JP2006049430A - ウエハ加工方法およびウエハ加工用包被フィルム - Google Patents
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Abstract
ウエハを硬質板に確実に固定し、ウエハの上面に加工を施した後、ウエハを破損させることなく硬質板から確実に剥離することのできる、ウエハの加工方法およびそのような加工方法に好適に用いられる包被フィルムを提供すること。
【解決手段】
(1)硬質板の少なくとも上面に、該上面に対し非接着性の包被フィルムを、剪断方向に対して位置ずれせず、かつ取り外し可能に取り付ける工程と、
(2)前記包被フィルムの上面にウエハを接着固定する工程と、
(3)前記ウエハの上面に加工を施す工程と、
(4)前記包被フィルムを切開して、前記包被フィルムから前記硬質板を取り外す工程と、
を含むことを特徴とするウエハの加工方法。
【選択図】 図12
Description
[1](1)硬質板の少なくとも上面に、該上面に対し非接着性の包被フィルムを、剪断方向に対して位置ずれせず、かつ取り外し可能に取り付ける工程と、
(2)前記包被フィルムの上面にウエハを接着固定する工程と、
(3)前記ウエハの上面に加工を施す工程と、
(4)前記包被フィルムから前記硬質板を取り外す工程と、
を含むことを特徴とするウエハの加工方法。
[2]袋状の包被フィルムに硬質板を収容し、袋の開口部から真空引きし、開口部を封止することで、前記工程(1)における包被フィルムの取り付けを行う[1]に記載のウエハの加工方法。
[3]包被フィルムと硬質板の側面部とを接着固定することによって、前記工程(1)における包被フィルムの取り付けを行う[1]に記載のウエハの加工方法。
[4]包被フィルムを収縮させると同時に該包被フィルムの外周部を硬質板の側端部に掛止することによって、前記工程(1)における包被フィルムの取り付けを行う[1]に記載のウエハの加工方法。
[5]ウエハ固定用の硬質板を覆うためのウエハ加工用の包被フィルムであって、前記包被フィルムは少なくとも硬質板の上面に対して非接着性であり、かつ硬質板に対し取り外しが可能な取付手段を有することを特徴とするウエハ加工用の包被フィルム。
[6]前記取付手段は、開口部から真空引きが可能で硬質板を収容可能な袋状の形状であって、該開口部が封止可能であることを特徴とする[5]に記載のウエハ加工用の包被フィルム。
[7]前記取付手段は、硬質板の側面部を接着固定する接着剤または粘着剤であることを特徴とする[5]に記載のウエハ加工用の包被フィルム。
[8]前記取付手段は、硬質板の側端部に対し収縮することにより掛止可能となる収縮フィルムであることを特徴とする[5]に記載のウエハ加工用の包被フィルム。
(1)包被フィルムを硬質板に取り付ける工程
(2)包被フィルム上面にウエハを接着固定する工程
(3)ウエハの上面に加工を施す工程
(4)包被フィルムから硬質板を取り外す工程
また、本発明に係るウエハ加工用包被フィルムは、上記加工方法において好適に用いられるものであり、硬質板の少なくとも上面に、該上面と接着させずに、剪断方向に対して位置ずれせず、かつ取り外し可能に取り付けられることを特徴としている。
<(1)包被フィルムを硬質板に取り付ける工程>
硬質板としては、たとえばガラス板、石英板や、アクリル板、ポリ塩化ビニル板、ポリエチレンテレフタレート板、ポリプロピレン板、ポリカーボネート板等のプラスチック板が使用できる。硬質板のASTM D 883により定義される硬度は、好ましくは70MPa以上である。硬質板の厚さは、その材質にもよるが、通常は、0.1〜10mm程度であり、加工するウエハとほぼ同じ大きさの円形のものが用いられる。後の工程においてエネルギー線を用いる場合には、硬質板としては、エネルギー線に対する透過性を有するものが用いられる。また、包被フィルムとして熱収縮性フィルムを用いる場合、硬質板は
フィルムを収縮させる温度に対し耐熱性のあるものが用いられる。
(a)袋状の包被フィルムに硬質板を封入する方法、
(b)包被フィルムと硬質板とを部分接着する方法、
(c)包被フィルムを収縮させて硬質板に掛止させる方法、
の3つが挙げられる。以下、図面を参照しながら説明する。
図1のように、硬質板1を袋状の包被フィルム21に収容し、開口部を真空ポンプにつないで真空引きし、袋内の空気を排気する。これにより包被フィルムの内面は硬質板1の両面に密着する。次に、包被フィルム21の開口部を、融着あるいはクリップなどの封止手段3により空気洩れしないようにふさぐことで、硬質板1に包被フィルム21が取り付けられる(図2)。袋内の空気の排気は、高い真空度で行うのが好ましいが、開口部を封止する直前に袋内の空気を機械的に押し出して行ってもよい。
られ、たとえば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、ポリウレタンフィルム、エチレ
ン酢ビフィルム、アイオノマー樹脂フィルム、エチレン・(メタ)アクリル酸共重合体フィルム、エチレン・(メタ)アクリル酸エステル共重合体フィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリイミドフィルム等のフィルムが用いられる。またこれらの架橋フィルムも用いられる。さらにこれらの積層フィルムであってもよい。さらに、フィルムを袋状に融着するためにヒートシール性接着剤(接着フィルム)の積層フィルムであってもよい。また、ウエハの加工時に過大な剪断力が加えられても包被フィルム21の位置ずれが起こらないように、包被フィルム21の硬質板に接する側の面には防滑処理が施されていてもよい。
(b)包被フィルムと硬質板とを部分接着する方法
本発明においては、部分接着により硬質板に包被フィルムを取り付ける方法を用いてもよい。この方法に用いる包被フィルムの取付手段は、硬質板の側面部を接着固定する位置に配置された接着剤または粘着剤である。この場合、(b-1)端部にのみ粘着層を有する
包被フィルムを用いる方法、(b-2)部分硬化されたエネルギー線硬化型粘着層を有する
包被フィルムを用いる方法、の2つが挙げられる。これらの方法を用いる場合、接着固定後の包被フィルムと硬質板との間に空気が入らないようにするために、接着固定の工程は真空中で行うことが望ましい。
図3および図5に本方法における包被フィルム22および23を示す。図3の包被フィルム22では、基材4上の端部に粘着層5が積層されている。図5の包被フィルム23では、基材10上に粘着層11および非粘着層12が積層されている。粘着層11の端部が露出し、粘着部位13を形成するように、非粘着層12は積層されている。
2としては、合成樹脂フィルムの他印刷用インキや塗料からなる被膜であってもよい。
図7に示したように、本方法における包被フィルム24は、基材15とその片面に形成されたエネルギー線硬化型粘着層16とからなる。エネルギー線硬化型粘着層16はあらかじめ端部に露光マスクをのせてエネルギー線照射しておき、中央の非粘着部位17と端部の粘着部位18とを形成しておく。非粘着部位17は、硬質板1の上面と同じ形状、大きさとし、粘着部位18の幅は硬質板1の厚さ以上、好ましくは同じとする。この包被フィルム24を(b-1)と同様にしてフィルム端部の粘着部位18を介して硬質板1に貼着
固定する(図8)。
ム21と同じ合成樹脂フィルムが使用できる。基材15の厚さは、好ましくは10〜200μmであり、より好ましくは15〜150μmである。
5mm以上であり、さらに好ましくは10〜50 N/25mmである。これに対し、硬
化後の粘着力は実質的に0 N/25mmである。ただし、硬化後の粘着力は、硬質板1
に貼付される前にエネルギー線が照射され粘着層が硬化した状態で、硬質板1を被着体として測定して得た値である。
本発明においては、収縮させることにより硬質板の側端部に掛止させて硬質板に包被フィルムを取り付ける方法を用いてもよい。この方法に用いる包被フィルムの取付手段は包被フィルム自身に使用される収縮性フィルムである。
るための張力を発生させる。
ウエハの加工時における包被フィルムの弛みが起きにくくなり、よりウエハをしっかりと固定できるようになる。
以下、前記図2に示した態様を例にとって、以降の工程を、図面を参照しながら説明していく。
0mN/25mm程度であり、ウエハの加工中にはウエハを十分に固定でき、また所要の工程終
了後には、容易にウエハからはずすことができる。
よい。たとえば、基材33を有しない単層または2層の粘着層よりなる粘着フィルムでもよいし、液状の接着剤を包被フィルム上に塗布乾燥した固定手段であってもよい。
ウエハの加工方法としては、たとえばウエハの裏面研削や素子小片へのダイシングのような機械加工や、ウエットエッチングやドライエッチングなどのエッチング処理、蒸着、スパッタリングやCVDなどの薄膜形成加工等が挙げられる。これらの加工方法は単独で行ってもよいが、複数の工程を連続して行ってもよい。特に、極薄のウエハを破損することなく加工が可能なため、裏面研削加工を行った後さらに別の加工を行う場合に適している。このような加工の間、ウエハの固定手段に接した面では表面保護も同時に行われる。
<(4)包被フィルムから硬質板を取り外す工程>
前記加工工程で裏面研削などの加工が施されたウエハは脆弱で、外部応力によって非常に壊れやすい状態にあるが、以下の方法によってウエハに損傷を与えることなく容易にかつ確実に硬質板を取り外せる。
[実施例]
ウエハとして、シリコン製ダミーウエハ(200mm径、厚さ725μm)、硬質板として、ソーダライムガラス(直径200mm、厚さ0.7mm)を用意し、袋状の包被フィルムとして、厚さ30μmの熱収縮性で片面がヒートシール可能なポリエチレンフィルム製のラップ材(幅220mm、100℃での収縮率約50%)を用意した。
より硬質板を挿入し真空ポンプで脱気しながら硬質板とラップ材が密着するように加熱してラップ材を収縮させ、さらに開口部および周辺部をヒートシールして袋状の包被フィルムに硬質板が完全に封入された状態とした。
プラズマエッチング機能付きウエハ研削装置(ディスコ社製、DFG8540−PE)を使用して、硬質板に固定されたウエハを厚さ150μmまで研削する研削工程を行い、続いて、研削工程で生成した破砕層をプラズマエッチングにより除去した。
3・・・封止手段
4・・・基材
5・・・粘着層
6・・・非粘着部位
10・・・基材
11・・・粘着層
12・・・非粘着層
13・・・粘着部位
15・・・基材
16・・・エネルギー線硬化型粘着層
17・・・非粘着部位
18・・・粘着部位
21・・・包被フィルム
22・・・包被フィルム
23・・・包被フィルム
24・・・包被フィルム
25・・・包被フィルム
31・・・ウエハ
32・・・ウエハ固定手段
33・・・基材
34・・・粘着層
35・・・粘着層
Claims (8)
- (1)硬質板の少なくとも上面に、該上面に対し非接着性の包被フィルムを、剪断方向に対して位置ずれせず、かつ取り外し可能に取り付ける工程と、
(2)前記包被フィルムの上面にウエハを接着固定する工程と、
(3)前記ウエハの上面に加工を施す工程と、
(4)前記包被フィルムから前記硬質板を取り外す工程と、
を含むことを特徴とするウエハの加工方法。 - 袋状の包被フィルムに硬質板を収容し、袋の開口部から真空引きし、開口部を封止することで、前記工程(1)における包被フィルムの取り付けを行う請求項1に記載のウエハの加工方法。
- 包被フィルムと硬質板の側面部とを接着固定することによって、前記工程(1)における包被フィルムの取り付けを行う請求項1に記載のウエハの加工方法。
- 包被フィルムを収縮させると同時に該包被フィルムの外周部を硬質板の側端部に掛止することによって、前記工程(1)における包被フィルムの取り付けを行う請求項1に記載のウエハの加工方法。
- ウエハ固定用の硬質板を覆うためのウエハ加工用の包被フィルムであって、前記包被フィルムは少なくとも硬質板の上面に対して非接着性であり、かつ硬質板に対し取り外しが可能な取付手段を有することを特徴とするウエハ加工用の包被フィルム。
- 前記取付手段は、開口部から真空引きが可能で硬質板を収容可能な袋状の形状であって、該開口部が封止可能であることを特徴とする請求項5に記載のウエハ加工用の包被フィルム。
- 前記取付手段は、硬質板の側面部を接着固定する接着剤または粘着剤であることを特徴とする請求項5に記載のウエハ加工用の包被フィルム。
- 前記取付手段は、硬質板の側端部に対し収縮することにより掛止可能となる収縮フィルムであることを特徴とする請求項5に記載のウエハ加工用の包被フィルム。
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