JP2006029836A - ガス分析計の校正方法およびガス分析計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 セル1と、このセル1内に光を照射する光源2と、セル1を透過した透過光を受光し測定対象成分の吸光波長域の光を検出する主検出器4と、前記透過光を受光しサンプルガスによる吸収が少ない波長域の光を検出する比較検出器5とを有する非分散型のガス分析計の校正方法であって、光源2から主検出器4および比較検出器5までの光路中に、主検出器4の検出波長域における光の透過率が比較検出器5の検出波長域における光の透過率と異なるように構成された光学フィルタ10を配置することにより、セル1内にスパン校正ガスを流すことなくスパン校正を行なう。
【選択図】 図1
Description
γ=1/Sz … (1)
δ=1/Rz … (2)
X=〔1−(S×γ)/(R×δ)〕×ε×XSG … (3)
但し、XSGはスパン校正ガス濃度(既知濃度)である。
ε0 =1/〔1−(Ss×γ)/(Rs×δ)〕 … (4)
Xc0 =〔1−(Sc0 ×γ)/(Rc0 ×δ)〕×ε0 ×XSG … (5)
Xc1 =〔1−(Sc1 ×γ)/(Rc1 ×δ)〕×ε0 ×XSG … (6)
Xc0 =〔1−(Sc1 ×γ)/(Rc1 ×δ)〕×ε1 ×XSG … (7)
ε1 =ε0 ×(Xc0 /Xc1 ) … (8)
2 光源
4 主検出器
5 比較検出器
10 光学結晶基板(光学フィルタ)
11 処理部
S 主検出器の出力値
R 比較検出器の出力値
Xc0 光学フィルタによる使用前の指示値
ε0 使用前のスパン係数(感度係数)
Xc1 光学フィルタによる使用時の指示値
ε1 使用時のスパン係数(感度係数)
Claims (8)
- セルと、このセル内に光を照射する光源と、セルを透過した透過光を受光し測定対象成分の吸光波長域の光を検出する主検出器と、前記透過光を受光しサンプルガスによる吸収が少ない波長域の光を検出する比較検出器とを有する非分散型のガス分析計の校正方法であって、
光源から主検出器および比較検出器までの光路中に、主検出器の検出波長域における光の透過率が比較検出器の検出波長域における光の透過率と異なるように構成された光学フィルタを配置することにより、セル内にスパン校正ガスを流すことなくスパン校正を行なうことを特徴とするガス分析計の校正方法。 - 前記分析計の使用前に、主検出器および比較検出器の検出波長域における光の吸収が起こらないようにした状態で、前記光学フィルタを光路中に配置したときの指示値を求め、これを使用前の指示値として記録し、
分析計の使用時に、主検出器および比較検出器の検出波長域における光の吸収が起こらないようにした状態で、前記光学フィルタと同じ特性を有する光学フィルタを光路中に配置したときの指示値を求め、これを使用時の指示値として、
使用時の指示値を使用前の指示値に合わせるように感度係数を設定することにより感度調整を行なう請求項1に記載のガス分析計の校正方法。 - 前記分析計の使用前に、セル内にスパン校正ガスを充填させた状態で、前記光学フィルタを光路中に配置していないときの指示値を求め、スパン校正ガスに合わせてスパン係数を設定することによりスパン校正を行い、次いで、主検出器および比較検出器の検出波長域における光の吸収が起こらないようにした状態で、前記スパン係数を用いて、前記光学フィルタを光路中に配置したときの指示値を求め、これを使用前の指示値として記録し、
分析計の使用時に、主検出器および比較検出器の検出波長域における光の吸収が起こらないようにした状態で、前記光学フィルタと同じ特性を有する光学フィルタを光路中に配置したときの指示値を求め、これを使用時の指示値として、
使用時の指示値を使用前の指示値に合わせるようにスパン係数を調整することによりスパン校正を行なう請求項1に記載のガス分析計の校正方法。 - 前記使用前および使用時の指示値を求めるときに、セル内を真空にする請求項2または3に記載のガス分析計の校正方法。
- 前記使用前および使用時の指示値を求めるときに、主検出器および比較検出器の検出波長域における光の吸収が起こらない特定のガスを充填させる請求項2または3に記載のガス分析計の校正方法。
- 前記使用前および使用時の指示値を求めるときに用いられる光学フィルタが同一の光学結晶基板である請求項2〜5の何れかに記載のガス分析計の校正方法。
- セルと、このセル内に光を照射する光源と、セルを透過した透過光を受光し測定対象成分の吸光波長域の光を検出する主検出器と、前記透過光を受光しサンプルガスによる吸収が少ない波長域の光を検出する比較検出器と、主検出器および比較検出器の出力値から測定対象成分の濃度の指示値を求める処理部とを有し、
前記処理部が、光源から主検出器および比較検出器までの光路中に、主検出器の検出波長域における光の透過率が比較検出器の検出波長域における光の透過率と異なるように構成された光学フィルタを配置したときの、主検出器および比較検出器の出力値を用いて、セル内にスパン校正ガスを流すことなくスパン校正を行なう校正機能を有することを特徴とするガス分析計。 - 前記光学フィルタが光学結晶基板である請求項7に記載のガス分析計。
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