JP2006035803A - インクジェットヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明の課題は、圧電素子の変形を用いてインクを吐出するインクジェットヘッドにおいて、圧電素子を単独で駆動した場合のインクの吐出速度と、複数の圧電素子を同時に駆動したときのインクの吐出速度の変動比を低減することにある。
【解決手段】隣接する圧電素子同士を弾性体で連結することにより、流路形成基板の変形に起因する第１のクロストークを、圧電素子間の弾性体により生ずる第２のクロストークで相殺する構造にした。
【選択図】図１

Description

本発明はインク滴を飛翔させ記録紙等の媒体上にインク像を形成するインクジェット記録ヘッド及びその製造方法に関するものである。

従来から、圧電素子などの圧力発生手段により、圧力室の容積を変化させ、ノズルからインクを吐出させるインクジェットヘッドが知られている。

図８は圧電素子を用いたインクジェットヘッドの一例を示す。流路形成基板３は一枚以上の薄板を接合して形成され、ノズルプレート２、チャンバプレート５、リストリクタプレート７、ダイアフラムプレート１０及びサポートプレート１１よりなる。図８の例では、まずノズル１を有するノズルプレート２、圧力室４が形成されたチャンバプレート５、及び共通インク通路１３と圧力室４とを連結して圧力室４へのインク流入を制御するリストリクタ６を形成したリストリクタプレート７とを位置決めして接合する。更に、圧電アクチュエータ１４の圧力を圧力室４に伝えるための振動板８を形成したダイアフラムプレート１０と、振動板８の振動領域を規定するサポート穴部１１ａを有するサポートプレート１１とを位置決めして接合する。これらの薄板を貼り合わせることで流路形成基板３を形成し、共通インク通路１３を形成したハウジング１２を同じように位置決めして接合する。ハウジング１２はインク導入パイプ１９を有し、図示されないインクタンクよりインクが供給される。

これらの薄板はステンレスやニッケルなどの金属材料よりなり、エッチングやプレス加工、レーザや電鋳加工などの精密加工を利用して製作できる。或いはシリコン等の材料を用い、エッチング加工を利用して複数の機能を有する部材を一体で製作しても良い。また、振動板にはポリイミドなどの樹脂材を用いてもよい。

最後に、複数の圧電素子１５とそれを固定する支持基板１６からなる圧電アクチュエータ１４を位置決めして接着剤により接合する。圧電アクチュエータ１４は複数の圧電素子１５からなり、各々の圧電素子１５は圧力室４の一つずつに対応するようになっている。各圧電素子１５は個別電極１７及び裏側に共通電極が接続されており、個別電極１７に選択的な電気信号を加えることで、圧電素子１５を変形させる。圧電素子１５の変形が振動板８を介し圧力室４に伝わり、インクはノズル１からインク滴として吐出する。各圧電素子１５の先端には圧力室４の幅より狭い圧力伝達部材を設けてもよい。これにより、圧電素子１５の幅をノズル間のピッチ近くまで広げることが可能となる。

上記のような圧電素子１５の変形を利用したインクジェットヘッドは、高密度化に伴い、単独の圧電素子を駆動する時のインク滴吐出速度と、複数の圧電素子を駆動する時のインク滴吐出速度とが異なってしまうという、いわゆるクロストークの課題を有している。

クロストークが発生する第１の原因は、流路形成基板３の剛性が不足することに起因している。つまり流路形成基板３の剛性が不足すると、複数の圧電素子１５を駆動したときに振動板８だけでなく、流路形成基板３自体が変形してしまうため、単独で圧電素子を駆動する場合に比べ圧電素子１５の見かけの変形量が減少して、インク吐出速度が低下してしまうためである。

クロストークが発生する第２の原因は、サポート穴部１１ａを乗り越えた接着剤で、圧電素子１５同士が繋がることに起因している。つまり、サポート穴部１１ａを乗り越えた接着剤により隣接する圧電素子１５が繋がると、圧電素子１５同士が干渉し、信号を印加された圧電素子１５の変形が阻害されて、圧電素子１５の変形量が減少する。また隣接する圧電素子１５を同時に駆動した場合は、２本の圧電素子１５で間の接着剤を引っ張る形になり、単独で駆動するよりも圧電素子１５の変形量が増加してインク吐出速度が増加する。

以下、説明の便宜上、上記第１の原因に起因するクロストーク、つまり流路形成基板の剛性が不足し、単独で圧電素子を駆動する場合より複数の圧電素子を駆動したときの方がインク吐出速度が低下する該流路形成基板自体が変形することによるクロストークを第１のクロストークと称し、第２の原因に起因するクロストーク、つまり隣接する圧電素子１５同士が接着剤で繋がることにより単独で圧電素子を駆動する場合より複数の圧電素子を駆動したときの方がインク吐出速度が増加するクロストークを第２のクロストークと称する。

一般にインク吐出速度の低下の方が速度が増加する場合に比べてインク滴の着地位置精度に悪影響を及ぼすので、通常は第１の原因に起因するインク吐出速度の低下の方がクロストークの重要な課題になる。

従来、このような課題に対して、いろいろな対応策が提案されている。

特許文献３には、図９に示すように圧電素子１１５と不動圧電素子１３０を交互に列状に配置して流路形成基板基板１０３の変形を防ぐ構造が開示されている。圧電素子１１５の間に配置される不動圧電素子１３０が流路形成基板１０３を直接支えるため、圧電素子１１５の駆動による変形を防ぐ効果がある。しかしながら、この構造は圧電素子１１５のピッチを倍にする必要があり、高密度化には不向きである。

特許文献４には、図１０に示すように流路形成基板１０３の隣接する圧力室１０４を隔てる隔壁１０５の一部に厚肉部１０５aを設ける構造が開示されている。このような構造にすることにより流路形成基板１０３自体の剛性を高めることができる。

特許文献５には、図１１に示すように圧力室形成部材１０５とノズル形成部材１０２の間に強化部材１４０を設ける構造が開示されている。複数の圧力室１０４をもつ圧力室形成部材１０５と各圧力室１０４に対応した複数のノズル１０１の間に、ノズル１０１に対応した連通穴１４１を有する強化部材１４０を設けることにより流路形成基板１０３の剛性を高めている。

特許文献６には、図１２に示すように弾性板１１０の圧電素子１１５が接着される面側に、枠状部１１１ａを有する弾性材１１１を配置する構造が開示されている。枠状部１１１ａは圧力室１０４の隔壁を支持し流路形成基板１０３の剛性を補う効果がある。なお図１０〜図１２において１１５は圧電素子、１１２はハウジングを示す。

上記の方法は何れも流路形成基板１０３の剛性を高めた分だけ、第１の原因に基づくクロストークを減少させることは可能であるが、更に、十分な剛性を得るためには、ある程度の板厚や部材の追加が必要になってしまう。しかしながら、例えばエッチング加工により流路形成基板を形成する場合、一般に板厚と加工する穴とのアスペクト比が１：１を超えると加工が次第に困難になり、１：２程度が限界である。従って高密度化に伴い、流路形成基板の剛性を高めるのに各部材の板厚を増加するという方法には自ずから限界がある。

特開平１−１１５６３８号公報

米国特許第４４１８３５５号 特開平９−１７４８３７号公報 特開２００１−１９９０６３号公報 特開平６−９９５７８号公報 特開平６−２９７７１０号公報

本発明の目的は、複数の圧電素子を駆動して複数のノズルからインクを同時に吐出した時に、インク吐出速度の低下を極力防止し得るインクジェットヘッドを提供することにある。

本発明の他の目的は、圧電素子を単独で駆動したときのインクの吐出速度と、複数の圧電素子を駆動したときのインクの吐出速度との変動の割合の小さいインクジェットヘッドを提供することを目的とする。

上記の目的を達成するために、本発明は、流路基板と圧電アクチュエータとを有し、前記流路基板は、インク滴を吐出するノズルが複数個列状に配置されたノズルプレートと、前記ノズルに対応してインクを蓄える圧力室を備える圧力室プレートと、前記圧力室の壁面の一部を形成する振動板と、前記圧力室にインクを供給する流路を備えるリストリクタプレートとを備え、前記圧電アクチュエータは前記圧力室に対向配置された複数個の圧電素子を有し、前記圧電素子に印加される電気信号に応じて前記ノズルからインク滴を吐出するように構成されたインクジェットヘッドにおいて、前記圧電素子と互いに隣接する圧電素子とを弾性部材で連結すると共に該弾性部材と前記振動板との間に間隙を形成したことに一つの特徴がある。

本発明の他の特徴は、振動板と対向する側の圧電素子に凸状のフットを設け、各々のフットを両隣のフットと弾性部材で連結したことにある。

本発明の他の特徴は、前記弾性部材を、前記振動板と前記圧電素子、又は振動板と凸状フットとを接合する接着剤と同じ材料より構成したことにある。

本発明の他の特徴は、前記フットを、前記圧電素子に接合され、該圧電素子より幅の狭い第１フット部と、該第１フット部に接合され該第１フット部より幅の狭い第２フット部より構成したことにあり、更に第１フット部は、圧電素子側の幅が第２フット部側の幅より大きい台形状の断面形状としたことにある。

本発明の他の特徴は、前記フットの高さをＨ１，隣接するフット間も最も狭い部分の間隔をＬとしたときＬ＜Ｈ１の関係に満たすようにし、さらに、第２フット部の高さをＨ２，前記振動板の振動領域を規定するサポートプレートの厚さをＨ３としたときＨ２＞Ｈ３の関係を満たすようにしたことにある。

本発明の他の特徴は、複数個の圧電素子と、該圧電素子の先端に接合されたフットであって該圧電素子の幅より狭い第１のフット部と、該第１のフット部に接合され第１のフット部より狭い幅を有する第２のフット部より構成されるフットを有し、隣接するフット間を弾性部材で連結した圧電アクチュエータを有するインクジェットの製造方法であって、所定の厚さｔに維持された接着剤の中に前記フットを漬し、該フットに接着剤を転写することによって前記弾性部材を形成することにある。

本発明の他の特徴は、前記フットの高さをＨ１，前記第２フット部の高さをＨ２，隣接するフット間の最も狭い部分の間隔をＬとしたときＨ２＜ｔ＜Ｈ１の関係を満たすように弾性部材を形成するとともに、Ｌ／２＜ｔ＜Ｈ１の関係を満たすように弾性部材を形成するインクジェットヘッドの製造方法にある。

本発明のインクジェットヘッドは、隣接する圧電素子同士を弾性体で連結したため、隣接する圧電素子を同時に駆動した場合、流路形成基板の変形による第１のクロストークと、圧電素子間に弾性体を介した速度増加の第２のクロストークが発生し、第１及び第２のクロストークが互いに相殺されるため、全体としてインクの吐出速度の変動を小さくできるという利点がある。

以下本発明にかかるインクジェットヘッドの第１の実施例を参照して説明する。図１において、１はノズル、２はノズルプレート、３は流路形成基板、４は圧力室、８は振動板、１５は圧電素子である。ノズルプレート２には、インクを吐出するノズル１が複数個列状に設けられ、ノズル１に対応して圧力室４が設けられている。流路形成基板３はノズル１を有するノズルプレート２、圧力室４、振動板８及びサポート穴部１１ａを有するサポートプレート１１を備えている。振動板８には圧力室４に対向するように圧電アクチュエータ１４が接着されている。

圧電アクチュエータ１４は各圧力室４に対応するように配置された圧電素子１５を有する。５０は圧電素子１５と振動板８を接着する接着剤である。本発明においては、第１のクロストークと第２のクロストークを互いに相殺するために、上記流路形成基板３の剛性を適当な範囲に設定して、第１クロストークを抑制すると共に、隣接する圧電素子１５の間を弾性体５１により連結し、且つ弾性体５１と振動板８との間には適当な間隙を形成して第２クロストークを第１クロストークの大きさに見合う程度の大きさになるように調整している。

まず、本実施例の流路形成基板３の剛性について説明する。

図１の圧電素子１５が収縮した時に、振動板８を介して流路形成基板３に力がかかるため、ノズルプレート２を含む流路形成基板３が変形する。流路形成基板３の剛性が不足する程、ノズルプレート２表面での変形は大きくなる。流路形成基板３が変形すると、振動板８の変形量が減少し、圧力室４の圧力変動が小さくなり吐出速度の減少となることは前述の通りである。

本実施例では第１クロストークによる速度変動比、つまり単独の圧電素子を駆動する場合のインクの吐出速度Ｖ_Ｓと複数の圧電素子を駆動する場合のインクの吐出速度Ｖ_Ｐの比が１０％以内となるように流路形成基板３の剛性を設定する。

図５は従来のインクジェットヘッドにおいて流路形成基板３の剛性を変えたときのノズルプレート２の変形量と、インクの吐出速度の変動量の関係を示す実験結果である。図５の縦軸は圧電素子を単独で駆動した時の吐出速度Ｖ_Ｓに対する、複数の圧電素子を駆動した時の吐出速度Ｖ_Ｐの比（％）を、横軸は圧電素子の変形量ｌ_１に対するノズルプレート２表面の最大変形量ｌ_２の比（％）を示している。図５よりノズルプレート２に発生する変形が小さくなればなるほど、吐出速度の変動Ｖ_Ｐ／Ｖ_Ｓが小さくなることが分かる。

この実験結果より、クロストークによる速度変動Ｖ_Ｐ／Ｖ_Ｓを１０％以内に抑えるためにはノズルプレート２の変形量ｌ_２と圧電素子の変形量ｌ_１の比ｌ_２／ｌ_１を５％以下に抑えることが必要である。

つまり、本実施例では、圧電素子１５の変形ｌ_１に対し、ノズルプレート２自体は極力変形しないほうが望ましいが、変形してもその量ｌ_２はｌ_１の５％程度以内となるように流路形成基板３の剛性を設計する。

図６はこのように設計したときの第１クロストークの特性を示し、横軸に圧電素子の駆動本数をとり、縦軸にインクの吐出速度の変動率Ｖ_Ｐ／Ｖ_Ｓをとってある。この図から明らかなように本実施例においては圧電素子１５の駆動本数が増加するに従って速度変動率Ｖ_Ｐ／Ｖ_Ｓは低下するが、Ｖ_Ｓに対するＶ_Ｐの低下の割合は１０％以内である。

次に本実施例では弾性体５１が隣接する圧電素子１５の間に形成されているために第２のクロストークが発生する。つまり圧電素子１５を単独で駆動したときのインクの吐出速度Ｖ_Ｓよりも複数個の圧電素子１５を同時に駆動したときのインクの吐出速度Ｖ_Ｐの方が上昇する。

図４−１のＡ−Ａは圧電素子１５ａを単独駆動した場合の圧電素子１５ａの変形量を示す。圧電素子１５ａが上方に変位しようとすると、両脇の弾性体５１により下方に引っ張られる力を受けるため弾性体５１がない場合よりも変形量が減少する。一方、図４−２のように両隣の隣接する圧電素子１５ｂ，１５ｃも同時に駆動した場合は、圧電素子１５ａの両脇の弾性体５１も同時に変位するため、弾性体５１による干渉が無く、従って圧電素子１５ａは弾性体５１がない場合と同じ変形量となって、その変形量はＡ’−Ａ’となり単独で駆動する場合より増大する。

図７は第２のクロストークの特性を示すもので横軸に圧電素子の駆動本数をとり、縦軸に速度変動比Ｖ_Ｐ／Ｖ_Ｓをとってある。

図のａは第２のクロストークがない場合を示し、ｂ、ｃ、ｄは第２のクロストークがある場合を示している。例えばｃの曲線を見ると、駆動素子が1体のときの吐出速度を１００％として２本、３本と増えるに従って増加する。更に４本、５本・・・と駆動本数が増加するに従って徐々に吐出速度は低下するが駆動素子が１本の場合よりも高い値を維持する。本実施例においては１つの圧電素子を駆動した時の吐出速度をＶ１、隣の圧電素子と同時に駆動した時の吐出速度をＶ２、両隣各１本ずつと駆動した時の吐出速度をＶ３とすると、Ｖ１＜Ｖ２＜Ｖ３の関係になる。また両隣各２本ずつ合計５本駆動した時の速度をＶ５とすると、Ｖ５＜Ｖ３となる。

上記のように、弾性体５１によりＶ_Ｐ／Ｖ_Ｓは増加するから、弾性体５１の形状、材質及びギャップ１１ａの大きさ等を適当に選定することによりｂの曲線のようにすることが可能であり、この結果、第１のクロストークと第２のクロストークが略相殺されてインク吐出速度の変動比が極めて小さいインクジェットヘッドを実現することが可能となる。

図２は本発明に係るインクジェットヘッドの第２の実施例を示すもので、圧電アクチュエータ１４の圧電素子１５の先端に、凸状のフット１８が設けられている。フット１８は、圧電素子１５に連結され、相対的に大きな幅を有する第１のフット部１８ａと、該第１のフット部１８ａに連結され、相対的に小さい幅を有する第２のフット部１８ｂから構成される。このようなフット部１８を設けることにより、より細長い振動板８に対しても、圧電素子１５の変位を有効に伝達することができる。

この実施例においてはフット１８同士が、弾性体５１により互いに連結されている。ここで圧電素子１５同士は他の部材を介さず弾性体５１により直接繋がっていることが望ましい。但し、隣接する圧電素子１５の間に弾性体を充填する構造とは異なり、振動板８との間に適当な間隙を有する。

図１及び図２に示す実施例において、弾性体５１の材料としては、例えば圧電素子１５またはフット１８と振動板８とを接着する接着剤と同じ材料が用いられる。同じ接着剤を用いて弾性体５１を図１及び図２のような形状に硬化、形成するためには、接着剤の塗布条件及び形状の管理が必要となる。

圧電アクチュエータ１４と振動板８とを接合するときに、圧電アクチュエータ１４の先端に所定の厚さに保たれた接着剤を転写することにより塗布量を管理できる。更に、所定の時間で接合することで、硬化時の接着剤５０の広がりを管理できる。広がりを一定とするためには、接着剤の温度及び湿度の管理が必要であり、２液性の接着剤の場合は混合比等の管理も重要である。

図３−１は圧電アクチュエータ１４に接着剤５０を転写により塗布する例を示し、圧電アクチュエータ１４を接着剤５０に漬けることにより転写する方法を示す。この場合、接着剤５０の転写量はフット１８の全体の高さをＨ１、第２フット部１８ｂの高さをＨ２、隣接するフット１８の最小間隔つまり第１フット部１８ａの最小間隔をＬ、転写する接着剤の厚さをｔとした時、次の式（１）及び（２）を満たすことが望ましい。

Ｈ２＜ｔ＜Ｈ１・・・（１）
Ｌ／２＜ｔ・・・（２）
上記（１）式のようにフット１８を越えない程度に接着剤５０を転写することで、接着剤５０が毛管現象で圧電素子１５の間に入り込むことがなくなり、塗布量の管理がし易くなる。図３−２は接着剤５０の転写後にフット１８に塗布された接着剤５０の状態を示し、（２）式のようにＬ／２以上の量の接着剤５０に漬けることにより、隣接するフット１８はそれぞれＬ／２以上の幅の接着剤５０が転写されて隣接するフット１８が接着剤５０で繋がることになる。

更に、フット１８を以下のような形状とすることで、上記弾性体５１の構成がより実現しやすくなる。まず、フット１８の高さＨ１と、隣接するフット１８間の最小間隔Ｌとの関係をＬ＜Ｈ１となるようにする。この関係を満たすことで、接着剤５０の塗布量の調整量を大きくできる。また、台形形状をした第１フット部１８ａの圧電素子１５側の幅を、圧電素子１５の幅より狭くする。このような形状とすることにより、圧電素子１５と第１フット部１８ａとの境界部に段差が形成され、この段差によってフット１８に塗布した接着剤５０が圧電素子１５側に流入するのをせき止める効果がある。

更に、第１フット部１８ａは振動板８と接合される第２フット部１８ｂ側の辺を、圧電素子１５側の辺の長さより長くすることにより概略台形の形成とすることが望ましい。このような形状とすることで、隣接するフット１８同士が台形の長辺を起点にして直接接着剤５０で繋がりやすくなる。

また、第２フット部１８ｂの高さＨ２は、サポート穴部１１ａの段差（サポートプレートの高さ）Ｈ３よりも高くすることが望ましい。これにより、サポート穴部１１ａを介さずに隣接する第１フット部１８ａ同士を直接繋ぐことができる。

次に、第１のクロストークと第２のクロストークを相殺するには第２のクロストーク量を調整することが必要であるが、第２のクロストークの量はフット１８間を繋いでいる弾性体５１の剛性により、調整することができる。接着剤５０の量を増やすと第２のクロストークによる増速量が増え、減らすと増速量が減る。第２のクロストークによる増速量は、第２のクロストークが発生しない条件において第１のクロストークによって減速する量の半分程度が望ましい。

図７は接着剤の量を変えた場合の、同時に駆動する圧電素子の駆動本数を増やしていった時の吐出速度の変化を示す。横軸は同時に駆動する圧電素子の本数を示し、縦軸は単独で圧電素子を駆動した時の吐出速度を１００％とした時の複数駆動時の吐出速度（％）を示す。また、ｔの値は接着剤の量を示す。実験では、室温硬化型２液性エポキシ接着剤（セメダイン社製のＥＰ００１）を用いた。ｔ＝０．１ｍｍは０．１ｍｍの厚さの接着剤に転写したことを示す。

同図の曲線ａは、ｔ＝０．１ｍｍの場合であり、接着剤で繋がらないために第２のクロストークは発生していない。この時の第１のクロストークによる減速量は−８％程度である。ｔ＝０．１５、０．２、０．３ｍｍの場合はｂ、ｃ、ｄに示すように第２クロストークの発生により速度変動率が上昇している。

図中ｔ＝０．１５ｍｍの場合、＋３％程の度第２のクロストークが発生している。一方で第１のクロストークによる速度低下は−５％程度となっている。つまり、第１のクロストークを第２のクロストークで相殺することでトータルのクロストークを±５％以内に抑えることを実現できている。

一方、ｔ＝０．２、０．３ｍｍは第２のクロストークによる増速量が大き過ぎるため、第１のクロストークを適当に相殺できない。従って第１クロストークを相殺するためには接着剤の塗布量を調整する必要がある。適当な塗布量はインクジェットヘッドの寸法・剛性・接着剤の種類によって変わるが図７の例のように、実験により直接接着剤の量を決定すればよい。

本発明インクジェットヘッドの第１実施例を示した断面図である。 本発明インクジェットヘッドの第２実施例を示した断面図である。 本発明のインクジェットの組み立て方法を示した図である。 本発明のインクジェットの組み立て方法を示した図である。 本発明インクジェットヘッドの原理を示す断面図である。 本発明インクジェットヘッドの原理を示す断面図である。 従来のインクジェットヘッドのノズルプレートの変形とクロストークの関係を示す図である。 従来のインクジェットのクロストークによる速度変化を示す図である。 本発明のインクジェットのクロストークによる速度変化を示す図である。 従来例を示した斜視図である。 従来例を示した断面図である。 従来例を示した平面図及び断面図である。 従来例を示した斜視図である。 従来例を示した斜視図である。

符号の説明

１：ノズル
２：ノズルプレート
３：流路形成基板
４：圧力室
５：チャンバプレート
６：リストリクタ
７：リストリクタプレート
８：振動板
９：フィルタ部
１０：ダイアフラムプレート
１１：サポートプレート
１２：ハウジング
１３：共通インク通路
１４：圧電アクチュエータ
１５：圧電素子
１６：支持基板
１７：個別電極
１８：フット
５０：接着剤
５１：弾性体

Claims (10)

1. 流路基板と圧電アクチュエータとを有し、前記流路基板は、インク滴を吐出するノズルが複数個列状に配置されたノズルプレートと、前記ノズルに対応してインクを蓄える圧力室を備える圧力室プレートと、前記圧力室の壁面の一部を形成する振動板と、前記圧力室にインクを供給する流路を備えるリストリクタプレートとを備え、前記圧電アクチュエータは前記圧力室に対向配置された複数個の圧電素子を有し、前記圧電素子に印加される電気信号に応じて前記ノズルからインク滴を吐出するように構成されたインクジェットヘッドにおいて、前記圧電素子と互いに隣接する圧電素子とを弾性部材で連結すると共に、該弾性部材と前記振動板との間に間隙を形成したことを特徴とするインクジェットヘッド。
2. 流路基板と圧電アクチュエータとを有し、前記流路基板は、インク滴を吐出するノズルが複数個列状に配置されたノズルプレートと、前記ノズルに対応してインクを蓄える圧力室を備える圧力室プレートと、前記圧力室の壁面の一部を形成する振動板と、前記圧力室にインクを供給する流路を備えるリストリクタプレートとを備え、前記圧電アクチュエータは前記圧力室に対向配置された複数個の圧電素子を有し、前記圧電素子に印加される電気信号に応じて前記ノズルからインク滴を吐出するように構成されたインクジェットヘッドにおいて、前記圧電素子は、前記振動板と対向する側に凸状のフットを有し、各々のフットは両隣のフットと弾性部材で連結されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
3. 請求項１又は２において前記弾性部材は、前記振動板と前記圧電素子、又は振動板と凸状フットとを接合する接着剤と同じ材料より構成されたことを特徴とするインクジェットヘッド。
4. 請求項２において前記フットは、前記圧電素子に接合され、該圧電素子より幅の狭い第１フット部と、該第１フット部に接合され該第１フット部より幅の狭い第２フット部よりなることを特徴とするインクジェットヘッド。
5. 請求項４において、前記第１フット部は、圧電素子側の幅が第２フット部側の幅より大きい台形状の断面形状をしていることを特徴とするインクジェットヘッド。
6. 請求項３において、前記フットの高さをＨ１，隣接するフット間も最も狭い部分の間隔をＬとしたときＬ＜Ｈ１の関係に満たすことを特徴とするインクジェットヘッド。
7. 請求項４において第２フット部の高さをＨ２，前記振動板の振動領域を規定するサポートプレートの厚さをＨ３としたときＨ２＞Ｈ３の関係を満たすことを特徴とするインクジェットヘッド。
8. 複数個の圧電素子と、該圧電素子の先端に接合されたフットであって該圧電素子の幅より狭い第１のフット部と、該第１のフット部に接合され第１のフット部より狭い幅を有する第２のフット部より構成されるフットを有し、隣接するフット間を弾性部材で連結した圧電アクチュエータを有するインクジェットの製造方法であって、所定の厚さｔに維持された接着剤の中に前記フットを漬し、該フットに接着剤を転写することによって前記弾性部材を形成することを特徴とするにインクジェットヘッドの製造方法。
9. 請求項８において、前記フットの高さをＨ１，前記第２フット部の高さをＨ２としたときＨ２＜ｔ＜Ｈ１の関係を満たすように弾性部材を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
10. 請求項８において、前記フットの高さをＨ１，隣接するフット間の最も狭い部分の間隔をＬとしたときＬ／２＜ｔ＜Ｈ１の関係を満たすように弾性部材を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
    

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