JP2006035355A - 研磨装置および研磨方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研磨装置1には、上定盤21と下定盤22とから構成された一対の定盤2と、上定盤21を昇降させる昇降機構3とが、設けられている。昇降機構3は、上定盤21を支える支持部4と、上定盤21を昇降させるモータ5と、モータ5の昇降機能を制御するためのストッパー部6と、ウエハWの研磨の間、経時的に変化する上定盤21の重量に基づき上定盤側の荷重を加減する逆圧制御機構7と、から構成される。逆圧制御機構7では、測定部71による上定盤21の重量の測定値に基づいて、ウエハWの研磨の間の上定盤側の荷重が算出され、この荷重に変動があった場合にその過不足分の荷重が上定盤側の荷重に加減される。
【選択図】 図1
Description
2 一対の定盤
8 キャリア
5 モータ
7 逆圧制御機構
71 測定部
72 制御部
79 微調整部
73 弾性部
70 ロック部
W ウエハ
Claims (10)
- 一対の定盤が対向配置され、ウエハを保持するキャリアが前記一対の定盤間に配置され、前記キャリアに保持されたウエハを前記一対の定盤によって挟持した状態で研磨する研磨装置において、
一対の定盤の少なくとも一方の一定盤では、当該一定盤の重量がウエハを挟持する際の荷重に関係付けられ、
ウエハの研磨の間、前記一定盤の重量に基づき前記一定盤側の荷重を加減して、前記一定盤側のウエハへの荷重を一定にさせる逆圧制御機構が設けられたことを特徴とする研磨装置。 - 前記逆圧制御機構には、
前記一定盤の重量を測定する測定部と、
前記一定盤側のウエハへの荷重を制御する制御部と、
前記一定盤側のウエハへの荷重の加減を微調整する微調整部と、が設けられ、
前記測定部による前記一定盤の重量の測定値に基づいて、ウエハ研磨を行っている間、連続的に前記一定盤側の荷重が算出され、この荷重に変動があった場合にその過不足分の荷重が前記一定盤側の荷重に加減されることを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。 - 前記微調整部は、前記一定盤と接続された、前記一定盤側の荷重が付勢力に対する抗力となる弾性部と、前記一定盤を前記他定盤から接近及び離反させるモータとから構成され、かつ、
前記弾性部における調整機能を制御するロック部が設けられたことを特徴とする請求項2に記載の研磨装置。 - 前記弾性部の付勢力に対する抗力が無い状態の位置において前記弾性部の付勢力に対する抗力が遮断されることを特徴とする請求項3に記載の研磨装置。
- 前記モータには、パルスモータが用いられることを特徴とする請求項3または4に記載の研磨装置。
- 一対の定盤を対向配置し、ウエハを保持するキャリアを前記一対の定盤間に配置して、前記キャリアに保持したウエハを前記一対の定盤によって挟持した状態で研磨する研磨方法において、
一対の定盤の少なくとも一方の一定盤では、当該一定盤の重量をウエハを挟持する際の荷重に関係付け、
ウエハの研磨の間、前記一定盤の重量に基づき荷重を前記一定盤に加減して、前記一定盤側のウエハへの荷重を一定にさせる逆圧制御工程を有することを特徴とする研磨方法。 - 前記逆圧制御工程には、
前記一定盤の重量を測定する測定工程と、
前記一定盤側のウエハへの荷重を制御する制御工程と、
前記一定盤側のウエハへの荷重の加減を微調整する微調整工程と、が含まれ、
前記測定工程における前記一定盤の重量の測定値に基づいて、ウエハの研磨の間の前記一定盤側の荷重を算出し、この荷重に変動があった場合にその過不足分の荷重を前記一定盤側の荷重に加減することを特徴とする請求項6に記載の研磨方法。 - 前記微調整工程では、前記一定盤側の荷重が付勢力に対する抗力となる弾性部と、前記一定盤を前記他定盤から接近及び離反させるモータとを用いて前記一定盤側のウエハへの荷重の加減を微調整するとともに、
前記微調整工程における前記弾性部の調整機能を制御するロック工程を有することを特徴とする請求項7に記載の研磨方法。 - 前記モータによる前記一定盤の前記他定盤に対する接近及び離反速度が可変設定されることを特徴とする請求項8に記載の研磨方法。
- ウエハとして振動モードが厚み系振動である水晶を用い、
前記測定工程では、前記ロック工程において前記弾性部を制御して前記一定盤の重量を測定し、
前記一定盤側の荷重から前記測定工程において測定した前記一定盤の重量を減算した値が設定重量になるように設定し、この設定重量に基づいて、前記モータによる前記一定盤の前記他定盤に対する接近及び離反速度を低速にしながら前記弾性部の付勢力に対する抗力を作用させた状態で前記一定盤側のウエハへの荷重を一定にしてウエハに対して研磨を行うことを特徴とする請求項9に記載の研磨方法。
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