JP2006032769A - 多層基板 - Google Patents

多層基板 Download PDF

Info

Publication number
JP2006032769A
JP2006032769A JP2004211488A JP2004211488A JP2006032769A JP 2006032769 A JP2006032769 A JP 2006032769A JP 2004211488 A JP2004211488 A JP 2004211488A JP 2004211488 A JP2004211488 A JP 2004211488A JP 2006032769 A JP2006032769 A JP 2006032769A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
spiral coil
substrate
line pattern
transmission line
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004211488A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroaki Takahashi
博明 高橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP2004211488A priority Critical patent/JP2006032769A/ja
Publication of JP2006032769A publication Critical patent/JP2006032769A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Coils Or Transformers For Communication (AREA)

Abstract

【課題】基板の占有面積を小さくでき、レイアウト設計上の自由度が高い多層基板を提供する。
【解決手段】各々が導電性の伝送線路部21〜25を有し且つこの伝送線路部21〜25の各々が互いに対向配置された複数の導体層11〜15と、この複数の導体層11〜15に設けられた複数の伝送線路部21〜25の内の2つの伝送線路部相互間を接続する複数の接続手段2a〜2dとを備え、複数の伝送線路部21〜25と複数の接続手段2a〜2dとが複数の導体層11〜15の外層から中心層に向かって交互に接続されることにより複数の導体層11〜15の積層方向にスパイラルコイルを形成した。
【選択図】図1

Description

本発明は、スパイラルコイルが形成された多層基板に関する。
従来、数百MHz以上の高周波信号を扱う高周波回路において、基板上に形成されるインダクタ素子は、マイクロストリップライン等の分布定数線路素子が使用されている。しかしインダクタ素子として分布定数線路素子を使用すると、素子による基板の占有面積が大きくなり、これはより低い周波数帯で顕著である。
また、図6に示すように、基板100の同一平面上に導体からなるラインパターン101を渦巻状に形成したスパイラルコイルが知られている。しかし、このスパイラルコイルでは、インダクタンス値を増加するために渦巻の巻数(ターン数)を増加すると基板の占有面積が大きくなる。
また、占有面積を小さくするために複数の導体層を用いて各々の導体層の同一平面上に渦巻状のラインパターンを形成し、これらを電気的に接続することによってインダクタンス値を増加させるスパイラルコイルが知られている。従来のスパイラルコイルで使用される2層基板を図7及び図8に示す。図7に示す第1層102aと図8に示す第2層102bとは、互いに対向する位置に配置されている。第1層102aは、渦巻パターン111と、この渦巻きパターン111と分離して設けられた渦巻パターン114とを有している。第2層102bは、渦巻パターン112と、この渦巻パターン112に接続された渦巻パターン113とを有している。渦巻パターン111と渦巻パターン112とはスルーホール115により接続され、渦巻パターン113と渦巻パターン114とはスルーホール118により接続されている。従って、渦巻パターン111、112、113、114は、スルーホール115,118によって電気的に接続され、全体で渦巻のターン数を増加させ、大きなインダクタンス値を得ている。
また、複数のフェライトシートを用い、このフェライトシート間にフェライトシート両面でコイルを形成するコイル用導体パターンを有したフェライトシート(コイル用フェライトシート)と、スルーホールを有したフェライトシート(接続用フェライトシート)を備えた積層型インダクターが知られている。この積層型インダクターは、複数のコイル用フェライトシートが接続用フェライトシートにより接続され、積層されることによって全体として大きいインダクタンス値が得られる(特許文献1)。
また、図9に示すように基板に平面状の第1層配線115とエアブリッジ型の第2層配線116とによって構成されたインダクタ素子が知られている。このインダクタ素子は複数の第1層配線115が基板上の仮想線117を交差するように配列され、この上にエアブリッジ構造の第2層配線116が、第1層配線と第2層配線によって全体として空間的にらせん状になるように形成され、第1層配線と第2層配線とはコンタクトホールによって電気的に接続されている(特許文献2)。
特開平2−143406号公報 特開平4−354108号公報
しかしながら、図7及び図8に示した2層の導体層を用いて構成した従来のスパイラルコイルでは、分布定数線路素子や図6に示した従来のスパイラルコイルより基板の占有面積を小さくできるが、さらなる小型化が求められている。また、1つ1つの渦巻パターン(コイル)が同一平面上で正方形等の形状に形成され、レイアウト設計上の自由度に大きな制限を与えてしまうため、基板にデッドスペースを生じさせてしまう。
また、複数のフェライトシートを用いたスパイラルコイルは、フェライトシート内において断面積方向にコイルを形成し、このコイルを少なくとも2以上直列に接続したので、小型で大きいインダクタンス値が得られるが、1枚のフェライトシート上に1つのコイルを形成するため、基板の占有面積が大きくなるという問題がある。
また、図9に示したインダクタ素子は、細長い構造で、基板上で適宜屈曲させることができるので、従来の平面型のスパイラルコイルに比べて、レイアウト設計上の自由度が高いが、同一基板上にコイルを形成するので、基板の占有面積が大きくなる。
本発明は、上述した問題を解消するためになされたものであり、その課題は、基板の占有面積を小さくでき、レイアウト設計上の自由度が高い多層基板を提供することにある。
上記の課題を解決するために、本発明に係る多層基板は、各々が導電性の伝送線路部を有し且つこの伝送線路部の各々が互いに対向配置された複数の導体層と、この複数の導体層に設けられた複数の伝送線路部の内の2つの伝送線路部相互間を接続する複数の接続手段とを備え、複数の伝送線路部と複数の接続手段とが複数の導体層の外層から中心層に向かって交互に接続されることにより複数の導体層の積層方向の断面にスパイラルコイルを形成したことを特徴とする。
本発明の多層基板は、互いに対向配置された複数の伝送線路部と複数の接続手段とが複数の導体層の外層から中心層に向かって交互に接続されることにより、複数の導体層の積層方向の断面にスパイラルコイルを形成したので、基板の占有面積を小さくでき、細長い構造でレイアウト設計上の自由度が高いスパイラルコイルを有する多層基板を提供できる。
以下、本発明の実施例に係る多層基板を図面を参照しながら詳細に説明する。
図1は本発明の実施例1に係る多層基板の鳥瞰図であり、図2は本発明の実施例1に係る多層基板の側面図である。
この多層基板は、5層基板であり、例えばアルミナ等のセラミック基板やガラスエポキシ等の樹脂基板を用いて構成されている。この5層基板1は、上から本発明の複数の導体層である第1層11、第2層12、第3層13、第4層14、第5層15で構成される。各層には本発明の伝送線路部である導体からなる直線ラインパターン(以下、ラインパターンと略称する。)が形成されている。このラインパターンは、導電性の例えば銅などの金属であり、各々のラインパターンは、互いに対向配置されており、第1層11のラインパターン21と第5層15のラインパターン25とが最も長く、各々のラインパターンは、中心層にいくに従って短く形成されている。
第1層11のラインパターン21の一端と第5層15のラインパターン25の一端、第5層15のラインパターン25の他端と第2層12のラインパターン22の一端、第2層12のラインパターン22の他端と第4層14のラインパターン24の一端、及び第4層14のラインパターン24の他端と第3層13のラインパターン23の一端は、本発明の接続手段であるビアホール2a、2b、2c、2dでそれぞれ電気的に接続されている。ビアホール2a、2b、2c、2dは、導電性の銅などの金属からなる。
また、第1層11のラインパターン21及び第3層13のラインパターン23が引き出されており、一方のラインパターンが入力端子で、他方のラインパターンが出力端子になっている。従って、5層基板1のラインパターン21〜25とビアホール2a〜2dを用いて積層方向の断面にスパイラルコイルが形成された構造になっている。
このように構成された実施例1の多層基板によれば、複数のラインパターン21〜25と複数のビアホール2a〜2dとが複数の導体層11〜15の外層から中心層に向かって交互に接続されることにより、複数の導体層11〜15の積層方向の断面にスパイラルコイルを形成したので、多層基板の占有面積を正方形の一辺×ラインパターン幅程度に小さくできるとともに細長い構造であるので、レイアウト上の自由度が非常に高い。
なお、各ラインパターン同士はビアホール2a〜2dで電気的に接続されているが、例えば、ビアホール2a〜2dの代わりに、基板の端部に設けた側面配線によってラインパターン同士を接続しても良い。
また、多層基板として5層基板1の例を示したが、任意のn(nは3以上の自然数)層基板を用いて、第1層11のラインパターン21の一端と第n層1nのラインパターン2nの一端、第n層1nのラインパターン2nの他端と第2層12のラインパターン22の一端、第2層12のラインパターン22の他端と第n−1層1(n−1)のラインパターン2(n−1)の一端、・・・、というように同様に中心層までビアホールにより接続することによってスパイラルコイルを形成しても良い。この場合は第1層11または第n層1nと、中心層に入力・出力端子であるラインパターンが設けられる。
なお、本出願人は、図6に示した従来のスパイラルコイルを使用した場合と本発明の実施例1に係る多層基板を使用した場合とで得られるインダクタンス値を求めたので、この結果を示す。図3に示した従来のスパイラルコイルと図4に示した本発明の多層基板との基板材料はいずれも比誘電率9.6、一層の基板厚が100μmのアルミナ基板を想定して計算を行なった。
図3は従来のスパイラルコイルのラインパターンの各寸法を示した平面図である。図3において各ラインパターン幅S18は0.2mm、ラインパターン同士の間隔S19は0.2mmとし、それぞれのラインパターンの長さは、S11が1.4mm、S12が1.4mm、S13が1.0mm、S14が1.0mm、S15が0.6mm、S16が0.6mm、S17が1.0mmとした。この結果、図3の従来のスパイラルコイルで得られるインダクタンス値は1.9nHである。
次に、図4は本発明に係るスパイラルコイルのラインパターンとビアホールの各寸法を示した平面図である。各ラインパターンの幅は0.2mm(図1参照)、各導体層同士の間隔S10が0.1mm、ラインパターンのビアホール接続部の外側の長さS0が0.05mmとし、スパイラルコイルの1辺となるラインパターンとビアホールの長さは外側からS1が1.8mm、S2が0.4mm、S3が1.8mm、S4が0.3mm、S5が1.4mm、S6が0.2mm、S7が1.0mm、S8が0.1mm、S9が0.6mmとした。この結果、図4の本発明のスパイラルコイルで得られるインダクタンス値は2.0nHである。従って、図4に示す実施例1のスパイラルコイルにおいても、図3に示す従来のスパイラルコイルのインダクタンス値と略同一程度のインダクタンス値を得ることができる。
図5は本発明の実施例2に係る多層基板の鳥瞰図である。この多層基板は実施例1と同一構成のスパイラルコイルが多層基板上に2つ形成されている。第1のスパイラルコイル40は、ラインパターン21〜25とビアホール2a〜2dとで構成され、第2のスパイラルコイル50は、ラインパターン31〜35とビアホール3a〜3dとで構成されている。これら2つのスパイラルコイル40,50の内の一方のスパイラルコイル40の一端と他方のスパイラルコイル50の一端とが接続されている。即ち、図5に示したように第1のスパイラルコイル40のラインパターン23と第2のスパイラルコイル50のラインパターン33とを接続したので、大きいインダクタンス値が得られる。また、第1のスパイラルコイル40のラインパターン21と第2のスパイラルコイル40のラインパターン31とのうち、一方のラインパターンが入力端子で、他方のラインパターンが出力端子になっている。
このように構成された実施例2の多層基板によれば、多層基板上に実施例1のスパイラルコイルと同一構成のスパイラルコイルを2つ形成したので、多層基板の占有面積を小さくでき、レイアウト上の自由度が非常に高く且つ大きなインダクタンス値を得ることができる。
本発明は、種々の高周波回路用のコイルとして適用可能である。
本発明の実施例1に係る多層基板の構造を示す鳥瞰図である。 本発明の実施例1に係る多層基板の構造を示す側面図である。 従来のスパイラルコイルのラインパターンの各寸法を示す平面図である。 本発明に係る多層基板の各寸法を示す側面図である。 本発明の実施例2に係る多層基板の構造を示す鳥瞰図である。 従来のスパイラルコイルの構造を示す鳥瞰図である。 従来の他のスパイラルコイルが形成された多層基板の第1層を示す平面図である。 従来の他のスパイラルコイルが形成された多層基板の第2層を示す平面図である。 特許文献1記載のインダクタ素子の構造を示す鳥瞰図である。
符号の説明
1…5層基板、2a〜2d,3a〜3d…ビアホール、11,102a…第1層、12,102b…第2層、13…第3層、14…第4層、15…第5層、21〜25,31〜35,101…ラインパターン、40…第1のスパイラルコイル、50…第2のスパイラルコイル、100…基板、111〜114…渦巻パターン、115,118…スルーホール。

Claims (3)

  1. 各々が導電性の伝送線路部を有し且つこの伝送線路部の各々が互いに対向配置された複数の導体層と、
    この複数の導体層に設けられた複数の伝送線路部の内の2つの伝送線路部相互間を接続する複数の接続手段とを備え、
    前記複数の伝送線路部と前記複数の接続手段とが前記複数の導体層の外層から中心層に向かって交互に接続されることにより前記複数の導体層の積層方向の断面にスパイラルコイルを形成したことを特徴とする多層基板。
  2. 前記複数の伝送線路部は、前記外層から前記中心層にいくに従って短く形成され、前記2つの伝送線路部の一方の伝送線路部の一端と他方の伝送線路部の一端とが前記接続手段により接続されていることを特徴とする請求項1記載の多層基板。
  3. 前記スパイラルコイルと同一構成の別のスパイラルコイルをさらに設け、前記スパイラルコイルの一端と前記別のスパイラルコイルの一端とが接続されていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の多層基板。
JP2004211488A 2004-07-20 2004-07-20 多層基板 Pending JP2006032769A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004211488A JP2006032769A (ja) 2004-07-20 2004-07-20 多層基板

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004211488A JP2006032769A (ja) 2004-07-20 2004-07-20 多層基板

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006032769A true JP2006032769A (ja) 2006-02-02

Family

ID=35898727

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004211488A Pending JP2006032769A (ja) 2004-07-20 2004-07-20 多層基板

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006032769A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100252320A1 (en) * 2009-04-07 2010-10-07 Won Woo Cho Electromagnetic bandgap structure and printed circuit board having the same
JP2015028989A (ja) * 2013-07-30 2015-02-12 株式会社東芝 不揮発性記憶装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100252320A1 (en) * 2009-04-07 2010-10-07 Won Woo Cho Electromagnetic bandgap structure and printed circuit board having the same
US8399777B2 (en) * 2009-04-07 2013-03-19 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Electromagnetic bandgap structure and printed circuit board having the same
JP2015028989A (ja) * 2013-07-30 2015-02-12 株式会社東芝 不揮発性記憶装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4367487B2 (ja) コイル部品
US7170384B2 (en) Printed circuit board having three-dimensional spiral inductor and method of fabricating same
US7339452B2 (en) Embedded inductor and application thereof
US8174840B2 (en) Multi-functional composite substrate structure
US7205655B2 (en) Multilayer circuit including stacked layers of insulating material and conductive sections
JP6447751B2 (ja) コイル内蔵部品
US20160049237A1 (en) Electronic component
US20080303622A1 (en) Spiral inductor
JP5835355B2 (ja) コイル部品
JP3488869B2 (ja) 平面コイルおよび平面トランス
JP2014038884A (ja) 電子部品および電子部品の製造方法
JP2012256757A (ja) Lc複合部品及びlc複合部品の実装構造
JP2006135056A (ja) プリント基板内蔵型平面バラン及びその製造方法
JP2018056195A (ja) 電子部品
CN213124016U (zh) 树脂多层基板以及致动器
JP4660738B2 (ja) プリント配線板及び電子機器
JP2006032769A (ja) 多層基板
CN112740343A (zh) 平衡对称线圈
US20070035363A1 (en) Electromagnetic delay line inductance element
JP2012182286A (ja) コイル部品
WO2023145106A1 (ja) コイル部品及びこれを備える回路基板
JP2003197427A (ja) インダクタンス素子
JPH11144957A (ja) 積層型インダクタアレイ
JPH10233315A (ja) 表面実装型コイルおよびその製造方法
JP3383930B2 (ja) 薄膜コイルおよび薄膜コイル実装モジュール