JP2006060899A - 圧電アクチュエータ - Google Patents

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Abstract

【課題】誤動作を防止することができ、安定的に駆動することができる圧電アクチュエータを提供すること。
【解決手段】補強板21および補強板21に積層された圧電素子22を有し、圧電素子22に交流電圧を印加することにより駆動されて振動する振動体2と、補強板21に設けられ、振動体2の振動により被駆動体Rに接触して被駆動体Rに駆動力を伝達する接触部3と、圧電素子22に前記交流電圧を印加する駆動電極12、13と、振動体2の振動時にて圧電素子22に誘起される電圧を検出する検出電極11、14とを有する圧電アクチュエータ1であって、検出電極11がアースに接続されていることを特徴とする。
【選択図】図1

Description

本発明は、圧電アクチュエータに関する。
従来、直線運動や回転運動する移動体(被駆動体)を駆動するために用いられる駆動装置として、駆動源として超音波モータを用いた圧電アクチュエータが知られている。
この圧電アクチュエータは、交流電圧を駆動電極に印加することにより励振する振動体の振動を被駆動体に伝達し、この振動により、被駆動体をガイドに沿って移動させ、振動体の振動時に誘起される電圧を検出電極により検出し、その検出結果に基づいて振動体への印加電圧を調整するよう構成されている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、従来の圧電アクチュエータでは、検出電極により検出される電圧(検出信号)に、駆動電極に印加された交流電圧が影響(重畳)し、圧電アクチュエータが誤動作を行うという問題があった。
特開2001−268953号公報
本発明の目的は、誤動作を防止することができ、安定的に駆動することができる圧電アクチュエータを提供することにある。
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の圧電アクチュエータは、補強板および該補強板に積層された少なくとも1つの圧電素子を有し、該圧電素子に交流電圧を印加することにより駆動されて振動する振動体と、
前記補強板に設けられ、前記振動体の振動により被駆動体に接触して被駆動体に駆動力を伝達する接触部と、
前記圧電素子に前記交流電圧を印加する少なくとも1対の駆動電極と、
前記振動体の振動時にて前記圧電素子に誘起される電圧を検出する少なくとも1対の検出電極とを有する圧電アクチュエータであって、
前記検出電極の一方の極がアースに接続されていることを特徴とする。
これにより、検出電極により検出される電圧に対する駆動電圧の影響を低減することができるため、誤動作を防止することができ、圧電アクチュエータを安定的に駆動することができる。
本発明の圧電アクチュエータでは、前記圧電素子の一方の表面に設けられた前記駆動電極と、他方の表面に設けられた前記検出電極とは、平面視で重ならないよう構成され、前記一方の表面に設けられた前記検出電極と、前記他方の表面に設けられた前記駆動電極とは、平面視で重ならないよう構成されていることが好ましい。
これにより、検出電極と駆動電極とがコンデンサ結合されることを容易かつ確実に防止することができるため、誤動作を防止することができ、圧電アクチュエータを安定的に駆動することができる。
本発明の圧電アクチュエータは、補強板および該補強板に積層された複数の圧電素子を有し、該圧電素子に交流電圧を印加することにより駆動されて振動する振動体と、
前記補強板に設けられ、前記振動体の振動により被駆動体に接触して被駆動体に駆動力を伝達する接触部と、
前記圧電素子のうちの所定の圧電素子の対向する1対の面に、それぞれ設けられ、前記圧電素子に前記交流電圧を印加する駆動電極と、
前記圧電素子のうちの所定の圧電素子の対向する1対の面に、それぞれ設けられ、前記振動体の振動時にて前記駆動電極が設けられた圧電素子に、それぞれ誘起される電圧を検出する検出電極とを有する圧電アクチュエータであって、
前記検出電極の一方の極がアースに接続されていることを特徴とする。
これにより、検出電極により検出される電圧に対する駆動電圧の影響を低減することができるため、誤動作を防止することができ、圧電アクチュエータを安定的に駆動することができる。また、消費電力の低減が図れる。
本発明の圧電アクチュエータでは、積層された前記複数の圧電素子の最外層の圧電素子の対向する1対の面に、それぞれ、前記駆動電極が設けられ、前記最外層の圧電素子の対向する1対の面のうちの少なくとも1方の面にアースに接続された前記検出電極が設けられていることが好ましい。
これにより、最外層の圧電素子を確実に駆動させることができ、圧電アクチュエータを効率よく駆動することができる。
本発明の圧電アクチュエータでは、積層された前記複数の圧電素子の最外層の圧電素子の対向する1対の面の一方の面に設けられた駆動電極と他方の面に設けられた前記検出電極とは、平面視で重ならないよう構成され、前記一方の面に設けられた前記検出電極と、前記他方の面に設けられた前記駆動電極とは、平面視で重ならないよう構成されていることが好ましい。
これにより、検出電極と駆動電極とがコンデンサ結合されることを容易かつ確実に防止することができるため誤動作を防止することができ、圧電アクチュエータを安定的に駆動することができる。
本発明の圧電アクチュエータでは、前記補強板は、金属で構成されていることが好ましい。
本発明の圧電アクチュエータでは、前記振動体は、複数の共振モードで同時に駆動されて振動するよう構成されていることが好ましい。
これにより、被駆動体を効率よく駆動することができる。
以下、本発明の圧電アクチュエータを添付図面に示す好適実施形態に基づいて詳細に説明する。
図1は、本発明の圧電アクチュエータの実施形態を示す斜視図、図2は、図1に記載した圧電アクチュエータを示す側面図、図3は、駆動電極および検出電極の配置を示す平面図、図4は、図1に記載した圧電アクチュエータを示す組立斜視図、図5は、被駆動体と圧電アクチュエータの接触部との関係を示す側面図である。
なお以下では、説明の都合上、図3中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」という。
この圧電アクチュエータ1は、振動体2と、接触部3、30と、腕部4と、駆動電極12、13と、検出電極11、14とを有する超音波モータである。この圧電アクチュエータ1では、駆動回路(図示省略)からの印加電圧により振動体2が振動し、接触部3が被駆動体Rを叩くことにより被駆動体Rが回転して駆動される。また、圧電アクチュエータ1は、検出電極11、14にて検出された電圧に基づき、その振動体2の振動を制御する。この圧電アクチュエータ1では、検出電極11、14が振動体2に対して所定の位置に設置されており、これにより、検出電極11、14により検出される電圧がより安定し、安定した駆動が可能となる。なお、この圧電アクチュエータ1では、被駆動体Rがロータその他の回転体であるが、これに限らず、被駆動体Rがスライダその他の並進体であっても良い。
また、接触部30は、圧電アクチュエータ1の振動時における圧電アクチュエータ1のバランスをとるためのバランサーとしての機能を有する。
振動体2は、厚みを有する略板状(長方形)形状をなしており、補強板21と、2つの圧電素子ユニット20、20とで構成されている。図2に示すように、この圧電素子ユニット20、20は、補強板21を介して一方が上側に設けられ、他方が下側に設けられている。また、圧電素子ユニット20の分極方向は、補強板21を挟んで対称に、例えば、一方の圧電素子ユニット20の電荷方向が最外層から補強板21の後述する接着層への方向であるとすると、他方の圧電素子ユニット20の電荷方向も最外層から補強板21との接着層への方向に設定されている。
補強板21の構成材料は、特に限定されず、例えば、ステンレス鋼、ニッケルパーマロイ等の金属や、アルミナ、ジルコニア等の酸化物や、カーボンファイバー等各種のものを用いることができる。なお、本実施形態では、振動体2は略板状であるが、本発明では、これに限定されないのは言うまでもない。
圧電素子ユニット20、20は、それぞれ、複数の圧電素子22a〜22dで構成されている。
圧電素子22a〜22dは、それぞれ、略長方形の板状形状をなし、厚み方向に電圧が印加されると平面方向に変形して伸縮する圧電特性を有する。
また、図4に示すように、圧電素子22a〜22dは、補強板21の表裏(上下)にそれぞれ4層ずつ積層して配置され、例えば、接着剤等により固着される。なお、これらの圧電素子22a〜22dの構成材料としては、特に限定されず、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT(商標))、水晶、ニオブ酸リチウム、チタン酸鉛、メタニオブ酸鉛、ポリフッ化ビニリデン、亜鉛ニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等各種のものを用いることができる。
また、2つの圧電素子ユニット20、20は、その構成が互いに同様であるので、以下では、代表的に、1つの圧電素子ユニット20について説明する。
図3(a)〜図3(e)および図4に示すように、圧電素子22dの上面(表面)には、電極パターン71が形成されており、圧電素子22cの上面には、電極パターン72が形成されており、圧電素子22bの上面には、電極パターン73が形成されており、圧電素子22aの上面には、電極パターン74が形成されており、圧電素子22aの下面には、パターン75が形成されている。すなわち、電極パターン72は、圧電素子22cと圧電素子22dに挟み込まれ、電極パターン73は、圧電素子22bと圧電素子22cとに挟み込まれ、電極パターン74は、圧電素子22aと圧電素子22bとに挟み込まれ、パターン75は、補強板21と圧電素子22aとに挟み込まれた構成となっている。
これらの電極パターン71、72は、所定間の間隙が設けられることによって複数の互いに絶縁された電極を有している。また、これらの電極パターン71〜74は、例えば、スクリーン印刷法、インクジェット印刷法等の各種塗布法や、スパッタリング法や、金属膜を形成した後、不要部分をエッチングにより除去する方法などにより形成される。かかる方法によれば、電極を比較的容易に圧電素子22上に形成することができる。
図3(a)に示すように、電極パターン71は、圧電素子22dの長辺を2分する中心軸Cを挟んで左側に設置される検出電極11、14、15と、右側に設置される駆動電極13と、その大部分が右側に設置される駆動電極12とで構成されている。
図3(b)に示すように、電極パターン72は、圧電素子22cの長辺を2分する中心軸Cを挟んで左側に設置される検出電極11と、その大部分が右側に設置される駆動電極12とで構成されている。なお、検出電極15は、本実施形態では使用されない。従って省略されていてもよい。このような構成にすることにより、検出電極11と、駆動電極12とが確実に絶縁される。また、平面視で電極パターン71の検出電極14と、電極パターン72の駆動電極12とが重ならないように構成され、また、平面視で電極パターン71の駆動電極12、13と、電極パターン72の検出電極11とが重ならないように構成されているため、検出電極11により検出される検出電圧は、駆動電極12に印加される駆動電圧の影響を受けることがなく、検出電極14と駆動電極12、13とがコンデンサ結合されることを容易かつ確実に防止することができ、精度の高い検出電圧が得られる。
また、電極パターン72が駆動電極12を有することにより、電極パターン72の(圧電素子22cの上面に設けられた)駆動電極12と、電極パターン73の(圧電素子22cの下面に設けられた)駆動電極13との間に駆動電圧を印加して、圧電素子22cを駆動させることができる。これにより、電極パターン72の全面を検出電極11で構成する場合と比較して、圧電素子22cを有効利用させることができ、より大きな駆動力が得られる。
図3(c)に示すように、電極パターン73は、駆動電極13で構成されている。この駆動電極13は接触部3、30に対応した形状となっている。これにより、振動体2の駆動時に、圧電素子22cに対して縦振動と屈曲振動とを同時に励振させることができ、振動部3が略楕円軌道を描く。
図3(d)に示すように、電極パターン74は、圧電素子22aの略全面に設けられた駆動電極12で構成されている。
電極パターン72〜74が、駆動電極12、13のうちの少なくとも一方を有することによって、圧電素子22b〜22dの全てが駆動可能になることにより、高い駆動力を得ることができる。
また、電極パターン71の駆動電極12、13は、導線91、92を介して駆動回路(外部回路)に接続されている。また、検出電極11、14は、導線81、82を介して検出回路(外部回路)に接続されている。
また、圧電アクチュエータ1は、例えば前述した塗布法等により圧電素子22の側面に形成された、側面電極17〜19を有している。
電極パターン71、72の各検出電極11は、この側面電極17を介して相互に導通している。また、電極パターン72、74の各駆動電極12は、この側面電極18を介して相互に導通している。また、電極パターン71、73の各駆動電極13は、この側面電極19を介して相互に導通している。
また、側面電極17、17は、それぞれ導線93、94によって接地されている。これにより、補強板21を介して互いに反対方向に設けられた検出電極11、11が、それぞれ側面電極17および導線93(導線94)を介してアースに接続される。なお、側面電極17、17を互いに接続して接地してもよい。
また、図2に示すように、各圧電素子ユニット20における後述する導通部53、53を互いに接続する導線95を介して圧電素子ユニット20、20における全ての電極12が互いに電気的に接続され、各圧電素子ユニット20における後述する導通部54、54を互いに接続する導線96を介して圧電素子ユニット20、20における全ての電極13が互いに電気的に接続されている。
これにより、圧電素子22a〜22dには、その厚み方向に駆動電圧を印加するための回路が構成される。また、かかる構成は、接続回路を簡易に構成できる点で好ましい。
また、パターン75は、駆動回路に接続されておらず、また、接地もされていない。したがって、この圧電素子22aは、上の三層(圧電素子22b〜22c)を補強板21に対して絶縁する絶縁層として機能する。これにより、上の三層のショートが抑止されて振動体2が好適に駆動されるので、電圧の検出が的確に為される利点がある。また、圧電素子22aは、上の三層を補強板21に対して接着する接着層として機能する。すなわち、電極パターン(電極パターン71〜74)を介して圧電素子22を補強板21に接着することが困難なので、1枚の圧電素子22aを接着層として挿入するものである。
なお、本実施形態は、4つの圧電素子22a〜22dで圧電素子ユニット20を構成したが、それに限られず、1層〜3層、5層以上の圧電素子22で圧電素子ユニット20を構成してもよい。また、5層以上の圧電素子22を用いた場合は、最外層の圧電素子22の表面に対して電極パターン71が形成され、最外層の圧電素子22と、最外層に対して1つ内層の圧電素子22との間に電極パターン72が形成され、以降内層に向かって圧電素子22と圧電素子22との間に電極パターン73と電極パターン74とが交互に繰り返して形成される。
接触部3、30は、長尺状をなし、それぞれ補強板21の対角線上の両方の短辺の端部に補強板21に対して一体的に形成され、接触部3は、その先端部にて被駆動体Rに対して当接する。したがって、この圧電アクチュエータ1では、接触部3、30が補強板21と同一材料で構成され、また、接触部3、30の設置強度が高められている。
また、接触部3、30の先端部は、接触部3、30の振動面方向(図2中左右方向)に対して略垂直な方向(図2中上下方向)に並ぶ2箇所Z1、Z2で被駆動体Rに接触している。本実施形態では、前記2箇所の間に凹部が形成されている。この凹部の凹面は、湾曲凹面形状をなしている。
ここで、「振動面方向」とは、接触部3の振動の軌跡により形成される方向を言う。
腕部4は、補強板21の長辺の中央部から腕状に突出して形成される。補強板21は、この腕部4にて、ベース(図示せず)に対してネジその他の固定手段41により固定設置される。このとき、振動体2は、固定手段41によりベースに対して水平に浮上した状態で支持される。また、被駆動体Rに対する接触部3の付勢力は、この固定手段41の調整(例えば、ネジの締め付け具合の調整)により、任意に調整可能である。
この圧電アクチュエータ1は、圧電素子22による複数の共振モード、本実施形態では圧電素子22の縦振動における共振点での振動および屈曲振動における共振点での振動による2つの共振モードを有している。振動体2は、この2つの共振モードで同時に駆動されて振動するよう構成されている。
圧電アクチュエータ1を駆動する際には、まず、駆動回路が、駆動電極12、13を介して圧電素子22に交流電圧を印加する。具体的には、圧電素子22には、その縦振動にかかる共振周波数と、その屈曲振動にかかる共振周波数との中間の周波数を有する交流電圧が印加される。圧電素子22に交流電圧が印加されると、圧電素子22は、その圧電特性により伸縮運動して、縦振動と屈曲振動との複合振動を行う。すると、接触部3が、圧電素子22の振動により、振動体2の平面視にて略楕円軌道を描くように運動する。これにより、接触部3が被駆動体Rを叩いて、被駆動体Rが所定方向に回転して駆動される。
一方、圧電アクチュエータ1の駆動時には、逆圧電効果により振動体2(圧電素子ユニット20、20)に誘起される誘起電圧が生じる。駆動回路は、この誘起電圧を検出電極11、14を介して検出すると共に、その検出結果に基づいて振動体2への印加電圧を調整する。これにより、振動体2の振動が、好適に制御される。
また、本実施形態の被駆動体Rの接触部3が接触する面は、湾曲凹面をなしている。この湾曲凹面の曲率は、接触部3に形成された湾曲凹面の曲率より小さいのが好ましい。このようにすることにより、以下の作用および効果が得られる。
駆動の際に、圧電アクチュエータ1が正常な状態で被駆動体Rを叩いているときは、図5に示すように接触部3は、図5中の位置A、すなわち接触部3の長手方向と被駆動体Rの半径方向とが略平行になる位置にある。この位置Aでは、接触部3の被駆動体Rとの接触点Z1、Z2とが被駆動体Rを駆動する力は釣り合っている。この状態において、圧電アクチュエータ1は、最も安定して被駆動体Rに対して駆動力を付与することができる。
ところが、何らかの外乱を受け、接触部3(圧電アクチュエータ1)の被駆動体Rに対しての接触部位が変化し、接触部3と被駆動体Rとの接触点Z1、Z2が、図5中位置Bに移動すると、接触点Z1より接触点Z2の当たりが強くなり(接触点Z2の摩擦力が大きくなり)、接触点Z2での駆動力が増大し、接触部3を図5中下側に寄せようとする力のベクトルF1がはたらく。これにより接触部3は位置Aに復帰する。
同様に、接触部3が位置Cに移動したときは、接触点Z2より接触点Z1の当たりが強くなり(接触点Z1の摩擦力が大きくなり)、接触点Z1での駆動力が増大し、接触部3を図5中上側に寄せようとする力のベクトルF2がはたらく。これにより接触部3は位置Aに復帰する。
すなわち外乱があっても被駆動体Rの位置A(被駆動体Rの凹部の底部)に復帰させようとする力F1やF2がはたらくため、被駆動体Rに対して接触部3の描く軌道が安定し、圧電アクチュエータをより効率よく駆動することができる。また、被駆動体Rを安定して駆動させることができる。
また、接触部3を前述した形状とすることにより、例えば、接触部3と被駆動体Rとの接触により生じる磨耗粉を容易かつ確実に除去することができる。
図1に示すように、本実施形態の圧電アクチュエータ1は、駆動電極12,13および
検出電極11、14のそれぞれ一部に、残部より厚みの厚い導通部51〜54、61、62を有している。駆動電極12、13の導通部51、52には、それぞれ導線91、92が例えば、半田等により接続されており、駆動回路は、導線91、92および導通部51、52を介して、駆動電極に対して電圧を印加する。
また、検出電極11、14の導通部61、62には、それぞれ導線81、82が例えば、半田等により接続されており、圧電素子22、22に誘起される電圧が、この導通部61、62を介して駆動回路に印加される。
すなわち、導通部51、52、61、62は、バンプや、パッドとしての機能を果たすものである。
このような構成とすることにより、例えば、導線91、92の駆動電極12、13への半田付けや導線81、82の検出電極11、14への半田付けの際に、各電極が圧電素子から剥離したり、溶けたりすることを容易かつ確実に防止することができる。また、各電極の全面(全部)をそれぞれ厚くしたときと比較して、圧電素子の振動損失を小さくすることができ、特に、電極厚さのバラツキに対する共振周波数の変動を小さくすることができる。
また、図4に示すように、導通部62、53、54は、側面電極17〜19にそれぞれ接合されている。本実施形態の圧電アクチュエータ1は、製造過程において、圧電素子を積層した後に側面電極を形成するが、導通部62、53、54を設けることにより、側面電極を形成する際に、各側面電極と各電極とが接触不良を起こすことを好適に防止することができる。また、振動体2の振動中に各側面電極と各電極とが接触不良を起こすことを好適に防止することができる。
この駆動電極12、13および検出電極11、14、15の導通部51〜54、61、62を除く厚さは、それぞれ、0.3〜5μm程度であるのが好ましく、1〜3μm程度であるのがより好ましい。これにより、振動時における振動損失を小さくすることができるため、被駆動体を効率よく駆動することができ、検出電極による検出される電圧の精度の低下を防止することができる。
また、導通部51〜54、61、62の平均厚さは、それぞれ10〜100μm程度が好ましく、20〜50μm程度であるのがより好ましい。これにより、振動時における振動損失を小さくすることができるため、被駆動体を効率よく駆動することができ、検出電極による検出される電圧の精度の低下を防止することができる。
さらに、導通部51〜54、61、62の厚みを例えば、レーザ等でトリミングすることで微調整することによって、縦振動と屈曲振動とによるそれぞれの共振周波数を調整(可変)して、適正な振動が生じるようにすることにより、被駆動体をより効率よく駆動することができる。
なお、縦振動と屈曲振動の周波数を調整する他の方法としては、各圧電素子ユニット20の各稜や辺を、それぞれ面取りする方法等が挙げられる。この方法では、補強板21に対する各圧電素子ユニット20接着前に、予め各圧電素子ユニット20の共振周波数をそれぞれ測定し、それに合わせて面取りの量を決定し、その後、補強板21に対して各圧電素子ユニット20をそれぞれ接着した後に面取りを行うことが好ましい。
また、駆動電極および検出電極は、それぞれ平面視における電極全体の面積に対して導通部の占める面積の比率が20〜80%程度であるのが好ましく、40〜70%程度であるのがより好ましい。これにより、振動時における振動損失を小さくすることができるため、被駆動体を効率よく駆動することができ、検出電極による検出される電圧の精度の低下を防止することができる。
なお、この圧電アクチュエータ1では、前述したように振動体2が圧電素子22a〜22dを積層して構成される。かかる積層型の振動体2では、単層型の振動体と比較して、駆動電極の面積を広く取ることができるため低電圧での駆動が可能であり、また、その駆動効率が高い。したがって、振動体2の駆動特性が安定化するので、検出電極11、14による電圧の検出が好適化される利点がある。しかし、これに限らず、振動体2は、単層型により構成されても良い。
また、この圧電アクチュエータ1では、検出電極14が、振動体2の最上面(最外層に位置する圧電素子22dの表面)にのみ設置され、他の位置、例えば、振動体2の内部などには設置されていない。これにより、振動体2の駆動特性が安定化するので、検出電極11、14により検出される電圧が安定する。
また、これに限らず、例えば、検出電極14は、振動体2内部に設置されても良い。
また、この圧電アクチュエータ1では、検出電極11が接地されているため、駆動電極12、13に印加される電圧が、検出電極14に漏れることを好適に防止することができる。これにより、検出電圧に対する駆動電圧の影響を小さくすることができ、検出電極11、14により検出される電圧の精度の低下を防止することにより、圧電アクチュエータ1の誤動作を好適に防止(または抑制)することができ、圧電アクチュエータを安定的に駆動することができる。
以上、本発明の圧電アクチュエータを、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。
また、本実施形態の圧電素子の形状は、厚みを有する略板状(長方形)形状をなしているが、本発明ではこれに限られないのは言うまでもない。
この本発明の圧電アクチュエータの実施形態を示す斜視図である。 図1に記載した圧電アクチュエータを示す側面図である。 駆動電極および検出電極の配置を示す平面図である。 図1に記載した圧電アクチュエータを示す組立斜視図である。 被駆動体と圧電アクチュエータの接触部との関係を示す側面図である。
符号の説明
1・・・圧電アクチュエータ、 2・・・振動体、 3、30・・・接触部、 4・・・腕部、 12、13・・・駆動電極、 11、14、15・・・検出電極、 17、18、19・・・側面電極、 20・・・圧電素子ユニット、 21・・・補強板、 22、22a〜22d・・・圧電素子、 41・・・固定手段、 51〜54・・・導通部、 61、62・・・導通部、 71〜74・・・電極パターン、 75・・・パターン、 81、82・・・導線、 91〜96・・・導線、 A、B、C・・・位置、 Z1、Z2・・・接触点、 R・・・被駆動体

Claims (7)

  1. 補強板および該補強板に積層された少なくとも1つの圧電素子を有し、該圧電素子に交流電圧を印加することにより駆動されて振動する振動体と、
    前記補強板に設けられ、前記振動体の振動により被駆動体に接触して被駆動体に駆動力を伝達する接触部と、
    前記圧電素子に前記交流電圧を印加する少なくとも1対の駆動電極と、
    前記振動体の振動時にて前記圧電素子に誘起される電圧を検出する少なくとも1対の検出電極とを有する圧電アクチュエータであって、
    前記検出電極の一方の極がアースに接続されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
  2. 前記圧電素子の一方の表面に設けられた前記駆動電極と、他方の表面に設けられた前記検出電極とは、平面視で重ならないよう構成され、前記一方の表面に設けられた前記検出電極と、前記他方の表面に設けられた前記駆動電極とは、平面視で重ならないよう構成されている請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
  3. 補強板および該補強板に積層された複数の圧電素子を有し、該圧電素子に交流電圧を印加することにより駆動されて振動する振動体と、
    前記補強板に設けられ、前記振動体の振動により被駆動体に接触して被駆動体に駆動力を伝達する接触部と、
    前記圧電素子のうちの所定の圧電素子の対向する1対の面に、それぞれ設けられ、前記圧電素子に前記交流電圧を印加する駆動電極と、
    前記圧電素子のうちの所定の圧電素子の対向する1対の面に、それぞれ設けられ、前記振動体の振動時にて前記駆動電極が設けられた圧電素子に、それぞれ誘起される電圧を検出する検出電極とを有する圧電アクチュエータであって、
    前記検出電極の一方の極がアースに接続されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
  4. 積層された前記複数の圧電素子の最外層の圧電素子の対向する1対の面に、それぞれ、前記駆動電極が設けられ、前記最外層の圧電素子の対向する1対の面のうちの少なくとも1方の面にアースに接続された前記検出電極が設けられている請求項3に記載の圧電アクチュエータ。
  5. 積層された前記複数の圧電素子の最外層の圧電素子の対向する1対の面の一方の面に設けられた駆動電極と他方の面に設けられた前記検出電極とは、平面視で重ならないよう構成され、前記一方の面に設けられた前記検出電極と、前記他方の面に設けられた前記駆動電極とは、平面視で重ならないよう構成されている請求項4に記載の圧電アクチュエータ。
  6. 前記補強板は、金属で構成されている請求項1ないし5のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
  7. 前記振動体は、複数の共振モードで同時に駆動されて振動するよう構成されている請求項1ないし6のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1928036A3 (en) * 2006-11-29 2009-10-14 Olympus Corporation Ultrasonic motor and microscope stage
US7635940B2 (en) 2006-11-29 2009-12-22 Olympus Corporation Ultrasonic motor and microscope stage
JP2010171360A (ja) * 2008-12-24 2010-08-05 Kyocera Corp 積層型圧電素子およびその製法ならびに振動体

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