JP2006023125A - 形状測定装置とその測定圧制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 測定圧目標値設定手段45と、フォーカス誤差目標値生成手段46とを備え、フォーカス制御OFF時のフォーカス誤差信号と測定圧の目標値からフォーカス誤差信号の目標値を設定した後、フォーカス制御をONすることにより、フォーカス制御OFF時の対物レンズと基準ミラー面の距離を変えずに測定圧を変更できるようにした。
【選択図】 図1
Description
6 対物レンズ
7 スタイラス
8 レンズ
9 ハーフミラー
11a、11b 光検出器
15 フォーカス制御機構(可動部B)
16 渦巻きバネ
17 対物レンズ上下機構
21 被測定面
22 スライド部(可動部A)
23 ミラー面
27 フォーカス誤差信号発生器
33 Z駆動回路
34 切換スイッチ
35 Z位置制御回路
36 フォーカス制御回路
40 Z位置指令出力手段
42 位置検出器
45 測定圧目標値設定手段
46 フォーカス誤差目標値生成手段
Claims (6)
- 一端にスタイラス、他端にミラー面を設けた上下方向に動作可能な可動部Aと、可動部Aと同方向に移動可能な状態で連結された可動部Bと、スタイラスを被測定物の面上を水平方向に走査させる時にレーザ光をミラー面に照射し、レーザ光の焦点が常にミラー面に合うように可動部Bを駆動することにより、可動部Aと可動部Bの相対位置を一定に制御する相対位置制御手段とを有する形状測定装置において、レーザ光のミラー面での反射光を2つの光検出器に導き、2つの光検出器で検出する光量の差からフォーカス誤差信号が得られるように構成されたフォーカス誤差信号検出手段と、測定圧の目標値を設定する手段と、設定された測定圧の目標値に対してフォーカス誤差信号の目標値を設定する手段と、可動部Bを駆動するフォーカス制御機構駆動手段と、フォーカス誤差信号が目標値となるようにフォーカス制御機構駆動手段により可動部Bの位置を制御するフォーカス制御回路部と、可動部Bの絶対的な位置を検出する位置検出器と、可動部Bの目標位置を指令するための位置指令信号を生成する位置指令生成器と、位置検出器からの実位置信号と位置指令生成器からの位置指令信号とが等しくなるように、フォーカス制御機構駆動手段により可動部Bの位置を制御する位置制御回路部と、フォーカス制御機構駆動手段に位置制御回路部とフォーカス制御回路部とを切り換え接続する切換スイッチとを備えたことを特徴とする形状測定装置。
- 一端にスタイラス、他端にミラー面を設けた上下方向に動作可能な可動部Aと、可動部Aと同方向に移動可能な状態で連結された可動部Bと、スタイラスを被測定物の面上を水平方向に走査させる時にレーザ光をミラー面に照射し、レーザ光の焦点が常にミラー面に合うように可動部Bを駆動することにより、可動部Aと可動部Bの相対位置を一定に制御する相対位置制御手段とを有する形状測定装置において、レーザ光のミラー面での反射光を2つの光検出器に導き、2つの光検出器で検出する光量の差からフォーカス誤差信号が得られるように構成されたフォーカス誤差信号検出手段と、測定圧の目標値を設定する手段と、設定された測定圧の目標値に対してフォーカス誤差信号の目標値を設定する手段と、可動部Bの上下方向の速度を検出する速度検出器と、速度検出器で検出された速度に応じてフォーカス誤差信号の目標値を変更する手段と、可動部Bを駆動するフォーカス制御機構駆動手段と、フォーカス誤差信号が目標値となるようにフォーカス制御機構駆動手段により可動部Bの位置を制御するフォーカス制御回路部と、可動部Bの絶対的な位置を検出する位置検出器と、可動部Bの目標位置を指令するための位置指令信号を生成する位置指令生成器と、位置検出器からの実位置信号と位置指令生成器からの位置指令信号とが等しくなるように、フォーカス制御機構駆動手段により可動部Bの位置を制御する位置制御回路部と、フォーカス制御機構駆動手段に位置制御回路部とフォーカス制御回路部とを切り換え接続する切換スイッチとを備えたことを特徴とする形状測定装置。
- 一端にスタイラス、他端にミラー面を設けた上下方向に動作可能な可動部Aと、可動部Aと同方向に移動可能な状態で連結された可動部Bと、スタイラスを被測定物の面上を水平方向に走査させる時にレーザ光をミラー面に照射し、レーザ光の焦点が常にミラー面に合うように可動部Bを駆動することにより、可動部Aと可動部Bの相対位置を一定に制御する相対位置制御手段とを有する形状測定装置において、レーザ光のミラー面での反射光を2つの光検出器に導き、2つの光検出器で検出する光量の差からフォーカス誤差信号が得られるように構成されたフォーカス誤差信号検出手段と、レーザ光をミラー面に集光させるための対物レンズを上下方向に移動させるレンズ上下機構と、可動部Bを駆動するフォーカス制御機構駆動手段と、フォーカス誤差信号がゼロとなるようにフォーカス制御機構駆動手段により可動部Bの位置を制御するフォーカス制御回路部と、可動部Bの絶対的な位置を検出する位置検出器と、可動部Bの目標位置を指令するための位置指令信号を生成する位置指令生成器と、位置検出器からの実位置信号と位置指令生成器からの位置指令信号とが等しくなるように、フォーカス制御機構駆動手段により可動部Bの位置を制御する位置制御回路部と、フォーカス制御機構駆動手段に位置制御回路部とフォーカス制御回路部とを切り換え接続する切換スイッチとを備えたことを特徴とする形状測定装置。
- 請求項1記載の形状測定装置において、切換スイッチを位置制御回路部に接続した状態でのフォーカス誤差信号と測定圧の目標値とからフォーカス誤差信号の目標値を計算して設定した後、切換スイッチをフォーカス制御回路部に接続することを特徴とする形状測定装置の測定圧制御方法。
- 請求項2記載の形状測定装置において、切換スイッチを位置制御回路部に接続した状態でのフォーカス誤差信号と測定圧の目標値とからフォーカス誤差信号の目標値を計算して設定した後、切換スイッチをフォーカス制御回路部に接続し、可動部Bの上下方向の速度が変化した時、フォーカス誤差信号の目標値を変更することを特徴とする形状測定装置の測定圧制御方法。
- 請求項3記載の形状測定装置において、切換スイッチを位置制御回路部に接続した状態で対物レンズを上下させることによりフォーカス誤差信号を任意の値に設定した後、切換スイッチをフォーカス制御回路部に接続することを特徴とする形状測定装置の測定圧制御方法。
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