JP2006043867A - 多段伸縮位置決め移動装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基台1の片側に立設した固定柱部材2の一対の従動伝動輪21,22を枢支するとともに内側面に直動ガイド溝23を垂直に設ける一方、直動ガイド溝23に滑嵌する直動スライド31を延在した初段昇降可動部材3に一対の中間伝動輪32,33を枢支するとともに直動ガイド溝34を垂直に設け、他方、直動ガイド溝34に滑嵌する直動スライド41を全長に延在した初段昇降可動部材3と同一の中間段昇降可動部材4を次々と同様に複数多段に組合せて行き、基台1に設けた固定ブロック7に枢支したガイド伝動輪71と軸一体回転自在な駆動輪11を上下に配し、最終段昇降可動部材5に始端61を止着したノンスリップ伝動帯6を、蛇行状に巻掛し、最終段昇降可動部材5の下中間伝動輪52を経た終端62を始端61に臨ませて止着する特徴的構成手段の採用。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明装置の実施形態例である装置例に係る多段伸縮位置決め移動装置αの伸長状態を示す外観斜視図であり、図2は、この多段伸縮位置決め移動装置αの縮小状態を示す外観斜視図である。
次に、本発明装置を、精確な位置決めとクリーンルーム対応が要求される、例えば、ICチップ製造工程(IC:Integrated Circuit)等の局所クリーン化に利用される、例えば、25枚のウェハ100を収納したウェハ保管多段棚(ウェハキャリアγ)の、上下昇降位置決め搬送可能に適用した場合の応用例について説明する。
γ…ウェハキャリア
1,10…基台
11,11a,11b…駆動輪
12´,12a´,12b´…回転軸
13…防塵シールド
14a,14b…同期伝動歯車
2,20…固定柱部材
21…上従動伝動輪(従動伝動輪)
21´,22´,32´,33´,42´,43´,52´,53´,71´…支軸
22,22a,22b…下従動伝動輪(従動伝動輪)
23,23a,23b,34,44…直動ガイド溝
3,3a,3b…初段昇降可動部材
31,41,51…直動スライド
32,42…上中間伝動輪(中間伝動輪)
33,43,52…下中間伝動輪(中間伝動輪)
4,4a,4b…中間段昇降可動部材
5,5a,5b…最終段昇降可動部材
51…キャリア台
53…止着片
6,6a,6b…ノンスリップ伝動帯
61…始端
62…終端
7…固定ブロック
71,71a,71b…ガイド伝動輪
8…制御モータ
81…モータ出力軸
82…カップリング
9…ストッパ
100…ウェハ
A,B…回転方向
Claims (8)
- 基台の片側に立設した固定柱部材の前後片側面上下に一対の従動伝動輪を空転自在に枢支するとともに当該固定柱部材の内側面に直動ガイド溝を垂直に設ける一方、
当該直動ガイド溝に上下摺動自在に滑嵌する直動スライドを隣接相対面全長に延在した初段昇降可動部材の前記同片側面上下に一対の中間伝動輪を空転自在に枢支するとともに当該初段昇降可動部材の対側面に直動ガイド溝を垂直に設け、
他方、当該直動ガイド溝に上下摺動自在に滑嵌する直動スライドを全長に延在した前記初段昇降可動部材と同一の中間段昇降可動部材を前記基台上方長手方向に亙って次々と同様に複数多段に組合せて行き、
当該基台の他片側上に設けた固定ブロックの前記同片側面に、空転自在に枢支したガイド伝動輪と軸一体回転自在な駆動輪を上下に配し、
さらに、最終段昇降可動部材の前記同片側面に始端を止着したノンスリップ伝動帯を、下方に臨む前記ガイド伝動輪の内側から前記駆動輪の外側へ、次いで、前記固定柱部材の下従動伝動輪及び上従動伝動輪外側に巻掛し、引続き、前記中間段昇降可動部材の前記下中間伝動輪から前記上中間伝動輪に蛇行状に巻掛し、最終的に、前記最終段昇降可動部材の下中間伝動輪を経た当該ノンスリップ伝動帯の終端を前記始端に臨ませて止着する、
ことを特徴とする多段伸縮位置決め移動装置。 - 前記駆動輪は、
その回転軸と制御モータのモータ出力軸と連結自在である、
ことを特徴とする請求項1に記載の多段伸縮位置決め移動装置。 - 前記従動、中間、ガイドのそれぞれ伝動輪及び駆動輪は、
歯付車,スプロケット,プーリのいずれかである、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の多段伸縮位置決め移動装置。 - 前記ノンスリップ伝動帯は、
前記歯付車,スプロケット,プーリにそれぞれ対応する歯付ベルト,チェーン,ノンスリップベルトのいずれかである、
ことを特徴とする請求項3に記載の多段伸縮位置決め移動装置。 - 前記従動、中間、ガイドのそれぞれ伝動輪及び駆動輪は、
その表面にノンスリップ処理加工が施されたプーリであるとともに、
前記ノンスリップ伝動帯に代えて、ワイヤロープ又は金属ベルトのいずれかを採用する、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の多段伸縮位置決め移動装置。 - 前記基台は、
前記初段、中間段及び最終段昇降可動部材の下限縮小時それぞれの下端を定位置で受止めるストッパ群を植立する、
ことを特徴とする請求項1、2、3、4又は5に記載の多段伸縮位置決め移動装置。 - 前記ガイド伝動輪と前記駆動輪とは、
前記固定柱部材の前記下従動伝動輪と交換配置した、
ことを特徴とする請求項1、2、3、4、5又は6に記載の多段伸縮位置決め移動装置。 - 前記請求項7に記載の多段伸縮位置決め移動装置の一対を、前記固定柱部材相互を背中合わせに一体接合して正面対称配置するとともに、前記駆動輪の隣接各回転軸に相互に噛合う同期伝動歯車をそれぞれ取付けてなる、
ことを特徴とする多段伸縮位置決め移動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004306418A JP2006043867A (ja) | 2004-07-05 | 2004-10-21 | 多段伸縮位置決め移動装置 |
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2006043867A true JP2006043867A (ja) | 2006-02-16 |
Family
ID=36023006
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2004306418A Pending JP2006043867A (ja) | 2004-07-05 | 2004-10-21 | 多段伸縮位置決め移動装置 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2006043867A (ja) |
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-
2004
- 2004-10-21 JP JP2004306418A patent/JP2006043867A/ja active Pending
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