JP2006041561A - 荷電粒子ビーム露光方法及び荷電粒子ビーム露光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】周辺のパターンからの影響を考慮して面積密度を求めて露光量を補正する際に,周辺パターンとの距離に対応して適切に面積密度を求めることができるようにする。
【解決手段】メインフィールド内の複数のサブフィールド毎のパターンデータからサブフィールド毎の露光パターンデータを有する露光データを求め、これに従って試料を露光する荷電粒子ビーム露光方法であって、露光データの生成工程では、サブフィールド内に複数のエリアを発生し、エリア内のパターン密度を求め、エリアの周囲のエリアのパターン密度及びエリア内のパターン存在領域間の距離に従ってパターン密度を見直し、見直したパターン密度が所定の露光基準密度より低い場合に、エリア内に補助露光パターンを発生し、これをパターンデータに追加した露光データを生成する。
【選択図】図26
Description
本発明は、荷電粒子ビーム露光方法及び荷電粒子ビーム露光装置に関し、特に、電子ビームの様な荷電粒子ビームにより半導体ウエハ上にパターンを露光する為の露光データを作成する方法及びその方法を実施する荷電粒子ビーム露光装置に関する。
電子ビーム等の荷電粒子ビーム露光は、サブミクロンのパターンを露光することができ、高集積度を有するLSIの製造工程に利用される。特に、最近において、マスクの製造に利用されるだけでなく、半導体ウエハ上に形成したレジストに直接荷電粒子ビームを照射して露光することが行われている。
LSIの設計工程において、所望の集積回路を形成する為に、複数の層構造のパターンデータが作成される。かかるパターンデータに従って、半導体ウエハ上のレジスト或いはマスク基板上のレジストを露光する。レジスト膜に荷電粒子ビームを照射してビームのエネルギーにより、レジストに化学反応を起こさせることで露光が行われる。
その場合に、考慮すべき点は、荷電粒子ビームをレジストに照射した時に、ビームのレジスト内の前方散乱と後方散乱に起因する近接露光効果である。近接露光効果は、ある領域に荷電粒子ビームを照射した時にビームの散乱により隣接する領域にもビームのエネルギーが広がる現象である。例えば、露光パターン密度が高い領域では、近接する露光パターン領域に照射された荷電粒子ビームのエネルギーの影響で、現像後のパターンが拡大する。或いは、露光パターン密度が低い領域では、近接する領域からのエネルギーの影響がなく、現像後のパターンが縮小或いは細くなる。
従って、かかる近接露光効果を考慮して、設計された露光データを修正する必要がある。本出願人は、かかる露光データの修正の方法について、平成8年(1996)1月29日付けの特許出願、特願平8−13354(特開平8ー321462)を提案した。
この特許出願で提案された方法は、要約すれば、サブフィールド内に複数のマスクエリアを発生させ、そのエリア内のパターン密度を、周囲のエリアのパターン密度からの影響に従って修正して、近接露光効果を考慮した実質的なパターン密度を求め、その実質的なパターン密度に従って、エリアに属するパターンの露光量(露光強度)を修正し、更に、補助露光パターンを発生させる。
しかしながら、サブフィールド内に存在するパターンの位置とは関係なく所定の大きさのエリアを発生させ、そのエリアをパターンの単位として補助露光パターンを発生させる為、実際の露光パターンに対応する適切な補助露光パターンを発生させることができない場合がある。更に、エリア内のパターン密度を周囲のエリアのパターン密度からの影響に従って修正する場合も、エリア間の距離と実際のパターンの固まりとの距離とが異なる場合があり、かかる場合は、正確に露光の影響を反映させることができない。また、同一の露光パターンを有して繰り返して配置されるサブフィールドに対しても、画一的に上記のエリアの発生、パターン密度の修正、補助露光パターンの発生を行うことは、データ処理工程をいたずらに長くすることになり、より高集積度のLSIの露光データの作成には適さない。
そこで、本発明の目的は、上記従来の課題を解決し、より高精度のパターンを形成することができる露光データを作成することができる、荷電粒子ビーム露光方法及びそれを実施する荷電粒子ビーム露光装置を提供することにある。
更に、本発明の別の目的は、サブフィールド内に画一的に発生させたエリアと実際の露光パターンとのずれによる不適切な点を解決した露光データを作成することができる荷電粒子ビーム露光方法及びそれを実施する荷電粒子ビーム露光装置を提供することにある。
更に、本発明の別の目的は、周囲のエリアのパターン密度からの影響を、実際のパターンの位置に応じて反映させることができる荷電粒子ビーム露光方法及びそれを実施する荷電粒子ビーム露光装置を提供することにある。
更に、本発明の別の目的は、同一の露光パターンを有して繰り返して配置されるサブフィールドに対してデータ処理の負荷を少なくすることができる荷電粒子ビーム露光方法及びそれを実施する荷電粒子ビーム露光装置を提供することにある。
上記の目的を達成する為に、本発明は、メインフィールド内の複数のサブフィールド毎のパターンデータを有するパターンデータから前記サブフィールド毎の露光パターンデータを有する露光データを求め、該露光データに従って試料を露光する荷電粒子ビーム露光方法において、
(a)前記サブフィールド内に複数のエリアを発生する工程と、
(b)該エリア内のパターン密度を求め、該エリアの周囲のエリアのパターン密度及びエリア間の距離に従って当該パターン密度を見直す工程と、
(c)前記エリアの前記見直されたパターン密度が所定の露光基準密度より低い場合に、当該エリア内に補助露光パターンを発生する工程と、
(d)前記パターンデータに前記補助露光パターンデータを追加した露光データに従って、前記試料を露光する工程とを有することを特徴とする荷電粒子ビーム露光方法を基本とする。
(a)前記サブフィールド内に複数のエリアを発生する工程と、
(b)該エリア内のパターン密度を求め、該エリアの周囲のエリアのパターン密度及びエリア間の距離に従って当該パターン密度を見直す工程と、
(c)前記エリアの前記見直されたパターン密度が所定の露光基準密度より低い場合に、当該エリア内に補助露光パターンを発生する工程と、
(d)前記パターンデータに前記補助露光パターンデータを追加した露光データに従って、前記試料を露光する工程とを有することを特徴とする荷電粒子ビーム露光方法を基本とする。
そして、第1の発明は、前記パターンが存在するパターン存在領域間の距離が所定の基準距離より大きい場合は、前記パターン存在領域間であって前記露光基準密度より高いパターン密度を有するエリアに、更に補助露光パターンを発生する工程を有する。
上記の第1の発明によれば、露光パターンとサブフィールド内に発生させたエリアとのミスマッチングが存在し、単純にエリア内のパターン密度に従って判断した時に補助露光パターンが発生しなくても、パターン存在領域間が一定の距離以上の場合には、補助露光パターンを発生させることができる。従って、露光パターンとエリアとのマッチングがとれない場合でも、適正に補助露光パターンを発生して、適切な近接露光効果を与えることができる。
第2の発明は、前記補助露光パターンは、前記試料上のレジスト材料に応じて所望の露光量分布を有することを特徴とする。
上記の第2の発明によれば、レジスト材料に応じて露光エネルギの拡がり特性が異なる場合でも、その特性に応じた露光分布を有する補助露光パターンを生成することができる。従って、レジスト材料に応じて最適の近接露光効果を与えることができる。
第3の発明は、上記工程(a)が、前記サブフィールド内のパターンの存在領域の中心から点対称に、所定の範囲の周囲に、複数のエリアを発生することを特徴とする。
上記の第3の発明によれば、エリアをパターン存在領域の中心から点対称に発生させることにより、露光パターンとエリアのミスマッチングを防止し、露光パターンに整合した補助露光パターンを生成することができる。
第4の発明は、上記工程(b)が、該エリア内のパターン密度を求め、該エリアの周囲のエリアのパターン密度及び該エリア内のパターン存在領域間の距離に従って当該パターン密度を見直すことを特徴とする。
上記の第4の発明によれば、周囲のエリアのパターンからの露光の影響を、パターン存在領域間の距離により求めるので、より正確に露光の影響を求めることができる。その結果、より高精度の補助露光パターンを生成することができる。望ましくは、パターン存在領域間の距離は、パターン存在領域の重心間の距離である。
第5の発明は、同一のパターンデータを有するサブフィールドが複数繰り返し配置される場合に、当該繰り返し配置されるサブフィールドの最初のサブフィールドに対して前記工程(a)〜(c)行い、該最初のサブフィールド内に補助露光パターンが発生しない場合は、残りのサブフィールドに対して少なくとも一部領域を除いて前記工程(a)〜(c)を省略することを特徴とする。
上記の第5の発明によれば、繰り返し配置されるサブフィールドについて、演算速度を短くすることができる。
以上説明した通り、本発明によれば、荷電粒子ビーム露光データを生成するに際して、サブフィールド内にエリアを発生してエリアのパターン密度を求め、そのパターン密度に従って補助露光パターンを発生する場合に、露光パターンとエリアとのマッチングがとれない場合であっても、露光パターンに最適な補助露光パターンを発生することが可能になる。
また、本発明によれば、上記の如く、露光パターンとエリアとのマッチングがとれない場合でも、露光パターン間の距離をチェックして補助露光パターンを追加することができるので、近接露光効果が不足して現像パターンが細る現象を防止することができる。
更に、本発明によれば、上記の如く、補助露光パターンを画一的にエリアのサイズで発生する場合でも、レジストの材質に応じて適宜階段状の露光量分布の補助露光パターンを生成することができるので、レジストの材質に最適な近接露光効果の発生を可能にする。
更に、本発明によれば、露光パターンの固まりの領域の中心からその周りにエリアを発生させることで、露光パターンとエリアのミスマッチングの問題を解決することができる。
更に、本発明によれば、エリアのパターン密度を求めて、周りのエリアのパターンからの露光影響を考慮してパターン密度を見直す時に、周りのエリア内のパターン存在領域間の距離によってその影響度を求めることができるので、より精度の高い補助露光パターンの発生を可能にする。
更に、本発明によれば、上記の演算をマトリクス配置サブフィールドにおいては、基準となる最初のマトリクス配置サブフィールドについてのみ行うだけでよく、残りのマトリクス配置サブフィールドの演算を省略することができ、設計データから露光データを求める演算時間を短くすることができる。
以下、本発明の実施の形態の例について図面に従って説明する。しかしながら、かかる実施の形態例が本発明の技術的範囲を限定するものではない。また、本発明は荷電粒子ビーム露光方法及びその装置に適用されるが、以下の実施の形態例は電子ビーム露光方法及びその装置を例にして説明する。
図1は、本発明の実施の形態例の電子ビーム露光装置の概略構成図である。この例では、電子ビーム露光装置は、パターンデータを有する設計データDinを入力し、近接露光効果を考慮した露光データDoutを出力する露光データ作成装置100、その露光データDoutを供給され露光装置を制御する電子ビーム制御装置200、及び鏡筒300とを有する。鏡筒300内には、電子銃31、矩形の透過マスク32、ブロックマスク等の露光用の透過マスク34、マスク偏向器33,35、フォーカルレンズ36、電磁偏向器37、静電偏向器38及びウエハ40を載せるX、Yステージ39が設けられる。透過マスク32で形成された矩形ビームが、マスク偏向器33,35で選択された透過マスク上の所定のマスクを通過し、偏向器37,38によりウエハ40の所望の位置に照射される。
マスク偏向器33,35への制御信号S1、透過マスク34を水平方向に移動させる制御信号S2、フォーカルレンズへの制御信号S3、電磁偏向器37への制御信号S4、静電偏向器38への制御信号S5、ステージの制御信号S6が、電子ビーム制御装置200により生成される。
図2は、上記の露光データ作成装置100の内部構成を示す図である。設計データDinが格納されている設計データファイル102、サブフィールド領域内にエリアを発生するエリア発生部103、エリア内のパターン密度を算出するパターン密度生成部104、エリア間の影響を考慮してエリア内のパターン密度を修正するパターン密度修正部105、エリア内のパターン密度データを格納するパターン密度ファイル106、パターン密度に応じてエリア内のパターンの露光量を修正する露光量修正部107、パターン密度の応じてエリア内に補助露光パターンを生成する補助露光パターン生成部108、露光データを格納する露光データファイル109を有する。これらは、バス110を介して演算部111に接続される。
[露光データ生成方法概略]
以下、設計データから露光データを生成する方法の概略について説明する。図3は、半導体チップ10内のメインフィールドMFとサブフィールドSFとの関係を示す図である。通常、半導体ウエハ上に複数の半導体チップ10が形成される。図3には、その半導体チップ10内のメインフィールドとサブフィールドとの関係を示す。図1の露光装置に示される通り、電子ビームの偏向器は、応答速度は遅いが偏向範囲が大きい電磁偏向器37と応答速度は速いが偏向範囲が狭い静電偏向器38とからなる。メインフィールドMFは、この電磁偏向器37により偏向可能な領域をいい、サブフィールドSFは、この静電偏向器38により偏向可能な領域をいう。
以下、設計データから露光データを生成する方法の概略について説明する。図3は、半導体チップ10内のメインフィールドMFとサブフィールドSFとの関係を示す図である。通常、半導体ウエハ上に複数の半導体チップ10が形成される。図3には、その半導体チップ10内のメインフィールドとサブフィールドとの関係を示す。図1の露光装置に示される通り、電子ビームの偏向器は、応答速度は遅いが偏向範囲が大きい電磁偏向器37と応答速度は速いが偏向範囲が狭い静電偏向器38とからなる。メインフィールドMFは、この電磁偏向器37により偏向可能な領域をいい、サブフィールドSFは、この静電偏向器38により偏向可能な領域をいう。
露光装置のX、Yステージ39を駆動して所望のメインフィールドMFの中心にウエハが移動され、そのメインフィールドMF内で電磁偏向器37により電子ビームが偏向され、更に所望の形状にされた電子ビームが静電偏向器38により偏向されて所望の位置に照射される。図3の例では、1つのメインフィールド12内は、5行5列のサブフィールドSF00〜SF44に分けられる。
図3の例では、メインフィールド12内に、それぞれ異なるパターンを有する単独配列サブフィールドSSFと、同じパターンを有して繰り返し配置されるマトリクス配置サブフィールドMSFとが配置される。繰り返し配置されるマトリクス配置サブフィールドMSFは、例えばメモリ装置のメモリセル領域等によく見受けられるサブフィールドである。一方、単独配置サブフィールドは、周辺回路やロジック回路等に見受けられるサブフィールドである。この様に、チップ10内は、複数のメインフィールドと、それぞれのメインフィールド内の複数のサブフィールドに分けられ、設計データDinは、それぞれのサブフィールド内に存在するパターンデータを有する。
尚、サブフィールドは、必ずしも図3の如く重なることなく又は間隔をあけることなく敷き詰められる必要はなく、一部重なったり、間隔が存在しても良い。
図4は、図3のメインフィールド12内のサブフィールドにかかる設計データの構成例を示す図である。この例では、サブフィールドSF00〜SF44のデータは、それぞれサブフィールドの中心座標(x、y)、パターン数n、パターンアドレスadを有する。この例では、サブフィールドデータは、メインフィールド12内のサブフィールドSSF00,SSF01....MSF11,MSF12....SSF44の順に並べられる。
一方、パターンデータは、例えば、パターンの左下の座標(x、y)、パターンの幅wと高さhとを有する。そして、サブフィールドデータ領域内のアドレスadは、パターンデータ内のアドレスを示し、そのアドレスから連続してパターン数n個のアドレス領域のパターンが、それぞれのサブフィールド内のパターンデータであることを意味する。
従って、単独配置サブフィールドSSFのデータは、それぞれ異なるパターンデータのアドレスを有する。一方、マトリクス配置サブフィールドMSFのデータは、それぞれ同じパターンデータのアドレスを有する。このマトリクス配置サブフィールドのデータ構造を、本明細書では階層化データ構造と称する。かかる階層化データ構成にすることで、パターンデータのデータ量を減らすことができる。
図5は、露光データの作成を含む露光工程のフローチャート図である。そして、図6は、あるサブフィールドSFの一例を示す図である。図6のサブフィールドの例を使用して、露光データの作成の方法を説明する。
図5のステップS11において、各パターンの形状に応じた露光量Qが設定される。この露光量Qは、例えばパターン形状が細い場合は強く、またパターン形状が太い或いは大きい場合は比較的弱く設定される。そして、各パターンデータにその設定された露光量Q(図示せず)が加えられる。この露光量Qの設定の方法は、パターン形状に応じて設定する種々の方法があるが、本実施の形態例では本質的な部分ではないので省略する。
次に、チップ上の全てのサブフィールドとそのパターンデータとからなる設計データから、その階層化データの認識を行う(S12)。例えば、サブフィールドが、単独配置サブフィールドSSFの属性を有するか、マトリクス配置サブフィールドMSFの属性を有するか、マトリクス配置サブフィールドの内最初の元のマトリクス配置サブフィールドの属性を有するか等が、設計データから確認される。従って、サブフィールドのデータには、上記属性データad(図示せず)が加えられる。
設計データは、ウエハ上のレジスト層に形成したいパターンを含むのみである。ところが、ウエハ上のレジスト層に電子ビームを照射すると、パターン密度が高い領域では近接露光効果によりより多くのビームエネルギーを受けることになる。その反面、パターン密度が低い領域では近接露光効果がなく、より少ないビームエネルギーにより露光される。従って、かかる近接露光効果を考慮して、設計データのパターンに対して、その露光量を見直し、必要な場合は補助露光を行って、積極的に近接露光効果を発生させて現像後のパターン形状の精度を高くすることが必要である。本実施の形態例では、設計データをもとに露光データを生成する為に、サブフィールド内により小さいマップエリアを発生させ、そのエリア内のパターン密度をもとに、上記露光量の見直しと補助露光パターンの生成を行う。
図6に示されたサブフィールドSFには、パターンP1,P2,P3が含まれる。そして、それぞれのパターンP1,P2,P3には、上記ステップS11にてそれぞれのパターン形状に応じた露光量Q1,Q2,Q3とが設定される。更に、サブフィールドSFには、5行5列のエリアa11〜a55が発生される(S13)。このエリアは、図2に示されるエリア発生部103により生成される。エリアの発生方法は、例えばサブフィールドSFの左下の位置を基準にして、所定の大きさの領域をマトリクス状に配置する。従って、サブフィールドの端部では、エリアの端部と必ずしも一致することにはならない。
図6の例では、パターンP1がエリアa21、a22、a31、a32、a41、a42上に位置する。また、パターンP2がエリアa13、a23,a33、a43、a53上に位置する。更に、パターンP3がエリアa24、a25、a34、a35、a44、a45上に位置する。
そこで、ステップS14にて、各エリア内のパターン密度を求める。即ち、図2中のパターン密度生成部104により求められる。図7は、図6の例のサブフィールドのエリア毎のパターン密度Smnを記入した例である。即ち、エリアa32,a34等がエリア面積に対するパターン面積の比率が75%と高く、パターンが存在しないエリアa11等のパターン密度は0%である。
次に、ステップS15にて、エリア間の近接露光効果による影響に応じてそれぞれのエリア内のパターン密度を見直す。このパターン密度の見直しは、図2R>2中のパターン密度修正部にて行われる。近接露光効果により、エリアの周囲に位置するエリア内のパターンに対して照射される電子ビームのエネルギーが、当該エリアに対してエリア間の距離に応じた影響を及ぼす。より近い位置のエリアからはその影響が大きく、より遠い位置のエリアからはその影響が少ない。そこで、本実施の形態例では、距離に略反比例する係数β(r)(rはエリア間の距離)を予め設定しておき、周囲のエリアのパターン密度Smnにその係数β(r)を乗算し、注目しているエリアのパターン密度に加算する。
図8は、エリア間の近接露光効果による影響に応じたパターン密度見直しを説明するための図である。この例では、エリアa33のパターン密度の見直しの例である。エリアa33のパターン密度に、エリアa33の周囲のエリアa11〜a55からの近接露光効果の影響を加える。例えばエリアa11は、パターン密度が0%(=S11)であるので、その影響は、S11×β(r(a11−a33))=0である。r(a11−a33)とは、エリアa11とa33との間の中心間の距離を示す。エリアa12も同様に0である。そして、エリアa13は、パターン密度が25%(=S13)であるので、その影響度は、S13×β(r(a13−a33))となる。同様に、エリアa14〜a55について行う。その結果、エリアa33のパターン密度は、50%から例えば60%に修正される。
エリアa33は、その周囲の近接する位置にパターン密度の高いエリアが存在する。従って、それらの周囲のエリアに照射される電子ビームのエネルギーがエリアa33に大きな影響を与える。この近接露光効果による影響を加味すると、エリアa33の実質的なパターン密度SR33は、自分自身のパターン密度S33に周囲からの影響による密度ΔS33が加算された値となる。
図9は、上記のエリア内のパターン密度の見直しを行った結果後の各エリア内のパターン密度を示す図である。周囲にパターン密度の高いエリアが存在するエリアは、例えば10%程度そのパターン密度が高くなり、そのようなエリアが周囲に存在しないエリアは、例えば5%程度そのパターン密度が高くなっている。尚、エリアa11等のサブフィールドSFの周辺に位置するエリアに対しては、隣接するサブフィールド内のエリアからの影響が上記と同様に加算される。
ステップS16は、高密度のサブフィールド内でのパターン存在領域を検出する工程である。この工程については、後述する補助露光パターン発生工程の部分で説明する。
さて、図9に示された様に、各エリアのパターン密度が見直されると、その見直されたパターン密度SRmnに基づいて、各パターンP1,P2,P3の露光量の補正(S17)と、補助露光パターンの発生(S18)とが行われる。
ステップS11においてパターンP1,P2,P3それぞれの形状に応じてその露光量Qを設定したのに対して、ステップS17での露光量の補正では、その周囲のパターンからの近接露光効果による影響を考慮して露光量を修正する。その為に、ステップS15で見直したエリア毎の実質的パターン密度を利用する。即ち、実質的パターン密度SRmnが基準値以上に高い場合は、近接露光効果の影響を大きく受けるので、そのエリアに属するパターンの露光量を減じる。
一方、ステップS15で見直したエリア毎の実質的パターン密度SRmnが基準値よりも低い場合は、近接露光効果の影響が少ないので、かかるエリアに対しては補助露光を行う為に、補助露光パターンを発生させて露光データに追加する。ここで、補助露光パターンとは、パターン密度が低い領域に対して近接露光効果に該当する量のエネルギーを与える為の露光パターンであり、露光されるエネルギーの例えば数%程度の低い露光量を均一に有する露光パターンである。その補助露光パターンの大きさは、エリア程度の大きさが好ましい。但し、補助露光パターンの位置は、必ずしもパターン密度見直しに発生させたエリアと同一である必要はない。
図10は、上記の露光量の補正工程(S17)及び補助露光パターン発生工程(S18)において使用される補正テーブルの例を示す図である。この例では、エリアのパターン密度SRmnが11段階に区分され、それぞれの区分の露光量補正の比率αと、補助露光パターンとが示される。この例では、基準値が45.5%に設定され、エリアのパターン密度が基準値より大きい場合は、そのエリアのパターンの露光量Qに図10の比率αが乗算される。即ち、パターン密度SRmnが90.5%を超えるエリアのパターンの露光量は、設定された露光量Qに比率α=0.1が乗算される。同様に、エリアのパターン密度SRmnが81.5〜90.5%の場合は、設定された露光量Qに比率α=0.2が乗算される。
一方、エリアのパターン密度が基準値より低い場合は、そのエリア付近の密度が低いことを意味し、露光後の現像パターンが細くなる。そこで、かかるエリアには、補助露光を行う為に、露光データとして補助露光パターンを発生させる。図10の例では、パターン密度が低い段階1〜5に対して、補助露光1〜5を行う補助露光パターンを生成する。補助露光1はより露光量が大きく、補助露光5はより露光量が小さい補助露光パターンとなる。そして、この補助露光パターンは、エリアと同等の大きさのパターンとなる。
図11は、パターン密度が高いエリアのパターンの露光量が減じられ、パターン密度が低いエリアに補助露光パターンを発生させた場合のサブフィールドを示す図である。この例では、高いパターン密度を有するエリアa22,a32,a23,a33,a43,a24,a34に属するパターンP1,P2,P3の露光量Qに比率αが乗じられて減じられている。また、低いパターン密度を有するエリアa11〜a21,a25,a31,a35〜a42,a44〜a55には、補助露光パターン(太線)が発生される。
図11の例では、パターン密度を求める為に発生させたエリアを、そのまま補助露光パターンの領域として利用している。しかし、補助露光パターンの領域がパターン密度発生の為のエリアと異なるエリアであっても良い。
図5に示される通り、各サブフィールドに対して、同様にエリアを発生してパターン密度を求め、周囲のエリアからの影響でパターン密度を見直し、そのパターン密度を指標にして、パターンの露光量Qの修正と補助露光パターンの発生を行う。その結果、露光データが作成される。
図12は、作成された露光データの構成例を示す図である。第1に、図4の設計データは、パターンデータは、その位置データ(x、y)と幅wと高さhを有するのに対して、露光データのパターンデータは、更に露光量Qを有する。この露光量Qは、最初パターンの形状により設定され(S11)、エリアのパターン密度を利用して補正された値である。第2に、図4の設計データは、サブフィールドデータとして、単独配置サブフィールド、マトリクス配置サブフィールド、その元のサブフィールドなどの属性データを有していないが、露光データのサブフィールドデータには、階層化データの認識工程(S12)により属性データatが追加される。第3に、設計データは、サブフィールドSSF00〜SSF44とそのサブフィールドが有するパターンデータとから構成される。しかし、露光データには、サブフィールドとして補助露光パターンを有する補助露光用のサブフィールドTSSF1〜TSSFnを有する。
サブフィールドデータとパターンデータとの階層構造を維持する為に、補助露光パターンは、新たに追加した単独配置サブフィールドの一種である仮単独配置サブフィールドTSSF1〜TSSFn内の露光パターンとして、露光データに登録される。図12では、単独配置サブフィールドSSF44の後に、仮単独配置サブフィールドTSSF1〜TSSFnが追加される。この仮単独配置サブフィールドは、エリアの大きさの補助露光パターンを有する。それぞれの仮単独配置サブフィールド内の補助露光パターンは繰り返されないので、仮単独配置サブフィールドの性質は、単独配置サブフィールドと同等である。したがって、露光データとしては、単独配置サブフィールドも仮単独配置サブフィールドも同じ取り扱いとなる。尚、仮単独配置配置サブフィールド内には複数の補助露光パターンが発生される。
サブフィールドは、必ずしも図3に示される通り、メインフィールド内に一面に敷き詰められた領域ではなく、内部の露光パターンによって、お互いに一部重なり合う領域であってもよい。露光工程においては、単にそれぞれのサブフィールドの位置にそのサブフィールドに含まれる露光パターンに電子ビームが照射されるだけである。従って、露光パターンのサブフィールドに、補助露光パターンのサブフィールドが重なって登録されることも許される。これにより、階層化データ構造を壊すことなく、補助露光パターンを露光データに追加することができる。
設計データのサブフィールドに追加された仮単独配置サブフィールドのパターンの露光量は、それ単独ではレジストを露光するには足りない強さであることは、既に説明した通りである。
そして、この様にして作成された露光データDoutが電子ビーム制御装置に供給されて、その露光データに従う電子ビーム露光が行われる(S20)。
上記の露光データの作成方法で特徴的なことは、露光密度と距離に依存する近接露光効果を考慮した露光データを作成する為に、サブフィールド内にエリアを発生させることである。そして、そのエリアのパターン密度Smnに、周囲のエリアからの近接露光効果を加えた実質的パターン密度SRmnをもとにして、その露光量の補正と補助露光パターンを生成することである。そして、補助露光パターンを、既存のサブフィールド内のパターンデータとせずに、新たに発生させた仮単独配置サブフィールドのパターンデータとしたことである。
しかしながら、上記の方法では、サブフィールド内に内部のパターン形状、位置とは無関係にエリアを生成しているので、それに起因して様々な問題点が生じる。更に、補助露光パターンの形状を実際のパターンの形状、位置とは無関係に生成したエリアの形状にしているので、近接露光効果の問題を解決できる理想的な補助露光パターンと異なる場合がある。以下に、それぞれの問題点を詳述するとともに、その解決手段を説明する。
[パターン存在領域間の補助露光パターンの発生]
図13は、マトリクス配置サブフィールドMSF内のエリアに発生させた補助露光パターンの例を示す図である。マトリクス配置サブフィールドMSFは、典型的には、メモリセル領域の様に高密度で繰り返して同じパターンが露光されるサブフィールドである。かかるサブフィールドでは、パターンが存在する領域41〜45が一定の間隔を介して配置される。即ち、パターン存在領域41〜45の間にパターンの切れ目51〜54が存在する。そして、サブフィールド内に発生されるエリアamnの領域とパターン存在領域41〜45とが整合せずに、切れ目51,53ではエリアの領域がマッチするが、切れ目52,54ではエリアの領域がマッチしない。
図13は、マトリクス配置サブフィールドMSF内のエリアに発生させた補助露光パターンの例を示す図である。マトリクス配置サブフィールドMSFは、典型的には、メモリセル領域の様に高密度で繰り返して同じパターンが露光されるサブフィールドである。かかるサブフィールドでは、パターンが存在する領域41〜45が一定の間隔を介して配置される。即ち、パターン存在領域41〜45の間にパターンの切れ目51〜54が存在する。そして、サブフィールド内に発生されるエリアamnの領域とパターン存在領域41〜45とが整合せずに、切れ目51,53ではエリアの領域がマッチするが、切れ目52,54ではエリアの領域がマッチしない。
かかる状況において、上述したエリア毎のパターン密度に基づいて、そのパターン密度が低いエリアに補助露光パターンを発生し、パターン密度が高いエリアに補助露光パターンを発生しない方法をとると、図1313中の太枠のエリアには補助露光パターンが生成され、細枠のエリアには補助露光パターンが生成されない。従って、切れ目51〜54は全て同じ露光パターンの配置であるのに、エリアとの整合性に依存して補助露光パターンが発生したり発生しなかったりするという弊害を伴う。その結果、図13中のエリアA1の部分には補助露光パターンが生成されているので、現像パターンの細りの問題は生じないが、エリアA2の部分には補助露光パターンが生成されず、現像パターンの細りの問題が生じる。
本実施の形態例では、かかるエリアのパターン密度に基づく補助露光パターン発生方法の弊害を解決する為に、エリア内のパターン存在領域のデータを生成し、エリア内のパターン密度が高い場合でも、隣接するパターン存在領域間の距離が一定の距離、例えばエリアの大きさ程度、を超えると、かかるエリアには補助露光パターンを発生させる。
図14は、図13のエリアA2の領域の部分を拡大した図である。この図では、6個のエリアamnが示されている。図15は、エリアデータの例を示す図である。この例では、サブフィールドSFmn内にエリアa11〜aijが存在している場合に、各エリアがエリアデータとして、エリア位置データ、エリア内のパターン存在領域の左下と右上位置データ、エリア内パターン密度データ、見直し後のパターン密度データ、補助露光パターンが発生したか否かのフラグデータ、マトリクス配置サブフィールド内のエリアか否かのフラグデータを有する。
即ち、マトリクス配置サブフィールド内にエリアamnを生成した時に、各エリアamn内のパターンが存在している領域のデータを生成しておく。
そこで、最初にエリア内の見直しパターン密度に従って上記の通り補助露光パターンを発生させ、その後、エリアデータを参照してパターン存在領域を認識する。そして、サブフィールド内のパターン存在領域41〜45が認識されると、その周辺のエリアに対して、隣接するパターン存在領域までの距離L1 を計算する。図14(a)に示される通り、パターン存在領域42,43間の距離L1 がある基準距離Lref より大きい場合は、当該周辺のエリアに補助露光パターンを発生させる。
この基準距離Lref は、近接露光効果に応じて決定できるが、例えば補助露光パターンが発生できる単位である1つのエリアの大きさ程度が好ましい。即ち、エリアの位置とパターン存在領域とのマッチングによっては、パターン密度が低いエリアが発生する可能性がある領域に、新たに補助露光パターンを生成する。
図14(b)は、補助露光パターン60が6つのエリアamnに生成された状態を示す。図中網掛けの部分の補助露光パターン60が新たに生成される。
図16は、新たに補助露光パターンを生成した場合のマトリクス配置サブフィールドを示す図である。太線のエリアに補助露光パターンが生成される。図1313と対比すると明らかな通り、パターン存在領域42,43の間の切れ目52、及びパターン存在領域44,45の間の切れ目54とに新たに補助露光パターンが生成されている。その結果、図13の場合にエリアA1とA2とでは現像パターンに差が生じていたのが、図1616の場合では、パターン存在領域の周辺のエリアの部分に補助露光パターンが生成され、エリアA1,A2で現像パターンに差はなく、適正な大きさの現像パターンを得ることができる。
図17は、上記の補助露光パターン発生のフローチャート図である。このフローチャートは、図5のステップS18の部分を詳細に示す。上記した通り、図10に示した補正テーブルにしたがい、エリア内のパターン密度に応じた露光量の補助露光パターンを発生し、仮単独配置サブフィールドに登録する(S31)。その後に、マトリクス配置サブフィールド内のパターン存在領域の周辺のエリアを認識する(S32)。そして、それらのエリアについて、隣接するパターン存在領域までの距離L1 が基準距離Lref よりも大きければ(S33)、そのエリアに補助露光パターンを発生し、仮単独配置サブフィールドに追加登録する(S34)。
[段階的補助露光パターンの発生]
補助露光パターンの発生は、露光パターン密度が低い領域に現像に至らない程度のエネルギーの露光を行うことにより、積極的に近接露光効果を生じさる。それにより周辺に露光パターンが存在しないパターンが現像後に細くなることが防止される。近接露光効果は、レジスト層に照射された電子ビームのエネルギーが周囲に拡がることにより生じる。そして、パターン密度の低い領域に補助露光パターンを発生させることで、そこに照射される電子ビームのエネルギーの拡がりにより、隣接する本来の露光パターンに近接露光効果のエネルギーを与える。従って、補助露光パターンの発生は、ある程度の補助露光の電子ビームのエネルギーの拡散を前提にしている。
補助露光パターンの発生は、露光パターン密度が低い領域に現像に至らない程度のエネルギーの露光を行うことにより、積極的に近接露光効果を生じさる。それにより周辺に露光パターンが存在しないパターンが現像後に細くなることが防止される。近接露光効果は、レジスト層に照射された電子ビームのエネルギーが周囲に拡がることにより生じる。そして、パターン密度の低い領域に補助露光パターンを発生させることで、そこに照射される電子ビームのエネルギーの拡がりにより、隣接する本来の露光パターンに近接露光効果のエネルギーを与える。従って、補助露光パターンの発生は、ある程度の補助露光の電子ビームのエネルギーの拡散を前提にしている。
この電子ビームのエネルギーの拡がりは、レジストの材料に依存する。通常レジストの材料は、形成するパターンの細さや密度などに応じて最適の材料が使用される。従って、電子ビーム露光装置では、異なる材料のレジストに適用できる補助露光パターンの生成が要求される。
図18は、露光パターンの回りに補助露光パターンが生成された状態を示す図である。この例では、露光パターン61〜64を有する領域において、露光パターン61〜64の周囲に補助露光パターン71が生成されている。図18には、簡単の為に発生されたエリアは示されていない。図18の例では、発生したエリアのパターン密度を基準にして、パターン密度が低い領域に補助露光パターン71を生成する。
ある電子ビームの拡がり特性を持つ材料のレジストの場合は、上記の補助露光パターン71への電子ビームの照射により、そのエネルギーが露光パターン61〜64にも拡がり、パターンの細りを防止することができる。しかし、それとは異なり、電子ビームの拡がり特性が悪い材料のレジストの場合は、図中の補助露光パターン71の位置が露光パターン61〜64から離れているので、露光パターンに十分な近接露光効果を生じさせることができない。
そこで、本実施の形態例では、レジストの材料の特性に応じて、補助露光パターンの発生領域を、パターン密度の低いエリアだけでなくそのエリアとその周囲のエリアまで拡げる。しかも、周囲のエリアまで拡げる場合は、理想的な拡がり特性を持つレジストの場合の拡がり分布になる様に、露光量Qを階段状に設定する。そして、トータルの露光量はエリアを拡げない場合と等しくする。
図19は、補助露光パターンの拡がり特性を考慮した比率テーブルの例を示す。この例では、7行7列のエリアの中心に補助露光パターン75を発生した時の、拡がりを考慮した補助露光パターン76を示す。エネルギ分布が75から76になることを示す。そして、拡がってもトータルのエネルギーは単一のエリアに発生させた補助露光パターンのエネルギーと等しくする必要がある。
図19のマトリクスには、その比率S11〜S77は示されていて、それらの比率は、以下の数式を満足する。
1.0=S11/(S11+S12+... +S67+S77)+......+ S77/(S11+S12+... +S67+S77)
上記から明らかな通り、拡がりを考慮した露光量分布76になる様に階段状の露光量の補助露光パターンを生成することが、レジストの材質によっては必要となる。
上記から明らかな通り、拡がりを考慮した露光量分布76になる様に階段状の露光量の補助露光パターンを生成することが、レジストの材質によっては必要となる。
図20は、図18の補助露光パターンを階段状の露光量分布を有する補助露光パターンにした例を示す図である。図18の補助露光パターン71に加えて、露光パターン61〜64と補助露光パターン71の間に追加の補助露光パターン72が生成される。追加の補助露光パターン72の露光量は、補助露光パターン71よりも弱く設定され、トータルの露光量が増加しないように設定される。図20の例では、補助露光パターン71の露光量は、図18の場合よりも弱く、さらに追加の補助露光パターン72の露光量は、更にそれより弱い。
実際の露光装置では、使用するレジストの材料に応じて、図18の補助露光パターン71のみを発生する場合と、図20の補助露光パターン71,72を発生する場合とを選択可能にする。更に、レジストの種類が増える場合は、拡がりの程度が異なる複数種類の階段状の露光量を持つ補助露光パターンを発生できるようにする。
上記の補助露光パターンの発生は、図17のフローチャートにも示されている。ステップS36にて、使用されるレジストの材料によって、階段的な補助露光パターンを発生して、結果的に拡がり特性をもたせる必要がある場合は、一旦発生した補助露光パターンを階段状の露光量をもつ補助露光パターンに変更する(S37)。従って、変更された補助露光パターンは、より多くのエリアを有するパターンになる。この様に変更された補助露光パターンは、既に説明した通り、仮単独配置サブフィールド内のパターンデータとして追加される。従って、そのパターンデータの露光量は、階段状の分布を有する。
図21は、図20の補助露光パターンの露光量分布を示す図である。図20の縦方向に沿った露光量分布である。本来の現像される露光パターン61〜64は、高い露光量を有するが、その間の補助露光パターン71は、それより低い露光量を有する。更に、追加された補助露光パターン72は、それよりさらに低い露光量を有する。
[パターンに整合するエリアの発生]
本実施の形態例では、サブフィールド内にエリアを発生させ、そのエリア内のパターン密度を求め、更に周囲のエリアのパターンからの影響を考慮して新たなパターン密度を求め、その見直した新たなパターン密度を基準にして、補助露光パターンを発生する。しかも、その補助露光パターンはエリアを単位とするパターンである。
本実施の形態例では、サブフィールド内にエリアを発生させ、そのエリア内のパターン密度を求め、更に周囲のエリアのパターンからの影響を考慮して新たなパターン密度を求め、その見直した新たなパターン密度を基準にして、補助露光パターンを発生する。しかも、その補助露光パターンはエリアを単位とするパターンである。
しかしながら、実際に現像されるべき露光パターンとエリアを単位とする補助露光パターンとの整合性が悪く、同じ露光パターンであっても、異なる補助露光パターンが生成される場合がある。
図22は、サブフィールド内の露光パターンに対して発生した補助露光パターンを示す図である。この例では、サブフィールドSF内に3つの露光パターンPA,PB,PCが存在する例で、その周囲を囲む領域に太線で示される補助露光パターンが生成されている。それぞれの補助露光パターンは、12行3列のエリアにわたるサイズである。
露光パターンPA,PB,PCは、図示される通り、同じ露光密度の条件化にある。しかしながら、パターンPAはエリアの左端に位置し、パターンPBはエリアの中心に位置し、パターンPCはエリアの右端に位置する。その結果、パターンPBに対して発生した補助露光パターンは、パターンPBに左右対称になっている。それに対して、パターンPA,PBに対して発生した補助露光パターンは、パターンPA,PCに対して左右対称になっていない。かかる不都合は、露光パターンの位置に依存しないでエリアを発生したことが原因である。
そこで、本実施の形態例では、存在するパターンの位置に依存したエリアを発生する。その為に、パターンの存在する領域を求めて、そのパターン存在領域の中心、或いは重心、から点対称にエリアを周囲に発生する。しかも、エリアの周囲への発生は、近接露光効果が生じる範囲までとする。それより外側の領域は、本来エリアを発生してもパターン自体存在しないので、そもそも補助露光パターンを発生する必要がないので、エリア自体を発生させる必要はない。
図23は、サブフィールド内の露光パターンの存在領域を検出する方法を示す図である。また、図2424は、検出されたパターン存在領域に対してマッチするエリアを発生する方法を示す図である。図23の例は、サブフィールドSF内に2つのパターンの固まりが存在する例である。
まず、パターンデータは、図4に示される通り、パターンの左下の座標(x、y)とパターンの幅w、高さhを有する。そこで、対象となるサブフィールドSFにおいてエリアを発生させる場合、そのサブフィールドSF内のパターンデータと、隣接するサブフィールド内のパターンデータとを、設計データから読み出す。そして、図23に示される通り、パターンp01とp02とが隣接しているので、それらを合成したパターン存在領域A01を作成する。更に、パターン存在領域A01とそれに隣接するパターンp03とを合成する。その場合、それぞれの幅A01Wとp03Wとを比較して、大きい方の幅p03Wを新たなパターン存在領域A02の幅と定義する。
以上のアルゴリズムを、全ての読み出したパターンデータに対して行うことで、図23中に破線で示される通り、サブフィールドSF内には2つのパターン存在領域82,83が作成される。この例では、パターン存在領域82,83は、サブフィールドSFの領域からはみ出している。尚、複数のパターンを合成してパターン存在領域を生成するにあたり、複数のパターンが隣接している必要はなく、所定の距離以内に近接している場合も、パターン存在領域として合成することができる。
図24は、上記のパターン存在領域82,83にマッチしたエリアをそれぞれ発生した状態を示す。サブフィールドSF内に作成された2つのパターン存在領域82,83のそれぞれの中心82C、83Cを始点として、それぞれに点対称のエリアamnが生成される。その場合の、エリアの発生領域は、パターン存在領域82、83から露光影響範囲L2 まで広がれば良い。図24の例では、両方のパターン存在領域82,83は、露光影響範囲L2 の2倍以上の距離を隔てて存在する。従って、それぞれのパターン存在領域82,83に発生させたエリアは、重なり合うことはない。
サブフィールドSF内に一部エリアが発生しない領域が存在するが、そもそもかかる領域には露光の影響が及ぼされず、その領域のパターン密度はゼロになり、補助露光パターンの発生は不要であるので、何らの支障も発生しない。
また、パターン存在領域82,83が、露光影響範囲L2 の2倍以内に近接している場合は、それらを合成して新たなパターン存在領域を生成することで、それぞれのエリアで補助露光パターンが重複して発生することを防止することができる。或いは、2つのパターン存在領域で発生させたエリアが重なる場合は、図1515に示したエリアデータの補助露光パターンを発生させたか否かのフラグを利用して、既に発生しているエリア上には新たな補助露光パターンの発生を禁止することができる。或いは、補助露光パターン自体の露光量は小さいので、ある程度の補助露光パターンの重なりを許可し、対象となるエリアの露光量の合計がある閾値を超えない様にデータ処理することもできる。
図24に示す通り、それぞれのパターン存在領域にマッチングしたエリアを発生させることにより、エリアを発生単位とする補助露光パターンは、パターンとマッチングし、図22の如き弊害を避けることができる。
[エリア間近接露光効果]
本実施の形態例における近接露光効果を考慮した補助露光パターン発生の方法では、サブフィールド内に発生させたエリアのパターン密度をもとにして行う。このエリア内のパターン密度は、実際に存在するパターンの密度と、周囲のエリアのパターンからの近接露光効果により与えられる影響度をパターン密度として追加している。その場合、図8で示した通り、周囲のエリアのパターンからの露光影響の度合いを検出する為に、周囲のエリアの露光パターン密度に対象エリアまでの距離rによる係数、例えば1/(1+r)を乗算する。
本実施の形態例における近接露光効果を考慮した補助露光パターン発生の方法では、サブフィールド内に発生させたエリアのパターン密度をもとにして行う。このエリア内のパターン密度は、実際に存在するパターンの密度と、周囲のエリアのパターンからの近接露光効果により与えられる影響度をパターン密度として追加している。その場合、図8で示した通り、周囲のエリアのパターンからの露光影響の度合いを検出する為に、周囲のエリアの露光パターン密度に対象エリアまでの距離rによる係数、例えば1/(1+r)を乗算する。
図25は、3行3列のエリアAREA11〜AREA33における、真ん中のエリアAREA22への露光影響の度合いの検出を示す図である。この例では、単純にエリア間の距離を、エリアの中心間の距離とする。しかしながら、実際には、エリア内のパターンは、エリア内で均一の存在しているわけではない。図25R>5の例では、エリアAREA11はパターンが右下に存在し、エリアAREA22はパターンが右端に存在する。従って、エリアの中心間の距離を利用して、周囲のエリアからの露光影響度を判定すると、実際の露光影響度を正確に判定することができない。
そこで、本実施の形態例では、より正確に周囲のエリアのパターンからの露光影響度を判定する為に、エリア毎にパターン存在領域を検出し、そのパターン存在領域の重心間(または中心間)の距離を利用する。図15で説明した通り、各エリアデータには、エリアの位置座標に加えて、パターンが存在している領域の左下の座標と右上の座標データが含まれる。従って、このパターンが存在している領域をパターン存在領域として、その領域の重心間の距離を、エリア間の距離として利用する。
図26は、エリア内のパターン存在領域間の距離を利用した場合を示す図である。この例では、エリアAREA11、12、13、21、22及びAREA23,33は、単一のパターンが存在するだけであり、エリアAREA32,13には、複数のパターンが存在する。従って、エリアAREA11〜22等は、パターン自体がパターン存在領域PEとなる。また、AREA32,13では、複数のパターンが存在する矩形の領域をパターン存在領域PEとして、その領域の重心を利用する。
従って、図26に示されるとおり、対象となるエリアAREA22の位置は、パターンの重心位置(パターン中心位置と同じ)とみなされ、それぞれ周囲のエリアのパターン存在領域の重心との距離を利用して、露光影響度を演算し、パターン密度の修正を行う。その結果、より正確に露光影響度を検出することができ、補助露光パターン発生の基準となるエリアのパターン密度をより正確に生成することができる。
[マトリクス配置サブフィールドの演算]
マトリクス配置サブフィールドは、集積回路のメモリセル領域の如く繰り返しパターンだけを有する領域に発生する。その場合、繰り返して発生するマトリクス配置サブフィールドは、露光順番の先頭の基準となるサブフィールド(マトリクス基準配置サブフィールド)が存在し、それに続いて、同じパターンデータのアドレスを指すマトリクス配置サブフィールドが存在する。そして、そのマトリクス配置された領域の周辺には、単独配置サブフィールドが隣接或いは一部重なって存在する。
マトリクス配置サブフィールドは、集積回路のメモリセル領域の如く繰り返しパターンだけを有する領域に発生する。その場合、繰り返して発生するマトリクス配置サブフィールドは、露光順番の先頭の基準となるサブフィールド(マトリクス基準配置サブフィールド)が存在し、それに続いて、同じパターンデータのアドレスを指すマトリクス配置サブフィールドが存在する。そして、そのマトリクス配置された領域の周辺には、単独配置サブフィールドが隣接或いは一部重なって存在する。
一般に、メモリセル領域の如く高密度の領域に生成されるマトリクス配置サブフィールドは、内部に高密度のパターンを有する。従って、かかるマトリクス配置サブフィールド内には、補助露光パターンを生成する必要がない場合が多い。
そこで、本実施の形態例では、マトリクス基準配置サブフィールドについて、図5のステップS13〜S18の演算を行って補助露光パターンが発生されない場合は、それ以降のマトリクス配置サブフィールドも補助露光パターンの発生がないとして、それらのマトリクス配置サブフィールドについて、パターンデータを読み込んで演算を行わない。但し、マトリクス配置サブフィールドの境界部分は、パターン密度が低い場合が多いので、かかる領域はパターンデータの読み込みを行い、パターン密度を検出して補助露光パターンを必要に応じて発生させる。
図27は、上記の例が当てはまる場合のマトリクス配置サブフィールドの例を示す図である。この例では、マトリクス配置サブフィールドMSFが5行5列繰り返して配置される。そして、その先頭のマトリクス配置サブフィールドは、マトリクス基準配置サブフィールドMRSFとなる。また、マトリクス配置サブフィールドの周辺には、単独配置サブフィールドSSFが一部重なる様に配置される。そして、仮単独配置サブフィールドKSSFは、単独配置サブフィールドにマッチングする領域(図中破線のフィールド)に設けられる。
この例において、近接露光効果を考慮して補助露光パターンを生成する演算時間をできるだけ短くする為に、マトリクス基準配置サブフィールドMRSF内にエリアを発生し、パターンを読み込んで、エリアのパターン密度を求め、補助露光パターンが必要か否かを判定する。高密度のマトリクス配置サブフィールドの場合は、ほとんど補助露光パターンの発生が不要になる。
そこで、多少の露光精度の低下があっても演算時間を短縮することを優先する場合は、マトリクス基準配置サブフィールドMRSFのみ補助露光パターンが必要か否かの演算を行い、補助露光パターンが不要なら、残りのマトリクス配置サブフィールドの演算を省略する。そして、高いパターン密度の部分の露光量を減じる比率αは、マトリクス基準配置サブフィールドMRSFで求めた比率αを残りのマトリクス配置サブフィールドにも適用する。
但し、マトリクス配置サブフィールドの場合は、その境界部分はパターン密度が疎になっている場合があるので、図中90の領域のパターンデータは読み込んで、エリア内のパターン密度を求めて、補助露光パターンの発生が必要か否かの判断を行う。読み込むパターンデータの量が減ることにより、演算時間は短くなる。領域90は、マトリクス配置サブフィールドMSFの水平方向の境界部分の領域であるが、同様にマトリクス配置サブフィールドMSFの垂直方向の境界部分の領域もパターンデータの読み込みを行うことが必要である。
100 露光データ作成装置
200 ビーム制御装置
300 鏡筒
MF メインフィールド
SF サブフィールド
SSF 単独配置サブフィールド
MSF マトリクス配置サブフィールド、繰り返し配置されるサブフィールド
200 ビーム制御装置
300 鏡筒
MF メインフィールド
SF サブフィールド
SSF 単独配置サブフィールド
MSF マトリクス配置サブフィールド、繰り返し配置されるサブフィールド
Claims (3)
- メインフィールド内の複数のサブフィールド毎のパターンデータを有するパターンデータから前記サブフィールド毎の露光パターンデータを有する露光データを求め、該露光データに従って試料を露光する荷電粒子ビーム露光方法において、
(a)前記サブフィールド内に複数のエリアを発生する工程と、
(b)該エリア内のパターン密度を求め、該エリアの周囲のエリアのパターン密度及び該エリア内のパターン存在領域間の距離に従って当該パターン密度を見直す工程と、
(c)前記エリアの前記見直されたパターン密度が所定の露光基準密度より低い場合に、当該エリア内に補助露光パターンを発生する工程と、
(d)前記パターンデータに前記補助露光パターンデータを追加した露光データに従って、前記試料を露光する工程とを有することを特徴とする荷電粒子ビーム露光方法。 - 請求項1において、
前記エリア内のパターン存在領域間の距離は、前記パターン存在領域の重心間の距離であることを特徴とする荷電粒子ビーム露光方法。 - メインフィールド内の複数のサブフィールド毎のパターンデータを有するパターンデータから前記サブフィールド毎の露光パターンデータを有する露光データを求め、該露光データに従って試料を露光する荷電粒子ビーム露光装置において、
前記サブフィールド内に複数のエリアを発生し、該エリア内のパターン密度を求め、該エリアの周囲のエリアのパターン密度及び該エリア内のパターン存在領域間の距離に従って当該パターン密度を見直し、前記エリアの前記見直されたパターン密度が所定の露光基準密度より低い場合に、当該エリア内に補助露光パターンを発生し、前記パターンデータに前記補助露光パターンデータを追加した露光データを生成する露光データ生成部と、
前記露光データに従って、前記試料に荷電粒子ビームを照射して露光する露光部とを有することを特徴とする荷電粒子ビーム露光装置。
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-
2005
- 2005-10-20 JP JP2005306129A patent/JP2006041561A/ja active Pending
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Legal Events
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20081216 |