JP2006017693A - 表面形状測定触針及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明にかかる触針は、開口端と室を有するパイプと、第一端及び第二端を有するピンと、溝を有する球状触頭と、を含む。また、前記ピンの第一端は前記触頭の溝に差し込んで固定され、第二端は前記パイプの開口から室に差し込んで固定される。前記ピンと球状触頭は接着剤または半田を介して固定される。前記ピンと前記パイプは接着剤、半田又はリベットを介して固定される。前記球状触頭は真円球である。なお、本発明にかかる触針は測定の精確度が高く、使用時間が長いという長所がある。また、本発明は前記触針の製造方法も提供する。
【選択図】図3
Description
(1)触頭の直径が小さく、真円度が高い、
(2)触頭とビームの結合が固定的で、脱離し易くない、
(3)触頭が十分に露出し、測定の精度及び範囲を高める、
という条件を満足することが必要となる。
「触針の幾何形状より表面粗さの測定による誤差に与えた影響」、機械エンジニア、2003(11)、P77−78 「表面粗さ及び表面形状の測定と表示」、中国計量、1998(7)、P47−48
前記ピンと球状触頭は接着剤又は半田を介して固定される。
前記ピンとパイプは接着剤、半田又はリベットを介して固定される。
前記球状触頭は真円球である。
(1)測定の精度及び正確性が高い。球状触頭35の直径が非常に小さく、また真円球を利用するので、測定の精度がより高い。なお、球状触頭35の大部分の表面をパイプ32から露出させるので、測定表面における深い溝に対しても、球状触頭35はその表面に正確に接触することができ、従来技術による誤差を防止することができる。
(2)球状触頭35とパイプ32は安定的に結合でき、脱離し易くない。ピン37は球状触頭35及びパイプ32に差し込まれるので両方の接触面積がそれぞれ、より大きく、接着法でも接着の安定性を確保することができる。その他、半田やリベットなどの固定方法を利用すれば、さらに結合の安定性を確保することができる。
(3)球状触頭35はより大きい横軸方向の力に耐え、使用時間が長くなる。測定をする時、球状触頭に受けた横軸方向の力はピン37で相殺されるので、横軸方向の力がより大きくても、球状触頭35の結合の安定性に影響されない、使用時間も長くなる。
32 パイプ
33 室
35 球状触頭
37 ピン
Claims (17)
- パイプと球状触頭を有する表面形状測定触針において、
前記パイプは開口端と室を有し、
前記球状触頭は溝を有し、
前記触針は第一端と第二端を有する固定素子を有し、
前記固定素子において、前記第一端は前記溝に差し込んで固定され、前記第二端は前記パイプの開口から前記室に差し込んで固定されることを特徴とする表面形状測定触針。 - 前記溝は前記球状触頭の外表面から球心まで延伸することを特徴とする請求項1に記載の表面形状測定触針。
- 前記溝の形状及びサイズは前記固定素子の第一端に合うことを特徴とする請求項1に記載の表面形状測定触針。
- 前記溝は円柱形、三角柱形または方柱形であることを特徴とする請求項3に記載の表面形状測定触針。
- 前記固定素子の第一端は接着剤が塗布され、前記溝に接着して固定されることを特徴とする請求項4に記載の表面形状測定触針。
- 前記固定素子の第一端は半田を介して前記溝に固定されることを特徴とする請求項4に記載の表面形状測定触針。
- 前記パイプの室の形状及びサイズは前記固定素子の第二端に合うことを特徴とする請求項1に記載の表面形状測定触針。
- 前記固定素子と前記パイプは接着、半田またはリベットを介して固定されることを特徴とする請求項7に記載の表面形状測定触針。
- 前記球状触頭は真円球であることを特徴とする請求項1に記載の表面形状測定触針。
- 前記球状触頭は金属、ルビー、陶磁又は超硬合金素材からなることを特徴とする請求項1に記載の表面形状測定触針。
- 前記パイプ及び固定素子は鋼材、タングステン鋼或は超硬合金素材からなることを特徴とする請求項1に記載の表面形状測定触針。
- 開口端と室を有するパイプを製造する第一ステップと、
表面に溝が形成された微小な球体を製造する第二ステップと、
前記溝に合う第一端及びパイプの室に合う第二端を有する固定素子を製造する第三ステップと、
前記固定素子の第一端を溝に差し込んで固定する第四ステップと、
固定素子の第二端を室に差し込んで固定する第五ステップと、
を含むことを特徴とする表面形状測定触針の製造方法。 - 前記球体は真円球であることを特徴とする請求項12に記載の表面形状測定触針の製造方法。
- 前記球体は金属、ルビー、陶磁又は超硬合金素材からなることを特徴とする請求項13に記載の表面形状測定触針の製造方法。
- 前記溝はダイヤルツールによるフライス削り、切削、超音波加工、放電加工又はレーザー加工で形成されたものであることを特徴とする請求項12に記載の表面形状測定触針の製造方法。
- 前記固定素子の第一端は接着剤又は半田を介して溝内に固定されることを特徴とする請求項12に記載の表面形状測定触針の製造方法。
- 前記固定素子は接着剤、半田又はリベットを介して前記室内に固定されることを特徴とする請求項12に記載の表面形状測定触針の製造方法。
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