JP2006035571A - インクジェットヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】 流路ユニットと共通電極との間に電位差が生じにくくなるようにしつつ個別電極間のショートを防ぐ。
【解決手段】 インクジェットヘッドは、流路ユニット４とアクチュエータユニット２１とを含んでいる。流路ユニット４は、複数のプレートが積層されて構成されている。流路ユニット４のキャビティプレート１８には、一部が曲げられた折り曲げ部６が形成されている。アクチュエータユニット２１は流路ユニット４の上面に固定され、複数の圧力室１０を跨るように配置された共通電極５９と各圧力室１０に対応する複数の個別電極５８とを有している。共通電極５９は、アクチュエータユニット２１の上面に形成された表面電極６５とスルーホール６７内の導体６７ａを介して電気的に接続されている。流路ユニット４は、折り曲げ部６を介して共通電極５９と電気的に接続されている。
【選択図】 図８

Description

本発明は、記録媒体にインクを吐出して印刷を行うインクジェットヘッドに関する。

インクジェットヘッドは、インクジェットプリンタ等において、インクタンクから供給されたインクを複数の圧力室に分配し、各圧力室に選択的にパルス状の圧力を付与することによりノズルからインクを吐出する。圧力室に選択的に圧力を付与するための一つの手段として、圧電性のセラミックからなる複数の圧電シートが積層されたアクチュエータユニットが用いられることがある。

かかるインクジェットヘッドの一例として、連続平板状の圧電シートを、複数の圧力室に跨って形成されたコモン電極（共通電極）と、各圧力室に対向して配置された複数の個別電極とで挟み込んだ圧電アクチュエータ（アクチュエータユニット）を有するものが知られている（特許文献１参照）。このインクジェットヘッドにおいて、圧電アクチュエータの側面には、キャビティユニット（流路ユニット）の上面から圧電アクチュエータの積層方向に沿って導電性接着剤が塗布されている。この導電性接着剤によってキャビティユニット（流路ユニット）と圧電アクチュエータのコモン電極とが電気的に接続され、キャビティユニットがグランドに接続されている。キャビティユニットとコモン電極とがグランドに接続されていることで、帯電した用紙がキャビティユニットに接触してもキャビティユニットとコモン電極間には電位差が生じない。これにより、キャビティユニットとコモン電極間の電位差に起因したアクチュエータユニットの破損（例えば、インクのイオン性成分と圧電シートの構成元素との化学反応による圧電シートの浸食や帯電量の増加による圧電シートの破壊など）を回避することが可能となる。

特開２００３−８０７０９号公報

しかしながら、上述した特許文献１に記載のインクジェットヘッドにおいては、キャビティユニットとコモン電極とが大量の導電性接着剤によって接続されているため、導電性接着剤が圧電アクチュエータ上に広がる可能性がある。導電性接着剤が圧電アクチュエータ上に広がると、圧電アクチュエータの上面に形成され且つそれぞれが各個別電極と接続された複数の表面電極どうしが電気的に接続される。その結果、個別電極間がショートしてしまう。

そこで、本発明の目的は、流路ユニットと共通電極との間に電位差が生じにくくなるようにしつつ個別電極間のショートを防ぐインクジェットヘッドを提供することである。

課題を解決するための手段及び発明の効果

本発明のインクジェットヘッドは、複数のプレートが積層された積層構造体であって、それぞれがノズルに連通した複数の圧力室が形成された流路ユニットと、前記複数の圧力室に跨って延在した圧電シート、それぞれが前記圧電シート上において各圧力室に対向する位置に配置された複数の個別電極、及び、前記複数の個別電極と共に前記圧電シートを挟む共通電極を含み、前記流路ユニットの一表面に固定されて各圧力室の容積を変化させるアクチュエータユニットとを備えている。そして、前記流路ユニットを構成する前記複数のプレートのうち、少なくとも前記一表面を含み最外層に積層された最外層プレートが導電性を有しており、前記一表面において、前記最外層プレートの前記アクチュエータユニットが固定されていない領域の一部が前記アクチュエータユニット側に曲げられており、前記曲げられた最外層プレートの一部を介して前記流路ユニットと前記共通電極とが電気的に接続されている。

これによると、流路ユニットと共通電極との間に電位差が生じにくくなる。そのため、電位差に起因したアクチュエータユニットの破損を抑制することが可能となる。流路ユニットと共通電極とが流路ユニットの最外層プレートの一部を介して電気的に接続されているので、上記公報のように大量の導電性接着剤を用いる必要がなく、個別電極間のショートを防ぐことが可能になる。

本発明においては、前記アクチュエータユニットにおいて前記流路ユニットに接する面とは反対側の面には、基準となる一定電位を供給する基準配線が接合され前記共通電極と電気的に接続された基準端子が形成されており、前記基準端子と前記最外層プレートの一部とが電気的に接続されていることが好ましい。これにより、流路ユニットと共通電極とを電気的に接続しやすくなる。

また、本発明において、前記最外層プレートの前記一部が曲げられることによって前記最外層プレートに開口が形成されていることが好ましい。これによると、最外層プレート巾の広い範囲から好適な場所を選択して曲げることができる。

また、このとき、前記流路ユニットにおいて最外層プレートの前記開口に対応した領域に、前記最外層プレートの厚さ以上の深さを有する凹部が形成されていてもよい。これによると、最外層プレートの前記一部を曲げる前に、最外層プレートと最外層プレートに隣接したプレートとを接着剤を介して積層しても、最外層プレートの一部が隣接したプレートと接着されにくくなる。したがって、最外層プレートの前記一部を曲げ加工しやすくなる。

また、このとき、前記凹部が、前記最外層プレートの厚さと前記最外層プレートに隣接したプレートの厚さとを足し合わせた以上の深さを有していてもよい。これにより、最外層プレートの一部が、隣接したプレートとより接着されにくくなる。

また、このとき、前記開口のサイズが、曲げられていない状態における前記一部のサイズよりも大きくてもよい。これにより、平板であった最外層プレートの一部を曲げやすくなる。

また、本発明において、前記最外層プレートの前記一部が、前記最外層プレートの周縁を含んでいることが好ましい。これにより、前加工しなくても最外層プレートの一部を曲げることが可能である。

また、本発明において、前記最外層プレートの前記一部が少なくとも１個所において角度をなして折り曲げられており、この折り曲げ位置の内側に溝が形成されていることが好ましい。これにより、最外層プレートの一部を折り曲げやすくなる。

また、本発明において、前記最外層プレートの前記一部が、接着剤によって前記アクチュエータユニットに固定されていることが好ましい。これにより、共通電極と最外層プレートの一部との電気的接続の信頼性が向上する。

また、このとき、前記最外層プレートの前記一部が、前記基準端子に当接していてもよい。これにより、接着剤に非導電性のものを用いることが可能になる。

また、このとき、前記接着剤が、前記最外層プレートの前記一部を覆っていると共に前記一部からはみ出して前記アクチュエータユニットと接触していてもよい。これにより、共通電極と最外層プレートの一部との電気的接続の信頼性がより向上する。

また、このとき、前記基準配線と、各圧力室の容積を変化させるための駆動信号を供給する複数の個別配線と、前記基準配線及び前記複数の個別電極を支持する絶縁フレキシブル層とを含んでいると共に、前記アクチュエータユニットにおいて前記流路ユニットに接する面とは反対側の面に固定された平型柔軟ケーブルをさらに備えている。そして、前記複数の個別配線が、それぞれ対応する前記個別電極に電気的に接続されつつ前記最外層プレートの一部を避けるように配置されており、前記基準配線が、前記基準端子に固定されるとともに供給される前記一定電位が接地電位に保持されていてもよい。これにより、流路ユニットが接地電位になるので、駆動信号を供給するドライバＩＣの静電気によるショートを防ぐことができる。

また、このとき、前記最外層プレートの一部が、前記平型柔軟ケーブルを避けるようにして前記基準端子と固定されていてもよい。これにより、平型柔軟ケーブルと最外層プレートの一部とが緩衝しなくなる。そのため、流路ユニットと基準端子、基準端子と共通電極、基準端子と基準配線という一連の電気的接続の信頼性が確保される。

また、このとき、前記平型柔軟ケーブルにおいて前記アクチュエータユニットに接する面とは反対側の面に固定されたものであって、前記基準端子に対向する位置まで延在した部分を有する金属平板をさらに備えていてもよい。そして、前記最外層プレートの前記一部が、前記アクチュエータユニットの前記基準端子と前記金属平板とによって挟持されていてもよい。これにより、接着剤を用いずに最外層プレートの一部と基準端子とを電気的に接続することが可能になる。

また、本発明のインクジェットヘッドは、別の観点では、複数の金属プレートが積層された積層構造体であって、それぞれがノズルに連通した複数の圧力室が形成された流路ユニットと、前記複数の圧力室に跨って延在した圧電シート、それぞれが前記圧電シート上において各圧力室に対向する位置に配置された複数の個別電極、及び、前記複数の個別電極と共に前記圧電シートを挟む共通電極を含み、前記流路ユニットの一表面に固定されて各圧力室の容積を変化させるアクチュエータユニットと、それぞれが前記個別電極に電気的に接続された複数の個別配線、接地電位に保持されており且つ前記共通電極に電気的に接続された基準配線、及び、前記複数の個別配線及び前記基準配線を支持する絶縁フレキシブル層を含み、前記アクチュエータユニットにおいて前記流路ユニットに接する面とは反対側の面に固定された平型柔軟ケーブルとを備えている。そして、前記流路ユニットの前記最外層プレートの一部が前記アクチュエータユニット側に曲げられており、前記流路ユニットが前記一部において前記基準配線に固定されている。これによると、流路ユニットの最外層プレートの一部が基準配線を介して共通電極と電気的に接続されているので、上記公報のように大量の導電性接着剤を用いる必要がなく、個別電極間のショートを防ぐことが可能になる。加えて、流路ユニットと共通電極とが接地電位に保持される。そのため、流路ユニットと共通電極との間に電位差が生じにくくなり、電位差に起因したアクチュエータユニットの破損を抑制することが可能となる。また、駆動信号を供給するドライバＩＣの静電気によるショートを防ぐことができる。

また、本発明において、前記最外層プレートの一部が、前記アクチュエータユニットとによって前記平型柔軟ケーブルを狭持していることが好ましい。これにより、平型柔軟ケーブルがアクチュエータユニットから外れにくくなるので、流路ユニットと基準配線との電気的接続の信頼性が向上する。

以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。

図１は、本発明の一実施形態によるインクジェットヘッド１の斜視図である。図２は、図１のII−II線における断面図であり、インクジェットヘッドを構成するホルダにヘッド本体が組み付けられた状態を示している。図３は、図２に示すヘッド本体にフレームが接着された状態を示す斜視図である。図４は、図２に示すヘッド本体とフレキシブルプリント回路とを分離させた状態の斜視図である。インクジェットヘッド１は、シリアル式のインクジェットプリンタ（図示略）に用いられて、副走査方向に平行に搬送されてきた用紙に対してマゼンタ、イエロー、シアン及びブラックの４色のインクを吐出して記録するものである。図１及び図２に示すようにインクジェットヘッド１は、４色のインクをそれぞれ貯溜する４つのインク室３が形成されたインクタンク７１と、このインクタンク７１の下方に配置されたヘッド本体７０と、ヘッド本体７０の上方に接合されたフレキシブルプリント回路（ＦＰＣ：Flexible Printed Circuit）５０とを備えている。

インクタンク７１の内部には、４つのインク室３が主走査方向に並んで形成されており、図２中左方のインク室３からマゼンタ、イエロー、シアン、ブラックのインクが順に貯溜されている。これら４つのインク室３は、対応するインクカートリッジ（図示せず）がチューブ４０（図１参照）によってそれぞれ接続されており、インクカートリッジからインク室３に各色のインクが供給されるようになっている。また、図２及び図３に示すようにインクタンク７１が、平面矩形形状のフレーム４１に組み付けられている。このフレーム４１は、略直方体形状を有するホルダ７２に紫外線型硬化剤４３で固着されている。さらに、このフレーム４１には、図３に示すように、平面形状が長方形形状の開口部４２が形成されており、この開口部４２内に後述のアクチュエータユニット２１を配置するようにしてヘッド本体７０が接着固定されている。インクタンク７１の下端部には、４つのインク室３にそれぞれ連通する４つのインク導出口３ａが形成されている。一方、フレーム４１には、図３に示すように、４つのインク導出口３ａとそれぞれ連なる平面形状が楕円形状の４つの貫通孔４１ａが形成されている。

ヘッド本体７０は、それぞれの色ごとに複数のインク流路が形成された流路ユニット４と、流路ユニット４の上面にエポキシ系の熱硬化性接着剤によって接着されたアクチュエータユニット２１とを含んでいる。図４に示すように、流路ユニット４及びアクチュエータユニット２１はともに、長方形平面形状を有する複数の薄板を積層して構成され、インクタンク７１の下方に配置されている。流路ユニット４の上面には、アクチュエータユニット２１を避けて、平面形状が楕円形状の４つのインク供給口４ａ（図５参照）が形成されている。これら４つのインク供給口４ａが形成された領域には、各インク供給口４ａと対向する位置に複数の微小孔が形成されたフィルタ４５が配置されている。こうして、インク供給口４ａから流路ユニット４内に流通するインク内のゴミなどがフィルタ４５によって捕獲される。

また、図３に示すようにフレーム４１には、流路ユニット４が接着されている。この構成により、フレーム４１に形成された貫通孔４１ａと流路ユニット４に形成されたインク供給口４ａとがそれぞれ連なる流路が形成されるので、インクタンク７１から４つのインク導出口３ａ及び４つの貫通孔４１ａを通ってそれぞれに対応する流路ユニット４の４つのインク供給口４ａから流路ユニット４内に至る一連の流路が形成されている。

図２に示すように、ヘッド本体７０は、ホルダ７２の下面に形成された段付き状の開口部７２ａに配置されている。より具体的には、インク吐出面７０ａが外部に露出するようにフレーム４１を介してホルダ７２に装着されている。ホルダ７２と流路ユニット４との隙間には、シール剤７３が配置されている。また、ヘッド本体７０の底面は微小径を有する多数のノズル８（図６参照）が配列されたインク吐出面７０ａとなっている。また、アクチュエータユニット２１の上面には、給電部材であるＦＰＣ（平型柔軟ケーブル）５０が接合され主走査方向の一方に引き出されるとともに、屈曲しながら上方に引き出されている。図２及び図３に示すように、ＦＰＣ５０のアクチュエータユニット２１と対向する部分における上面には、ＦＰＣ５０及びアクチュエータユニット２１を保護しつつ、アクチュエータユニット２１が発する熱を放散するアルミプレート（金属プレート）４４が接着剤４６（図８参照）を介して固定されている。このアルミプレート４４は、アクチュエータユニット２１の駆動している個別電極５８（図７参照）部分からの熱を放散し、アクチュエータユニット２１全体の温度分布を均一化している。

図２に示すように、アクチュエータユニット２１に接合されたＦＰＣ５０は、スポンジなどの弾性部材７４を介してインクタンク７１の側面に沿うように引き出され、その途中にドライバＩＣ７５が設置されている。つまり、ＦＰＣ５０は、搭載されたドライバＩＣ７５から出力された駆動信号をアクチュエータユニット２１（後に詳述）に伝達するように、ハンダ付けによって各個別電極５８に対して電気的に接合されている。

ホルダ７２のドライバＩＣ７５に対向する側壁には、開口部７２ｂが形成されている。また、ドライバＩＣ７５とこの開口部７２ｂとの間には、略直方体形状のアルミ板からなるヒートシンク７６が配置されている。ここには、弾性部材７４も配置されており、ドライバＩＣ７５は、間にＦＰＣ５０を挟んでヒートシンク７６に対して押圧されている。これらヒートシンク７６及び開口部７２ｂにより、ドライバＩＣ７５で発生した熱を効率的に散逸させることができる。また、開口部７２ｂ内には、ホルダ７２の側壁とヒートシンク７６の隙間を埋めるためのシール剤７７が配置されており、インクジェットヘッド１の本体にゴミやインクが侵入することを防いでいる。

図５は、図４に示すＦＰＣ５０及びヘッド本体７０の分解斜視図である。図６は、図４に示すVI−VI線における断面図である。図５から分かるように、ヘッド本体７０は、流路ユニット４とアクチュエータユニット２１とを含んでいる。このうち、流路ユニット４は、上から、キャビティプレート（最外層プレート）１８、サプライプレート１７、アパーチャプレート１６、２枚のマニホールドプレート１４，１５、ダンパプレート１３、カバープレート１２、ノズルプレート１１の計８枚のシート材が積層された積層構造である。本実施の形態において、流路ユニット４を構成する８枚のプレート１１〜１８は、すべて同じ金属からなり、例えばステンレス鋼からなる。

アクチュエータユニット２１は、後で詳述するように、４枚の絶縁シート５２〜５５（図７参照）と２枚の圧電シート５６，５７（図７参照）とが積層され、活性部となる部分を有する１つの活性層（以下、単に「活性部を有する層」というように記する）と活性部を有しない５つの非活性層とを有している。なお、活性層となる総数は、要求されるアクチュエータユニット２１の変位量に応じて適宜決められるものであり、本実施の形態のように１層に限るものではない。すなわち、複数層積層することもできる。

ノズルプレート１１には、図５及び図６に示すように、微小径のノズル８が解像度に応じた間隔で複数形成されている。これらノズル８は、ノズルプレート１１における長手方向に沿って、千鳥状の５列に配列されている。

図５に示すように、キャビティプレート１８の中央部には、複数の圧力室１０がキャビティプレート１８の長手方向に沿って千鳥状配列で５列に穿設されている。また、キャビティプレート１８の長手方向の一端部側には、図５に示すように、インク供給口４ａとなる４つの孔３５がキャビティプレート１８の短手方向に沿って離隔して形成されている。さらに、キャビティプレート１８の他端部側には、図４に示すように、キャビティプレート１８の一部が曲げられた折り曲げ部６と、折り曲げ部６が曲げられることによって形成された開口部７とを有している。各圧力室１０は、細幅で角が丸められた略矩形形状に形成されている。それらの長手方向は、キャビティプレート１８の長手方向に対して直交している。また、各圧力室１０の一端部は、図５及び図６に示すように、サプライプレート１７、アパーチャプレート１６、２枚のマニホールドプレート１４，１５、ダンパプレート１３及びカバープレート１２に千鳥状配列で穿設されている微小径の貫通孔３１を介して、ノズルプレート１１におけるノズル８に連通している。

図５に示すように、２枚のマニホールドプレート１４，１５のうち、アパーチャプレート１６に近い側のマニホールドプレート１５には、５つのインク室半部２０ａが貫通状に形成されている。これら５つのインク室半部２０ａは、マニホールドプレート１５の長手方向に沿って延在されつつ、マニホールドプレート１５の短手方向に互いに離隔している。

一方、ダンパプレート１３側のマニホールドプレート１４にも、５つのインク室半部２０ａと同様の５つのインク室半部２０ｂが貫通して形成されている。図６に示すように、この構成で２枚のマニホールドプレート１４，１５、アパーチャプレート１６及びダンパプレート１３の計４枚を積層することにより、対向する２つのインク室半部２０ａ，２０ｂが相互に接合され、このときに形成される上下の開口が、上からのアパーチャプレート１６と下からのダンパプレート１３とにより覆われる。これにより、貫通孔３１の列の間及び外側に計５つの共通インク室５が形成される。なお、各共通インク室５の一端部がインク供給口４ａとそれぞれ対向している。

サプライプレート１７には、複数の貫通孔３１の他に、複数の連絡孔３２が貫通して形成されている。これらの連絡孔３２は、一方の開口において圧力室１０と連通し、他方の開口において後述のアパーチャ３３と連通している。さらに、複数の連絡孔３２は、各圧力室１０に対応してサプライプレート１７の長手方向に沿って千鳥状の５列に配列されている。また、サプライプレート１７には、長手方向の一端部側に図５に示す４つの孔３６と、他端部側に形成した１つの貫通孔１９（図８参照）とを有している。このうち、一端部側の孔３６は、それぞれキャビティプレート１８の４つの孔３５と対向するように形成されている。一方の貫通孔１９は、キャビティプレート１８の開口部７と対向するように形成されている。なお、貫通孔１９の平面形状は開口部７の平面形状と同じであるとともに、そのサイズも同じである。この構成で、キャビティプレート１８、サプライプレート１７及びアパーチャプレート１６が積層することで、開口部７に対応した領域に凹部が形成されることになる（図８参照）。

アパーチャプレート１６には、複数の貫通孔３１の他に、アパーチャプレート１６の短手方向に沿って延在した略長方形平面形状のアパーチャ３３が、アパーチャプレート１６の長手方向に沿って千鳥状の５列に配列されている。アパーチャ３３は、一端部において連絡孔３２と連通し、他端部において共通インク室５と連通している。アパーチャ３３は、インク流動方向と直交する方向の断面積が若干小さくなっており、インク吐出時に圧力室１０から共通インク室５側に逆流しようとするインクの流れを制限するものである。また、アパーチャプレート１６には、４つの孔３５あるいは孔３６とそれぞれ対向する位置に孔３７が形成されている。各孔３７は、一方の開口において孔３６とそれぞれ連通し、他方の開口において対応する共通インク室５の一端側でそれぞれ連通している。

なお、４つの孔３７のうち、図５中最も奥に位置する１つの孔３７は、図５中奥の２つの共通インク室５と連通しており、他の３つの孔３７は、図５中手前の３つの共通インク室５とそれぞれ連通している。つまり、５つの共通インク室５のうち、図５中奥に位置する２つの共通インク室５には、１つのインク供給口４ａからのインクがそれぞれに供給され、他の３つの共通インク室５には、対応する１つのインク供給口４ａからのインクがそれぞれに供給される。本実施の形態において、図５中奥の２つの共通インク室５には、ブラックのインクが供給され、図５中手前から奥に向かって配置する３つの共通インク室５には、マゼンタ、イエロー及びシアンの順にインクが供給されている。

ダンパプレート１３には、図５及び図６に示すように５列のダンパ溝３８が凹設されている。これらダンパ溝３８は、カバープレート１２に向けてのみ開放するように形成され、その位置及び形状は共通インク室５と同形状となっている。したがって、マニホールドプレート１４，１５及びダンパプレート１３を接合したときは、ダンパプレート１３の共通インク室５と対向する部分には、ダンパ部３９が位置する。ここで、ダンパ部３９は、適宜弾性変形し得るステンレス鋼に形成された凹部の底面として構成されているので、共通インク室５側及びダンパ溝３８側に自由に振動することができる。このような構成により、インク吐出時に圧力室１０で発生した圧力変動が共通インク室５に伝播しても、これに対応してダンパ部３９が弾性変形することによって吸収減衰させることができる。

このような流路ユニット４の構成により、流路ユニット４の内部には、インク供給口４ａから順に共通インク室５、アパーチャ３３、連絡孔３２、圧力室１０及び貫通孔３１を通ってノズル８に至るインク流路が構成されている。インク供給口４ａから流路ユニット４内に流入したインクは、一旦共通インク室５に貯溜される。そして、アパーチャ３３を経由して、各圧力室１０に供給される。各圧力室１０でアクチュエータユニット２１により圧力が付与されたインクが、各貫通孔３１を経由して対応するノズル８から吐出される。

図７は、図４に示すアクチュエータユニット２１の要部分解斜視図である。図８は、図４に示すVIII−VIII線における断面図である。図９は、図４に示すヘッド本体７０の拡大平面図である。図７及び図８に示すように、アクチュエータユニット２１は、４枚の絶縁シート５２〜５５と２枚の圧電シート５６，５７とが積層されて構成されている。圧電シート５７の上面には、複数の個別電極５８が、流路ユニット４における各圧力室１０に対向配置するように形成されている。これらの個別電極５８は、圧力室１０の配列に対応して、圧電シート５７の長手方向に沿って千鳥状の５列に配列されている。各個別電極５８は、全体として圧電シート５７の短手方向に細長く形成されている。また、各個別電極５８は、いずれか一方の端部から圧電シート５７の長手方向に延出された引き出し部５８ａを有している。なお、いずれの引き出し部５８ａも、各圧力室１０を区画する隔壁と対向する位置まで引き出されている。

圧電シート５６の上面には、複数の圧力室１０に跨って共通の共通電極（コモン電極）５９が設けられている。図７及び図８に示すように、圧電シート５６の上面には、共通電極５９が形成されていない複数の非形成領域６０が存在する。これらの非形成領域６０は、引き出し部５８ａに対向して配置されている。各非形成領域６０内には、共通電極５９の代わりに、後述のスルーホール６８の一部となる孔が夫々形成されている。これによって、スルーホール６８内に存在する導体６８ａと共通電極５９とが電気的に絶縁されている。この構成で、各個別電極５８と共通電極５９とに挟まれる圧電シート５６の領域は、圧力室１０毎に対応した活性部となる。なお、圧電シート５６以外の４枚の絶縁シート５２〜５５及び圧電シート５７は、活性部を有しない非活性層となる。

図７に示すように、上から２段目の絶縁シート５３の上面には、共通電極５９と同様なダミー電極６１が形成されている。ダミー電極６１にも複数の非形成領域６２が形成されており、非形成領域６２内に後述のスルーホール６７，６８の一部となる孔が夫々形成されている。これによって、ダミー電極６１がスルーホール６７，６８内の導体６７ａ，６８ａと電気的に接続しない。なお、ダミー電極６１は、電極としての機能はないが、各シートを積層して焼成するときに、共通電極５９とともに、圧電シートと電極との熱膨張の違いに対して、積層方向でバランスを取る働きをしている。つまり、下方に共通電極５９が形成され、上方にダミー電極６１が形成されていないアクチュエータユニットでは、アクチュエータユニットの下方と上方とで熱膨張率に大きな差が生じることとなり、各シートを焼成したときにアクチュエータユニットの上方に向かって周縁が反ってしまうが、アクチュエータユニット２１のように、下方に共通電極５９、上方にダミー電極６１が形成されることで、アクチュエータユニット２１内における上下の熱膨張率の差が極めて小さくなり、アクチュエータユニット２１の周縁が反りにくくなる。また、絶縁シート５４，５５には、後述のスルーホール６７，６８となる孔が夫々形成されている。

最上段の絶縁シート５２の上面（すなわち、アクチュエータユニット２１の上面）には、各個別電極５８の夫々に接続する表面電極６３と、共通電極５９に接続する表面電極（基準端子）６５とが設けられている。表面電極６３は、図７及び図９に示すように、各圧力室１０を区画する隔壁と対向する位置に配置されており、各個別電極５８に対応してアクチュエータユニット２１の長手方向に沿って千鳥状の５列に配列されている。表面電極６３は、アクチュエータユニット２１の短手方向に沿って延在した長方形形状を有している。各表面電極６３の一端部には、ランド６３ａが設けられており、ＦＰＣ５０と電気的に接続されている。なお、ランド６３ａも、表面電極６３の列に沿って千鳥状に配置されている。

図７及び図９に示すように、表面電極６５は、絶縁シート５２の一端部上において、アクチュエータユニット２１の短手方向に沿って延在している。表面電極６５上には、ＦＰＣ５０と電気的に接続されるランド６５ａが設けられている。

図８に示すように、絶縁シート５２のランド６３ａ，６５ａと対向する位置には、スルーホール６８，６７の一部となる孔が夫々形成されている。この構成で、４枚の絶縁シート５２〜５５及び１枚の圧電シート５６のそれぞれの孔を互いに位置合わせすることで、４枚の絶縁シート５２〜５５を連続して貫通するスルーホール６７と、４枚の絶縁シート５２〜５５と１枚の圧電シート５６とを連続して貫通する複数のスルーホール６８とが形成される。スルーホール６７内には、導体６７ａが配置されており、表面電極６５と共通電極５９とを電気的に接続している。スルーホール６８内には、導体６８ａが配置されており、表面電極６３と個別電極５８とをそれぞれ電気的に接続している。

図８に示すように、キャビティプレート１８の折り曲げ部６は、貫通孔１９のアクチュエータユニット２１側の周縁近傍を支点として、一旦上方に向かって引き起こされるように曲げられ、さらに折り曲げ部６の中央部分において曲げられている。折り曲げ部６の先端は、図９に示すように、ＦＰＣ５０を避けて且つＦＰＣ５０と離隔するように表面電極６５の図９中右側端部と接触している。こうして、流路ユニット４と共通電極５９とが、キャビティプレート１８の折り曲げ部６、表面電極６５及びスルーホール６７内の導体６７ａを介して電気的に接続される。さらに、これらは表面電極６５を介してＦＰＣ５０とも電気的に接続されている。また、折り曲げ部６は、先端が表面電極６５の上面に沿って水平になるように若干曲げられている。これにより、折り曲げ部６と表面電極６５とが面で接触することになり、互いの接触面積が大きくなる。折り曲げ部６の先端には、少量の非導電性接着剤６９が折り曲げ部６の先端を覆うようにして配置されており、表面電極６５から折り曲げ部６が離隔しないように固定している。このように、折り曲げ部６の先端と表面電極６５とが直接接触していることで、本実施の形態のように接着剤６９に非導電性のものを使用することが可能になる。加えて、接着剤６９によって折り曲げ部６の先端が表面電極６５に固定されていることで、キャビティプレート１８と表面電極６５との電気的接続の信頼性が向上する。すなわち、流路ユニット４と共通電極５９との電気的接続の信頼性が向上する。

また、図８には、曲げられる前の折り曲げ部６が２点鎖線で示されている。折り曲げ部６の上面（キャビティプレート１８の上面）には、２つの溝８８，８９が形成されている。それぞれ上述した折り曲げ部６の折り曲げ位置に対応しており、一方の溝８９は折り曲げ部６の基端部に形成され、他方の溝８８は折り曲げ部６の中央部に形成されている。これら２つの溝８８，８９は、折り曲げ部６の折り曲げ方向と直交する方向に沿って延在している。このように２つの溝８８，８９が形成されることで、キャビティプレート１８の折り曲げ部６に強度が低下した部分ができ、図８中実線で示すように、折り曲げ部６の先端を表面電極６５に接触するように曲げやすくなる。

図９に示すように、折り曲げ部６が曲げられた後には開口部７が形成されている。その開口サイズは、曲げる前の折り曲げ部６（図９中２点鎖線で示す折り曲げ部６）の平面サイズよりも大きい。これは、曲げられる前の折り曲げ部６の周囲に、平面形状がコ型形状の貫通部が形成されており、その分、開口部７の開口サイズが大きくなるからである。このように、開口部７が曲げられる前の折り曲げ部６の平面サイズより大きい開口サイズを有していることで、平板であるキャビティプレート１８の折り曲げ部６を折り曲げやすくなる。また、サプライプレート１７の折り曲げ部６に対向する部分（すなわち、開口部７に対応する領域）に貫通孔１９が形成されていることで、折り曲げ部６を曲げる前にキャビティプレート１８とサプライプレート１７とを接着剤で固定しても、折り曲げ部６がサプライプレート１７と接着されることはない。これにより、キャビティプレート１８の折り曲げ部６を曲げ加工しやすくなる。

アクチュエータユニット２１の上方には、各表面電極６３，６５のランド６３ａ，６５ａと位置合わせして接続されたＦＰＣ５０が配置されている。ＦＰＣ５０は、ベースフィルム８１と、その下面に形成された２種類の導体パターン８２ａ，８２ｂと、ベースフィルム８１の下面のほぼ全体を覆うカバーフィルム（絶縁フレキシブル層）８３とを含む。カバーフィルム８３には、複数の貫通孔８４が、各導体パターン８２ａ，８２ｂの夫々に対応するように形成されている。これらの貫通孔８４からは、導体パターン８２ａ，８２ｂの中央部が露出している。つまり、ベースフィルム８１、導体パターン８２ａ，８２ｂ及びカバーフィルム８３は、各貫通孔８４の中心と導体パターン８２ａ，８２ｂの中心とが対応し、導体パターン８２ａ，８２ｂの外周縁部分がカバーフィルム８３に覆われるよう、互いに位置合わせして積層されている。

ＦＰＣ５０の端子８５ａ，８５ｂは、貫通孔８４を介して対応する各導体パターン８２ａ，８２ｂと接続されている。端子８５ａ，８５ｂは、例えば、ニッケル等の導電性材料から構成されている。端子８５ａ，８５ｂは、貫通孔８４を塞ぐと共に、貫通孔８４の外側周縁を覆い、カバーフィルム８３の下面より突出して形成されている。端子８５ａ，８５ｂは、対向するランド６３ａ，６５ａとそれぞれ半田８６を介して電気的に接続されている。

導体パターン８２ａ，８２ｂは、銅箔により形成されている。２種類の導体パターン８２ａ，８２ｂは、ベースフィルム８１の下面において所定のパターンを形成しており、導体パターン（個別配線）８２ａは、キャビティプレート１８の折り曲げ部６を避けるように離隔して形成されている。本実施の形態において、導体パターン８２ａはドライバＩＣ７５と接続されており、個別電極５８が表面電極６３のランド６３ａ及び端子８５ａを介してドライバＩＣ７５に接続されている。一方、導体パターン（基準配線）８２ｂはグランドと接続されており、共通電極５９が表面電極６５のランド６５ａ及び端子８５ｂを介してグランドに接続されている。これにより、共通電極５９を一定電位（すなわち、グランド電位）にしつつ、任意の個別電極５８と共通電極５９との間にドライバＩＣ７５からの駆動電圧（駆動信号）を印加することが可能となる。また、流路ユニット４のキャビティプレート１８が、表面電極６５に電気的に接続されているため、流路ユニット４もグランド電位となる。こうして、所望の個別電極２６に対応する活性部に、積層方向の歪みを発生させ、この個別電極２６に対応するノズル８からインクを吐出させることで、用紙への所定の印字が行われる。

以上のように、本実施の形態のインクジェットヘッド１によると、流路ユニット４のキャビティプレート１８の折り曲げ部６がアクチュエータユニット２１の共通電極５９と電気的に接続されているので、帯電した用紙が流路ユニット４と接触しても流路ユニット４と共通電極５９との間に電位差が生じない。そのため、この電位差に起因したアクチュエータユニット２１の破損を抑制することが可能となる。また、折り曲げ部６を介して流路ユニット４と共通電極５９とを電気的に接続しているので、上記公報のように大量の導電性接着剤を用いる必要がない。そのため、個別電極５８間のショートを防ぐことが可能になる。さらに、折り曲げ部６の先端が、表面電極６５に当接しているので、両者の電気的接続が確実になる。このときの当接力は、折り曲げ部６が一種の弾性体として働くことから生まれているもので、電気的接続の信頼性向上に寄与している。

また、アクチュエータユニット２１の上面に共通電極５９と電気的に接続された表面電極６５が形成されていることで、キャビティプレート１８の折り曲げ部６を共通電極５９と電気的に接続しやすくなる。また、キャビティプレート１８が、折り曲げ部６が曲げられることでキャビティプレート１８に開口部７が形成される構成となっているため、キャビティプレート１８の広い範囲から好適な場所を選択して曲げることができる。

また、共通電極５９がＦＰＣ５０の導体パターン８５ｂを介してグランド電位に接続されているため、流路ユニット４もグランド電位になる。そのため、流路ユニット４と帯電した用紙とが接触して流路ユニット４に静電気が生じても、直ちにグランドに解放されてしまうのでドライバＩＣ７５が静電気によってショートしなくなる。加えて、流路ユニット４と共通電極５９との間に電位差が生じないため、この電位差に起因したアクチュエータユニット２１の破損を抑制することが可能となる。これは、インクジェットヘッドに使用するインクには、水及び電解するとイオン性成分となる導電性組成物が含まれており、共通電極５９と流路ユニット４との間に電位差が生じると、圧力室１０内のインクが電解され、イオン化した導電性組成物などが流路ユニット４と共通電極５９との間に介在する圧電シート５６，５７内に浸透し、その結果、複数の個別電極間がショートしたり、圧電シート５６，５７の構成元素（鉛、チタン、亜鉛など）とイオン化した導電性組成物とが化学反応を起こして、圧電シート５６，５７自体を浸食する。さらに、共通電極５９と流路ユニット４との間の圧電シート５６，５７の厚さや耐電圧に対して、その帯電量が大幅に超えると、圧電シート５６，５７自体が破壊する可能性がある。しかし、上述したように流路ユニット４と共通電極５９とがグランドに接続されていることで、このような不具合を回避することが可能となる。

また、キャビティプレート１８の折り曲げ部６の先端が、ＦＰＣ５０を避けるように離隔して表面電極６５に接触しているので、折り曲げ部６とＦＰＣ５０とが緩衝しなくなる。これにより、アルミプレート４４がＦＰＣ５０に密着することができるので、アクチュエータユニット２１の発する熱を放散してその温度分布を均一にすることができる。さらに、流路ユニット４と表面電極６５、表面電極６５と共通電極５９、表面電極６５と導体パターン８２ｂという一連の電気的接続の信頼性が確保される。また、流路ユニット４が金属からなる各プレートから構成されているので、流路ユニット４全体をグランド電位に接続することが可能となる。加えて、流路ユニット４全体が複数の金属プレートからなることで、いずれのプレートからも流路ユニット４全体をグランド電位に接続することが可能となる。

本実施の形態においては、キャビティプレート１８の折り曲げ部６は、先端を表面電極６５に接触させつつその周囲を非導電性接着剤６９で覆って表面電極６５に固定し、流路ユニット４と共通電極５９とを電気的に接続しているが、図１０〜図１２に示すような形態で流路ユニット４と共通電極５９とを電気的に接続してもよい。図１０は、本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドの第１変形例を示す拡大断面図である。なお、上述したインクジェットヘッド１と同様なものについては、同符号で示し説明を省略する。

第１変形例におけるインクジェットヘッドでは、図１０に示すように、キャビティプレート１８の折り曲げ部２３をコ型形状に曲げるとともに、その先端を表面電極６５に接触させずに導電性接着剤９０を介して表面電極６５に折り曲げ部２３を固定している。これにより、キャビティプレート１８の折り曲げ部２３と表面電極６５とが導電性接着剤９０によって電気的に接続されるとともに、流路ユニット４と共通電極５９とが電気的に接続される。したがって、折り曲げ部２３と表面電極６５とが単に接触しただけの構成よりも、流路ユニット４と共通電極５９との電気的接続の信頼性が向上する。

また、図１０に示すように、アパーチャプレート１６には、サプライプレート１７に形成された貫通孔１９と同様の貫通孔９１が形成されている。貫通孔９１は、アパーチャプレート１６の貫通孔１９と対向する位置に設けられている。このようにアパーチャプレート１６に貫通孔９１が形成されることで、流路ユニット４には、折り曲げ部２３と対向する部分にキャビティプレート１８の開口部７とサプライプレート１７の貫通孔１９による凹部よりもアパーチャプレート１６の厚み分だけ深くなった凹部が形成されることになる。したがって、折り曲げ部２３を曲げる前に各プレート１１〜１８を接着積層しても、折り曲げ部２３がサプライプレート１７とより接着されにくくなる。

図１１は、本発明の一実施形態によるインクジェットヘッド１の第２変形例を示す拡大断面図である。なお、上述したインクジェットヘッド１と同様なものについては、同符号で示し説明を省略する。第２変形例におけるインクジェットヘッドでは、図１１に示すように、アルミプレート４４とほぼ同様のアルミプレート９２の一端部９３を表面電極６５のほぼ全体と対向する位置にまで延出させている。その一端部９３と表面電極６５とで折り曲げ部６の先端を挟み込んで、折り曲げ部６を表面電極６５に対して固定することで、流路ユニット４と共通電極５９とを電気的に接続している。このような構成にすることで、折り曲げ部６の先端に接着剤を配置しなくても表面電極６５と折り曲げ部６とを固定することが可能となり、流路ユニット４と共通電極５９とが電気的に接続されることになる。この場合、アルミプレート９２の一端部９３から折り曲げ部６に対して押圧力が加えられることになり、折り曲げ部６と表面電極６５との電気的な接続の信頼性が向上する。さらに、アルミプレート９２自体もグランドに接続されることになるので、アクチュエータユニット２１のほぼ全体がグランド電位に保たれた部材により包囲されることになる。すなわち、外部からの電磁界がアクチュエータユニット２１に及ばないようにシールドされた状態となっており、電磁誘導により誘起される電荷がアクチュエータユニット２１に生じることが抑制される。

図１２は、本発明の一実施形態によるインクジェットヘッド１の第３変形例を示す拡大断面図である。なお、上述したインクジェットヘッド１と同様なものについては、同符号で示し説明を省略する。第３変形例におけるインクジェットヘッドでは、図１２に示すように、ベースフィルム８１´の一部に欠設部９４が形成されたＦＰＣ５０´が使用されており、導体パターン８２ｂが外部に露出している。また、折り曲げ部２４の先端が導体パターン８２ｂの上面に接触するように曲げられており、折り曲げ部２４と表面電極６５とで欠設部９４を挟み込む構成となっている。このようにして、流路ユニット４と共通電極５９とを電気的に接続している。アルミプレート９５は、折り曲げ部２４の先端と離隔されつつベースフィルム８１´のアクチュエータユニット２１と対向する部分の上面上に接着剤４６で固定されている。このような構成にすることで、流路ユニット４とグランド電位に接続された導体パターン８２ｂとが直接電気的に接続されることになる。そのため、折り曲げ部２４の先端がＦＰＣ５０´の欠設部９４に当接する形になっているので、直接表面電極６５に当接する場合に比べて、脆いアクチュエータユニット２１を破損する心配がなくなる。この当接力は、電気的な接続の信頼性を向上するために寄与している。すなわち、表面電極６５のランド６５ａと端子８５ｂとの接続不良が生じても流路ユニット４と導体パターン８２ｂとの電気的接続に影響しない。したがって、表面電極６５等を介して流路ユニット４と導体パターン８２ｂとが電気的に接続されるよりも電気的接続の信頼性が向上する。

図１３は、本発明の一実施形態によるインクジェットヘッド１の第４変形例を示すヘッド本体の斜視図である。なお、上述したインクジェットヘッド１と同様なものについては、同符号で示し説明を省略する。第４変形例におけるインクジェットヘッドでは、図１３に示すように、流路ユニット４のキャビティプレート１８の折り曲げ部６´がキャビティプレート１８の一端部全体から構成されている。これにより、折り曲げ部６´を曲げるための前加工を施さなくても折り曲げ部６´を曲げることが可能になる。つまり、上述の本実施の形態においては、折り曲げ部６の周囲３辺がキャビティプレート１８と切り離されるように前加工されているが、本変形例ではそのような前加工をしなくてもそのまま曲げることが可能になる。また、他の変形例として、キャビティプレート１８の流路ユニット４の長手方向に沿う２辺のみがキャビティプレート１８と切り離されるように前加工され、当該２辺と交差する１辺がキャビティプレート１８の周縁の一部を含んでいてもよい。この構成においても上述の本実施の形態におけるよりも前加工箇所が３辺から２辺に減少するため、前加工が容易となる。

以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能なものである。例えば、上述した本実施の形態における流路ユニット４は、必ずしもグランド電位に接続されていなくてもよい。つまり、ＦＰＣ５０，５０´の導体パターン８２ｂは、グランド電位に接続されていなくてもよい。また、流路ユニット４を構成する各プレートは、キャビティプレート１８のみが金属から構成されておればよく、他の各プレートは樹脂などで構成されていてもよい。また、サプライプレート１７に貫通孔１９が形成されていなくてもよい。また、各個別電極５８とドライバＩＣ７５とがＦＰＣ以外の配線で接続されていてもよく、必ずしもＦＰＣを使用する必要はない。

また、図７及び図８に示すダミー電極６１に電気的に接続される表面電極をアクチュエータユニットの表面に形成し、その表面電極と折り曲げ部６とを接触させて電気的に接続していてもよい。これにおいても、ヘッド本体内で電位差が生じにくくなる。

本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドの斜視図である。 図１のII−II線に沿った断面図である。 図２に示すヘッド本体にフレームが接着された状態を示す斜視図である。 図２に示すヘッド本体とＦＰＣとを分離させた状態の斜視図である。 図４に示すＦＰＣ及びヘッド本体の分解斜視図である。 図４に示すVI−VI線に沿った断面図である。 図４に示すアクチュエータユニットの要部分解斜視図である。 図４に示すVIII−VIII線に沿った断面図である。 図４に示すヘッド本体の拡大平面図である。 本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドの第１変形例を示す拡大断面図である。 本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドの第２変形例を示す拡大断面図である。 本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドの第３変形例を示す拡大断面図である。 本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドの第４変形例を示すヘッド本体の斜視図である。

符号の説明

１ インクジェットヘッド
４ 流路ユニット
６ 折り曲げ部（最外層プレートの一部）
７ 開口部
８ ノズル
１０ 圧力室
１６ アパーチャプレート
１７ サプライプレート
１８ キャビティプレート（最外層プレート）
２１ アクチュエータユニット
４４ アルミプレート（金属プレート）
５０ ＦＰＣ（平型柔軟ケーブル）
５２〜５５ 絶縁シート
５６，５７ 圧電シート
５８ 個別電極
５９ 共通電極
６５ 表面電極（基準端子）
６９，９０ 接着剤
８２ａ 導体パターン（個別配線）
８２ｂ 導体パターン（基準配線）
８３ カバーフィルム（絶縁フレキシブル層）
８８，８９ 溝

Claims (16)

1. 複数のプレートが積層された積層構造体であって、それぞれがノズルに連通した複数の圧力室が形成された流路ユニットと、
   前記複数の圧力室に跨って延在した圧電シート、それぞれが前記圧電シート上において各圧力室に対向する位置に配置された複数の個別電極、及び、前記複数の個別電極と共に前記圧電シートを挟む共通電極を含み、前記流路ユニットの一表面に固定されて各圧力室の容積を変化させるアクチュエータユニットとを備えており、
   前記流路ユニットを構成する前記複数のプレートのうち、少なくとも前記一表面を含み最外層に積層された最外層プレートが導電性を有しており、
   前記一表面において、前記最外層プレートの前記アクチュエータユニットが固定されていない領域の一部が前記アクチュエータユニット側に曲げられており、前記曲げられた最外層プレートの一部を介して前記流路ユニットと前記共通電極とが電気的に接続されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
2. 前記アクチュエータユニットにおいて前記流路ユニットに接する面とは反対側の面には、基準となる一定電位を供給する基準配線が接合され前記共通電極と電気的に接続された基準端子が形成されており、
   前記基準端子と前記最外層プレートの一部とが電気的に接続されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
3. 前記最外層プレートの前記一部が曲げられることによって前記最外層プレートに開口が形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェットヘッド。
4. 前記流路ユニットにおいて最外層プレートの前記開口に対応した領域に、前記最外層プレートの厚さ以上の深さを有する凹部が形成されていることを特徴とする請求項３に記載のインクジェットヘッド。
5. 前記凹部が、前記最外層プレートの厚さと前記最外層プレートに隣接したプレートの厚さとを足し合わせた以上の深さを有していることを特徴とする請求項４に記載のインクジェットヘッド。
6. 前記開口のサイズが、曲げられていない状態における前記一部のサイズよりも大きいことを特徴とする請求項３〜５のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
7. 前記最外層プレートの前記一部が、前記最外層プレートの周縁を含んでいることを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェットヘッド。
8. 前記最外層プレートの前記一部が少なくとも１個所において角度をなして折り曲げられており、この折り曲げ位置の内側に溝が形成されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
9. 前記最外層プレートの前記一部が、接着剤によって前記アクチュエータユニットに固定されていることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
10. 前記最外層プレートの前記一部が、前記基準端子に当接していることを特徴とする請求項９に記載のインクジェットヘッド。
11. 前記接着剤が、前記最外層プレートの前記一部を覆っていると共に前記一部からはみ出して前記アクチュエータユニットと接触していることを特徴とする請求項１０に記載のインクジェットヘッド。
12. 前記基準配線と、各圧力室の容積を変化させるための駆動信号を供給する複数の個別配線と、前記基準配線及び前記複数の個別電極を支持する絶縁フレキシブル層とを含んでいると共に、前記アクチュエータユニットにおいて前記流路ユニットに接する面とは反対側の面に固定された平型柔軟ケーブルをさらに備えており、
    前記複数の個別配線が、それぞれ対応する前記個別電極に電気的に接続されつつ前記最外層プレートの一部を避けるように配置されており、
    前記基準配線が、前記基準端子に固定されるとともに供給される前記一定電位が接地電位に保持されていることを特徴とする請求項２〜１１のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
13. 前記最外層プレートの一部が、前記平型柔軟ケーブルを避けるようにして前記基準端子と固定されていることを特徴とする請求項１２に記載のインクジェットヘッド。
14. 前記平型柔軟ケーブルにおいて前記アクチュエータユニットに接する面とは反対側の面に固定されたものであって、前記基準端子に対向する位置まで延在した部分を有する金属平板をさらに備えており、
    前記最外層プレートの前記一部が、前記アクチュエータユニットの前記基準端子と前記金属平板とによって挟持されていることを特徴とする請求項１２又は１３に記載のインクジェットヘッド。
15. 複数の金属プレートが積層された積層構造体であって、それぞれがノズルに連通した複数の圧力室が形成された流路ユニットと、
    前記複数の圧力室に跨って延在した圧電シート、それぞれが前記圧電シート上において各圧力室に対向する位置に配置された複数の個別電極、及び、前記複数の個別電極と共に前記圧電シートを挟む共通電極を含み、前記流路ユニットの一表面に固定されて各圧力室の容積を変化させるアクチュエータユニットと、
    それぞれが前記個別電極に電気的に接続された複数の個別配線、接地電位に保持されており且つ前記共通電極に電気的に接続された基準配線、及び、前記複数の個別配線及び前記基準配線を支持する絶縁フレキシブル層を含み、前記アクチュエータユニットにおいて前記流路ユニットに接する面とは反対側の面に固定された平型柔軟ケーブルとを備えており、
    前記流路ユニットの前記最外層プレートの一部が前記アクチュエータユニット側に曲げられており、前記流路ユニットが前記一部において前記基準配線に固定されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
16. 前記最外層プレートの一部が、前記アクチュエータユニットとによって前記平型柔軟ケーブルを狭持していることを特徴とする請求項１５に記載のインクジェットヘッド。

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