JP2006035188A - 気体除湿浄化装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 気体除湿浄化装置による除湿処理と浄化処理との両方について高い処理性能を得る。
【解決手段】 吸着剤を担持させた吸着ロータ4の回転経路Kに、被処理気体MAを吸着ロータ4に通風して被処理気体中の水分及びガス状有機物を吸着剤に吸着させる処理域5と、再生用気体HAを吸着ロータ4に通風して先の処理域5での吸着水分及び吸着有機物を吸着剤から脱着させる再生域6とを、吸着ロータ4の回転方向に並べて区画形成してある気体除湿浄化装置において、処理域5を吸着ロータ4の回転方向に並ぶ複数の分割処理域5a〜5dに区画し、水分及びガス状有機物を含む被処理気体MAを複数の分割処理域5a〜5dに対して直列に通過させる構成にする。
【選択図】 図1
【解決手段】 吸着剤を担持させた吸着ロータ4の回転経路Kに、被処理気体MAを吸着ロータ4に通風して被処理気体中の水分及びガス状有機物を吸着剤に吸着させる処理域5と、再生用気体HAを吸着ロータ4に通風して先の処理域5での吸着水分及び吸着有機物を吸着剤から脱着させる再生域6とを、吸着ロータ4の回転方向に並べて区画形成してある気体除湿浄化装置において、処理域5を吸着ロータ4の回転方向に並ぶ複数の分割処理域5a〜5dに区画し、水分及びガス状有機物を含む被処理気体MAを複数の分割処理域5a〜5dに対して直列に通過させる構成にする。
【選択図】 図1
Description
本発明は、被処理気体に含まれる水分及びガス状有機物を吸着剤に吸着させて除去することで、被処理気体を除湿するとともに浄化する気体除湿浄化装置に関し、
詳しくは、吸着剤を担持させた吸着ロータの回転経路に、被処理気体を前記吸着ロータに通風して被処理気体中の水分及びガス状有機物を前記吸着剤に吸着させる処理域と、再生用気体を前記吸着ロータに通風して先の処理域での吸着水分及び吸着有機物を前記吸着剤から脱着させる再生域とを、前記吸着ロータの回転方向に並べて区画形成してある気体除湿浄化装置に関する。
詳しくは、吸着剤を担持させた吸着ロータの回転経路に、被処理気体を前記吸着ロータに通風して被処理気体中の水分及びガス状有機物を前記吸着剤に吸着させる処理域と、再生用気体を前記吸着ロータに通風して先の処理域での吸着水分及び吸着有機物を前記吸着剤から脱着させる再生域とを、前記吸着ロータの回転方向に並べて区画形成してある気体除湿浄化装置に関する。
従来、上記の如き吸着ロータ式の気体除湿浄化装置では、被処理気体を処理域において吸着ロータに通風するのに、被処理気体を吸着ロータの回転経路中における処理域の全体(詳しくは、吸着ロータのうち処理域通過過程にあるロータ部分の全体)に対して分散状態で一回通過させ、この通過過程において被処理気体中の水分及びガス状有機物を吸着ロータに担持の吸着剤に吸着させることで、被処理気体を除湿浄化処理するようにしていた(特許文献1,2参照)。
しかし、上記の従来装置では、被処理気体中の水分を除去する除湿処理について高い処理性能を得るとともに、被処理気体中のガス状有機物を除去する浄化処理についても高い処理性能を得るといったことが難しい問題があった。
この実情に鑑み、本発明の主たる課題は、処理域に対して被処理気体を通過させるのに合理的な通過形態を採ることにより、装置構成の簡素化を図りながら、除湿処理と浄化処理との両方について高い処理性能を得られるようにする点にある。
〔1〕本発明の第1特徴構成は気体除湿浄化装置に係り、その特徴は、
吸着剤を担持させた吸着ロータの回転経路に、被処理気体を前記吸着ロータに通風して被処理気体中の水分及びガス状有機物を前記吸着剤に吸着させる処理域と、再生用気体を前記吸着ロータに通風して先の処理域での吸着水分及び吸着有機物を前記吸着剤から脱着させる再生域とを、前記吸着ロータの回転方向に並べて区画形成する気体除湿浄化装置において、
前記処理域を前記吸着ロータの回転方向に並ぶ複数の分割処理域に区画し、水分及びガス状有機物を含む被処理気体を複数の前記分割処理域に対して直列に通過させる構成にしてある点にある。
吸着剤を担持させた吸着ロータの回転経路に、被処理気体を前記吸着ロータに通風して被処理気体中の水分及びガス状有機物を前記吸着剤に吸着させる処理域と、再生用気体を前記吸着ロータに通風して先の処理域での吸着水分及び吸着有機物を前記吸着剤から脱着させる再生域とを、前記吸着ロータの回転方向に並べて区画形成する気体除湿浄化装置において、
前記処理域を前記吸着ロータの回転方向に並ぶ複数の分割処理域に区画し、水分及びガス状有機物を含む被処理気体を複数の前記分割処理域に対して直列に通過させる構成にしてある点にある。
つまり、この種の気体除湿浄化装置は吸着ロータを高温の再生域と低温の処理域とに跨らせた状態で回転させる為、吸着ロータ回転経路中の処理域では吸着ロータ回転方向における処理域各部の位置によって被処理気体中の水分及びガス状有機物を吸着剤に吸着させる吸着条件(例えば温度)に差を生じるが、先述の従来装置では、この処理域各部の吸着条件差にかかわらず、被処理気体を処理域の全体に対して分散状態で一回通過させる為、被処理気体の一部については水分が効率的に吸着されるもののガス状有機物の吸着が進まず、また一方、被処理気体の他部については逆にガス状有機物が効率的に吸着されるものの水分の吸着が進まないといったことが生じて、結果的に処理域通過後の処理済み気体中に水分及びガス状有機物がともに多く残る状態を招き、このことが従来装置において除湿処理と浄化処理との処理性能をともに高く確保するのが難しいことの原因の一つになっていた。
また、従来装置では、処理域の全体に対して等しい温度の被処理気体を通過させることになる為、処理域全体としての平均的な吸着条件が、水分の吸着かガス状有機物の吸着かのいずれかに適した方に偏ったものか、あるいは、そのいずれにも偏らずに水分及びガス状有機物ともに効率的に吸着し得ない折衷的なものになる傾向もあり、このことも従来装置において除湿処理と浄化処理との処理性能をともに高く確保するのが難しいことの原因の一つになっていた。
これに対し、第1特徴構成によれば、処理域において吸着ロータの回転方向に並ぶ複数の分割処理域に対し被処理気体を直列に通過させることにより、吸着条件が相違する複数の分割処理域(ないしは、吸着条件を積極的に相違させた複数の分割処理域)で被処理気体を順次に処理する形態にすることができて、そのことにより、それら複数の分割処理域のうち水分の吸着に適した吸着条件の分割処理域で被処理気体の全風量中における水分を効率的に吸着剤に吸着させるのに併行して、ガス状有機物の吸着に適した吸着条件の分割処理域で被処理気体の全風量中におけるガス状有機物を効率的に吸着剤に吸着させることができ、これにより、除湿処理と浄化処理との両方について高い処理性能を効果的に得ることができる。
また、第1特徴構成によれば、複数の分割処理域に対し被処理気体を直列に通過させることにより、それら分割処理域の夫々に通過させる被処理気体を互いに温度の相違するものにすることができて、そのことにより、分割処理域どうしの吸着条件の差を一層明瞭化する(換言すれば、一部の分割処理域については水分の吸着に一層適したものにし、他の分割処理域についてはガス状有機物の吸着に一層適したものにする)こともでき、このことからも、除湿処理と浄化処理との両方について高い処理性能を得ることを効果的に実現することができる。
因みに、被処理気体を吸着条件の相違する複数の処理域に直列に通過させることで除湿処理と浄化処理との両方について高い処理性能を得るのに、複数の吸着ロータを設けるとともに、それら吸着ロータ夫々の回転経路に再生域及び処理域を設けて、それら複数の処理域に対し被処理気体を直列に通過させる別方式も考えられるが、この別方式では複数の吸着ロータを装備する為、また、複数の吸着ロータにおける複数の再生域に対して再生用気体を個別に供給することも必要になる為、装置構成が複雑化して、装置が大型になるとともに装置コストが嵩む問題が生じる。
これに対し、第1特徴構成によれば、1つの吸着ロータについて形成した複数の分割処理域に対し被処理気体を直列に通過させる形態を採るから、上記別方式の如き装置構成の複雑化を回避することができて、装置構成の簡素化を図りながら除湿処理及び浄化処理の処理性能をともに高く確保することができる。
なお、第1特徴構成の実施において分割処理域の域数は2域以上の何域であってもよく、また、より高い除湿機能及び浄化機能が要求される場合は、1つの吸着ロータについて形成した複数の分割処理域に対し被処理気体を直列に通過させた後、その被処理気体をさらに他の吸着ロータについて形成した複数の分割処理域に対して直列に通過させる形態で第1特徴構成を実施してもよい。
第1特徴構成の実施において除去対象とするガス状有機物は、クリーンルームのホルマリン燻蒸において発生するトリオキサン(ホルムアルデヒドの3量体)など、吸着剤による吸着により被処理気体から除去し得るものであれば、どのようなガス状有機物であってもよく、また、処理対象の被処理気体も空気あるいは空気以外の気体であってもよい。
〔2〕本発明の第2特徴構成は、第1特徴構成の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
水分及びガス状有機物を含む被処理気体を複数の前記分割処理域に対して、前記吸着ロータの回転方向上手側に位置する分割処理域ほど被処理気体の通過経路下流側となる通過順序で直列に通過させる構成にしてある点にある。
水分及びガス状有機物を含む被処理気体を複数の前記分割処理域に対して、前記吸着ロータの回転方向上手側に位置する分割処理域ほど被処理気体の通過経路下流側となる通過順序で直列に通過させる構成にしてある点にある。
つまり、この第2特徴構成によれば、吸着ロータの回転方向下手側(換言すれば、被処理気体の通過経路上流側)に位置する先の分割処理域での吸着で水分及びガス状有機物の濃度が低下して吸着による水分及びガス状有機物のそれ以上の濃度低下がより難しくなった被処理気体を、吸着ロータの回転方向上手側に位置する分割処理域(すなわち、再生域から処理域へ移行した後の経過時間がより短くて吸着剤の吸着能力が未だ高いロータ部分が存在する分割処理域)において効率的に処理することができ、これにより、除湿処理や浄化処理の処理性能を一層効果的に高めることができる。
〔3〕本発明の第3特徴構成は、第1又は第2特徴構成の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記再生域に供給する再生用気体の温度を、前記再生域において吸着水分と吸着有機物との両方を前記吸着剤から脱着させる設定高温再生温度と、それよりも低温で前記再生域において吸着水分と吸着有機物とのうち吸着水分のみを前記吸着剤から脱着させる設定低温再生温度とに切り換える再生温度切換手段を設けてある点にある。
前記再生域に供給する再生用気体の温度を、前記再生域において吸着水分と吸着有機物との両方を前記吸着剤から脱着させる設定高温再生温度と、それよりも低温で前記再生域において吸着水分と吸着有機物とのうち吸着水分のみを前記吸着剤から脱着させる設定低温再生温度とに切り換える再生温度切換手段を設けてある点にある。
つまり、再生域において吸着剤から吸着有機物を脱着させ得る対有機の下限再生温度は、再生域において吸着剤から吸着水分を脱着させ得る対水分の下限再生温度よりも一般に高温であり、この為、再生域において吸着水分及び吸着有機物を継続的に吸着剤から脱着させるには、再生域に供給する再生用気体の温度を対有機の下限再生温度以上に保つ必要があるが、この場合、そのように高温の再生用気体を継続して生成する為、エネルギ消費が大きくなって運転コストが嵩む問題が生じる。
これに対し、第3特徴構成によれば、再生域に供給する再生用気体の温度を再生温度切換手段により設定高温再生温度(すなわち、上記した対有機の下限再生温度以上の温度)と設定低温再生温度(すなわち、上記した対水分の下限再生温度以上で対有機の下限再生用温度未満の温度)とに切り換え得るから、その切り換えを繰り返して適時に実行することにより、対有機の下限再生温度以上の高温の再生用気体を継続して生成するのに比べ、再生用気体の加熱生成に要するエネルギを低減して運転コストを安価にしながらも、吸着剤に吸着水分及び吸着有機物が蓄積されることによる吸着剤の機能低下を防止して、除湿処理及び浄化処理の処理性能を高く維持することができる。
なお、第3特徴構成の実施において、再生温度切換手段は、再生用気体の温度切り換えを人為操作により行う構成にしてもよく、また、処理域運転状態や再生域運転状態の検出情報などに基づいて、あるいは、タイマー制御などにより再生用気体の温度切り換えを自動的に行う構成にしてもよい。
第3特徴構成の実施において、設定高温再生温度や設定低温再生温度は除去対象であるガス状有機物の成分変化などに応じて設定変更を容易に行えるようにしておくのが望ましく、また、第3特徴構成の実施においては、処理域運転状態や再生域運転状態の検出情報などに基づいて設定高温再生温度や設定低温再生温度を自動的に補正する装置構成を採用してもよい。
〔4〕本発明の第4特徴構成は、第3特徴構成の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
被処理気体におけるガス状有機物の濃度を検出する濃度検出手段を設け、前記再生温度切換手段を、前記濃度検出手段による検出濃度に応じて設定高温再生温度と設定低温再生温度との切り換えを自動的に行う構成にしてある点にある。
被処理気体におけるガス状有機物の濃度を検出する濃度検出手段を設け、前記再生温度切換手段を、前記濃度検出手段による検出濃度に応じて設定高温再生温度と設定低温再生温度との切り換えを自動的に行う構成にしてある点にある。
つまり、この第4特徴構成によれば、被処理気体におけるガス状有機物の濃度が高くなったとき、再生用気体の温度を自動的に設定高温再生温度に切り換えることができ、また、被処理気体におけるガス状有機物の濃度が低くなったときには、再生用気体の温度を自動的に設定低温再生温度に切り換えることができる。
すなわち、このことにより、被処理気体におけるガス状有機物の濃度が高くなってガス状有機物の吸着量が増えることに対し、吸着有機物の蓄積が進むことによる吸着剤の機能低下を確実に防止するとともに、被処理気体におけるガス状有機物の濃度が低下したにもかかわらず再生用気体の温度を設定高温再生温度に保つことによるエネルギの浪費も確実に防止することができ、この点で、再生用気体の加熱生成に要するエネルギを低減しながら除湿処理及び浄化処理の処理性能を高く維持することを一層効果的に実現することができる。
〔5〕本発明の第5特徴構成は、第3又は第4特徴構成の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記吸着ロータの回転経路において前記再生域の吸着ロータ回転方向における下手側端部と前記処理域の吸着ロータ回転方向における上手側端部との間に、パージ用気体を前記吸着ロータに通風するパージ域を区画形成し、
このパージ域に供給するパージ用気体の温度を、前記再生域に供給する再生用気体の温度が設定高温再生温度のときにおいて前記処理域における前記吸着剤の吸着機能を高くする設定高温再生用パージ温度と、前記再生域に供給する再生用気体の温度が設定低温再生温度のときにおいて前記処理域における前記吸着剤の吸着機能を高くする設定低温再生用パージ温度とに切り換えるパージ温度切換手段を設けてある点にある。
前記吸着ロータの回転経路において前記再生域の吸着ロータ回転方向における下手側端部と前記処理域の吸着ロータ回転方向における上手側端部との間に、パージ用気体を前記吸着ロータに通風するパージ域を区画形成し、
このパージ域に供給するパージ用気体の温度を、前記再生域に供給する再生用気体の温度が設定高温再生温度のときにおいて前記処理域における前記吸着剤の吸着機能を高くする設定高温再生用パージ温度と、前記再生域に供給する再生用気体の温度が設定低温再生温度のときにおいて前記処理域における前記吸着剤の吸着機能を高くする設定低温再生用パージ温度とに切り換えるパージ温度切換手段を設けてある点にある。
つまり、上記パージ域では、その域内を通過するロータ部分にパージ用気体を通風することで、そのロータ部分に残存する再生用気体(すなわち、再生域から持ち出された再生用気体)を排除して、吸着ロータの回転に伴う再生域から処理域への再生用気体の持ち込みを防止し、また、先の再生域通過で高温になったロータ部分をパージ用気体の通風により冷却することで後続の処理域での吸着剤の吸着機能を高く保つが、研究の結果、再生域の運転状態(特に温度)が変化すると、処理域において水分及びガス状有機物に対する吸着剤の吸着機能を高くし得るパージ用気体の温度も変化することが判明した。
これに対し、第5特徴構成によれば、パージ域に供給するパージ用気体の温度をパージ温度切換手段により、再生用気体の温度が設定高温再生温度のときにおいて処理域における吸着剤の吸着機能を高くする設定高温再生用パージ温度と、再生用気体の温度が設定低温再生温度のときにおいて処理域における吸着剤の吸着機能を高くする設定低温再生用パージ温度とに切り換え得るから、再生用気体の温度を設定高温再生温度に切り換えることに伴いパージ用気体の温度を設定高温再生用パージ温度に切り換え、また、再生用気体の温度を設定低温再生温度に切り換えることに伴いパージ用気体の温度を設定低温再生用パージ温度に切り換えることで、再生用気体の設定高温再生温度と設定低温再生温度との切り換えにかかわらず、処理域における吸着剤の吸着機能を高く維持することができ、この点で、除湿処理及び浄化処理の処理性能を一層効果的に高めることができる。
なお、第5特徴構成の実施において、パージ温度切換手段は、パージ用気体の温度切り換えを人為操作により行う構成にしてもよく、また、再生温度切換手段による再生用気体の温度切り換えに連係してパージ用気体の温度切り換えを自動的に行う構成にしてもよい。
第5特徴構成の実施において、設定高温再生用パージ温度や設定低温再生用パージ温度は除去対象であるガス状有機物の成分変化などに応じて設定変更を容易に行えるようにしておくのが望ましく、また、第5特徴構成の実施においては、処理域運転状態の検出情報などに基づいて設定高温再生用パージ温度や設定低温再生用パージ温度を自動的に補正する装置構成を採用してもよい。
〔6〕本発明の第6特徴構成は、第1〜第5特徴構成のいずれかの実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
被処理気体の通過経路において、複数の前記分割処理域夫々の入口部、又は、複数の前記分割処理域のうちの一部の複数分割処理域夫々の入口部に、それら入口部を通過する被処理気体の温度を各々個別の設定処理温度に調整する処理温度調整器を設けてある点にある。
被処理気体の通過経路において、複数の前記分割処理域夫々の入口部、又は、複数の前記分割処理域のうちの一部の複数分割処理域夫々の入口部に、それら入口部を通過する被処理気体の温度を各々個別の設定処理温度に調整する処理温度調整器を設けてある点にある。
つまり、この第6特徴構成によれば、複数の処理温度調整器により、それら処理温度調整器夫々の直後の分割処理域に通過させる被処理気体の温度を設定処理温度に調整することにおいて、それら設定処理温度として適当な温度を個別に選定することにより、処理温度調整器夫々の直後の分割処理域における吸着条件を水分の吸着かガス状有機物の吸着かのいずれかに一層適したものにすることができ、これにより、除湿処理と浄化処理との両方について高い処理性能を得るという所期の目的を一層効果的に達成することができる。
なお、第6特徴構成の実施において、設定処理温度は除去対象であるガス状有機物の成分変化などに応じて容易に設定変更できるようにしておくのが望ましい。
また、第6特徴構成の実施においては、各分割処理域についての運転状態の検出情報などに基づき処理温度調整器夫々の設定処理温度を自動的に補正する装置構成を採ってもよく、さらに、第3特徴構成を併行実施する場合には、再生温度切換手段による再生用気体の温度切り換えに連係して処理温度調整器の設定処理温度を自動的に変更する装置構成を採ってもよい。
図1において、1は空気中における水分及びガス状有機物の存在を嫌う物品(例えば電子部品、薬剤、フィルムなど)の製造を行う製造室であり、この製造室1へは除湿浄化装置2により生成した極低湿度でかつガス状有機物濃度の極低い除湿浄化空気SAを給気路3を通じて供給し、この除湿浄化空気SAの供給により製造室1の室内を所要の低湿度でかつガス状有機物濃度の低い状態に保つ。
除湿浄化装置2は、図2に示す如き円盤状で中心軸芯Pを回転軸芯とするとともに中心軸芯Pに沿う方向について通気性を有する吸着ロータ4を備えており、この吸着ロータ4の構成材には吸着剤(例えばシリカゲル、ゼオライト、活性炭など)を担持させてある。
吸着ロータ4の回転経路Kは、ロータ回転方向において基本的に処理域5、再生域6、パージ域7の三域に区画してあり、これら三域5,6,7を上記の記載順にロータ回転方向の上手側から並べた配置にすることで、吸着ロータ4の回転に伴いロータ各部を処理域5、再生域6、パージ域7の順に移行させる。なお、図中Rは吸着ロータ4の回転向きを示す。
また、処理域5はさらにロータ回転方向において第1〜第4の分割処理域5a〜5dに区画してあり、これら第1〜第4の分割処理域5a〜5dをその記載順にロータ回転方向の下手側から上手側へ並べた配置にすることで、吸着ロータ4の回転に伴いロータ各部を処理域5の通過において第4〜第1分割処理域5d〜5aの順に移行させる。
8は除湿浄化空気SAの供給に伴い製造室1から取り出す空気RA(還気空気)を除湿浄化装置2に戻す還気路、9は還気路8に接続した外気路であり、還気路8を通じて除湿浄化装置2に戻す還気空気RAには外気路9を通じて取り入れる外気OAを混合する。また、外気路9には外調機10を介装してあり、還気空気RAに混合する外気OAは外調機10に装備のプレクーラ10bにより予冷する。
なお、外調機10には、プレフィルタ10a、プレクーラ10b、エリミネータ10cをその順に外気OAの流れ方向に並べて装備してある。また、1aは製造室1の室内から所定風量の空気を排気空気EAとして外部へ排出する排気路である。
還気路8を通じて除湿浄化装置2に導く還気空気RAと外気OAとの混合空気MAは、被処理気体として中性能フィルタ11、第1中間クーラ12、エリミネータ12aを通じて第1分割処理域5aに供給し、これにより、第1分割処理域5aでは、第1処理として、域内通過過程にあるロータ部分に混合空気MAを通風することで、そのロータ部分に担持の吸着剤に混合空気MA中の水分及びガス状有機物を吸着させて、混合空気MAの湿度を低下させるとともに混合空気MAにおけるガス状有機物の濃度を低下させる。
第1分割処理域5aを通過した第1処理済みの混合空気MA1は、第1中継路13を通じて第2分割処理域5bに対し先の第1分割処理域5aとは逆向きに通過させる状態で供給し、これにより、第2分割処理域5bでは、第2処理として、第1分割処理域5aでの第1処理と同様、域内通過過程にあるロータ部分に第1処理済み混合空気MA1を通風することで、そのロータ部分に担持の吸着剤に第1処理済み混合空気MA1中の水分及びガス状有機物を吸着させて、第1処理済み混合空気MA1の湿度及びガス状有機物濃度をさらに低下させる。
第2分割処理域5bを通過した第2処理済みの混合空気MA2は、第2中間クーラ15及びエリミネータ15aを介装した第2中継路16を通じて第3分割処理域5cに対し先の第2分割処理域5bとは逆向きに通過させる状態で供給し、これにより、第3分割処理域5cでは、第3処理として、第1,第2分割処理域5a,5bでの第1,第2処理と同様、域内通過過程にあるロータ部分に第2処理済み混合空気MA2を通風することで、そのロータ部分に担持の吸着剤に第2処理済み混合空気MA2中の水分及びガス状有機物を吸着させて、第2処理済み混合空気MA2の湿度及びガス状有機物濃度をさらに低下させる。
また、第3分割処理域5cを通過した第3処理済みの混合空気MA3は、第3中継路17を通じて最終の第4分割処理域5dに対し先の第3分割処理域5cとは逆向きに通過させる状態で供給し、これにより、第4分割処理域5dでは、最終処理として、第1〜第3分割処理域5a〜5cでの第1〜第3処理と同様、域内通過過程にあるロータ部分に第3処理済み混合空気MA3を通風することで、そのロータ部分に担持の吸着剤に第3処理済み混合空気MA3中の水分及びガス状有機物を吸着させて、第3処理済み混合空気MA3の湿度及びガス状有機物濃度をさらに低下させる。そして、この第4分割処理域5dを通過した最終処理済みの混合空気MA4をアフタークーラ18により冷却した上で除湿浄化空気SAとして給気路3を通じ製造室1に送給する。
なお、14Aは被処理気体としての混合空気MAを除湿浄化装置2に導入するとともに、最終処理済み気体としての除湿浄化空気SAを除湿浄化装置2から送出する処理用ファンであり、また、14Bは第4分割処理域5dを他域よりも陽圧にして、第4分割処理域5dへの他域からの空気侵入を防止する処理用ブースタファンである。
つまり、この除湿浄化装置2では、処理域5において吸着ロータ4の回転方向に並ぶ複数の分割処理域5a〜5dに対し被処理気体としての混合空気MAを直列に通過させることにより、混合空気MA中の水分及びガス状有機物を吸着剤に吸着させる吸着条件が互いに相違する複数の分割処理域5a〜5dないし吸着条件を積極的に相違させた複数の分割処理域5a〜5dで混合空気MAを順次に処理する形態にし、これにより、分割処理域5a〜5dのうち水分の吸着に適した吸着条件の分割処理域で混合空気MAの全風量中における水分を効率的に吸着剤に吸着させて混合空気MAを効率良く除湿するのに併行して、ガス状有機物の吸着に適した吸着条件の分割処理域で混合空気MAの全風量中におけるガス状有機物を効率的に吸着剤に吸着させて混合空気MAを効率良く浄化する。
また、混合空気MAを複数の分割処理域5a〜5dに対し、吸着ロータ4の回転方向上手側に位置する分割処理域ほど混合空気MAの通過経路下流側となる通過順序で直列に通過させることにより、混合空気MAの通過経路上流側に位置する先の分割処理域での吸着で水分及びガス状有機物の濃度が低下して吸着による水分及びガス状有機物のそれ以上の濃度低下がより難しくなった混合空気MA1〜MA3を、吸着ロータ4の回転方向上手側に位置する分割処理域(すなわち、再生域6から処理域5への移行後の経過時間がより短くて吸着剤の吸着能力が未だ高いロータ部分が存在する分割処理域)において効率的に処理するようにしてある。
第1分割処理域5aの入口部に装備した第1中間クーラ12、及び、第3分割処理域5cの入口部に装備した第2中間クーラ15は夫々、第1分割処理域5aに通過させる混合空気MA、及び、第3分割処理域5cに通過させる混合空気MA2を冷却により各々個別の設定処理温度ta,tcに温度調整する処理温度調整器として機能し、これら第1及び第2中間クーラ12,15により、それらの直後の分割処理域5a,5cに通過させる混合空気MA,MA2の温度を設定処理温度ta,tcに調整することにおいて、それら設定処理温度ta,tcとして適当な温度を個別に選定することにより、第1及び第2中間クーラ12,15夫々の直後の分割処理域5a,5c(本実施形態では直後の分割処理域5a,5cとその次の分割処理域5b,5d)における吸着条件を水分の吸着かガス状有機物の吸着かのいずれかに一層適したものにし、これにより、除湿処理及び浄化処理の処理性能を一層効果的に高めるようにしてある。
なお、本実施形態における除湿浄化装置2の運転条件例としては次の例を挙げることができる。
外気OAの温度=34℃
外気OAの絶対湿度=20.1g/kg(da)
プレクーラ10bによる予冷後の外気OAの温度=10℃
還気空気RAの温度=23℃
除湿浄化空気SAの露点温度=−40℃
除湿浄化空気SAにおけるガス状有機物の濃度=10μg/m3
外気OAの温度=34℃
外気OAの絶対湿度=20.1g/kg(da)
プレクーラ10bによる予冷後の外気OAの温度=10℃
還気空気RAの温度=23℃
除湿浄化空気SAの露点温度=−40℃
除湿浄化空気SAにおけるガス状有機物の濃度=10μg/m3
19は再生用の外気路であり、この再生用外気路19を通じて取り入れる外気OAを低温再生用の加熱器20A又は高温再生用の加熱器20Bにより加熱することで再生用気体としての加熱空気HAを生成し、この再生用の加熱空気HAを再生用給気路21を通じて再生域6に対し第1分割処理域5aにおける混合空気MAの通過向きとは逆の通過向きで供給することにより、再生域6では処理域5での除湿浄化処理に併行して、域内通過過程にあるロータ部分に再生用加熱空気HAを通風することで、そのロータ部分に担持の吸着剤から吸着水分及び吸着有機物(すなわち、先の処理域5で吸着した水分及びガス状有機物)を脱着させて、そのロータ部分の吸着剤を再生する。なお、22は再生用外気路19に介装したフィルタである。
また、再生域6から送出される使用済みの再生用加熱空気HA′は再生用排気路23を通じて外部に排出するが、使用済み再生用加熱空気HA′の一部HA″は再生用還気路24を通じ再生用外気路19に戻して再生用加熱空気HAとして再使用し得るようにしてある。25は再生域6に対する再生用加熱空気HAの供給、及び、使用済み再生用加熱空気HA′の排出を行う再生用ファンである。
26は製造室1におけるガス状有機物の濃度dを検出する濃度センサ、27はこの濃度センサ26の検出濃度dに応じて低温再生用の加熱器20Aと高温再生用の加熱器20Bとを択一的に運転する再生制御器であり、具体的には、この再生制御器27は濃度センサ26の検出濃度dが設定閾濃度ds以下のとき、低温再生用加熱器20Aを運転することで設定低温再生温度ttcの再生用加熱空気HAを生成し、濃度センサ26の検出濃度dが設定閾濃度dsよりも高いとき、高温再生用加熱器20Bを運転することで設定高温再生温度tthの再生用加熱空気HAを生成する。
そして、設定低温再生温度ttcとしては、再生域6において吸着水分と吸着有機物とのうち吸着水分のみを吸着剤から脱着させる温度を選定し、設定高温再生温度tthとしては、設定低温再生温度ttcよりも高温で再生域6において吸着水分と吸着有機物との両方を吸着剤から脱着させる温度を選定してある。
すなわち、濃度センサ26は被処理気体としての還気空気RAにおけるガス状有機物の濃度dを検出する濃度検出手段を構成し、低温再生用加熱器20A,高温再生用加熱器20B、及び、再生制御器27は、この濃度センサ26による検出濃度dに応じて、再生域6に供給する再生用加熱空気HAの温度を上記の設定高温再生温度tthと設定低温再生温度ttcとに自動的に切り換える再生温度切換手段を構成し、このように還気空気RAにおけるガス状有機物の濃度dに応じて再生用加熱空気HAの温度を自動的に切り換えることにより、吸着有機物の蓄積が進むことによる吸着剤の機能低下を防止する必要が生じたときのみ、設定高温再生温度tthの再生用加熱空気HAを再生域6に供給するようにして、再生用加熱空気HAの加熱生成に要する消費エネルギの節減を図ってある。
28は第1分割処理域5aを通過した第1処理済みの混合空気MA1の一部をパージ用空気PAとしてパージ域7に対し再生域6における再生用加熱空気HAの通過向きと同じ通過向きで供給するパージ用給気路であり、このパージ用空気PAの供給によりパージ域7では、域内通過過程にあるロータ部分にパージ用空気PAを通風することで、そのロータ部分に残る再生用加熱空気HAを排除して、吸着ロータ4の回転に伴う再生域6から処理域5への再生用加熱空気HAの持ち込みを防止し、また、先の再生域6の通過で高温になったロータ部分をパージ用空気PAの通風により冷却して、後続の処理域5での吸着剤の吸着機能を高く保つ。
なお、パージ域7から送出される使用済みのパージ用空気PA′は、パージ用排気路29を通じ再生用外気路19における取り入れ外気OAに混合して再生用加熱空気HAの一部として使用するようにしてある。
パージ用給気路29にはパージ域7に供給するパージ用空気PAを加熱するパージ用ヒータ30を介装してあり、また、前記の再生制御器27は、パージ用ヒータ30の出力を調整することで、設定低温再生温度ttcの再生用加熱空気HAを再生域6に供給する低温再生運転時には、パージ用空気PAの温度を設定低温再生用パージ温度tpcに自動調整し、かつ、設定高温再生温度tthの再生用加熱空気HAを再生域6に供給する高温再生運転時には、パージ用空気PAの温度を設定高温再生用パージ温度tphに自動調整する構成にしてある。
そして、設定低温再生用パージ温度tpcとしては、上記の低温再生運転時において処理域5における吸着剤の吸着機能を高く確保し得る温度を選定し、設定高温再生用パージ温度tphとしては、上記の高温再生運転時において処理域5における吸着剤の吸着機能を高く確保し得る温度を選定してある。
つまり、パージ用ヒータ30及び再生制御器27は、濃度センサ26の検出濃度dに応じ再生用空気HAの温度を設定低温再生温度ttcと設定高温再生温度tthとに切り換えることに連係して、パージ域7に供給するパージ用空気PAの温度を設定低温再生用パージ温度tpcと設定高温再生用パージ温度tphとに自動的に切り換えるパージ温度切換手段を構成し、このようにパージ用空気PAの温度を切り換えることにより、再生用加熱空気HAの設定低温再生温度ttcと設定高温再生温度tthとへの温度切り換えにかかわらず、処理域5における吸着剤の吸着機能を高く維持するようにしてある。
〔別実施形態〕
前述の実施形態では、低温再生用加熱器20Aと高温再生用加熱器20Bとのいずれを運転するかによって、再生域6に供給する再生用気体HAの温度を設定低温再生温度ttcと設定高温再生温度tthとに切り換えるようにしたが、これに代え、1つの加熱器の出力を調整することで、あるいは、直列に配備した複数の加熱器の運転台数を変更することで、再生域6に供給する再生用気体HAの温度を設定低温再生温度ttcと設定高温再生温度tthとに切り換えるようにしてもよい。
前述の実施形態では、低温再生用加熱器20Aと高温再生用加熱器20Bとのいずれを運転するかによって、再生域6に供給する再生用気体HAの温度を設定低温再生温度ttcと設定高温再生温度tthとに切り換えるようにしたが、これに代え、1つの加熱器の出力を調整することで、あるいは、直列に配備した複数の加熱器の運転台数を変更することで、再生域6に供給する再生用気体HAの温度を設定低温再生温度ttcと設定高温再生温度tthとに切り換えるようにしてもよい。
再生用気体HAは、加熱空気に限られるものではなく、吸着剤から吸着水分及び吸着有機物を脱着し得る気体であれば、どのような気体であってもよい。
前述の実施形態では、分割処理域5a,5cの入口部においてクーラ(冷却器)12,15により被処理気体MA,MA2の温度を設定処理温度ta,tcに調整する例を示したが、処理温度調整器は、必ずしも被処理気体を冷却により温度調整するクーラ(冷却器)に限られるものではなく、場合によっては被処理気体を加熱により温度調整するヒータ(加熱器)であってもよい。
また、前述の実施形態では、被処理気体MA,MA2の温度を設定処理温度ta,tcに調整する処理温度調整器12,15を、分割処理域5a〜5dのうちの一部の複数分割処理域5a,5cの入口部にのみ設ける例を示したが、これに代え、処理温度調整器を全ての分割処理域5a〜5dの入口部に設けるようにしてもよい。
前述の実施形態では、パージ用ヒータ30の出力調整によりパージ用気体PAの温度を設定低温再生用パージ温度tpcと設定高温再生用パージ温度tphとに切り換えるようにしたが、場合によっては、パージ用気体PAを冷却するクーラ(冷却器)の出力調整や、パージ用気体PAを加熱又は冷却する温度調整器の加熱出力調整又は冷却出力調整により、パージ用気体PAの温度を設定低温再生用パージ温度tpcと設定高温再生用パージ温度tphとに切り換えるようにしてもよい。
前述の実施形態では、製造室1からの還気空気RAと外気OAとの混合空気MAを被処理気体として、その被処理気体を本発明の気体除湿浄化装置2により除湿浄化処理した上で製造室1に供給することで、製造室1を低湿度でかつガス状有機物濃度の低い状態にする例を示したが、これに代え、外気OAのみを被処理気体として本発明の気体除湿浄化装置により除湿浄化処理し、その処理後の除湿浄化外気を調整対象域に供給することで、その調整対象域を低湿度でかつガス状有機物濃度の低い状態にするようにしてもよく、本発明の実施において、被処理気体は水分及びガス状有機物を含むものであれば、どのような気体であってもよく、また、処理済み気体の供給先も低湿度でかつガス状有機物濃度が低い気体を必要とする箇所であれば、どのような箇所であってもよい。
前述の実施形態では、円盤状の吸着ロータ4を用いる例を示したが、吸着ロータは中心軸芯を回転軸芯とするとともに径方向に気体通過させる円筒状のものであってもよい。
本発明による気体除湿浄化装置は、低湿度でかつガス状有機物濃度の低い気体を必要とする各種分野において使用できる。
4 吸着ロータ
K 回転経路
MA 被処理気体
5 処理域
HA 再生用気体
6 再生域
5a〜5d 分割処理域
tth 設定高温再生温度
ttc 設定低温再生温度
20A 再生温度切換手段
20B 再生温度切換手段
27 再生温度切換手段,パージ温度切換手段
d 濃度
26 濃度検出手段
7 パージ域
PA パージ用気体
tph 設定高温再生用パージ温度
tpc 設定低温再生用パージ温度
30 パージ温度切換手段
ta,tc 設定処理温度
12,15 処理温度調整器
K 回転経路
MA 被処理気体
5 処理域
HA 再生用気体
6 再生域
5a〜5d 分割処理域
tth 設定高温再生温度
ttc 設定低温再生温度
20A 再生温度切換手段
20B 再生温度切換手段
27 再生温度切換手段,パージ温度切換手段
d 濃度
26 濃度検出手段
7 パージ域
PA パージ用気体
tph 設定高温再生用パージ温度
tpc 設定低温再生用パージ温度
30 パージ温度切換手段
ta,tc 設定処理温度
12,15 処理温度調整器
Claims (6)
- 吸着剤を担持させた吸着ロータの回転経路に、被処理気体を前記吸着ロータに通風して被処理気体中の水分及びガス状有機物を前記吸着剤に吸着させる処理域と、再生用気体を前記吸着ロータに通風して先の処理域での吸着水分及び吸着有機物を前記吸着剤から脱着させる再生域とを、前記吸着ロータの回転方向に並べて区画形成してある気体除湿浄化装置であって、
前記処理域を前記吸着ロータの回転方向に並ぶ複数の分割処理域に区画し、水分及びガス状有機物を含む被処理気体を複数の前記分割処理域に対して直列に通過させる構成にしてある気体除湿浄化装置。 - 水分及びガス状有機物を含む被処理気体を複数の前記分割処理域に対して、前記吸着ロータの回転方向上手側に位置する分割処理域ほど被処理気体の通過経路下流側となる通過順序で直列に通過させる構成にしてある請求項1記載の気体除湿浄化装置。
- 前記再生域に供給する再生用気体の温度を、前記再生域において吸着水分と吸着有機物との両方を前記吸着剤から脱着させる設定高温再生温度と、それよりも低温で前記再生域において吸着水分と吸着有機物とのうち吸着水分のみを前記吸着剤から脱着させる設定低温再生温度とに切り換える再生温度切換手段を設けてある請求項1又は2記載の気体除湿浄化装置。
- 被処理気体におけるガス状有機物の濃度を検出する濃度検出手段を設け、前記再生温度切換手段を、前記濃度検出手段による検出濃度に応じて設定高温再生温度と設定低温再生温度との切り換えを自動的に行う構成にしてある請求項3記載の気体除湿浄化装置。
- 前記吸着ロータの回転経路において前記再生域の吸着ロータ回転方向における下手側端部と前記処理域の吸着ロータ回転方向における上手側端部との間に、パージ用気体を前記吸着ロータに通風するパージ域を区画形成し、
このパージ域に供給するパージ用気体の温度を、前記再生域に供給する再生用気体の温度が設定高温再生温度のときにおいて前記処理域における前記吸着剤の吸着機能を高くする設定高温再生用パージ温度と、前記再生域に供給する再生用気体の温度が設定低温再生温度のときにおいて前記処理域における前記吸着剤の吸着機能を高くする設定低温再生用パージ温度とに切り換えるパージ温度切換手段を設けてある請求項3又は4記載の気体除湿浄化装置。 - 被処理気体の通過経路において、複数の前記分割処理域夫々の入口部、又は、複数の前記分割処理域のうちの一部の複数分割処理域夫々の入口部に、それら入口部を通過する被処理気体の温度を各々個別の設定処理温度に調整する処理温度調整器を設けてある請求項1〜5のいずれか1項に記載の気体除湿浄化装置。
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- 2004-07-30 JP JP2004223227A patent/JP2006035188A/ja active Pending
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