JP2006030194A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 対象の表面の暗視野検査のための照明装置であって、照明領域のまわりに配置された１つ以上の照明アームを備え、該照明アームの各々が、
   広範囲におよぶほぼ均一な発散光源と、
   該光源に光学的に結合された第１の面と縦方向に光パワーを有する第２の面とを有する回転要素と、
   横方向に第１の光パワーを有し、縦方向に第２の光パワーを有するアナモルフィック要素であって、該第１の光パワーと該第２の光パワーが等しくなく、該アナモルフィック要素は、該回転要素の該第２の面に光学的に結合される、アナモルフィック要素と
   を備える、照明装置。
2. 前記回転要素が、
   回転プリズムと、
   該回転プリズムの面に装着された発散シリンドリカルレンズと
   を備え、
   該回転要素の第１の面が該回転プリズムの入射面であり、該回転要素の第２の面が該シリンドリカルレンズの出射面である、請求項１に記載の照明装置。
3. 前記回転要素が、入射面と出射面を有する回転プリズムを備え、該出射面が凹形円筒状面を含み、該回転要素の第１の面が該回転プリズムの入射面であり、該回転要素の第２の面が該回転プリズムの出射面である、請求項１に記載の照明装置
4. 前記アームの各々が、横方向の前側焦点面、横方向の後側焦点面、縦方向の前側焦点面、および縦方向の後側焦点面を有し、
   該アームの各々に対して、
   該横方向の前側焦点面と該縦方向の前側焦点面が一致しておらず、
   前記光源が該縦方向の前側焦点面にほぼ位置しており、
   該縦方向の後側焦点面と該横方向の後側焦点面がほぼ一致しており、
   前記照明領域がほぼ該縦方向の後側焦点面と該横方向の後側焦点面に位置している中心を有するほぼ円形であり、
   該光源、前記回転要素、およびアナモルフィック要素は、該照明領域の法線に対し非ゼロ入射角で該照明領域を照明して、欠陥のない状態での前記対象の表面からのスペキュラ反射を達成するように、配置される、請求項１に記載の照明装置。
5. 前記照明装置が、開口数を有する集光レンズの視野内にあり、該開口数は、該集光レンズに対する最大集光角を定義し、入射角が該最大集光角よりも大きい、請求項４に記載に照明装置。
6. 前記入射角が約５３度よりも大きい、請求項４に記載の照明装置。
7. 対象の表面の暗視野検査のための照明装置であって、
   ほぼ該対象の表面にある照明領域のまわりに配置された複数のアームを備え、該アームの各々が、
   広範囲におよぶほぼ均一な発散光源と、
   該発散光から該照明領域に向かう照明ビームを生成する光学要素のアセンブリであって、該照明ビームが法入射角、入射角範囲、および横方向の角度範囲を有する、アセンブリと
   を備え、
   該法入射角と入射角範囲が該照明領域にわたり基本的に不変であり、
   該照明領域にわたり該横方向の角度範囲が基本的に不変であり、
   該照明領域にわたり光強度が基本的に不変である、照明装置。
8. 対象の表面の暗視野検査を行うために、各々の光学系を用いて複数の異なる方向から該対象の表面の照明領域を照明する方法であって、該光学系の各々に対して、
   横方向の後側焦点面を設定することと、
   縦方向の後側焦点面を設定することであって、該縦方向の後側焦点面および該横方向の後側焦点面はほぼ一致する、ことと、
   横方向の前側焦点面を設定することと、
   該横方向の前側焦点面から離れた縦方向の前側焦点面を設定することと、
   ほぼ該縦方向の後側焦点面および該横方向の後側焦点面に中心を有するほぼ円形領域として該照明領域を設定することと、
   ほぼ該横方向の前側焦点面に広範囲におよぶほぼ均一な発散特性を有する光を導入することと、
   該縦方向の前側焦点面に導入された光からビームを形成することであって、該ビームは、該照明領域の法線に対し非ゼロ入射角で該照明領域に入射して、欠陥のない状態の該対象の表面からのスペキュラ反射を達成する、ことと
   を包含する、方法。
9. 前記ビームを形成するステップが、開口数を有する集光レンズの視野内に該ビームを形成することを包含し、該開口数は、該集光レンズに対する最大集光角を定義し、該入射角が該最大集光角よりも大きい、請求項８に記載の方法。
10. ウェハ検査システムであって、
    光ファイバ暗視野照明装置と、
    カメラと
    を備え、
    該光ファイバ暗視野照明装置は、
    分光的にフィルタし、空間的に均一で、広範囲におよぶ発散光源と、
    該光源に光学的に結合され、ほぼ円形の照明領域のまわりに周方向に配置された複数の照明アームと
    を備え、
    該カメラは、該照明領域に対し法入射角または近法入射角で配置され、該照明領域が該カメラの視野内にあり、該カメラが、開口数を有する集光レンズを備え、該開口数は、該集光レンズに対する最大集光角を定義し、
    該照明アームの各々が、
    該光源に光学的に結合された入射面と縦方向に発散円筒形状光パワーを有する出射面とを有する回転要素と、
    横方向の第１の光パワーと該縦方向の第２の光パワーとを有するアナモルフィックミラーであって、該第１の光パワーと該第２の光パワーが等しくなく、該アナモルフィックミラーは、回転プリズムの出射面に光学的に結合される、アナモルフィックミラーと
    を備え、
    該照明アームの各々が横方向の前側焦点面、横方向の後側焦点面、縦方向の前側焦点面、および縦方向の後側焦点面を有し、
    該アームの各々に対して、
    該横方向の前側焦点面と該縦方向の前側焦点面が一致しておらず、
    該光源結合がほぼ該縦方向の前側焦点面に位置しており、
    該縦方向の後側焦点面と該横方向の後側焦点面がほぼ一致しており、
    該照明領域が、ほぼ該縦方向の後側焦点面と該横方向の後側焦点面に位置する中心を有し、
    該光源、該回転要素、該アナモルフィックミラーは、該最大集光角よりも大きい照明領域の法線に対し入射角で該照明領域を照明するように、配置される、システム。