JP2006060248A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 原版のパターンを基板上に投影する投影光学系を有し、前記投影光学系の最終面と前記基板との間隙に液体を満たした状態で、前記基板を露光する露光装置であって、
   前記基板を保持して移動する基板ステージと、
   複数の供給口から前記間隙に前記液体を供給する供給手段と、
   前記複数の供給口のそれぞれからの液体供給を行うか否かを切り替える開閉バルブと、を備え、
   基板の移動に伴って下方に基板が入ってくる供給ノズルに対応する開閉バルブを順次開くことを特徴とする露光装置。
2. 前記基板ステージに保持された前記基板の外側に設けられ、前記基板の上面と実質的に同じ高さの上面を有する同面板をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
3. 原版のパターンを基板上に投影する投影光学系を有し、前記投影光学系の最終面と前記基板との間隙に液体を満たした状態で、前記基板を露光する露光装置であって、
   前記基板を保持して移動する基板ステージと、
   複数の供給口から前記間隙に前記液体を供給する供給手段と、
   前記複数の供給口のそれぞれからの液体供給を行うか否かを切り替える開閉バルブと、
   前記基板ステージに保持された前記基板の外側に設けられ、前記基板の上面と実質的に同じ高さの上面を有し、移動する同面板と、を備え、
   移動する前記同面板の外縁に対応して前記複数の供給口のそれぞれからの液体供給を行うか否かを前記開閉バルブにより切り替えることを特徴とする露光装置。
4. 前記開閉バルブは、各々の前記供給ノズルの下方に前記基板が存在するか否かに基づいて、各々の前記供給ノズルによる液体供給を行うか否かを切り替えることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の露光装置。
5. 各々の前記供給口は、複数列に配置されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の露光装置。
6. 前記供給口の外側に配置された回収口から、前記間隙の前記液体を回収する回収手段をさらに備えることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の露光装置。
7. 前記供給手段は、バブルジェット(登録商標)ノズル、サーマルジェットノズルおよびピエゾジェットノズルのいずれかを含むことを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の露光装置。
8. 前記原版を保持して移動する原版ステージをさらに備え、
   前記原版および前記基板を前記投影光学系に対してスキャン移動させながら、前記原版のパターンを介して前記基板を露光することを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の露光装置。
9. 請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の露光装置を用いて基板を露光するステップと、
   前記ステップにおいて露光された前記基板を現像するステップと、を有することを特徴とするデバイス製造方法。