JP2006023224A5 - - Google Patents

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Claims (9)

  1. 揮発性有機化合物を検知するガス検知素子であって、基板と、前記基板上に設けられた金属酸化物を主成分とするガス感応部とを含んでなり、前記金属酸化物が、その原料を高周波誘導プラズマにより蒸発した後、凝固して形成した膜を、さらに熱処理したものであるガス検知素子。
  2. 前記熱処理の温度が１００〜１２００℃の範囲である請求項１に記載のガス検知素子。
  3. 前記高周波誘導プラズマのパワーが７ｋＷ〜ｌ００ｋＷの範囲である請求項１又は２に記載のガス検知素子。
  4. 前記ガス検知素子の動作温度が２００〜５００℃の範囲である請求項１〜３のいずれかに記載のガス検知素子。
  5. 前記ガス感応部は、前記金属酸化物に、亜鉛、ストロンチウム、インジウム及びセシウムからなる群から選ばれた少なくとも１種の金属元素又はその化合物がさらに添加されたものであり、前記添加された金属元素又はその化合物は、前記金属酸化物とともに高周波誘導プラズマにより蒸発した後、凝固して前記膜を形成する請求項１〜３のいずれかに記載のガス検知素子。
  6. 揮発性有機化合物を検知するガス検知素子の製造方法であって、原料となる金属酸化物を高周波誘導プラズマにより蒸発した後、基板上に凝固して膜を形成する工程と、この膜を熱処理する工程とを含んでなる製造方法。
  7. 前記熱処理の温度が１００〜１２００℃の範囲である請求項６に記載の製造方法。
  8. 前記高周波誘導プラズマのパワーが７ｋＷ〜ｌ００ｋＷの範囲である請求項６又は７に記載の製造方法。
  9. 前記金属酸化物とともに、亜鉛、ストロンチウム、インジウム及びセシウムからなる群から選ばれた少なくとも１種の金属元素又はその化合物を高周波誘導プラズマにより蒸発した後、凝固して前記膜を形成する請求項６〜８のいずれかに記載の製造方法。
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