JP2006013474A - 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】 電子線照射や高温アニールまたは酸素雰囲気下での合金化熱処理等を必要とせず、かつ良好な透光性と低接触抵抗を有する電流拡散性に優れた正極を具備した窒化ガリウム系化合物半導体発光素子を提供する。
【解決手段】 この窒化ガリウム系化合物半導体発光素子は、基板上に窒化ガリウム系化合物半導体からなる、n型半導体層、発光層およびp型半導体層をこの順序で含み、負極および正極がそれぞれn型半導体層およびp型半導体層に接して設けられている発光素子において、該正極が少なくともp型半導体層と接するコンタクトメタル層を含み、該コンタクトメタル層上のコンタクトメタル層よりも導電率の大きい電流拡散層および該電流拡散層上のボンディングパッド層からなる透光性電極を有し、該p型半導体層の正極側表面にコンタクトメタル層を形成する金属を含む正極金属混在層が存在する。
【選択図】 図4
【解決手段】 この窒化ガリウム系化合物半導体発光素子は、基板上に窒化ガリウム系化合物半導体からなる、n型半導体層、発光層およびp型半導体層をこの順序で含み、負極および正極がそれぞれn型半導体層およびp型半導体層に接して設けられている発光素子において、該正極が少なくともp型半導体層と接するコンタクトメタル層を含み、該コンタクトメタル層上のコンタクトメタル層よりも導電率の大きい電流拡散層および該電流拡散層上のボンディングパッド層からなる透光性電極を有し、該p型半導体層の正極側表面にコンタクトメタル層を形成する金属を含む正極金属混在層が存在する。
【選択図】 図4
Description
本発明は窒化ガリウム系半導体発光素子に関し、特に優れた特性および生産性を有する透光性正極を具備した窒化ガリウム系化合物半導体発光素子に関する。
近年、短波長光発光素子用の半導体材料としてGaN系化合物半導体材料が注目を集めている。GaN系化合物半導体は、サファイア単結晶を始めとして、種々の酸化物基板やIII−V族化合物を基板として、その上に有機金属気相化学反応法(MOCVD法)や分子線エピタキシー法(MBE法)等によって形成される。
GaN系化合物半導体材料の特性として、横方向への電流拡散が小さいことがあげられる。原因は、エピタキシャル結晶中に多く存在する基板から表面へ貫通する転位の存在であることが考えられるが、詳しいことは判っていない。さらに、p型のGaN系化合物半導体においてはn型のGaN系化合物半導体の抵抗率に比べて抵抗率が高く、その表面に金属を積層しただけではp層内の横の電流の広がりはほとんど無く、pn接合を持ったLED構造とした場合は正極の直下しか発光しない。
そのため、電子線照射や高温のアニールを行なってp層の抵抗率を下げることで電流の拡散性を強めることが行なわれている。しかし、電子線照射は装置が非常に高価で製造コストが見合わなくなる。またウェーハ面内を均一に処理することは難しい。高温のアニール処理においても効果が顕著に現れる為には900℃以上のプロセスが必要となるが、その際GaNの結晶構造の分解が始まり、窒素の脱離による逆方向電圧特性の劣化が危惧される。
また、正極としてp層上にNiとAuを各々数10nm程度積層させ酸素雰囲気下で合金化処理を行い、p層の低抵抗化の促進および透光性とオーミック性を有した正極の形成を行なうことが提案されている(例えば、特許文献1参照。)。
しかし、酸素雰囲気下での合金化処理については露出したn型GaN層の表面に酸化物層が形成され、負極のオーミック性に影響を与える。さらに酸化雰囲気合金化処理されたAu/Ni電極は網目構造を有しており、発光むらが起こりやすいことや機械強度が弱く保護膜の設置が必須となり製造コストの上昇につながる。さらにNiを酸素雰囲気下で熱処理する為、Niの酸化物が表面を覆い透光性電極上にパッド電極を形成すると、その密着性が弱くボンディング強度が得られない。
また、正極としてp層上にPt層を形成して酸素を含む雰囲気中で熱処理し、p層の低抵抗化と合金化処理を同時に行なうことが提案されている(例えば、特許文献2参照。)。
しかし、この方法も酸素雰囲気下で熱処理するため、上述の問題を有する。さらに、Pt単体で良好な透明電極とするためには相当薄く(5nm以下)しなければならないが結果としてPt層の電気抵抗が高くなり、熱処理によりPt層の低抵抗化が成されたとしても電流の広がりが悪く、不均一な発光となり順方向電圧(VF)の上昇および発光強度の低下を招く。
特許第2803742号公報
特開平11−186605号公報
本発明の目的は、上述の問題点を解決する為に、電子線照射や高温アニールまたは酸素雰囲気下での合金化熱処理等を必要とせず、かつ良好な透光性と低接触抵抗を有する電流拡散性に優れた正極を備えた窒化ガリウム系化合物半導体発光素子を提供することである。本発明において透光性とは、300〜600nmの波長領域における光に対して透光性であることを意味する。
本発明は、以下の発明を提供する。
(1) 基板上に窒化ガリウム系化合物半導体からなる、n型半導体層、発光層およびp型半導体層をこの順序で含み、負極および正極がそれぞれn型半導体層およびp型半導体層に接して設けられている発光素子において、該正極が少なくともp型半導体層と接するコンタクトメタル層を含み、該コンタクトメタル層上のコンタクトメタル層よりも導電率の大きい電流拡散層および該電流拡散層上のボンディングパッド層を具備した3層構造からなる透光性電極を有し、該p型半導体層の正極側表面にコンタクトメタル層を形成する金属を含む正極金属混在層が存在することを特徴とする窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
(1) 基板上に窒化ガリウム系化合物半導体からなる、n型半導体層、発光層およびp型半導体層をこの順序で含み、負極および正極がそれぞれn型半導体層およびp型半導体層に接して設けられている発光素子において、該正極が少なくともp型半導体層と接するコンタクトメタル層を含み、該コンタクトメタル層上のコンタクトメタル層よりも導電率の大きい電流拡散層および該電流拡散層上のボンディングパッド層を具備した3層構造からなる透光性電極を有し、該p型半導体層の正極側表面にコンタクトメタル層を形成する金属を含む正極金属混在層が存在することを特徴とする窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
(2) 正極金属混在層の厚さが0.1〜10nmであることを特徴とする(1)に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
(3) 正極金属混在層におけるコンタクトメタル層を形成する金属の濃度が当該正極金属混在層中の全金属に対して0.01〜30原子%であることを特徴とする(1)または(2)に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
(4) コンタクトメタル層のp型半導体層側表面にIII族金属を含む半導体金属混在層が存在することを特徴とする(1)〜(3)のいずれか1つに記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
(5) 半導体金属混在層の厚さが0.1〜2.5nmであることを特徴とする(4)に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
(6) 半導体金属混在層におけるIII族金属の濃度が当該半導体金属混在層中の全金属に対して0.1〜50原子%であることを特徴とする(4)または(5)に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
(7) コンタクトメタル層が白金族金属およびAgであることを特徴とする(1)〜(6)のいずれか1つに記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
(8) コンタクトメタル層が白金であることを特徴とする(1)〜(7)のいずれか1つに記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
(9) コンタクトメタル層の厚さが0.1〜7.5nmであることを特徴とする(1)〜(8)のいずれか1つに記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
(10) コンタクトメタル層の厚さが5nm以下であることを特徴とする(1)〜(9)のいずれか1つに記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
(11) コンタクトメタル層の厚さが0.5〜2.5nmであることを特徴とする(1)〜(10)のいずれか1つに記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
(12) 電流拡散層が金、銀および銅からなる群から選ばれた金属または少なくともそれらの一種を含む合金であることを特徴とする(1)〜(11)のいずれか1つに記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
(13) 電流拡散層が金であることを特徴とする(1)〜(12)のいずれか一項に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
(14) 電流拡散層の厚さが1〜20nmであることを特徴とする(1)〜(13)のいずれか1つに記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
(15) 電流拡散層の厚さが10nm以下であることを特徴とする(1)〜(14)のいずれか1つに記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
(16) 電流拡散層の厚さが3〜6nmであることを特徴とする(1)〜(15)のいずれか1つに記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
(17) ボンディングパッド層が共晶半田材料からなることを特徴とする(1)〜(16)のいずれか1つに記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
(18) ボンディングパッド層がAu、Sn、またはAuとSnを含む3元系半田合金からなることを特徴とする(1)〜(17)のいずれか1つに記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
p型GaN系化合物半導体と接触抵抗の低い金属、例えば白金族金属の薄層をコンタクトメタル層とし、その上に当該コンタクトメタル層よりも導電率の大きな電流拡散層を設けた本発明の透光性正極は、正極の面方向での電流の拡がりが改良され、その結果、順方向電圧(VF値)が低く、かつ正極全面で均一に発光する高輝度発光素子の製造が可能となった。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。ただし、本発明は以下の各実施形態に限定されるものではなく、例えばこれら実施実施形態の構成要素同士を適宜組み合わせてもよい。
図1は、本発明の透光性正極を有する窒化ガリウム系化合物半導体発光素子100の断面を示した模式図である。
本発明の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子100は、基板1上にバッファ層6を介して窒化ガリウム系化合物半導体層2が形成されており、その上に本発明の透光性の正極10が形成されている。
窒化ガリウム系化合物半導体層2は、例えばn型半導体層3、発光層4およびp型半導体層5からなるヘテロ接合構造で構成される。
n型半導体層3の一部には負極20が形成され、p型半導体層5の一部には透光性の正極10が形成される。
また、透光性の正極10は、コンタクトメタル層11、電流拡散層12およびボンディングパッド層13の3層で構成されている。
図1は、本発明の透光性正極を有する窒化ガリウム系化合物半導体発光素子100の断面を示した模式図である。
本発明の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子100は、基板1上にバッファ層6を介して窒化ガリウム系化合物半導体層2が形成されており、その上に本発明の透光性の正極10が形成されている。
窒化ガリウム系化合物半導体層2は、例えばn型半導体層3、発光層4およびp型半導体層5からなるヘテロ接合構造で構成される。
n型半導体層3の一部には負極20が形成され、p型半導体層5の一部には透光性の正極10が形成される。
また、透光性の正極10は、コンタクトメタル層11、電流拡散層12およびボンディングパッド層13の3層で構成されている。
コンタクトメタル層11に要求される性能としては、p型半導体層5との接触抵抗が小さいことが必須である。さらに、発光層4からの光を電極面側より取り出すフェイスアップマウント型の発光素子にあっては優れた光透過性が要求される。
コンタクトメタル層11の材料はp層との接触抵抗の観点から、白金(Pt)、ルテニウム(Ru)、オスミウム(Os)、ロジウム(Rh)、イリジウム(Ir)、パラジウム(Pd)等の白金族金属または銀(Ag)が好ましい。これらの中でもPtは、仕事関数が高く、高温熱処理を施していない比較的高抵抗なp型GaN系化合物半導体層に対して非加熱で良好なオーミック接触を得ることが可能なので特に好ましい。
コンタクトメタル層11を白金族金属で構成した場合、光透過性の観点から、その厚さを非常に薄くすることが必要である。コンタクトメタル層11の厚さは、0.1〜7.5nmの範囲が好ましい。0.1nm未満では安定した薄層が得られ難い。7.5nmを超えると透光性が低下し、5nm以下がさらに好ましい。また、その後の電流拡散層12の積層による透光性の低下と成膜の安定性を考慮すると、0.5〜2.5nmの範囲が特に好ましい。
しかし、コンタクトメタル層11の厚さを薄くすることでコンタクトメタル層11の面方向の電気抵抗が高くなり、かつ比較的高抵抗なp層とあいまって電流注入部であるボンディングパッド層13の周辺部しか電流が拡がらず、結果として不均一な発光パターンとなり発光出力が低下する。
そこで、コンタクトメタル層11の電流拡散性を補う手段として高光透過率で高導電性の金属薄膜からなる電流拡散層12をコンタクトメタル層11上に配置することにより、白金族金属の低接触抵抗性や光透過率を大きく損なうことなく電流を均一に広げることが可能となり、結果として発光出力の高い発光素子を得ることが出来る。
電流拡散層12の材料は、導電率の高い金属、例えば金、銀および銅からなる群から選ばれた金属または少なくともそれら金属の一種を含む合金が好ましい。中でも金は薄膜とした時の光透過率が高いことから最も好ましい。
電流拡散層12の厚さは1〜20nmが好ましい。1nm未満では電流拡散効果が十分発揮されない。20nmを超えると電流拡散層12の光透過性の低下が著しく、発光出力の低下が危惧される。10nm以下がさらに好ましい。さらに厚さを3〜6nmの範囲とすることで電流拡散層12の光透過性と電流拡散の効果のバランスが最も良くなり、上記のコンタクトメタル層と合わせることで正極上の全面で均一に発光し、かつ高出力な発光が得られる。
本発明の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子においては、p型半導体層5の正極側表面に上記コンタクトメタル層を形成する金属を含む正極金属混在層を存在させる。このような構成にすることによって、正極10とp型半導体層5との接触抵抗が低下する効果が生じる。
本発明において、「正極金属混在層」とはp型半導体層5中のコンタクトメタル層形成金属含有層と定義される。
正極金属混在層の厚さは0.1〜10nmが好ましい。0.1nm未満および10nmを超えると低接触抵抗が得られ難い。より良い接触抵抗を得るためには1〜8nmとすることがさらに好ましい。
また、該正極金属混在層中に含まれるコンタクトメタル層形成金属の比率は、全金属に対して0.01〜30原子%が好ましい。0.01原子%未満では低接触抵抗が得られ難く、30原子%を超えると半導体の結晶性を悪化させる懸念がある。好ましくは1〜20原子%である。なお、該正極金属混在層は反射層形成金属を含んでもよい。その場合、上記比率はコンタクトメタル層形成金属と反射層形成金属を合算した値として評価する。
正極金属混在層の厚さおよび含有する正極形成金属の比率は、当業者には周知の断面TEMのEDS分析によって測定できる。即ち、p型半導体層の上面(正極側面)から厚み方向に数点、例えば5点断面TEMのEDS分析を行ない、各点でのチャートから含まれる金属とその量が求められる。厚さを決定するのに測定した5点では不十分な場合は、追加してさらに数点測定すればよい。
さらに、正極のコンタクトメタル層11の半導体側表面に半導体を構成する金属を含有する半導体金属混在層を存在させると、接触抵抗が一層低下するので好ましい。即ち、本発明において、「半導体金属混在層」とはコンタクトメタル層中の半導体構成金属含有層として定義される。
半導体金属混在層の厚さは0.1〜3nmが好ましい。0.1nm未満では接触抵抗低下の効果が顕著ではない。3nmを超えると光透過率が減少するので好ましくない。さらに好ましくは1〜2.5nmである。
また、該半導体金属混在層中に含まれる半導体構成金属の比率は全金属量に対して0.1〜50原子%が好ましい。0.1%未満では接触抵抗低下の効果が顕著ではない。50原子%を超えると光透過率を減少させる懸念がある。さらに好ましくは1〜20原子%である。
半導体金属混在層の厚さおよび半導体構成金属含有量の測定は、正極金属混在層と同様、断面TEMのEDS分析によって行なうことができる。
コンタクトメタル層11および電流拡散層12の成膜方法については、特に制限されることはなく公知の真空蒸着法やスパッタ法を用いることができる。
ボンディングパッド部を構成するボンディングパッド層13については、各種の材料を用いた各種の構造のものが知られており、これら公知のものを特に制限されることなく用いることが出来る。但し、電流拡散層との密着性の良い材料を用いることが望ましく、厚さはボンディング時の応力に対してコンタクトメタル層11あるいは電流拡散層12へダメージを与えないよう十分厚くする必要がある。また最表層はボンディングボールとの密着性の良い材料とすることが望ましい。
本発明の透光性の正極10は、図1に示したような、基板1上にバッファ層6を介して窒化ガリウム系化合物半導体層2を積層し、n型半導体層3、発光層4およびp型半導体層5を形成した従来公知の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子に何ら制限無く用いることができる。
基板1には、サファイア単結晶(Al2O3;A面、C面、M面、R面)、スピネル単結晶(MgAl2O4)、ZnO単結晶、LiAlO2単結晶、LiGaO2単結晶、MgO単結晶などの酸化物単結晶、Si単結晶、SiC単結晶、GaAs単結晶、AlN単結晶、GaN単結晶およびZrB2などのホウ化物単結晶などの公知の基板材料を何ら制限なく用いることができる。なお、基板1の面方位は特に限定されない。また、ジャスト基板でも良いしオフ角を付与した基板であっても良い。
n型半導体層3、発光層4およびp型半導体層5は各種構造のものが周知であり、これら周知のものを何ら制限なく用いることができる。特にp型半導体層5のキャリア濃度は一般的な濃度のものを用いるが、比較的キャリア濃度の低い、例えば1×1017cm−3程度のp型半導体層にも本発明の透光性の正極が適用できる。
それらを構成する窒化ガリウム系化合物半導体としては、一般式AlxInyGa1−x−yN(0≦x<1,0≦y<1,0≦x+y<1)で表わされる各種組成の半導体が周知であり、本発明におけるn型半導体層、発光層およびp型半導体層を構成する窒化ガリウム系化合物半導体としても、一般式AlxInyGa1−x−yN(0≦x<1,0≦y<1,0≦x+y<1)で表わされる各種組成の半導体を何ら制限なく用いることができる。
これらの窒化ガリウム系化合物半導体の成長方法は特に限定されず、有機金属化学気相成長法(MOCVD)、ハイドライド気相成長法(HVPE)、分子線エピタキシー法(MBE)、などIII族窒化物半導体を成長させることが知られている全ての方法を適用できる。好ましい成長方法としては、膜厚制御性、量産性の観点からMOCVD法である。
MOCVD法では、キャリアガスとして水素(H2)または窒素(N2)、III族原料であるGa源としてトリメチルガリウム(TMG)またはトリエチルガリウム(TEG)、Al源としてトリメチルアルミニウム(TMA)またはトリエチルアルミニウム(TEA)、In源としてトリメチルインジウム(TMI)またはトリエチルインジウム(TEI)、V族原料であるN源としてアンモニア(NH3)、ヒドラジン(N2H4)などが用いられる。また、ドーパントとしては、n型にはSi原料としてモノシラン(SiH4)またはジシラン(Si2H6)を、Ge原料としてゲルマン(GeH4)を用い、p型にはMg原料としては例えばビスシクロペンタジエニルマグネシウム(Cp2Mg)またはビスエチルシクロペンタジエニルマグネシウム((EtCp)2Mg)を用いる。
MOCVD法では、キャリアガスとして水素(H2)または窒素(N2)、III族原料であるGa源としてトリメチルガリウム(TMG)またはトリエチルガリウム(TEG)、Al源としてトリメチルアルミニウム(TMA)またはトリエチルアルミニウム(TEA)、In源としてトリメチルインジウム(TMI)またはトリエチルインジウム(TEI)、V族原料であるN源としてアンモニア(NH3)、ヒドラジン(N2H4)などが用いられる。また、ドーパントとしては、n型にはSi原料としてモノシラン(SiH4)またはジシラン(Si2H6)を、Ge原料としてゲルマン(GeH4)を用い、p型にはMg原料としては例えばビスシクロペンタジエニルマグネシウム(Cp2Mg)またはビスエチルシクロペンタジエニルマグネシウム((EtCp)2Mg)を用いる。
基板1上にn型半導体層3、発光層4およびp型半導体層5が順次積層された窒化ガリウム系化合物半導体2のn型半導体層3に接して負極20を形成するために、発光層4およびp型半導体層5の一部を除去して、n型半導体層3を露出させる。その後残したp型半導体層5上に本発明の透光性の正極10を形成し、露出させたn型半導体層3上に負極20を形成する。負極20としては、各種組成および構造の負極が周知であり、これら周知の負極を何ら制限無く用いることができる。
次に、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例にのみ限定されるものではない。
(実施例)
図2は本実施例で作製した窒化ガリウム系化合物半導体発光素子200の断面を示した模式図であり、図3はその平面を示した模式図である。サファイアからなる基板1上に、AlNからなるバッファ層6を介して、厚さ3μmのアンドープGaNからなる下地層3a、厚さ2μmのSiドープn型GaNコンタクト層3b、厚さ0.03μmのn型In0.1Ga0.9Nクラッド層3c、厚さ0.03μmのSiドープGaN障壁層および厚さ2.5nmのIn0.2Ga0.8N井戸層を5回積層し、最後に障壁層を設けた多重量子井戸構造の発光層4、厚さ0.05μmのMgドープp型Al0.07Ga0.93Nクラッド層5a、厚さ0.15μmのMgドープp型GaNコンタクト層5bを順に積層した。
窒化ガリウム系化合物半導体2のp型GaNコンタクト層5b上に、厚さ1.5nmのPtからなるコンタクトメタル層11、厚さ5nmのAuからなる電流拡散層12およびAu/Ti/Al/Ti/Au5層構造のボンディングパッド層13からなる正極10を形成した。各層の厚さはそれぞれ50,20,10,100,200nmとした。
次にn型GaNコンタクト層3b上にTi/Auの二層構造の負極20を形成し、光取り出し面を半導体側とした発光素子を得た。正極10および負極20の平面形状は図3に示したとおりである。
図2は本実施例で作製した窒化ガリウム系化合物半導体発光素子200の断面を示した模式図であり、図3はその平面を示した模式図である。サファイアからなる基板1上に、AlNからなるバッファ層6を介して、厚さ3μmのアンドープGaNからなる下地層3a、厚さ2μmのSiドープn型GaNコンタクト層3b、厚さ0.03μmのn型In0.1Ga0.9Nクラッド層3c、厚さ0.03μmのSiドープGaN障壁層および厚さ2.5nmのIn0.2Ga0.8N井戸層を5回積層し、最後に障壁層を設けた多重量子井戸構造の発光層4、厚さ0.05μmのMgドープp型Al0.07Ga0.93Nクラッド層5a、厚さ0.15μmのMgドープp型GaNコンタクト層5bを順に積層した。
窒化ガリウム系化合物半導体2のp型GaNコンタクト層5b上に、厚さ1.5nmのPtからなるコンタクトメタル層11、厚さ5nmのAuからなる電流拡散層12およびAu/Ti/Al/Ti/Au5層構造のボンディングパッド層13からなる正極10を形成した。各層の厚さはそれぞれ50,20,10,100,200nmとした。
次にn型GaNコンタクト層3b上にTi/Auの二層構造の負極20を形成し、光取り出し面を半導体側とした発光素子を得た。正極10および負極20の平面形状は図3に示したとおりである。
この構造の発光素子において、n型GaNコンタクト層3bのキャリア濃度は1×1019cm−3であり、GaN障壁層のSiドープ量は1×1018cm−3であり、p型GaNコンタクト層5bのキャリア濃度は5×1018cm−3であり、p型AlGaNクラッド層5aのMgドープ量は5×1019cm−3であった。
窒化ガリウム系化合物半導体層3の積層は、MOCVD法により、当該技術分野においてよく知られた通常の条件で行なった。また、正極10および負極20は次の手順で形成した。
初めに反応性イオンエッチング法によって負極を形成する部分のn型GaNコンタクト層3bを下記手順により露出させた。
まず、エッチングマスクをp型半導体層5上に形成した。形成手順は以下の通りである。レジストを全面に一様に塗布した後、公知のリソグラフィー技術を用いて、正極領域より一回り大きい領域からレジストを除去した。真空蒸着装置内にセットして、圧力4×10−4Pa以下でNiおよびTiをエレクトロンビーム法により膜厚がそれぞれ約50nmおよび300nmとなるように積層した。その後リフトオフ技術により、正極領域以外の金属膜をレジストとともに除去した。
次いで、反応性イオンエッチング装置のエッチング室内の電極上に半導体積層基板を載置し、エッチング室を10−4Paに減圧した後、エッチングガスとしてCl2 を供給してn型GaNコンタクト層3bが露出するまでエッチングした。エッチング後、反応性イオンエッチング装置より取り出し、上記エッチングマスクを硝酸およびフッ酸により除去した。
次に、公知のフォトリソグラフィー技術及びリフトオフ技術を用いて、p型GaNコンタクト層5b上の正極を形成する領域にのみ、Ptからなるコンタクトメタル層11、Auからなる電流拡散層12を形成した。コンタクトメタル層11、電流拡散層12の形成では、まず、窒化ガリウム系化合物半導体層3を積層した基板1を真空蒸着装置内に入れ、p型GaNコンタクト層5b上に初めにPtを1.5nm、次にAuを5nm積層した。引き続き真空室から取り出した後、通常リフトオフと呼ばれる周知の手順に則って処理し、さらに同様な手法で電流拡散層12上の一部にAuからなる第1の層、Tiからなる第2の層、Alからなる第3の層、Tiからなる第4の層、Auからなる第5の層を順に積層し、ボンディングパッド層13を形成した。このようにしてp型GaNコンタクト層5b上に、本発明の正極10を形成した。
この方法で形成した正極は透光性を示し、470nmの波長領域で60%の光透過率を有していた。なお、光透過率は、上記と同じコンタクトメタル層および電流拡散層を光透過率測定用の大きさに形成したもので測定した。
図4に本発明の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子のp型半導体層とコンタクトメタル層との接合面近傍を拡大して示す。
図4に示すように、本発明の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子においてはp型半導体層5bのコンタクトメタル層11側界面近傍には、コンタクトメタル層11を形成する金属を含む正極金属混在層15bが存在し、一方、コンタクトメタル層11のp型半導体層5b側界面近傍には、半導体層2を構成する金属を含む半導体金属混在層15aが存在していた。すなわち、半導体金属混在層15aと正極金属混在層15bは、コンタクトメタル層11とp型半導体層5bとの接合界面における相互拡散層15を形成している。この相互拡散層15が存在することにより、低抵抗で電流拡散性に優れた接合界面が得られる効果を発揮する。
なお、断面TEMのEDS分析の結果、半導体金属混在層15aの厚さは1.5nmであり、Gaの比率は全金属(Pt+Au+Ga)に対して該層中で1〜20原子%と見積もられた。また、正極金属混在層15bの厚さは6.0nmであり、存在する正極材料はコンタクトメタル層11を構成するPtで、その比率は全金属(Pt+Ga)に対して該層中で1〜10原子%と見積もられた。なお、図5はコンタクトメタル層の断面TEMのEDS分析チャートの一例であり、図6はコンタクト層5bの断面TEMのEDS分析チャートの一例である。
図5に示すように、p型GaNからなるp型半導体層5bのコンタクトメタル層11側界面近傍の正極金属混在層15bには、コンタクトメタル層11を形成するPtが存在し、一方、コンタクトメタル層11のp型半導体層5b側界面近傍の半導体金属混在層15aには、GaNからなるp型半導体層5bを構成するGaが存在している。
なお、図中Cuのピークは測定に使用したX線によるものである。
図4に示すように、本発明の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子においてはp型半導体層5bのコンタクトメタル層11側界面近傍には、コンタクトメタル層11を形成する金属を含む正極金属混在層15bが存在し、一方、コンタクトメタル層11のp型半導体層5b側界面近傍には、半導体層2を構成する金属を含む半導体金属混在層15aが存在していた。すなわち、半導体金属混在層15aと正極金属混在層15bは、コンタクトメタル層11とp型半導体層5bとの接合界面における相互拡散層15を形成している。この相互拡散層15が存在することにより、低抵抗で電流拡散性に優れた接合界面が得られる効果を発揮する。
なお、断面TEMのEDS分析の結果、半導体金属混在層15aの厚さは1.5nmであり、Gaの比率は全金属(Pt+Au+Ga)に対して該層中で1〜20原子%と見積もられた。また、正極金属混在層15bの厚さは6.0nmであり、存在する正極材料はコンタクトメタル層11を構成するPtで、その比率は全金属(Pt+Ga)に対して該層中で1〜10原子%と見積もられた。なお、図5はコンタクトメタル層の断面TEMのEDS分析チャートの一例であり、図6はコンタクト層5bの断面TEMのEDS分析チャートの一例である。
図5に示すように、p型GaNからなるp型半導体層5bのコンタクトメタル層11側界面近傍の正極金属混在層15bには、コンタクトメタル層11を形成するPtが存在し、一方、コンタクトメタル層11のp型半導体層5b側界面近傍の半導体金属混在層15aには、GaNからなるp型半導体層5bを構成するGaが存在している。
なお、図中Cuのピークは測定に使用したX線によるものである。
次に、露出したn型GaNコンタクト層3b上に負極20を以下の手順により形成した。レジストを全面に一様に塗布した後、公知リソグラフィー技術を用いて、露出したn型GaNコンタクト層上の負極形成部分からレジストを除去して、通常用いられる真空蒸着法で半導体側から順にTiが100nm、Auが200nmよりなる負極を形成した。その後レジストを公知の方法で除去した。
このようにして正極10および負極20を形成した基板を、基板裏面を研削・研磨することにより80μmまで基板の板厚を薄くして、レーザスクライバを用いて半導体積層側から罫書き線を入れたあと、押し割って、350μm角のチップに切断した。続いてこれらのチップをプローブ針による通電で電流印加値20mAにおける順方向電圧の測定をしたところ2.9Vであった。
その後、TO−18缶パッケージに実装してテスターによって発光出力を計測したところ、印加電流20mAにおける発光出力は4mWを示した。またその発光面の発光分布は正極上の全面で発光しているのが確認できた。
(比較例1)
電流拡散層を設けないこと以外は、実施例1と同様に窒化ガリウム系化合物半導体発光素子を作製した。この発光素子の順方向電圧及び発光出力はそれぞれ3.1V及び3.7mWであった。その発光面を観察すると正極上の発光がボンディングパッド層周辺およびボンディングパッド層から負極に通ずる線上を中心とした部分にのみ限定されていた。
電流拡散層を設けないこと以外は、実施例1と同様に窒化ガリウム系化合物半導体発光素子を作製した。この発光素子の順方向電圧及び発光出力はそれぞれ3.1V及び3.7mWであった。その発光面を観察すると正極上の発光がボンディングパッド層周辺およびボンディングパッド層から負極に通ずる線上を中心とした部分にのみ限定されていた。
この原因としてはコンタクトメタル層の面方向の電気抵抗が高くコンタクトメタル層上に電流が広がらなかった為であろう。
(比較例2)
電流拡散層を設けずに、コンタクトメタル層の厚さを12nmとしたこと以外は、実施例1と同様に窒化ガリウム系化合物半導体発光素子を作製した。この発光素子の順方向電圧及び発光出力はそれぞれ2.9V及び3.0mWであった。その発光面を観察すると実施例1と同様に全面で発光が確認されたが、コンタクトメタル層の光透過率が約30%と低下しており、結果として発光出力が低下した。
電流拡散層を設けずに、コンタクトメタル層の厚さを12nmとしたこと以外は、実施例1と同様に窒化ガリウム系化合物半導体発光素子を作製した。この発光素子の順方向電圧及び発光出力はそれぞれ2.9V及び3.0mWであった。その発光面を観察すると実施例1と同様に全面で発光が確認されたが、コンタクトメタル層の光透過率が約30%と低下しており、結果として発光出力が低下した。
本発明によって提供される窒化ガリウム系化合物半導体発光素子用電極は、透光型窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の正極として有用である。
1・・・基板、 2・・・GaN系化合物半導体層、 3・・・n型半導体層、 3a・・・下地層、 3b・・・コンタクト層、 3c・・・クラッド層、 4・・・発光層、 5・・・p型半導体層、 5a・・・クラッド層、 5b・・・コンタクト層、 6・・・バッファ層、 10・・・正極、 11・・・コンタクトメタル層、 12・・・電流拡散層、 13・・・ボンディングパッド層、 15・・・相互拡散層、 15a・・・半導体金属混在層 15b・・・正極金属混在層 20・・・負極 100,200・・・窒化ガリウム系化合物半導体発光素子
Claims (18)
- 基板上に窒化ガリウム系化合物半導体からなるn型半導体層、発光層およびp型半導体層がこの順序で積層されてなり、負極および正極がそれぞれn型半導体層およびp型半導体層に接して設けられている発光素子であって、該正極が少なくともp型半導体層と接するコンタクトメタル層を具備し、さらに該コンタクトメタル層上にコンタクトメタル層よりも導電率の大きい電流拡散層を具備し、さらに該電流拡散層上にボンディングパッド層を具備した3層構造からなる透光性電極を有しており、該p型半導体層の正極側表面にコンタクトメタル層を形成する金属を含む正極金属混在層が存在することを特徴とする窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
- 前記正極金属混在層の厚さが0.1〜10nmであることを特徴とする請求項1に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
- 前記正極金属混在層におけるコンタクトメタル層を形成する金属の濃度が、当該正極金属混在層中の全金属に対して0.01〜30原子%であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
- 前記コンタクトメタル層のp型半導体層側表面にIII族金属を含む半導体金属混在層が存在することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
- 前記半導体金属混在層の厚さが0.1〜2.5nmであることを特徴とする請求項4に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
- 前記半導体金属混在層におけるIII族金属の濃度が当該半導体金属混在層中の全金属に対して0.1〜50原子%であることを特徴とする請求項4または請求項5に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
- 前記コンタクトメタル層が白金族金属又はAgであることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
- 前記コンタクトメタル層が白金であることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
- 前記コンタクトメタル層の厚さが0.1〜7.5nmであることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
- 前記コンタクトメタル層の厚さが5nm以下であることを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
- 前記コンタクトメタル層の厚さが0.5〜2.5nmであることを特徴とする請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
- 前記電流拡散層が金、銀および銅からなる群から選ばれた金属または少なくともそれらの金属のうちの1種を含む合金であることを特徴とする請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
- 前記電流拡散層が金であることを特徴とする請求項1から請求項12のいずれか1項に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
- 前記電流拡散層の厚さが1〜20nmであることを特徴とする請求項1から請求項13のいずれか1項に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
- 前記電流拡散層の厚さが10nm以下であることを特徴とする請求項1から請求項14のいずれか1項に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
- 電流拡散層の厚さが3〜6nmであることを特徴とする請求項1〜15のいずれか一項に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
- 前記ボンディングパッド層が共晶半田合金材料からなることを特徴とする請求項1から請求項16のいずれか1項に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
- 前記ボンディングパッド層がAu、Sn、またはAuとSnを含む3元系半田合金からなることを特徴とする請求項1から請求項17のいずれか1項に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
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JP2004156543 | 2004-05-26 | ||
JP2005151287A JP2006013474A (ja) | 2004-05-26 | 2005-05-24 | 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子 |
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JP2006013474A true JP2006013474A (ja) | 2006-01-12 |
Family
ID=35780275
Family Applications (1)
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JP2005151287A Pending JP2006013474A (ja) | 2004-05-26 | 2005-05-24 | 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子 |
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