Corp
AGC Inc
Original Assignee
Asahi Glass Co Ltd
Kyocera Display Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asahi Glass Co Ltd, Kyocera Display Corp filed Critical Asahi Glass Co Ltd
Priority to JP2004361788A priority Critical patent/JP2006066366A/en
Publication of JP2006066366A publication Critical patent/JP2006066366A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80Constructional details
    • H10K59/87Passivation; Containers; Encapsulations
    • H10K59/874Passivation; Containers; Encapsulations including getter material or desiccant

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To properly coat on an organic EL panel, a viscosity and moisture-absorbing member for suppressing the effect of moisture and oxygen, and for maintaining light-emitting characteristics. <P>SOLUTION: A method for manufacturing a display panel manufactures a display panel having a first substrate, a second substrate, and a display element formed in a sealed space between the first and the second substrates, coats the member onto the first substrate, sprays gas against the member coated to the first substrate so as to make the thickness of the member small and seals the first and the second substrates with an adhesive so that the member is disposed inside the space. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、表示パネルの製造方法及び粘性吸湿部材の塗布装置に関し、特に、表示パネルの基板上への粘性吸湿部材の塗布に関する。   The present invention relates to a display panel manufacturing method and a viscous moisture-absorbing member coating apparatus, and more particularly to application of a viscous moisture-absorbing member on a substrate of a display panel.

有機EL(Electro Luminescence)素子は、有機発光性化合物を含む有機EL層を陽極と陰極との間に挟んだ積層体構造を有している。陽極と陰極の間に電圧を印加すると、陽極からは正孔が、陰極からは電子がそれぞれ有機EL層に注入されて再結合し、その際に生ずるエネルギーにより有機EL層に含まれる有機発光性化合物の分子が励起される。このようにして励起された分子が基底状態に失活する過程で発光現象が生じる。有機EL素子はこの発光現象を利用した自発光素子である。   An organic EL (Electro Luminescence) element has a laminate structure in which an organic EL layer containing an organic light emitting compound is sandwiched between an anode and a cathode. When a voltage is applied between the anode and the cathode, holes from the anode and electrons from the cathode are injected into the organic EL layer to recombine, and the organic light-emitting property contained in the organic EL layer is generated by the energy generated at that time. The molecule of the compound is excited. A light emission phenomenon occurs in the process in which the excited molecules are deactivated to the ground state. An organic EL element is a self-luminous element utilizing this light emission phenomenon.

有機EL層は、正孔と電子が再結合して発光する発光層と呼ばれる有機層を少なくとも含み、必要に応じて、正孔が注入されやすくかつ電子を移動させにくい正孔輸送層と呼ばれる有機層、電子が注入されやすくかつ正孔を移動させにくい電子輸送層と呼ばれる有機層のうちの一方又は両方を含む単層構造又は多層積層構造を有している。   The organic EL layer includes at least an organic layer called a light-emitting layer that emits light by recombination of holes and electrons. If necessary, an organic layer called a hole transport layer that is easy to inject holes and hardly move electrons. The layer has a single layer structure or a multilayer structure including one or both of an organic layer called an electron transport layer that is easy to inject electrons and hardly move holes.

一般に、有機ELパネルは、ガラスなどからなる基板上に、ITO(Indium Tin Oxide)等によって陽極となる透明電極と、有機EL層と、アルミニウム等によって陰極となる電極とを順次積層して積層体である有機EL素子を形成し、この積層体を覆うガラスなどからなる凹形状の対向基板を上記基板上に紫外線硬化性接着剤を介して気密的に配設することによって製造される。   In general, an organic EL panel is formed by sequentially laminating a transparent electrode serving as an anode with ITO (Indium Tin Oxide), an organic EL layer, and an electrode serving as a cathode with aluminum or the like on a glass substrate. The organic EL element is formed, and a concave counter substrate made of glass or the like covering the laminated body is hermetically disposed on the substrate via an ultraviolet curable adhesive.

この有機ELパネルの大きな課題の1つは、発光層の寿命の改善である。寿命を短くする原因の1つは、ダークフレームと呼ばれる非発光部の発生である。この非発光部は点灯経過時間とともに成長し、次第に非発光面積が大きくなり、発光部の発光輝度は低下していく。この非発光部が発生する主な原因は、有機EL素子を構成している有機EL層と密封容器内の水分や酸素との反応である。これによって、非発光部が発生・成長することが知られている。   One of the major problems of this organic EL panel is to improve the lifetime of the light emitting layer. One of the causes for shortening the lifetime is the occurrence of a non-light emitting portion called a dark frame. The non-light emitting portion grows with the lighting elapsed time, and the non-light emitting area gradually increases, and the light emission luminance of the light emitting portion decreases. The main cause of the generation of the non-light-emitting portion is a reaction between the organic EL layer constituting the organic EL element and moisture or oxygen in the sealed container. As a result, it is known that non-light emitting portions are generated and grown.

そこで、従来の有機ELパネルにおいては、有機EL素子を配設する基板と対向基板とで得られる気密空間内に吸湿部材を配設することで有機EL素子の寿命を改善している。この吸湿部材としては、無機系の乾燥剤が知られている(特許文献1参照。)。   Therefore, in the conventional organic EL panel, the lifetime of the organic EL element is improved by disposing a moisture absorbing member in an airtight space obtained by the substrate on which the organic EL element is disposed and the counter substrate. As this moisture absorbing member, an inorganic desiccant is known (see Patent Document 1).

また、水分と反応性の高い有機金属化合物を膜状にして、有機EL素子を配設する基板と対向基板とで得られる気密空間内に捕水層を形成し、化学反応を利用して効果的に水分を捕水する方法が知られている(特許文献2参照。)。   In addition, an organic metal compound that is highly reactive with moisture is formed into a film, and a water capturing layer is formed in an airtight space obtained between the substrate on which the organic EL element is disposed and the counter substrate, and an effect is obtained by utilizing a chemical reaction. In particular, a method for capturing moisture is known (see Patent Document 2).

さらに、例えばフッ素系オイルからなる不活性液体中に固体の吸着剤を所定の割合で混合することによって得られる粘性を持った吸湿部材を対向基板の積層体との対向面に塗布し、気密空間内の水分を吸収する構造が知られている(特許文献3参照。)。
特開平9−148066号公報 特開2002−33187号公報 特開2003−163076号公報
Furthermore, a moisture absorbing member having a viscosity obtained by mixing a solid adsorbent in an inert liquid made of, for example, fluorine-based oil at a predetermined ratio is applied to the surface facing the laminate of the counter substrate, and the airtight space A structure that absorbs moisture is known (see Patent Document 3).
Japanese Patent Laid-Open No. 9-148066 JP 2002-33187 A JP 2003-163076 A

特許文献3に開示されているように、粘性を持った吸湿部材を用いた有機ELパネルは、対向基板の積層体との対向面に吸湿部材を塗布することによって製造される。この塗布工程において、吸湿部材はディスペンサなどの塗布装置を用い所定の位置に塗布される。粘性吸湿部材はディスペンサによって所望の位置に吸湿部材を配設することができ、また、コストの点からも優れた吸湿部材である。   As disclosed in Patent Document 3, an organic EL panel using a viscous moisture-absorbing member is manufactured by applying a moisture-absorbing member to a surface of the counter substrate facing the laminate. In this application step, the moisture absorbing member is applied at a predetermined position using an application device such as a dispenser. The viscous hygroscopic member can be disposed at a desired position by a dispenser, and is also an excellent hygroscopic member from the viewpoint of cost.

しかし、吸湿部材の塗布の際、ディスペンサのニードルが吸湿部材を吐出し終え、吸湿部材から離れるときに、吸湿部材の持つ粘性のため、吸湿部材が糸を引く又はツノが残るという現象が起こる。この吸湿部材の糸引きにより、吸湿部材が有機EL素子を積層した基板と吸湿部材を配設した対向基板との接着部に入り、貼り合わせに不具合が生じるという問題があった。また、吸湿部材のツノが有機EL素子と接触することによって電極に損傷を与え、有機EL素子の発光部分が部分的に発光しない現象が生じ、場合によっては電極間の短絡が生じてしまうといった問題があった。   However, when the hygroscopic member is applied, when the dispenser needle finishes discharging the hygroscopic member and leaves the hygroscopic member, a phenomenon occurs in which the hygroscopic member pulls a thread or leaves a horn due to the viscosity of the hygroscopic member. Due to the stringing of the hygroscopic member, the hygroscopic member enters the bonding portion between the substrate on which the organic EL element is laminated and the counter substrate on which the hygroscopic member is disposed, and there is a problem that a problem occurs in bonding. In addition, the horn of the hygroscopic member comes into contact with the organic EL element, thereby damaging the electrode, causing a phenomenon that the light emitting portion of the organic EL element does not partially emit light, and in some cases, a short circuit between the electrodes occurs. was there.

これら問題の解決のために、ニードルの移動終点位置の手前でニードルからの吸湿部材の吐出を停止し、吸湿部材を吐出することなくニードルを移動終点位置まで移動させた後にニードルを上昇させる方法が提案されている(特許文献3参照。)。これにより、吸湿部材のツノの生成を防止し、さらに糸引きした吸湿部材が有機EL素子を積層した基板と対向基板との接着部に入らないようにすることが可能となる。   In order to solve these problems, there is a method of stopping the discharge of the hygroscopic member from the needle before the end point of movement of the needle, and raising the needle after moving the needle to the end point of movement without discharging the hygroscopic member. It has been proposed (see Patent Document 3). Accordingly, it is possible to prevent the generation of horns of the hygroscopic member and prevent the stringed hygroscopic member from entering the bonded portion between the substrate on which the organic EL element is laminated and the counter substrate.

しかし、この方法では、塗布終点位置(吐出の停止位置)からニードルの移動終点位置の間に吸湿部材を塗布することができない。このため、吸湿部材の塗布量が不足し、有機EL素子の寿命改善のために必要な吸湿性能を満たすことができないことがある。特に、携帯電話のディスプレイのような小さな有機ELパネルの場合、吸湿部材を塗布する距離の不足から吸湿部材の塗布量が不足し、所定量塗布することができず、目的の吸湿性能が得られなかった。   However, in this method, the hygroscopic member cannot be applied between the application end point position (discharging stop position) and the needle movement end point position. For this reason, the application amount of the hygroscopic member is insufficient, and the hygroscopic performance necessary for improving the life of the organic EL element may not be satisfied. In particular, in the case of a small organic EL panel such as a mobile phone display, the application amount of the moisture absorbing member is insufficient due to the insufficient distance to apply the moisture absorbing member, and a predetermined amount cannot be applied, and the desired moisture absorption performance is obtained. There wasn't.

本発明は、上記のような事情を背景としてなされたものであって、本発明の第1の目的は、粘性吸湿部材の付着に起因する非発光部の発生あるいは電極間の短絡を防止することである。本発明の第2の目的は、表示パネルの基板に対する粘性吸湿部材部材の塗布量を増加することである。   The present invention has been made against the background described above, and a first object of the present invention is to prevent the occurrence of non-light-emitting portions or short-circuiting between electrodes due to adhesion of a viscous hygroscopic member. It is. The second object of the present invention is to increase the amount of the viscous moisture absorbing member applied to the substrate of the display panel.

本発明の第1の態様にかかる表示パネルの製造方法は、第1の基板と、第2の基板と、前記第1の基板と前記第2の基板との間の封止空間内に形成された表示素子とを有する表示パネルの製造方法であって、粘性吸湿部材を前記第2の基板上に塗布し、前記第2の基板上に塗布された粘性吸湿部材に対してガスを吹き付け前記粘性吸湿部材の厚みを薄くし、前記粘性吸湿部材が前記封止空間内に配置されるように、前記第1の基板と前記第2の基板を接着剤によってシールするものである。これによって、効果的に粘性吸湿部材の厚みを制御することができる。   A method for manufacturing a display panel according to a first aspect of the present invention is formed in a sealed space between a first substrate, a second substrate, and the first substrate and the second substrate. A display panel having a display element, wherein a viscous moisture absorbing member is applied on the second substrate, and a gas is blown onto the viscous moisture absorbing member applied on the second substrate. The thickness of the moisture absorbing member is reduced, and the first substrate and the second substrate are sealed with an adhesive so that the viscous moisture absorbing member is disposed in the sealed space. Thereby, the thickness of the viscous hygroscopic member can be controlled effectively.

本発明の第2の態様にかかる表示パネルの製造方法は、前記表示素子は前記第1の基板上に形成されており、前記粘性吸湿部材は、前記第2の基板の前記表示素子に対向する面上に塗布されることができる。これによって、粘性吸湿部材と表示素子の接触を防止することができる。   In the display panel manufacturing method according to the second aspect of the present invention, the display element is formed on the first substrate, and the viscous moisture absorbing member faces the display element of the second substrate. It can be applied on the surface. Thereby, contact between the viscous hygroscopic member and the display element can be prevented.

本発明の第3の態様にかかる表示パネルの製造方法は、前記粘性吸湿部材が前記第1の基板上に形成された表示素子に接触しない厚みとなるように、前記第2の基板上に塗布された粘性吸湿部材に対してガスを吹き付けることが好ましい。これによって、粘性吸湿部材と表示素子の接触を防止することができる。   The display panel manufacturing method according to the third aspect of the present invention is applied to the second substrate such that the viscous moisture absorbing member has a thickness that does not contact the display element formed on the first substrate. It is preferable to blow a gas against the formed viscous hygroscopic member. Thereby, contact between the viscous hygroscopic member and the display element can be prevented.

本発明の第4の態様にかかる表示パネルの製造方法は、前記粘性吸湿部材の塗布終端部の厚みが小さくなるようにガスを吹き付けることが好ましい。これによって、ディスペンサなどによって塗布する場合において、塗布終端部における突部などの望ましくない形状をなくすことができる。   In the display panel manufacturing method according to the fourth aspect of the present invention, it is preferable that gas is blown so that the thickness of the application terminal portion of the viscous moisture absorbing member is reduced. Thereby, in the case of applying by a dispenser or the like, it is possible to eliminate an undesirable shape such as a protrusion at the application end portion.

本発明の第5の態様にかかる表示パネルの製造方法は、第1の基板と、第2の基板と、前記第1の基板と前記第2の基板との間に形成された表示素子とを有する表示パネルの製造方法であって、粘性吸湿部材を前記第2の基板上に塗布し、前記第2の基板上に塗布された粘性吸湿部材にガスを吹き付けて前記粘性吸湿部材の形状を変形し、前記第1の基板と前記第2の基板を接着剤によって固着するものである。これによって、粘性吸湿部材の形状を効果的に制御することができる。   A manufacturing method of a display panel according to a fifth aspect of the present invention includes a first substrate, a second substrate, and a display element formed between the first substrate and the second substrate. A method for manufacturing a display panel, comprising: applying a viscous hygroscopic member on the second substrate; and blowing a gas onto the viscous hygroscopic member applied on the second substrate to deform the shape of the viscous hygroscopic member Then, the first substrate and the second substrate are fixed by an adhesive. Thereby, the shape of the viscous hygroscopic member can be controlled effectively.

本発明の第6の態様にかかる表示パネルの製造方法は、前記粘性吸湿部材にガスを吹き付けることによって、前記粘性吸湿部材の塗布面積を広げることが好ましい。これによって、粘性吸湿部材の塗布量を増加することができる。   In the display panel manufacturing method according to the sixth aspect of the present invention, it is preferable that the application area of the viscous hygroscopic member is increased by blowing gas onto the viscous hygroscopic member. Thereby, the application amount of the viscous hygroscopic member can be increased.

本発明の第7の態様にかかる粘性吸湿部材の塗布装置は、基板を載置するステージと、前記ステージに対して相対的に移動し、前記ステージ上の基板に粘性吸湿部材を塗布するディスペンサと、前記基板上に塗布された粘性吸湿部材にガスを吹き付けるノズルと、を有するものである。これによって、粘性吸湿部材の形状を効果的に制御することができる。   An application device for a viscous hygroscopic member according to a seventh aspect of the present invention includes: a stage on which a substrate is placed; a dispenser that moves relative to the stage and applies the viscous hygroscopic member to the substrate on the stage; And a nozzle that blows gas onto the viscous hygroscopic member coated on the substrate. Thereby, the shape of the viscous hygroscopic member can be controlled effectively.

本発明の第8の態様にかかる粘性吸湿部材の塗布装置は、前記ノズルは前記ディスペンサの吐出口に向けてガスを噴出することが好ましい。これによって、粘性吸湿部材の塗布終端部における突部などの望ましくない形状を効果的になくすことができる。   In the viscous moisture-absorbing member coating apparatus according to the eighth aspect of the present invention, the nozzle preferably ejects gas toward the discharge port of the dispenser. Thereby, it is possible to effectively eliminate an undesirable shape such as a protrusion at the application end portion of the viscous moisture absorbing member.

本発明の第9の態様にかかる表示パネルの製造方法は、第1の基板の上に表示素子が形成され、前記表示素子を封止する第2の基板が前記第1の基板に固定されてなる表示パネルの製造方法であって、粘性吸湿部材を前記表示素子に面する側の前記第2の基板の表面に直線的に塗布し、塗布した後の前記粘性吸湿部材の端にガスを吹き付け、所定の厚み以下にするものである。これによって、ディスペンサなどによって塗布する場合において、塗布終端部における突部などの望ましくない形状をなくすことができる。また、粘性吸湿部材と表示素子との接触を防止することができる。   In the display panel manufacturing method according to the ninth aspect of the present invention, a display element is formed on a first substrate, and a second substrate for sealing the display element is fixed to the first substrate. A method of manufacturing a display panel, wherein a viscous moisture absorbing member is linearly applied to the surface of the second substrate facing the display element, and a gas is sprayed onto an end of the viscous moisture absorbing member after application. The thickness is not more than a predetermined thickness. Thereby, in the case of applying by a dispenser or the like, it is possible to eliminate an undesirable shape such as a protrusion at the application end portion. Further, contact between the viscous moisture absorbing member and the display element can be prevented.

本発明の第10の態様にかかる表示パネルの製造方法は、前記粘性吸湿部材を塗布する際に直線的に塗布する距離が5〜80mmとなるように粘性吸湿部材が配設される。これによって、表示パネルの表示特性の劣化を抑制するのに必要な量の粘性吸湿部材を配設することができる。   In the manufacturing method of the display panel according to the tenth aspect of the present invention, the viscous moisture absorbing member is arranged so that the distance applied linearly when applying the viscous moisture absorbing member is 5 to 80 mm. Thereby, it is possible to arrange a viscous moisture absorbing member in an amount necessary for suppressing the deterioration of display characteristics of the display panel.

本発明の第11の態様にかかる表示パネルの製造方法は、前記第2の基板の内面に平行な表面において、前記粘性吸湿部材を100〜2000mmの面積を占めるように塗布するものである。これによって、表示パネルの表示特性の劣化を抑制するのに必要な粘性吸湿部材を配設することができる。 Method of manufacturing a display panel according to an eleventh aspect of the present invention, in a surface parallel to the inner surface of the second substrate, is intended for applying the viscous hygroscopic member to occupy an area of 100 to 2000 mm 2. This makes it possible to dispose a viscous moisture-absorbing member necessary for suppressing deterioration of display characteristics of the display panel.

本発明の第12の態様にかかる封止用基板は、厚みが1.1〜0.7mmの透明基板の一面に深さが0.55〜0.35mmの凹部が形成され、凹部に粘性部材が置かれ、粘性吸湿部材が凹部の内側面に接することなく配置され、透明基板の内表面に平行な粘性吸湿部材の表面の面積が100〜2000mmとなるように粘性吸湿部材が配設される。この封止用基板を用いて表示パネルを形成することによって、表示特性の劣化を防止することができる。 In the sealing substrate according to the twelfth aspect of the present invention, a recess having a depth of 0.55 to 0.35 mm is formed on one surface of a transparent substrate having a thickness of 1.1 to 0.7 mm, and a viscous member is formed in the recess. Is placed without contacting the inner surface of the recess, and the viscous moisture absorbing member is disposed so that the surface area of the viscous moisture absorbing member parallel to the inner surface of the transparent substrate is 100 to 2000 mm 2. The By forming a display panel using this sealing substrate, display characteristics can be prevented from deteriorating.

本発明によれば、表示特性の維持に必要な粘性吸湿部材を適切に基板に塗布することが可能となる。   According to the present invention, it is possible to appropriately apply a viscous moisture absorbing member necessary for maintaining display characteristics to a substrate.

以下に、本発明の本発明を適用可能な実施の形態が説明される。以下の説明は、本発明の実施形態を説明するものであり、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。   Embodiments to which the present invention can be applied will be described below. The following description explains the embodiment of the present invention, and the present invention is not limited to the following embodiment.

本発明に係る有機ELパネルの構成について図1を用いて説明する。図1は有機ELパネル100の構成の一部を示す模式的断面図である。なお、図1は有機ELパネルの構成を模式的に示すものであって、実際の有機ELパネルの詳細構成を反映するものではない。   The configuration of the organic EL panel according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a part of the configuration of the organic EL panel 100. FIG. 1 schematically shows the configuration of the organic EL panel, and does not reflect the detailed configuration of the actual organic EL panel.

有機ELパネル100は、ガラスなどよりなる基板101と対向基板106とで得られる気密空間内に、有機EL素子110が形成されてなる構成を有する。基板101と対向基板106は、接着剤108によって固着されている。基板101上に形成される有機EL素子110は、陽極102、絶縁層103、有機EL層104及び陰極105から構成されている。陽極102と陰極105の間に電圧を印加すると、陽極からは正孔が、陰極からは電子がそれぞれ有機EL層104に注入されて再結合し、その際に生ずるエネルギーにより有機EL層104内の有機発光性化合物の分子が励起される。励起された分子は基底状態に失活し、その過程において有機EL層104が発光する。   The organic EL panel 100 has a configuration in which an organic EL element 110 is formed in an airtight space obtained by a substrate 101 made of glass or the like and a counter substrate 106. The substrate 101 and the counter substrate 106 are fixed with an adhesive 108. The organic EL element 110 formed on the substrate 101 includes an anode 102, an insulating layer 103, an organic EL layer 104, and a cathode 105. When a voltage is applied between the anode 102 and the cathode 105, holes are injected from the anode and electrons are injected from the cathode into the organic EL layer 104 to recombine, and energy generated at that time causes recombination in the organic EL layer 104. The molecule of the organic light emitting compound is excited. The excited molecules are deactivated to the ground state, and the organic EL layer 104 emits light in the process.

図1に示すように、基板101上において、最下層には陽極102が形成されている。陽極102は、ITOなどの透明導電性薄膜で形成される。陽極102の上には、ポリイミドなどからなる絶縁層103が形成されている。この絶縁層103には、陽極102と陰極105が交差する位置(すなわち画素が形成される位置)に開口部が設けられている。そして、この絶縁層103の開口部に有機EL層104が形成されている。   As shown in FIG. 1, an anode 102 is formed on the lowermost layer on the substrate 101. The anode 102 is formed of a transparent conductive thin film such as ITO. On the anode 102, an insulating layer 103 made of polyimide or the like is formed. The insulating layer 103 has an opening at a position where the anode 102 and the cathode 105 intersect (that is, a position where a pixel is formed). An organic EL layer 104 is formed in the opening of the insulating layer 103.

絶縁層103は、有機EL層104と陽極102とが接触する開口部を画定する役割を果たしている。また、絶縁層103は、陽極102と陰極105の短絡が発生しないように配設される。有機EL層104は、典型的には、正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子注入層などからなる積層構造になっている。ただし、これとは異なる層構成を有することも可能である。   The insulating layer 103 plays a role of defining an opening where the organic EL layer 104 and the anode 102 are in contact with each other. Further, the insulating layer 103 is disposed so as not to cause a short circuit between the anode 102 and the cathode 105. The organic EL layer 104 typically has a laminated structure including a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron injection layer, and the like. However, it is possible to have a different layer structure.

有機EL層104の上には、発光輝度を高めるために、光反射率の高い金属からなる陰極105が設けられている。ここでは図示していないが、陰極105の分離のために例えばノボラック樹脂などからなる隔壁(不図示)が設けられている。   On the organic EL layer 104, a cathode 105 made of a metal having high light reflectivity is provided in order to increase the light emission luminance. Although not shown here, a partition wall (not shown) made of, for example, a novolak resin or the like is provided for separating the cathode 105.

基板101上には、複数の有機EL素子110が設けられ、有機EL素子110が形成されている領域が表示領域となる。基板101上には、さらに、各有機EL素子110に信号を供給する補助配線が設けられている。図1では、陰極105に接続される陰極補助配線109の部分について図示している。有機EL素子110の陽極102及び陰極105はそれぞれの補助配線に接続されており、これら補助配線は接着剤108の外側に延設されている。基板101の端部には駆動回路(不図示)が搭載されており、陽極102及び陰極105はそれぞれ補助配線を介して、駆動回路に接続される。この駆動回路から有機EL素子110に電流を供給することにより、有機EL素子110が発光して所望の画像を表示することができる。   A plurality of organic EL elements 110 are provided on the substrate 101, and a region where the organic EL elements 110 are formed becomes a display region. On the substrate 101, auxiliary wiring for supplying a signal to each organic EL element 110 is further provided. In FIG. 1, a portion of the auxiliary cathode wiring 109 connected to the cathode 105 is illustrated. The anode 102 and the cathode 105 of the organic EL element 110 are connected to respective auxiliary wirings, and these auxiliary wirings are extended outside the adhesive 108. A driving circuit (not shown) is mounted on the end of the substrate 101, and the anode 102 and the cathode 105 are each connected to the driving circuit via auxiliary wiring. By supplying a current from the drive circuit to the organic EL element 110, the organic EL element 110 can emit light and display a desired image.

対向基板106は、パネル中に水分や酸素が入らないように設けられる。対向基板106としては、ステンレス、アルミニウム又はその合金などの金属類のほか、ガラス、アクリル系樹脂などの1種類又は、2種類以上からなるものを使用することができる。対向基板106と基板101は接着剤108によってシールされ、対向基板106と基板101の間に封止空間(領域)が形成されている。封止空間内には、有機EL素子110の他、有機EL素子110への水分や酸素の影響を抑制し安定した発光特性を維持するための粘性吸湿部材107が配設されている。粘性吸湿部材107は、対向基板106上、有機EL素子110と対向する面上に配設されている。   The counter substrate 106 is provided so that moisture and oxygen do not enter the panel. As the counter substrate 106, in addition to metals such as stainless steel, aluminum, or an alloy thereof, one or two or more types such as glass and acrylic resin can be used. The counter substrate 106 and the substrate 101 are sealed with an adhesive 108, and a sealing space (region) is formed between the counter substrate 106 and the substrate 101. In addition to the organic EL element 110, a viscous moisture absorbing member 107 for suppressing the influence of moisture and oxygen on the organic EL element 110 and maintaining stable light emission characteristics is disposed in the sealed space. The viscous moisture absorbing member 107 is disposed on the counter substrate 106 and on the surface facing the organic EL element 110.

本形態の粘性吸湿部材107は、所定の粘性を有する吸湿部材である。粘性吸湿部材107は、吸着剤が流動しない程度の粘性を有する。クリーム状あるいはゲル状で塗布面に粘着するものである。吸着剤としては、活性アルミナ、モレキュラシーブス、酸化カルシウム及び酸化バリウム等の物理的あるいは化学的に水分を吸着するものが使用される。粘性吸湿部材107は、例えば、フッ素系オイルからなる不活性液体中に所定量の吸着剤を混合して構成する、あるいは、フッ素系ゲルなどの不活性のゲル状部材に所定量の吸着剤を混合することで得られる。フッ素系オイルとしては、例えば、ポリ・トリフルオロ・クロルエチレン、ポリ・フルオロアルキレングリコール等がある。粘性吸湿部材107は、対向基板106に形成された凹部の内部側面と接触しないように、一定の間隔dを設けて配設されている。   The viscous hygroscopic member 107 of this embodiment is a hygroscopic member having a predetermined viscosity. The viscous hygroscopic member 107 has such a viscosity that the adsorbent does not flow. It adheres to the coated surface in the form of cream or gel. As the adsorbent, one that physically or chemically adsorbs moisture, such as activated alumina, molecular sieves, calcium oxide, and barium oxide, is used. For example, the viscous moisture absorbing member 107 is configured by mixing a predetermined amount of an adsorbent in an inert liquid made of fluorinated oil, or a predetermined amount of adsorbent is added to an inert gel-like member such as a fluorinated gel. It is obtained by mixing. Examples of the fluorine-based oil include poly-trifluoro-chloroethylene, poly-fluoroalkylene glycol, and the like. The viscous hygroscopic member 107 is disposed with a constant interval d so as not to contact the inner side surface of the recess formed in the counter substrate 106.

また例えば、シリコン系オイルからなる不活性液体や不活性のゲル状部材中に所定量の吸着剤を混合して粘性吸湿部材107を構成することもできる。このシリコン系オイルとして、メチルポリシロキサン、オクタメチルトリシロキサン、デカメチルテトラシロキサン等のジメチルシリコン類、デカメチルシクロペンタシロキサン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、環状構造のポリメチルシロキサン等の環状ジメチルシリコン類、メチルフェニルポリシロキサン等のメチルフェニルシリコン類やメチル基の他フェニル基を持つポリシロキサンがある。   For example, the viscous moisture absorbing member 107 can be configured by mixing a predetermined amount of adsorbent in an inert liquid or an inert gel-like member made of silicon-based oil. As this silicone oil, dimethylsilicones such as methylpolysiloxane, octamethyltrisiloxane, decamethyltetrasiloxane, cyclic dimethylsilicones such as decamethylcyclopentasiloxane, octamethylcyclotetrasiloxane, and polymethylsiloxane having a cyclic structure, There are methylphenyl silicons such as methylphenylpolysiloxane and polysiloxanes having a phenyl group in addition to a methyl group.

他のシリコン系オイルとして、トリメチルシロキシケイ酸やこれを含有するメチルポリシロキサン、ポリオキシエチレン/メチルポリシロキサン共重合体、ポリ(オキシエチレン、オキシプロピレン)メチルポリシロキサン共重合体等のポリエーテル変性シリコン、メチルホイドロジェンポリシロキサン等がある。シリコン系オイルと吸着材との混合比は、例えば、シリコン系オイルと吸着材とが分離しないように、25〜60wt%程度とすることができる。好ましくは、この混合比は、40〜60wt%程度であり、この場合には、チクソ性を高めることができる。より好ましくは、この混合比は、50〜60wt%程度であり、ディスペンサで安定して塗布することができる。また、本実施形態においては、シリコン系オイルを用いた粘性吸湿部材107の一例として、ジメチルポリシロキサン(信越化学工業株式会社製)7.0gとモレキュラシーブス8.5gの55wt%が混合された材料を用いて、分離せず、チクソ性の高い粘性吸湿部材107をディスペンサを用いて安定した塗布を行うことができた。   Other silicone oils such as trimethylsiloxysilicic acid and methyl-modified polysiloxane, polyoxyethylene / methylpolysiloxane copolymer, poly (oxyethylene, oxypropylene) methylpolysiloxane copolymer, etc. There are silicon, methylhydrogen polysiloxane and the like. The mixing ratio of the silicon-based oil and the adsorbent can be, for example, about 25 to 60 wt% so that the silicon-based oil and the adsorbent are not separated. Preferably, the mixing ratio is about 40 to 60 wt%, and in this case, thixotropy can be enhanced. More preferably, the mixing ratio is about 50 to 60 wt% and can be stably applied by a dispenser. In this embodiment, as an example of the viscous moisture absorbing member 107 using silicon-based oil, a material in which 7.0 g of dimethylpolysiloxane (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) and 55 wt% of molecular sieves 8.5 g are mixed. Thus, it was possible to stably apply the viscous hygroscopic member 107 having high thixotropy without using a dispenser.

次に、本発明に係る有機EL表示装置の製造方法について図2を用いて説明する。図2は、有機EL表示装置の製造工程を示すフローチャートである。有機EL表示装置は画素となる有機EL素子110を複数配置した構造になっている。有機EL表示装置は、有機EL素子110が形成された素子基板と有機EL素子を封止するための対向基板とを有する有機ELパネル100と、有機EL素子110に駆動信号を供給する駆動回路とを備えている。   Next, the manufacturing method of the organic EL display device according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a flowchart showing a manufacturing process of the organic EL display device. The organic EL display device has a structure in which a plurality of organic EL elements 110 serving as pixels are arranged. The organic EL display device includes an organic EL panel 100 having an element substrate on which the organic EL element 110 is formed and a counter substrate for sealing the organic EL element, and a drive circuit that supplies a drive signal to the organic EL element 110. It has.

まず、有機EL素子110を形成するガラスなどよりなる基板101を用意する(ステップS101)。その基板101上に、陽極材料を成膜する(ステップS102)。陽極材料は、ITOなどの透明導電性薄膜からなる。また、この陽極材料は、例えば蒸着法やスパッタリング法により基板上に均一性よく成膜される。その後、フォトリソグラフィーおよびエッチングにより所定のパターン形状にパターニングされ(ステップS103)、このパターンが陽極102となる。   First, a substrate 101 made of glass or the like for forming the organic EL element 110 is prepared (step S101). An anode material is deposited on the substrate 101 (step S102). The anode material is made of a transparent conductive thin film such as ITO. The anode material is formed on the substrate with good uniformity by, for example, vapor deposition or sputtering. Thereafter, it is patterned into a predetermined pattern shape by photolithography and etching (step S103), and this pattern becomes the anode 102.

次に、陽極102上に補助配線材料(不図示)を成膜する(ステップS104)。補助配線材料はAlあるいはAl合金などの低抵抗な金属材料が用いられ、蒸着法、スパッタリング法などによって成膜することができる。さらに下地との密着性を向上させるため、あるいは腐食を防止するために、Al膜の下層又は上層にTiNやCr等のバリア層を形成して補助配線を積層構造としてもよい。このバリア層も蒸着あるいはスパッタにより形成できる。   Next, an auxiliary wiring material (not shown) is formed on the anode 102 (step S104). As the auxiliary wiring material, a low-resistance metal material such as Al or an Al alloy is used, and can be formed by a vapor deposition method, a sputtering method, or the like. Further, in order to improve adhesion to the base or prevent corrosion, a barrier layer such as TiN or Cr may be formed in the lower layer or upper layer of the Al film to form the auxiliary wiring in a laminated structure. This barrier layer can also be formed by vapor deposition or sputtering.

次に、この補助配線材料をフォトリソグラフィー及びエッチングによりパターニングして、補助配線パターンを形成する(ステップS105)。エッチングには燐酸、酢酸、硝酸等の混合溶液よりなるエッチング液を使用することができる。なお、陽極材料と補助配線材料とを順に成膜し、その後に補助配線材料と陽極材料を順番にパターニングすることも可能である。陽極102および後に形成される陰極105は、この補助配線パターンを介して、基板の端部に搭載されている駆動回路に接続され、信号が供給される。   Next, this auxiliary wiring material is patterned by photolithography and etching to form an auxiliary wiring pattern (step S105). For the etching, an etching solution made of a mixed solution of phosphoric acid, acetic acid, nitric acid or the like can be used. It is also possible to form the anode material and the auxiliary wiring material in order, and then pattern the auxiliary wiring material and the anode material in order. The anode 102 and the cathode 105 to be formed later are connected to a drive circuit mounted on the end portion of the substrate through this auxiliary wiring pattern, and a signal is supplied.

次に、陽極102の上に、絶縁層103を形成する(ステップS106)。この絶縁層103は例えばポリイミドなどの絶縁材料を用いることができる。この絶縁層103は、スピンコーティングによって成膜され、その後フォトリソグラフィー法などの手段によって所定のパターンに形成される。絶縁層103には、陽極102と後述する陰極105が交差する位置(すなわち表示画素が形成される位置)に開口部が設けられる。この開口部に有機EL層104が形成される。   Next, the insulating layer 103 is formed on the anode 102 (step S106). The insulating layer 103 can be made of an insulating material such as polyimide. The insulating layer 103 is formed by spin coating, and then formed into a predetermined pattern by means such as photolithography. The insulating layer 103 is provided with an opening at a position where the anode 102 and a cathode 105 described later intersect (that is, a position where a display pixel is formed). An organic EL layer 104 is formed in the opening.

次に、陰極105の分離のために、隔壁を形成する(ステップS107)。隔壁には、例えば、ノボラック樹脂をスピンコートして、フォトリソグラフィー工程でパターニングした後、光反応させて陰極隔壁を形成する。陰極隔壁が逆テーパ構造を有するようネガタイプの感光性樹脂を用いることが好ましい。このような構造にすると、その後、陰極105の蒸着時に蒸着源から見て陰になる部分は蒸着が及ばないため、陰極同士を分離することが可能になる。さらに、開口部のITO層の表面改質を行うために、酸素プラズマ又は紫外線を照射してもよい。   Next, a partition is formed for separation of the cathode 105 (step S107). For example, a novolac resin is spin-coated on the partition walls, patterned by a photolithography process, and then subjected to a photoreaction to form a cathode partition wall. It is preferable to use a negative type photosensitive resin so that the cathode partition has an inversely tapered structure. With such a structure, the cathode 105 can be separated from the cathode 105 because the portion that is shaded when viewed from the deposition source is not evaporated. Further, oxygen plasma or ultraviolet light may be irradiated in order to modify the surface of the ITO layer in the opening.

次に、絶縁層103の開口部に形成された陽極102上に、蒸着法、塗布法などにより、有機EL層104を積層する(ステップS108)。有機EL層104は正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子注入層などから構成されることが多い。ただし、これとは異なる層構成を有する場合もある。例えば、正孔注入層として銅フタロシアニン(CuPc)を用いることができる。また、正孔輸送層としてN,N'−ジ(ナフタレン−1−イル)−N,N'−ジフェニル−ベンジジン(α―NPD)を用いることができる。そして、発光層としては、トリス(8−キノリノラト)アルミニウム(Alq3)を、電子注入層としてはLiFを用いることができる。   Next, the organic EL layer 104 is laminated on the anode 102 formed in the opening of the insulating layer 103 by vapor deposition, coating, or the like (step S108). The organic EL layer 104 is often composed of a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron injection layer, and the like. However, it may have a different layer structure. For example, copper phthalocyanine (CuPc) can be used as the hole injection layer. Further, N, N′-di (naphthalen-1-yl) -N, N′-diphenyl-benzidine (α-NPD) can be used as the hole transport layer. Tris (8-quinolinolato) aluminum (Alq3) can be used as the light emitting layer, and LiF can be used as the electron injection layer.

次に、有機EL層104上に陰極105を形成する(ステップS109)。陰極105は、発光輝度を高めるために、Mg、MgAg、MgIn、Al、LiAlなどの光反射率の高い金属が使用されることが多い。スパッタリング法、イオンプレーティングなどの物理的気相成長法(PVD)で形成することができる。このように陽極102、絶縁層103、有機EL層104、陰極105を積層することによって、有機EL素子110が形成される。   Next, the cathode 105 is formed on the organic EL layer 104 (step S109). The cathode 105 is often made of a metal having high light reflectance such as Mg, MgAg, MgIn, Al, and LiAl in order to increase the emission luminance. It can be formed by physical vapor deposition (PVD) such as sputtering or ion plating. Thus, the organic EL element 110 is formed by stacking the anode 102, the insulating layer 103, the organic EL layer 104, and the cathode 105.

これらの工程により基板101上に複数の有機EL素子110が形成された素子基板が製造される。上述の工程は、典型的な有機ELパネルに用いられる素子基板の場合における一例である。   Through these steps, an element substrate having a plurality of organic EL elements 110 formed on the substrate 101 is manufactured. The above-described process is an example in the case of an element substrate used for a typical organic EL panel.

次に有機EL素子110を封止するための対向基板106の製造工程について説明する。対向基板106として、ステンレス、アルミニウム又はその合金などの金属類のほか、ガラス、アクリル系樹脂などの1種類又は、2種類以上からなる基板を用意する(ステップS201)。次に、対向基板106上に所定量の粘性吸湿部材107を配設する。つまり、まず、水分を極力取り除いた不活性ガス(例えばドライ窒素)やドライエアによるドライ雰囲気において、対向基板106上に粘性吸湿部材107を塗布する(ステップS202)。続いて対向基板106上に塗布された粘性吸湿部材107にガスを吹き付ける(ステップS203)。吹き付けるガスは不活性ガスが好ましく、特に窒素ガスが好ましい。なお、粘性吸湿部材107の配設方法(S202、S203)については、後に詳述する。   Next, a manufacturing process of the counter substrate 106 for sealing the organic EL element 110 will be described. As the counter substrate 106, in addition to metals such as stainless steel, aluminum, or an alloy thereof, a substrate made of one kind or two or more kinds such as glass and acrylic resin is prepared (step S201). Next, a predetermined amount of the viscous moisture absorbing member 107 is disposed on the counter substrate 106. That is, first, the viscous moisture absorbing member 107 is applied on the counter substrate 106 in a dry atmosphere with an inert gas (for example, dry nitrogen) or dry air from which moisture has been removed as much as possible (step S202). Subsequently, gas is blown onto the viscous moisture absorbing member 107 applied on the counter substrate 106 (step S203). The gas to be sprayed is preferably an inert gas, particularly nitrogen gas. In addition, the arrangement | positioning method (S202, S203) of the viscous moisture absorption member 107 is explained in full detail later.

次に、基板101と対向基板106を固着するための接着剤108を塗布する(ステップS204)。接着剤108は、ディスペンサを用いて、粘性吸湿部材107の外側に設けられ、表示領域の全周を囲むように対向基板106上に設けられる。接着剤108は、水分などの透過性の低いエポキシ樹脂系接着剤、光硬化性樹脂などを用いることができる。   Next, an adhesive 108 for fixing the substrate 101 and the counter substrate 106 is applied (step S204). The adhesive 108 is provided on the outside of the viscous moisture absorbing member 107 using a dispenser, and is provided on the counter substrate 106 so as to surround the entire periphery of the display area. As the adhesive 108, an epoxy resin adhesive having low permeability such as moisture, a photocurable resin, or the like can be used.

次に、粘性吸湿部材107を配設した対向基板106と、有機EL素子110を形成した基板101を貼り合わせて封止する(ステップS110)。両基板の位置合わせを行った後、加圧しながらUV光を照射することによって、接着剤108を硬化し、両基板を張り合わせることができる。このようにして有機ELパネル100を製造する。   Next, the counter substrate 106 provided with the viscous moisture absorbing member 107 and the substrate 101 on which the organic EL element 110 is formed are bonded and sealed (step S110). After aligning the two substrates, the adhesive 108 can be cured and the two substrates can be bonded together by irradiating UV light while applying pressure. In this way, the organic EL panel 100 is manufactured.

上述の工程により、基板101と対向基板106との間の空間は接着剤108により封止される。接着剤108によって画定される封止空間内には粘性吸湿部材107が配設されているため、水分などによる有機EL素子110の劣化を抑制することができる。   Through the above-described process, the space between the substrate 101 and the counter substrate 106 is sealed with the adhesive 108. Since the viscous moisture absorbing member 107 is disposed in the sealed space defined by the adhesive 108, the deterioration of the organic EL element 110 due to moisture or the like can be suppressed.

その後、駆動回路等を実装する(ステップS111)。基板101には接着剤108で囲まれた領域から外に補助配線が延設されている。補助配線の外側の端部には端子部が形成されており、この端子部に異方性導電フィルム(ACF)を貼付け、駆動回路が設けられたTCP(Tape Carrier Package)を接続する。この有機ELパネル100が筐体に取り付けられ、有機EL表示装置が完成する(ステップS112)。   Thereafter, a drive circuit and the like are mounted (step S111). On the substrate 101, auxiliary wiring is extended from the region surrounded by the adhesive 108. A terminal portion is formed at an outer end portion of the auxiliary wiring, and an anisotropic conductive film (ACF) is attached to the terminal portion to connect a TCP (Tape Carrier Package) provided with a drive circuit. The organic EL panel 100 is attached to the housing, and the organic EL display device is completed (step S112).

ここで、粘性吸湿部材107の配設方法(ステップS202、S203)について図3、図4、図5を参照して説明する。図3は、粘性吸湿部材107の塗布装置200を示す模式的概略図である。   Here, the arrangement method (steps S202 and S203) of the viscous hygroscopic member 107 will be described with reference to FIGS. 3, 4, and 5. FIG. FIG. 3 is a schematic schematic view showing a coating device 200 for the viscous moisture absorbing member 107.

塗布装置200は、対向基板106を搭載するステージ201と、粘性を有する粘性吸湿部材107を塗布するためのディスペンサ202を備えており、このディスペンサ202は、粘性吸湿部材107を吐出するニードル203を備えている。また、塗布装置200は、ニードル203の吐出口から吐出される粘性吸湿部材107にガスを吹き付けるノズル204を備えている。また、塗布装置200は、アクチュエータやサーボモータなどからなるX−Y−Z移動手段205を備えており、ディスペンサ202およびノズル204を任意の位置および高さに移動できる。さらに、粘性吸湿部材107の吐出量やディスペンサ202の位置及び移動速度、またガスの吹き付け位置などを制御できる制御装置206を備えている。   The coating apparatus 200 includes a stage 201 on which the counter substrate 106 is mounted, and a dispenser 202 for applying a viscous hygroscopic member 107 having viscosity. The dispenser 202 includes a needle 203 that discharges the viscous hygroscopic member 107. ing. In addition, the coating apparatus 200 includes a nozzle 204 that blows gas onto the viscous moisture absorbing member 107 that is discharged from the discharge port of the needle 203. In addition, the coating apparatus 200 includes an XYZ moving unit 205 including an actuator, a servo motor, and the like, and can move the dispenser 202 and the nozzle 204 to an arbitrary position and height. Further, a control device 206 capable of controlling the discharge amount of the viscous moisture absorbing member 107, the position and moving speed of the dispenser 202, the gas blowing position, and the like is provided.

まず、ステージ201に対向基板106を載せる。そして、前記X−Y−Z移動手段205によって、ディスペンサ202を下降させて、ニードル203と対向基板106とが所定の距離になるようにニードル203を対向基板106に近接配置させる。次に、ニードル203の吐出口から粘性を有する粘性吸湿部材107を吐出させ、対向基板106上に塗布する。そして、X−Y−Z移動手段205によって、ニードル203を対向基板106との距離をほぼ一定に保ちながら、塗布終点位置まで平行移動させることで、粘性吸湿部材107を塗布することができる。   First, the counter substrate 106 is placed on the stage 201. Then, the dispenser 202 is lowered by the XYZ moving means 205, and the needle 203 is disposed close to the counter substrate 106 so that the needle 203 and the counter substrate 106 are at a predetermined distance. Next, the viscous moisture absorbing member 107 having viscosity is discharged from the discharge port of the needle 203 and applied onto the counter substrate 106. Then, the viscous hygroscopic member 107 can be applied by moving the needle 203 parallel to the application end point position while keeping the distance from the counter substrate 106 substantially constant by the XYZ moving means 205.

塗布される粘性吸湿部材107の対向基板106上の位置、吐出量、ディスペンサ202の移動速度などは制御装置206によって任意に設定することができ、制御装置206から出力される制御信号によって制御される。この塗布始点位置から塗布終点位置までの間、粘性吸湿部材107は常に吐出され、対向基板106上に連続的に塗布される。塗布終点位置まで移動したところで、粘性吸湿部材107の吐出及びディスペンサ202の移動を停止する。停止位置においてディスペンサ202を上昇させて粘性吸湿部材107とニードル203を切り離す。ディスペンサ202の上昇の開始前あるいはディスペンサ202の上昇中に、粘性吸湿部材107の塗布終端部にノズル204からガスを吹き付ける。   The position of the viscous moisture absorbing member 107 to be applied on the counter substrate 106, the discharge amount, the moving speed of the dispenser 202, and the like can be arbitrarily set by the control device 206, and are controlled by a control signal output from the control device 206. . The viscous hygroscopic member 107 is always discharged from the application start point position to the application end point position, and is continuously applied on the counter substrate 106. When moving to the application end point position, the discharge of the viscous moisture absorbing member 107 and the movement of the dispenser 202 are stopped. At the stop position, the dispenser 202 is raised and the viscous hygroscopic member 107 and the needle 203 are separated. Before starting the raising of the dispenser 202 or during the raising of the dispenser 202, a gas is blown from the nozzle 204 to the application end portion of the viscous moisture absorbing member 107.

このとき、塗布終点位置において、ガス吹き付けを行わず、そのまま上昇させると、粘性を持った粘性吸湿部材107は、ニードル203の先端に引きずられ、ツノがたったり、糸引きを起こしたりする。この状態で、封止を行うと、有機EL素子110と粘性吸湿部材107とのツノ部の接触から、ムラなどの表示不良を引き起こしてしまう。また、糸引きにより粘性吸湿部材107が素子基板と対向基板の接着部への侵入から、貼り合わせに不具合が生じたりする。そこで、ディスペンサ202を上昇させるときに、ニードル203の粘性吸湿部材107の吐出口に向けてノズル204からガスを吹き付けることによって、粘性を持った粘性吸湿部材107のツノ又は糸引きを防止する。   At this time, if the gas is not blown at the application end point position and is raised as it is, the viscous hygroscopic member 107 having viscosity is dragged to the tip of the needle 203, causing horns or stringing. If sealing is performed in this state, display defects such as unevenness are caused by contact between the horn portions of the organic EL element 110 and the viscous moisture absorbing member 107. Further, the sticking of the viscous hygroscopic member 107 to the bonding portion between the element substrate and the counter substrate may be caused by stringing due to stringing. Therefore, when the dispenser 202 is raised, gas is blown from the nozzle 204 toward the discharge port of the viscous hygroscopic member 107 of the needle 203, thereby preventing horn or stringing of the viscous hygroscopic member 107 having viscosity.

上記の粘性吸湿部材107の形状について、図4を参照して説明する。図4は、対向基板106に塗布装置200を用いて粘性吸湿部材107を塗布した状態を説明する図である。図4(a)は、塗布終点位置において、ガスの吹き付けなしでニードル203を上昇させ、粘性吸湿部材107とニードル203を切り離した場合の粘性吸湿部材107の断面形状を示す図であり、図4(b)は、ニードル203を上昇させるときに、ニードル203の粘性吸湿部材107の吐出口にガスの吹き付けを行った場合の粘性吸湿部材107の断面形状を示す図である。   The shape of the viscous hygroscopic member 107 will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a diagram illustrating a state where the viscous moisture absorbing member 107 is applied to the counter substrate 106 using the coating apparatus 200. FIG. 4A is a diagram showing a cross-sectional shape of the viscous moisture absorbing member 107 when the needle 203 is raised without blowing gas at the application end point position and the viscous moisture absorbing member 107 and the needle 203 are separated. (B) is a figure which shows the cross-sectional shape of the viscous hygroscopic member 107 at the time of raising the needle 203, when gas is sprayed on the discharge port of the viscous hygroscopic member 107 of the needle 203. FIG.

図4(a)に示すように、塗布終点位置において、ガス吹き付けを行わず、そのまま上昇させると、粘性を持った粘性吸湿部材107はニードル203の先端に引きずられ、ツノが形成されあるいは糸引きを起こす。そこで、ディスペンサ202の上昇時に、ノズル204からガスの吹き付けを行う。ガスが吹き付けられることによって粘性吸湿部材107の塗布終端部の厚みが小さくなり、ツノの形成もしくは糸引きを防止することができる。(図4(b))。   As shown in FIG. 4A, when the gas is not blown at the application end point position and is lifted as it is, the viscous hygroscopic member 107 having viscosity is dragged to the tip of the needle 203 to form a horn or to draw the string. Wake up. Therefore, gas is blown from the nozzle 204 when the dispenser 202 is raised. By blowing the gas, the thickness of the application end portion of the viscous hygroscopic member 107 is reduced, and the formation of horns or stringing can be prevented. (FIG. 4B).

従来、粘性を有する吸湿部材の糸引き、ツノ対応策としては、ニードル203の移動における移動終点位置の手前の塗布終点位置において粘性吸湿部材107の吐出(供給)を停止させ、この状態にてニードル203を移動終点まで移動させた後、ディスペンサ202(ニードル203)を上昇させていたが、特に、携帯電話のディスプレイのような小さな有機ELパネルの場合、粘性吸湿部材107を塗布する距離の不足から粘性吸湿部材107の塗布量が不足し、所定量塗布することができず、目的の吸湿性能が得られなかった。   Conventionally, as a countermeasure for stringing and horning of a viscous hygroscopic member, discharge (supply) of the viscous hygroscopic member 107 is stopped at the application end point before the movement end point in the movement of the needle 203, and in this state the needle The dispenser 202 (needle 203) was raised after moving the 203 to the end point of movement. In particular, in the case of a small organic EL panel such as a display of a mobile phone, the distance for applying the viscous moisture absorbing member 107 is insufficient. The application amount of the viscous hygroscopic member 107 was insufficient, and a predetermined amount could not be applied, and the desired hygroscopic performance could not be obtained.

本形態において、ガス吹き付けによって、いったん塗布された粘性吸湿部材107の厚みが制御される。このため、塗布終点位置においてそのままディスペンサ202(ニードル203)を上昇させることができる。すなわち、ニードル203の移動終点位置を粘性吸湿部材107の塗布終点位置と同じにすることができる。したがって、従来の粘性吸湿部材107の塗布終点位置からニードル203の移動終点までの間にも粘性吸湿部材107を塗布することができ、粘性吸湿部材107の塗布量を増加させることができる。   In this embodiment, the thickness of the viscous moisture absorbing member 107 once applied is controlled by gas blowing. For this reason, the dispenser 202 (needle 203) can be raised as it is at the application end point position. That is, the movement end point position of the needle 203 can be made the same as the application end point position of the viscous moisture absorbing member 107. Therefore, the viscous hygroscopic member 107 can be applied from the application end point position of the conventional viscous hygroscopic member 107 to the movement end point of the needle 203, and the application amount of the viscous hygroscopic member 107 can be increased.

また、図4(b)に示すように、粘性吸湿部材107の厚みtは、対向基板106の厚みTの90〜120%であることが好ましい。より好ましくは、95〜110%である。これによって、有機EL素子110への接触を確実に防止することができ、これに伴う表示特性の劣化を抑制することができる。   Further, as shown in FIG. 4B, the thickness t of the viscous moisture absorbing member 107 is preferably 90 to 120% of the thickness T of the counter substrate 106. More preferably, it is 95 to 110%. As a result, contact with the organic EL element 110 can be reliably prevented, and deterioration of display characteristics associated therewith can be suppressed.

ノズル204からのガス吹き付けは、粘性吸湿部材107とニードル203を切り離した後に行うこともできる。粘性吸湿部材107の塗布終了後に、塗布終点位置にてディスペンサ202(ニードル203)をガス吹き付けなしで上昇させる。粘性吸湿部材107の塗布終端部のツノにガスを吹き付けることによって粘性吸湿部材107をならし、粘性吸湿部材107の厚みを小さくする。これによって、粘性吸湿部材107の厚みを対向基板106の内面と有機EL素子110の距離より小さくする、すなわち、粘性吸湿部材107の最大の厚みが、対向基板106と有機EL素子110との距離未満とすることができ、粘性吸湿部材107が有機EL素子110に接触することを防止することができる。なお、粘性吸湿部材107の塗布終端部に限らず、粘性吸湿部材107の厚み制御のために粘性吸湿部材107の他の部分にガスを吹き付けることも可能である。   The gas blowing from the nozzle 204 can also be performed after the viscous moisture absorbing member 107 and the needle 203 are separated. After the application of the viscous hygroscopic member 107 is completed, the dispenser 202 (needle 203) is raised without gas blowing at the application end point position. The viscous moisture absorbing member 107 is leveled by blowing gas to the horn at the application end of the viscous moisture absorbing member 107, and the thickness of the viscous moisture absorbing member 107 is reduced. Thereby, the thickness of the viscous moisture absorbing member 107 is made smaller than the distance between the inner surface of the counter substrate 106 and the organic EL element 110, that is, the maximum thickness of the viscous moisture absorbing member 107 is less than the distance between the counter substrate 106 and the organic EL element 110. And the viscous hygroscopic member 107 can be prevented from coming into contact with the organic EL element 110. In addition to the application terminal portion of the viscous hygroscopic member 107, gas can be blown to other portions of the viscous hygroscopic member 107 in order to control the thickness of the viscous hygroscopic member 107.

また、このガスの吹き付けは、塗布終点位置におけるツノ及び糸引きを防止するために限らず、粘性吸湿部材107の面積拡大のために行うことができる。図5は、塗布した粘性吸湿部材107の全体にガスを吹き付けた場合を説明するための図である。図5(a)及び(b)は、それぞれ、粘性吸湿部材107の形状を対向基板106の上部から見たときの図である。図5(a)は、塗布終点位置にのみガスを吹き付けた場合の粘性吸湿部材107の形状を、図5(b)は、塗布した粘性吸湿部材107全体にわたってガスを吹き付けたときの粘性吸湿部材107の形状を示している。   Moreover, this gas spraying can be performed not only for preventing the horn and stringing at the application end point position but also for expanding the area of the viscous moisture absorbing member 107. FIG. 5 is a view for explaining a case where gas is sprayed on the entire applied viscous moisture absorbing member 107. FIGS. 5A and 5B are views when the shape of the viscous moisture absorbing member 107 is viewed from above the counter substrate 106. FIG. 5A shows the shape of the viscous moisture absorbing member 107 when the gas is sprayed only at the application end point position, and FIG. 5B shows the viscous moisture absorbing member when the gas is sprayed over the entire applied viscous moisture absorbing member 107. The shape of 107 is shown.

図5(a)に示すように、粘性吸湿部材107を直線的に塗布する際、粘性吸湿部材107の長さをLとすると、Lは5〜80mmであることが好ましい。このようにすることによって、表示特性を維持するために必要な量の粘性吸湿部材107を配設することができる。   As shown in FIG. 5A, when the viscous hygroscopic member 107 is applied linearly, when the length of the viscous hygroscopic member 107 is L, L is preferably 5 to 80 mm. By doing so, it is possible to dispose the viscous moisture absorbing member 107 in an amount necessary for maintaining display characteristics.

粘性吸湿部材107にガスを吹き付けることによって粘性吸湿部材107の面積を拡大する場合、面積の拡大に伴い粘性吸湿部材107の厚みが減少するため、ディスペンサ202によって塗布される粘性吸湿部材107の厚みを大きくし、より多くの粘性吸湿部材107を塗布することができる。粘性吸湿部材107の塗布量を増加することによって吸湿性能を向上し、水分などによる欠陥をより効果的に抑制することができる。また、同じ塗布量であっても、その厚みを小さくすることができるため、粘性吸湿部材107と有機EL素子の接触をより確実に防止できる。   When the area of the viscous hygroscopic member 107 is expanded by blowing gas on the viscous hygroscopic member 107, the thickness of the viscous hygroscopic member 107 decreases as the area increases, so the thickness of the viscous hygroscopic member 107 applied by the dispenser 202 is reduced. It can be enlarged and more viscous hygroscopic members 107 can be applied. By increasing the application amount of the viscous moisture absorbing member 107, the moisture absorption performance can be improved, and defects due to moisture and the like can be more effectively suppressed. Moreover, even if it is the same application quantity, since the thickness can be made small, the contact of the viscous moisture absorption member 107 and an organic EL element can be prevented more reliably.

また、粘性吸湿部材107の面積を拡大する場合、例えば、厚みが1.1〜0.7mmの対向基板106に、深さが0.55〜0.35の凹部が設けられているとき、粘性吸湿部材107の面積Sを100〜2000mmとすることが好ましい。例えば、粘性吸湿部材107の面積Sを100mmとする場合、5mm×20mmで配設することができる。また、粘性吸湿部材107が対向基板106に形成された凹部の内部側面と接触しないように、一定の間隔dを設けて配設することが好ましい。このようにすることで、接着剤108の位置に粘性吸湿部材107が入り込むことがなく、対向基板106と有機EL素子が形成された基板101とを貼り合わせる際、確実に貼り合わせを行うことができる。 When the area of the viscous hygroscopic member 107 is enlarged, for example, when the counter substrate 106 having a thickness of 1.1 to 0.7 mm is provided with a recess having a depth of 0.55 to 0.35, the viscosity is increased. It is preferable that the area S of the hygroscopic member 107 is 100 to 2000 mm 2 . For example, when the area S of the viscous hygroscopic member 107 is 100 mm 2 , the viscous hygroscopic member 107 can be arranged at 5 mm × 20 mm. In addition, it is preferable that the viscous moisture absorbing member 107 is provided with a certain distance d so as not to contact the inner side surface of the recess formed in the counter substrate 106. By doing so, the viscous moisture absorbing member 107 does not enter the position of the adhesive 108, and when the counter substrate 106 and the substrate 101 on which the organic EL element is formed are bonded together, the bonding can be reliably performed. it can.

粘性吸湿部材107へのガスを吹き付けは、ディスペンサ202によって粘性吸湿部材107を塗布し終えた後に行うこと、あるいは、ディスペンサ202によって粘性吸湿部材107を塗布しながら粘性吸湿部材107へガスを吹き付けることが可能である。製造効率の観点からは、粘性吸湿部材107を塗布と同時に粘性吸湿部材107へガスを吹き付けることが好ましい。粘性吸湿部材107とガスの吹きつけを並行して行うことによって、粘性吸湿部材107の配設工程にかかる時間を短縮することができる。   The gas is blown onto the viscous hygroscopic member 107 after the application of the viscous hygroscopic member 107 by the dispenser 202, or the gas is blown onto the viscous hygroscopic member 107 while the viscous hygroscopic member 107 is being applied by the dispenser 202. Is possible. From the viewpoint of manufacturing efficiency, it is preferable to spray gas onto the viscous moisture absorbing member 107 simultaneously with the application of the viscous moisture absorbing member 107. By performing the viscous moisture absorbing member 107 and the gas blowing in parallel, the time required for the viscous moisture absorbing member 107 installation process can be shortened.

上記のように、本形態の粘性吸湿部材の配設工程は、塗布された粘性吸湿部材にガスを吹き付けて粘性吸湿部材の形状を変形する。これによって、粘性吸湿部材と有機EL素子との接触を防止する、あるいは、粘性吸湿部材の塗布量を増加することが可能となる。また、ガスにより粘性吸湿部材の変形は、ニードルなどの塗布手段を粘性吸湿部材から引き離すことによる粘性吸湿部材の望ましくない形状変化を避けることができる。   As described above, in the viscous hygroscopic member arrangement process of this embodiment, the shape of the viscous hygroscopic member is deformed by blowing gas to the applied viscous hygroscopic member. This makes it possible to prevent contact between the viscous hygroscopic member and the organic EL element, or to increase the application amount of the viscous hygroscopic member. In addition, the deformation of the viscous hygroscopic member due to the gas can avoid an undesirable shape change of the viscous hygroscopic member due to separation of the application means such as a needle from the viscous hygroscopic member.

なお、ニードル203の吐出口の形状は、円形状、矩形上など、どのような形状でもよい。また、本形態は粘性吸湿部材107の塗布にディスペンサ202を用いた例を示したが、例えば薬さじのような塗布手段を用いた手塗り塗布などに本発明を適用することも可能である。本形態の粘性吸湿部材の塗布は、有機ELパネルの製造に特に好適であるが、他の表示パネルの基板への粘性吸湿部材の塗布に適用することも可能である。   The shape of the discharge port of the needle 203 may be any shape such as a circular shape or a rectangular shape. Moreover, although this form showed the example which used the dispenser 202 for application | coating of the viscous moisture absorption member 107, it is also possible to apply this invention to the hand-painting application | coating etc. which used application | coating means, such as a medicine spoon. Application of the viscous hygroscopic member of this embodiment is particularly suitable for manufacturing an organic EL panel, but it can also be applied to application of a viscous hygroscopic member to a substrate of another display panel.

本実施形態にかかる有機ELパネルの模式的断面図である。It is a typical sectional view of the organic EL panel concerning this embodiment. 本実施形態にかかる有機ELパネルの製造工程を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing process of the organic electroluminescent panel concerning this embodiment. 本実施形態の粘性吸湿部材を塗布する塗布装置の模式的概略図である。It is a typical schematic diagram of an application device which applies a viscous hygroscopic member of this embodiment. 本実施形態の粘性吸湿部材の塗布状態を説明する図である。It is a figure explaining the application state of the viscous moisture absorption member of this embodiment. 本実施形態の粘性吸湿部材の塗布状態を説明する図である。It is a figure explaining the application state of the viscous moisture absorption member of this embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

100 有機ELパネル
101 基板
102 陽極
103 絶縁層
104 有機EL層
105 陰極
106 対向基板
107 粘性吸湿部材
108 接着剤
109 陰極補助配線
200 塗布装置
202 ディスペンサ
203 ニードル
204 ノズル
205 移動手段
206 制御装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Organic EL panel 101 Substrate 102 Anode 103 Insulating layer 104 Organic EL layer 105 Cathode 106 Opposite substrate 107 Viscous moisture absorbing member 108 Adhesive 109 Cathode auxiliary wiring 200 Coating device 202 Dispenser 203 Needle 204 Nozzle 205 Moving means 206 Control device

Claims (12)

第1の基板と、第2の基板と、前記第1の基板と前記第2の基板との間の封止空間内に形成された表示素子とを有する表示パネルの製造方法であって、
粘性吸湿部材を前記第2の基板上に塗布し、
前記第2の基板上に塗布された粘性吸湿部材に対してガスを吹き付け前記粘性吸湿部材の厚みを薄くし、
前記粘性吸湿部材が前記封止空間内に配置されるように、前記第1の基板と前記第2の基板を接着剤によってシールする、
表示パネルの製造方法。
A method for manufacturing a display panel, comprising: a first substrate; a second substrate; and a display element formed in a sealed space between the first substrate and the second substrate,
Applying a viscous hygroscopic member on the second substrate;
Blowing a gas against the viscous moisture absorbing member applied on the second substrate to reduce the thickness of the viscous moisture absorbing member;
Sealing the first substrate and the second substrate with an adhesive so that the viscous moisture absorbing member is disposed in the sealed space;
Manufacturing method of display panel.
前記表示素子は前記第1の基板上に形成されており、
前記粘性吸湿部材は、前記第2の基板の前記表示素子に対向する面上に塗布される、
請求項1に記載の表示パネルの製造方法。
The display element is formed on the first substrate;
The viscous moisture absorbing member is applied on a surface of the second substrate that faces the display element.
The manufacturing method of the display panel of Claim 1.
前記粘性吸湿部材が前記第1の基板上に形成された表示素子に接触しない厚みとなるように、前記第2の基板上に塗布された粘性吸湿部材に対してガスを吹き付ける、請求項2に記載の表示パネルの製造方法。   The gas is blown against the viscous moisture absorbing member applied on the second substrate so that the viscous moisture absorbing member has a thickness that does not contact a display element formed on the first substrate. The manufacturing method of the display panel of description. 前記粘性吸湿部材の塗布終端部の厚みが小さくなるようにガスを吹き付ける、請求項1、2又は3に記載の表示パネルの製造方法。   The display panel manufacturing method according to claim 1, wherein the gas is blown so that a thickness of an application terminal portion of the viscous moisture absorbing member is reduced. 第1の基板と、第2の基板と、前記第1の基板と前記第2の基板との間に形成された表示素子とを有する表示パネルの製造方法であって、
粘性吸湿部材を前記第2の基板上に塗布し、
前記第2の基板上に塗布された粘性吸湿部材にガスを吹き付けて前記粘性吸湿部材の形状を変形し、
前記第1の基板と前記第2の基板を接着剤によって固着する、
表示パネルの製造方法。
A method for manufacturing a display panel, comprising: a first substrate; a second substrate; and a display element formed between the first substrate and the second substrate,
Applying a viscous hygroscopic member on the second substrate;
The gas is blown onto the viscous moisture absorbing member applied on the second substrate to deform the shape of the viscous moisture absorbing member,
Fixing the first substrate and the second substrate with an adhesive;
Manufacturing method of display panel.
前記粘性吸湿部材にガスを吹き付けることによって、前記粘性吸湿部材の塗布面積を広げる、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の表示パネルの製造方法。   The method for manufacturing a display panel according to claim 1, wherein an application area of the viscous hygroscopic member is expanded by blowing a gas to the viscous hygroscopic member. 基板を載置するステージと、
前記ステージに対して相対的に移動し、前記ステージ上の基板に粘性吸湿部材を塗布するディスペンサと、
前記基板上に塗布された粘性吸湿部材にガスを吹き付けるノズルと、
を有する、粘性吸湿部材の塗布装置。
A stage on which a substrate is placed;
A dispenser that moves relative to the stage and applies a viscous hygroscopic member to the substrate on the stage;
A nozzle for blowing gas to the viscous moisture absorbing member applied on the substrate;
A device for applying a viscous moisture absorbing member.
前記ノズルは前記ディスペンサの吐出口に向けてガスを噴出する、請求項7に記載の粘
性吸湿部材の塗布装置。
The said nozzle ejects | emits gas toward the discharge outlet of the said dispenser, The coating device of the viscous moisture absorption member of Claim 7.
第1の基板の上に表示素子が形成され、前記表示素子を封止する第2の基板が前記第1の基板に固定されてなる表示パネルの製造方法であって、
粘性吸湿部材を前記表示素子に面する側の前記第2の基板の表面に直線的に塗布し、
塗布した後の前記粘性吸湿部材の端にガスを吹き付け、所定の厚み以下にする、
表示パネルの製造方法。
A display panel is formed by forming a display element on a first substrate, and a second substrate sealing the display element is fixed to the first substrate.
Applying a viscous hygroscopic member linearly to the surface of the second substrate facing the display element;
A gas is blown to the end of the viscous moisture-absorbing member after being applied, so that the thickness is not more than a predetermined thickness.
Manufacturing method of display panel.
前記粘性吸湿部材を塗布する際に直線的に塗布する距離が5〜80mmである請求項9に記載の表示パネルの製造方法。   The method for manufacturing a display panel according to claim 9, wherein a distance applied linearly when applying the viscous moisture absorbing member is 5 to 80 mm. 前記第2の基板の内面に平行な表面において、前記粘性吸湿部材を100〜2000mmの面積を占めるように塗布する、請求項9又は10に記載の表示パネルの製造方法。 11. The display panel manufacturing method according to claim 9, wherein the viscous moisture absorbing member is applied so as to occupy an area of 100 to 2000 mm 2 on a surface parallel to the inner surface of the second substrate. 厚みが1.1〜0.7mmの透明基板の一面に深さが0.55〜0.35mmの凹部が形成され、凹部に粘性部材が置かれ、粘性吸湿部材が凹部の内側面に接することなく配置され、透明基板の内表面に平行な粘性吸湿部材の表面の面積が100〜2000mmである封止用基板。 A recess having a depth of 0.55 to 0.35 mm is formed on one surface of a transparent substrate having a thickness of 1.1 to 0.7 mm, a viscous member is placed in the recess, and the viscous moisture absorbing member is in contact with the inner surface of the recess. A sealing substrate in which the surface area of the viscous moisture-absorbing member that is arranged without any gap and is parallel to the inner surface of the transparent substrate is 100 to 2000 mm 2 .
JP2004361788A 2004-07-30 2004-12-14 Method for manufacturing display panel and apparatus for coating viscosity and moisture-absorbing member Pending JP2006066366A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004361788A JP2006066366A (en) 2004-07-30 2004-12-14 Method for manufacturing display panel and apparatus for coating viscosity and moisture-absorbing member

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004223295 2004-07-30
JP2004361788A JP2006066366A (en) 2004-07-30 2004-12-14 Method for manufacturing display panel and apparatus for coating viscosity and moisture-absorbing member

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006066366A true JP2006066366A (en) 2006-03-09

Family

ID=36112643

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004361788A Pending JP2006066366A (en) 2004-07-30 2004-12-14 Method for manufacturing display panel and apparatus for coating viscosity and moisture-absorbing member

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006066366A (en)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100696556B1 (en) 2006-05-19 2007-03-19 삼성에스디아이 주식회사 OLED having moisture absorption layer on encapsulation substrate and fabrication method thereof
WO2011117094A1 (en) * 2010-03-22 2011-09-29 Saes Getters S.P.A. Composition for the protection of moisture sensitive devices
JP2014516768A (en) * 2011-04-11 2014-07-17 ノードソン コーポレーション System, nozzle and method for coating elastic strands
US9318714B2 (en) 2009-08-31 2016-04-19 UDC Ireland Material for organic electroluminescence device and organic electroluminescence device
US9368728B2 (en) 2010-04-23 2016-06-14 Udc Ireland Limited Material for organic electroluminescence device, and organic electroluminescence device
JP2020502746A (en) * 2016-12-15 2020-01-23 武漢華星光電技術有限公司Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co.,Ltd OLED display packaging method and OLED display
JP2020110758A (en) * 2019-01-10 2020-07-27 日本製粉株式会社 Gas ejection hand
CN114307566A (en) * 2020-10-09 2022-04-12 双叶电子工业株式会社 Desiccant composition, sealing structure, and organic EL element
KR20220140395A (en) * 2021-04-09 2022-10-18 (주)한양솔라에너지 Slot-die system with nitrogen Blowing device

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100696556B1 (en) 2006-05-19 2007-03-19 삼성에스디아이 주식회사 OLED having moisture absorption layer on encapsulation substrate and fabrication method thereof
US10243153B2 (en) 2009-08-31 2019-03-26 Udc Ireland Limited Material for organic electroluminescence device and organic electroluminescence device
US9318714B2 (en) 2009-08-31 2016-04-19 UDC Ireland Material for organic electroluminescence device and organic electroluminescence device
US8383006B2 (en) 2010-03-22 2013-02-26 Saes Getters S.P.A. Composition for the protection of moisture sensitive devices
WO2011117094A1 (en) * 2010-03-22 2011-09-29 Saes Getters S.P.A. Composition for the protection of moisture sensitive devices
US9368728B2 (en) 2010-04-23 2016-06-14 Udc Ireland Limited Material for organic electroluminescence device, and organic electroluminescence device
US10807114B2 (en) 2011-04-11 2020-10-20 Nordson Corporation System, nozzle and method for coating elastic strands
US10046352B2 (en) 2011-04-11 2018-08-14 Nordson Corporation System, nozzle and method for coating elastic strands
US10124362B2 (en) 2011-04-11 2018-11-13 Nordson Corporation System, nozzle and method for coating elastic strands
JP2014516768A (en) * 2011-04-11 2014-07-17 ノードソン コーポレーション System, nozzle and method for coating elastic strands
JP2020502746A (en) * 2016-12-15 2020-01-23 武漢華星光電技術有限公司Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co.,Ltd OLED display packaging method and OLED display
JP2020110758A (en) * 2019-01-10 2020-07-27 日本製粉株式会社 Gas ejection hand
JP7227013B2 (en) 2019-01-10 2023-02-21 株式会社ニップン gas ejection hand
CN114307566A (en) * 2020-10-09 2022-04-12 双叶电子工业株式会社 Desiccant composition, sealing structure, and organic EL element
KR20220140395A (en) * 2021-04-09 2022-10-18 (주)한양솔라에너지 Slot-die system with nitrogen Blowing device
KR102485504B1 (en) 2021-04-09 2023-01-05 (주)한양솔라에너지 Slot-die system with nitrogen Blowing device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4842470B2 (en) Organic electroluminescent device
EP1278244A2 (en) Panel display device and method for forming protective layer within the same
US8029684B2 (en) Self-emission panel and method of manufacturing the same
JP2009200062A (en) Organic el display panel and its manufacturing method
US9196874B2 (en) Structuring of OLEDs using stack modification layer comprising perfluorinated vacuum grease and/or perfluorinated vacuum pump oil
JP5266532B2 (en) Light emitting element
TW200920175A (en) Manufacturing method of display apparatus
JP2006066366A (en) Method for manufacturing display panel and apparatus for coating viscosity and moisture-absorbing member
JP2007194061A (en) Organic electroluminescent element and manufacturing method of the same
JP2005166266A (en) Organic el display and its manufacturing method
JP2011076759A (en) Manufacturing method of organic electroluminescent panel, and passivation layer film forming mask
JP2007012372A (en) Manufacturing method of optical device
KR100595167B1 (en) organic electroluminescence device with organic coating layer for preventing penetration of moisture
JP2006172837A (en) Sealing member, selfluminous panel and manufacturing method for selfluminous panel
JP4920001B2 (en) Organic device and manufacturing method thereof
JP2006066331A (en) Manufacturing method and device of organic el light-emitting element
JP2006073222A (en) Organic el display device and manufacturing method of organic el display device
JP2003208976A (en) Electroluminescent device and its manufacturing method, and electronic device
JP2005174842A (en) Organic el display and its manufacturing method
JP4398329B2 (en) Mask and method for manufacturing organic EL display device
WO2023112843A1 (en) Method for sealing organic el element, organic el element, organic el device and device for vehicles
JP4311433B2 (en) ORGANIC ELECTROLUMINESCENT DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING ORGANIC ELECTROLUMINESCENT DEVICE
JP2006236794A (en) Organic electroluminescence element and its manufacturing method
KR101362147B1 (en) Method For Fabricating Organic Thin Film Pattern And Method For Fabricating Organic Electro-luminescence Display Device Using The Same
JP2007323889A (en) Organic led element, and its manufacturing method