JP2006056060A - インクジェット記録装置及びインクジェット記録装置の検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】圧電ヘッドの静電容量を測定することが可能なインクジェット記録装置の検査方法を提供する。
【解決手段】ヘッド（スイッチＳＷｎのオン抵抗Ｒｄと静電容量Ｃｄ）と、ヘッドに直列に接続された電流検出抵抗Ｒｓと、オン抵抗Ｒｄと同一のヘッド外部に設けた抵抗Ｒｄ及び抵抗Ｒｄに直列に接続されヘッドの外部に設けたコンデンサＣと、コンデンサＣに直列に接続された電流検出抵抗Ｒｓとでブリッジ回路を構成し、抵抗Ｒｄとヘッド間に電圧ＶＳを印加し、２つの電流検出抵抗Ｒｓ間を接地する。ヘッドと電流検出抵抗Ｒｓ間、及びコンデンサＣと電流検出抵抗Ｒｓ間に差動増幅器を接続し、ブリッジ回路のコンデンサＣの可変容量ダイオードδＣを調節する静電容量自動調整回路に差動増幅器の出力を接続し、差動増幅器の出力が０（最小）となるように調節したときの可変容量ダイオードδＣに印加される電圧に基づいて圧電素子の静電容量を求める。
【選択図】図２

Description

本発明は、インクジェット記録装置及びインクジェット記録装置の検査方法にかかり、特に、圧電素子を用いてインクを吐出するインクジェット記録装置及び当該インクジェット記録装置の検査方法に関する。

近年、インク吐出口からインクを吐出する、いわゆるインクジェット記録装置は、小型で、安価である等の特徴から、多くのプリンターに用いられている。これらインクジェット方式の中でも、圧電素子の変形を利用してインクを吐出させるピエゾインクジェット方式等が高解像度、高速印字性などの観点から多く利用されている。

ピエゾ素子等の圧電素子の振動エネルギーを利用するインクジェット記録装置は、インク流路に設けられた圧電素子を画像情報に応じて振動させ、この圧電素子の歪みによってインク滴を形成する。圧電素子にかかる電圧の波形を制御することで、インク吐出口のメニスカスや吐出後のインクの再供給を制御することが可能であるため、高い周波数での駆動（インク吐出）と、インク滴の量を変化させた階調記録が可能となる。

このようなインクジェット記録装置における記録ヘッドの不具合の判定としては、各ノズルから正常にインクが吐出されるかを検出するものがある。例えば、特許文献１や特許文献２に記載の技術では、圧電素子の共振点の変化から不吐出ノズルを検出することが提案されている。詳細には、周波数を徐々に変化させて圧電素子の共振点を検出している。

また、この他に、圧電素子をインク吐出の駆動源としていない場合の記録ヘッドの不具合判定としては、特許文献３に記載の技術などが提案されている。
特開２０００−３５５１００号公報 特開２０００−３１８１８３号公報 特開２００３−１１８０９３号公報

しかしながら、従来の特許文献１や特許文献２に記載の技術では、周波数を徐々に変化させて圧電素子の共振周波数を検出しているため、共振点の検出に時間が掛かってしまう、という問題がある。

一方、このようなインクジェット記録装置における記録ヘッドの製造不良の原因には、圧電素子の割れ、欠け、振動板を接着する接着剤の厚さのばらつき、圧電素子と振動板とのずれなどがあるが、これらは何れも１ノズルの圧電素子とそれに対向する振動板によって構成される圧電ヘッドの静電容量の差異として検出することができる。

そこで、本発明は、上記事実を考慮して成されたもので、圧電ヘッドの静電容量を測定することが可能なインクジェット記録装置及び該インクジェット記録装置の検査方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために請求項１に記載のインクジェット記録装置は、圧電素子を有する圧電ヘッド、前記圧電ヘッドに直列に接続した第１抵抗と、前記圧電ヘッド外部に設けたコンデンサと、前記コンデンサに直列に接続した第２抵抗と、を含むブリッジ回路と、前記ブリッジ回路における前記圧電ヘッドと前記第１抵抗間、及び前記コンデンサと前記第２抵抗間に発生する差動電圧を増幅する差動増幅回路と、前記差動増幅回路によって増幅された前記差動電圧に基づいて前記圧電ヘッドの静電容量を測定する静電容量測定回路と、を含むことを特徴としている。

請求項１に記載の発明によれば、ブリッジ回路は、圧電ヘッド、圧電ヘッドに直列に接続した第１抵抗、圧電ヘッド外部に設けたコンデンサ、コンデンサに直列に接続した第２抵抗、を含んで構成されており、該ブリッジ回路における圧電ヘッドと第１抵抗間、及びコンデンサと第２抵抗間に発生する差動電圧が差動増幅回路によって増幅される。そして、静電容量測定回路では、差動増幅回路によって増幅された差動電圧に基づいて圧電ヘッドの静電容量が測定される。例えば、静電容量検出回路が、差動電圧が最小となるようにコンデンサの容量を調節することで、コンデンサと圧電ヘッドの容量が等価となるので、差動電圧が最小となるコンデンサの容量から圧電ヘッドの静電容量を測定することが可能となる。

なお、請求項２に記載の発明のように、コンデンサとして電気的に容量が可変可能な可変素子を適用し、静電容量測定回路が、差動増幅回路によって増幅された差動電圧が最小となるように可変素子の容量を調節する調節回路を含むようにしてもよい。このように、可変素子を用いることで容易に差動電圧が最小となるように調節ができる。また、調節回路を用いることで、可変素子の容量を自動的に調節することが可能となり、短時間で高速に圧電ヘッドの静電容量を測定することができる。

この時、請求項３に記載の発明のように、静電容量測定回路が、調節回路によって差動電圧が最小となるように調節された時の可変素子に印加される電圧を検出する電圧検出回路を更に含むようにしてもよい。このように電圧検出回路を含むことで、電圧検出回路によって検出された可変素子に印加される電圧から可変素子の容量を求めることができる。すなわち、圧電ヘッドが可変素子と等価の容量であるので、可変素子の容量を求めることで圧電ヘッドの容量を測定することができる。

請求項４に記載のインクジェット記録装置の検査方法は、圧電素子を有する圧電ヘッドによってインクを吐出するインクジェット記録装置の検査方法であって、前記圧電ヘッド、前記圧電ヘッドに直列に接続した第１抵抗、前記圧電ヘッド外部に設けたコンデンサ、及び前記コンデンサに直列に接続した第２抵抗を含むブリッジ回路を構成し、前記ブリッジ回路における前記圧電ヘッドと前記第１抵抗間、及び前記コンデンサと前記第２抵抗間に発生する差動電圧を増幅して、増幅した前記差動電圧に基づいて前記圧電ヘッドの静電容量を測定することを特徴としている。

請求項４に記載の発明によれば、圧電ヘッド、圧電ヘッドに直列に接続した第１抵抗、圧電ヘッド外部に設けたコンデンサ、及びコンデンサに直列に接続した第２抵抗を含むブリッジ回路を構成して、ブリッジ回路における圧電ヘッドと第１抵抗間、及びコンデンサと第２抵抗間に発生する差動電圧を増幅して、増幅した差動電圧に基づいて圧電ヘッドの静電容量を測定する。例えば、差動電圧が最小となるようにコンデンサの容量を調節することで、コンデンサと圧電ヘッドの容量が等価となるので、差動電圧が最小となるコンデンサの容量から圧電ヘッドの静電容量を測定することが可能となる。

なお、請求項５に記載の発明のように、コンデンサとして電気的に容量が可変可能な可変素子を適用し、差動電圧が最小となるように可変素子の容量を調節して、調節後の可変素子に基づいて圧電ヘッドの静電容量を求めるようにしてもよい。このように可変素子を用いることで容易に差動電圧が最小となるように調節ができると共に、自動的に差動電圧が最小となるように調節が可能となる。

この時、請求項６に記載の発明のように、圧電ヘッドの静電容量は、差動電圧が最小となるように調節した後の可変素子に印加される電圧を検出して、検出した電圧に基づいて求めるようにしてもよい。このようにすることで、差動電圧が最小となるように調節した後の可変素子に印加される電圧から可変素子の容量を求めることができる。すなわち、圧電ヘッドとが可変素子と等価の容量であるので、可変素子の容量を求めることで圧電ヘッドの容量を測定することができる。

以上説明したように本発明によれば、圧電素子からなる圧電ヘッドと、圧電ヘッドに直列に接続された第１抵抗と、該圧電ヘッド外部に設けたコンデンサと、コンデンサに直列に接続した第２抵抗と、を少なくとも含むブリッジ回路における圧電ヘッドと第１抵抗間、及びコンデンサと第２抵抗間に発生する差動電圧を増幅し、増幅した差動電圧に基づいて圧電ヘッドの静電容量を測定することで、圧電ヘッドの静電容量の測定が可能となる、いう効果がある。

以下、図面を参照して本発明の実施の形態の一例を詳細に説明する。

図１は、本発明の実施の形態に係わるインクジェット記録装置の１ノズルあたりのヘッド構造を示す図である。

ヘッド１０は、本発明の圧電ヘッドに対応し、インクタンク１２、供給路１４、圧力室１６、ノズル１８、及び圧電素子２０を有している。

インクタンク１２には、インクが蓄えられ、インクタンク１２に蓄えられたインクは、供給路１４を介して圧力室１６に供給され、圧力室１６を介してノズル１８にインクが供給される。

圧力室の１６の壁面は振動板１６Ａからなり、該振動板１６Ａに圧電素子２０が設けられており、圧電素子２０によって振動板１６Ａを振動させることで、圧力波が発生する。すなわち、圧電素子２０の振動によって発生する圧力波によって、インクタンク１２に蓄えられたインクが供給路１４、圧力室１６を介してノズル１８から吐出されるようになっている。

図２は、本発明の実施の形態に係わるヘッド１０の静電容量を測定する回路を示す図である。なお、図２に示すヘッド１０の静電容量を測定する回路は、インクジェット記録装置に搭載するようにしてもよいし、インクジェット記録装置の製造工程における検査工程等に組み込むようにしてもよいし、一部をインクジェット記録装置に組み込むようにしてもよい。

図２に示すように、ヘッド１０の静電容量を測定する回路は、交流電源２２が接続された駆動回路２４がヘッド１０を含むブリッジ回路２６に接続されている。ヘッド１０は、ノズル選択用のオン抵抗Ｒｄを含むアナログマルチプレクサからなるスイッチＳＷｎと、ヘッド等価回路（本実施形態ではヘッド１０の静電容量Ｃｄとする）が直列接続されて構成され、それぞれがノズル数分並列に接続されている。

ブリッジ回路２６は、ヘッド１０（スイッチＳＷｎのオン抵抗Ｒｄとヘッド１０の静電容量Ｃｄ）と、ヘッド１０に直列に接続された電流検出抵抗Ｒｓと、上記オン抵抗Ｒｄと同一のヘッド１０外部に設けた抵抗Ｒｄ及び該抵抗Ｒｄに直列に接続されヘッド１０の外部に設けたコンデンサＣと、該コンデンサＣに直列に接続された電流検出抵抗Ｒｓとで構成されており、抵抗Ｒｄとヘッド１０間に駆動回路２４が接続されると共に２つの電流検出抵抗Ｒｓ間が接地されて、駆動回路２４から駆動電圧ＶＳがブリッジ回路２６に印加されるようになっている。

上記コンデンサＣは、可変容量ダイオードδＣと、該可変容量ダイオードδＣと直列に接続された静電容量Ｃ１と、可変容量ダイオードδＣの直列接続に対して並列に接続された静電容量Ｃ０で構成されている。なお、静電容量Ｃ１は、可変容量ダイオードδＣに印加する直流電圧をブリッジ回路２６に流入させないためのカップリングコンデンサである。

また、ヘッド１０と電流検出抵抗Ｒｓ間、及びコンデンサＣと電流検出抵抗Ｒｓ間に差動増幅器２８が接続されており、ヘッド１０と電流検出抵抗Ｒｓ間から差動増幅器２８に電圧Ｖ１が印加され、コンデンサＣと電流検出抵抗Ｒｓ間から差動増幅器２８に電圧Ｖ２が印加される。

差動増幅器２８の出力端には、静電容量自動調節回路３０が接続されており、静電容量自動調節回路３０の出力端に、抵抗Ｒ０を介して上記コンデンサＣにおける静電容量Ｃ１と可変容量ダイオードδＣ間に接続されている。

静電容量自動調節回路３０は、詳細には、同期検波回路３２、平滑回路３４、誤差増幅回路３６、印加電圧検出手段３８、及び０［Ｖ］検出手段４０を含んで構成され、差動増幅器２８の出力端に、同期検波回路３２（詳細は後述）、平滑回路３４、及び誤差増幅回路３６が接続されている。また、誤差増幅回路３６の出力端が、抵抗Ｒ０を介して上記コンデンサＣにおける静電容量Ｃ１と可変容量ダイオードδＣ間に接続されていると共に印加電圧検出手段３８が接続されている。なお、抵抗Ｒ０は、可変容量ダイオードδＣに直流電圧を印加するための高抵抗であり、例えば、１００ｋΩ程度を適用する。

誤差増幅回路３６は、詳細には演算増幅器４２を含んで構成されており、演算増幅器４２のマイナス入力端子は抵抗Ｒ１を介して平滑回路３４に接続され、プラス入力端子は一端が接地された抵抗Ｒ４を接続されていると共に、抵抗Ｒ３とこれに直列に接続され一端が接地されている直流電源ＶＢが接続されている。また、演算増幅器４２のマイナス入力端子と出力端子間には抵抗Ｒ２が接続されている。なお、直流電源ＶＢは、可変容量ダイオードδＣに印加する基準電圧を示す。

さらに、差動増幅器２８の出力端には、差動増幅器２８の出力電位が０となったことを検出する０［Ｖ］検出手段４０が接続されている。

続いて、同期検波回路３２の詳細について説明する。図３は、同期検波回路３２の構成を示す図である。

同期検波回路３２は、２つのアナログスイッチＳＷ１、ＳＷ２、反転増幅器４４、減算器４６、及びコンパレータ４８で構成されている。

差動増幅器２８の出力端子にアナログスイッチＳＷ１が接続されると共に、反転増幅器４４を介してアナログスイッチＳＷ２が接続されており、２つのアナログスイッチＳＷ１、ＳＷ２は、それぞれ減算器４６に接続されている。

また、各アナログスイッチＳＷ１、ＳＷ２は、それぞれコンパレータ４８に接続されており、コンパレータ４８に入力される電位ＶＩに応じてスイッチのオンオフが制御されることで方形波信号ＳＷを生成し、減算器４６によって各アナログスイッチＳＷ１、ＳＷ２の出力を減算して後段に接続された平滑回路３４に出力するようになっている。

次に上述のように構成されたヘッド１０の静電容量Ｃｄを測定する回路においてヘッド１０の静電容量を測定する際の動作について説明する。なお、ヘッド１０の静電容量を測定する際には、測定対象のノズルのスイッチＳＷｎをオンして１つずつ測定するものとする。

交流電源から電圧ＶＩが駆動回路２４に入力されると、駆動回路２４から電圧ＶＳがブリッジ回路２６に入力される。これによって、差動増幅回路２８には、電圧Ｖ２と電圧Ｖ１が入力され、差動増幅回路２８の出力Ｖ０は、Ｖ０＝Ｖ１−Ｖ２となる。

この時、差動増幅器２８の出力電圧Ｖ０は、以下の（１）に示すようになる。

すなわち、差動増幅器２８の出力電圧Ｖ０は、（Ｃ０＋δＣ）＞Ｃｄならば駆動回路２４の入力電圧ＶＩと同相となり、（Ｃ０＋δＣ）＜Ｃｄならば駆動回路２８の入力電圧ＶＩと逆相となる。

次に、差動増幅器２８の出力電圧Ｖ０は同期検波回路３２に入力される。また、同期検波回路３２のコンパレータ４８には、駆動回路２４の入力と同様に電圧ＶＩが印加される。

同期検波回路３２では、コンパレータ４８に入力される電圧ＶＩが正の時にハイ（Ｈ）、負の時にロー（Ｌ）となる方形波信号ＳＷが生成され、アナログスイッチＳＷ１、ＳＷ２に出力される。なお、図４（Ａ）に電圧ＶＩ、図４（Ｂ）に電圧Ｖ０、及び図４（Ｃ）に方形波信号ＳＷを示す。

アナログスイッチＳＷ１、ＳＷ２では、方形波信号ＳＷがＨの時Ｖ０及び−Ｖ０信号を通過させる。これによって、図４（Ｄ）、（Ｅ）に示すような方形波信号が減算器４６に出力される。

減算器４６では、アナログスイッチＳＷ１、ＳＷ２のそれぞれの出力が減算され、（Ｃ０＋δＣ）＞Ｃｄならば負の半波整流波、（Ｃ０＋δＣ）＜Ｃｄならば正の半波整流波が出力される。なお、図４（Ｆ）に半波整流波を示す。

そして、減算器４６の出力が後段に接続された平滑回路３４に出力され、平滑回路３４によって半波整流波を平滑した直流電圧Ｖ３が誤差増幅回路３６に出力される。

誤差増幅回路３６では、Ｒ１×Ｒ２＝Ｒ３×Ｒ４とすると、誤差増幅回路３６の出力Ｖ４は、Ｖ４＝ＶＢ−（Ｒ３／Ｒ１）Ｖ３となる。

すなわち、（Ｃ０＋δＣ）＜Ｃｄの場合には、平滑回路３４の出力Ｖ３は正となり、誤差増幅回路３６の出力Ｖ４は可変容量ダイオードδＣに印加する基準電圧ＶＢより小さくなる。従って、可変容量ダイオードδＣへの印加電圧は下がり、可変容量ダイオードδＣが増加し、Ｃ０＋δＣはヘッド１０の静電容量Ｃｄに近づく。

また、（ＣＯ＋δＣ）＞Ｃｄの場合には、平滑回路３４の出力Ｖ３は負となり、誤差増幅回路３６の出力Ｖ４は可変容量ダイオードδＣに印加する基準電圧ＶＢより大きくなる。従って、可変容量ダイオードδＣへの印加電圧は上がり、可変容量ダイオードδＣが減少し、Ｃ０＋δＣはヘッド１０の静電容量Ｃｄに近づく。

なお、係数（Ｒ３／Ｒ１）は、Ｃ０＋δＣがＣｄに収束する速さを決定するための係数である。

このように、Ｃ０＋δＣがヘッド１０の静電容量Ｃｄに収束すると、差動増幅器２８の出力電圧Ｖ０は最小となり、０［Ｖ］に収束する。

ここで、０［Ｖ］検出手段４０によって、差動増幅器２８の出力電圧Ｖ０が０となったことが検出される。

この時、可変容量ダイオードδＣへの印加電圧が印加電圧検出手段３８によって検出され、検出された印加電圧から可変容量ダイオードδＣを算出することができる。そして、（Ｃ０＋δＣ）＝Ｃｄの関係、すなわち、可変容量ダイオードと予め定められた静電容量Ｃ０の和とヘッド１０の静電容量が等価となっていることからヘッド１０の静電容量Ｃｄを求めることができる。

このように、ヘッド１０の静電容量Ｃｄを求めることにより、求められたヘッド１０の静電容量Ｃｄからヘッド１０の各ノズルの良否を判定することが可能となる。

従って、本実施の形態では、可変容量ダイオードδＣの静電容量が自動調節され、その時の可変容量ダイオードδＣに印加される電圧からヘッド１０の静電容量を求めることができるので、短時間で高速に１ノズル毎の静電容量を測定することが可能となる。

なお、可変容量ダイオードδＣへの印加電圧から静電容量δＣを算出する際には、（Ｃ０＋δＣ）＝Ｃｄの関係を表すテーブルを予め記憶しておいて、テーブルからヘッド１０の静電容量Ｃｄを求めるようにしてもよい。

次に、上記の実施の形態のヘッドの静電容量を測定する回路におけるブリッジ回路２６の変形例について説明する。図５は、ブリッジ回路２６の変形例を示す図である。なお、上記の実施の形態と同一構成については同一符号を付して説明する。

図５に示すように、変形例のブリッジ回路２７は、上記の実施の形態と同様に、駆動回路２４に接続されている。ヘッド１０の各ノズルは、上記の実施の形態と同様にノズル選択用のアナログマルチプレクサとオン抵抗Ｒｄを含むスイッチＳＷｎと、ヘッド等価回路（本実施の形態ではヘッド１０の静電容量Ｃｄとする）が直列に接続されて構成され、各ノズル毎に並列に接続されている。

上記の実施の形態では、ブリッジ回路２６は、ヘッド１０（スイッチＳＷｎのオン抵抗Ｒｄとヘッド１０の静電容量Ｃｄ）と、ヘッド１０に直列に接続された電流検出抵抗Ｒｓと、上記オン抵抗Ｒｄと同一のヘッド１０外部に設けた抵抗Ｒｄ及び該抵抗Ｒｄに直列に接続されヘッド１０の外部に設けたコンデンサＣと、該コンデンサＣに直列に接続された電流検出抵抗Ｒｓとで構成していたが、変形例では、ヘッド１０の静電容量Ｃｄと、ヘッド１０のスイッチＳＷｎのオン抵抗Ｒｄと、上記オン抵抗Ｒｄと同一のヘッド１０外部に設けた抵抗Ｒｄと、抵抗Ｒｄに直列に接続されたヘッド１０の外部に設けたコンデンサＣと、で構成されている。

変形例では、ブリッジ回路２７のスイッチＳＷｎと抵抗Ｒｄ間に駆動回路２４が接続されると共にヘッド１０とコンデンサＣ間が接地されている。

コンデンサＣは、上記の実施の形態と同様に、静電容量Ｃ１と直列に接続された可変容量ダイオードδＣと、静電容量Ｃ１、可変容量ダイオードδＣの直列接続に対して並列に接続された静電容量Ｃ０で構成されている。なお、静電容量Ｃ１は、可変容量ダイオードδＣに印加する直流電圧をブリッジ回路２７に流入させないためのカップリングコンデンサである。

また、スイッチＳＷｎとヘッド１０間、及び抵抗ＲｄとコンデンサＣ間に差動増幅器２８が接続されている。この時、変形例では、ブリッジ回路２７の端子電圧が上記の実施の形態に比べて高くなってしまうので（３０Ｖ程度）、分圧回路が挿入されている。詳細には、ブリッジ回路２７と差動増幅器２８間に抵抗Ｒｘが接続されると共に、抵抗Ｒｘと差動増幅器２８間に接地された抵抗Ｒｙが接続されている。これによって、上記の実施の形態と同様に差動増幅器２８を動作させることができる。

差動増幅器２８の出力は、上記の実施の形態と同様に、静電容量自動調節手段３０に入力され、静電容量自動調節手段３０の出力は、抵抗Ｒ０を介して抵抗Ｒ０を介して上記コンデンサＣの静電容量Ｃ１と可変容量ダイオードδＣ間に接続されている。なお、静電容量自動調節回路３０については、上記の実施の形態と同一構成とされているので説明を省略する。

このようにブリッジ回路２７を構成しても、上記の実施の形態と同様に動作させることができる。すなわち、Ｃ０＋δＣがヘッド１０の静電容量Ｃｄに収束し、差動増幅器２８の出力電圧Ｖ０がＯ［Ｖ］に収束する。ここで、０［Ｖ］検出手段４０によって、差動増幅器２８の出力電圧Ｖ０が０となったことが検出される。

この時、可変容量ダイオードδＣへの印加電圧が印加電圧検出手段３８によって検出され、検出された印加電圧から可変容量ダイオードδＣを算出することができ、（Ｃ０＋δＣ）＝Ｃｄの関係からヘッド１０の静電容量Ｃｄを求めることができる。

本発明の実施の形態に係わるインクジェット記録装置の１ノズルあたりのヘッド構造を示す図である。 本発明の実施の形態に係わるヘッドの静電容量を測定する回路を示す図である。 同期検波回路の詳細な構成を示す図である。 ヘッドの静電容量を測定する回路における各波形を示す図である。 ブリッジ回路の変形例を示す図である。

符号の説明

１０ ヘッド
２０ 圧電素子
２６、２７ ブリッジ回路
２８ 差動増幅器
３０ 静電容量自動調節回路
３２ 同期検波回路
３４ 平滑回路
３６ 誤差増幅回路
３８ 印加電圧検出手段
４０ ０［Ｖ］検出手段
ＳＷｎ スイッチ
Ｒｄ オン抵抗
Ｃｄ 静電容量
Ｃ コンデンサ
δＣ 可変容量ダイオード
Ｒｓ 電流検出抵抗

Claims (6)

1. 圧電素子を有する圧電ヘッド、前記圧電ヘッドに直列に接続した第１抵抗と、前記圧電ヘッド外部に設けたコンデンサと、前記コンデンサに直列に接続した第２抵抗と、を含むブリッジ回路と、
   前記ブリッジ回路における前記圧電ヘッドと前記第１抵抗間、及び前記コンデンサと前記第２抵抗間に発生する差動電圧を増幅する差動増幅回路と、
   前記差動増幅回路によって増幅された前記差動電圧に基づいて前記圧電ヘッドの静電容量を測定する静電容量測定回路と、
   を含むことを特徴とするインクジェット記録装置。
2. 前記コンデンサは、電気的に容量が可変な可変素子からなり、前記静電容量測定回路が、前記差動増幅回路によって増幅された前記差動電圧が最小となるように前記可変素子の容量を調節する調節回路を含むことを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録装置。
3. 前記静電容量測定回路は、前記調節回路によって前記差動電圧が最小となるように調節された時の前記可変素子に印加される電圧を検出する電圧検出回路を更に含むことを特徴とする請求項２に記載のインクジェット記録装置。
4. 圧電素子を有する圧電ヘッドによってインクを吐出するインクジェット記録装置の検査方法であって、
   前記圧電ヘッド、前記圧電ヘッドに直列に接続した第１抵抗、前記圧電ヘッド外部に設けたコンデンサ、及び前記コンデンサに直列に接続した第２抵抗を含むブリッジ回路を構成し、
   前記ブリッジ回路における前記圧電ヘッドと前記第１抵抗間、及び前記コンデンサと前記第２抵抗間に発生する差動電圧を増幅して、
   増幅した前記差動電圧に基づいて前記圧電ヘッドの静電容量を測定することを特徴とするインクジェット記録装置の検査方法。
5. 前記コンデンサとして、電気的に容量が可変可能な可変素子を用いて、前記差動電圧が最小となるように前記可変素子の容量を調節し、調節後の前記可変素子に基づいて前記圧電ヘッドの静電容量を求めることを特徴とする請求項４に記載のインクジェット記録装置の検査方法。
6. 前記圧電ヘッドの静電容量は、前記調節後の前記可変素子に印加される電圧を検出し、検出した電圧に基づいて求めることを特徴とする請求項５に記載のインクジェット記録装置の検査方法。
   

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