JP2006010452A - 走査光学系検査装置および方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 走査光学系の検査においても検査光学系のレンズフレームでの走査ビーム光束の散乱を生じさせないようにし、走査ビーム光束を取得するための有効な検査対象領域を確保し、検査対象のビーム光束のみを取得、検査できるようにする。
【解決手段】 走査位置毎の伝播角度や個体差に対応した遮光板の姿勢調整が必要となる。そのため、遮光板（１８ｃ）を対物レンズの光軸と垂直に並進する移動機構（１９）を設けることで、レンズフレームでの反射、散乱を除去することを可能とする。ここで遮光板（１８ｃ）によるビーム光束の散乱、回折が懸念されるが、本実施例では対物レンズとの組合せにより、そうした散乱光や回折光が受光面に結像しない調整とすることで、解消することができる。
【選択図】 図１６

Description

本発明は、例えば電子写真方式の書込みユニット、感光体等から構成される画像形成部を持つ複写機、プリンター製品等の画像形成を行う機器について、走査光学系の各場所でビーム光束データを取得し、得られた光学特性より走査光学系の検査を実施する走査光学系検査装置および方法に関する。

従来より、光源を備えた走査光学系（書き込みユニット）から出射されたビーム光束を用いて画像を形成する機器の光学特性を検査する走査光学系検査装置がある。
こうした走査光学系検査装置で書き込みユニットから出射されたビーム光束は、一般に光源の応答性向上のためバイアス電流注入による暗電流発光や点灯ビームによるドット列が連続して存在する。
こうしたビーム光束を取得して光学特性を検査・計測する場合、検査・計測系の視野内に入ってくるビームについて詳細な検査・計測を行い、移動機構により逐次、主走査方向等に移動して全域を検査することとなる。

こうした装置として、特許文献１のものでは、ビーム径センサと、複数のビーム高さ検出用センサを具備し、予めビーム高さ検出用センサでビーム走査線曲りを検出して、その位置に対物レンズと鏡筒と光強度センサからなるビーム径センサを移動し、走査ビームを評価している。

また、本出願人により先に出願されている特許文献２のものでは、走査ビームの走査方向と同方向に移動可能な二次元エリア受光センサを設け、二次元エリア受光センサを走査ビームの走査方向に移動させながらこの受光センサで走査ビームを検出するとともに、受光センサが受光した走査ビームを位置情報と関連付けてデータ格納部に格納し、次いで、データ格納部に格納した走査ビームのデータを用いてＸ方向に走査される走査ビームの光量分布を解析している。
特許第３４１２９７６号公報 特開２００２−８６７９５号公報

しかしながら、上述した従来の走査光学系検査装置では、ビーム光束は検査対象のビーム光束以外にもその近傍に連続して存在する。しかも、それらの連続して存在するビームは主走査方向の位置により角度が変動する。
このため、視野外に伝播しているビーム光束が検査光学系のレンズフレームで散乱し、その散乱光が視野内に入射して広い範囲で検査対象のビーム光束に重畳したノイズとなってしまい、走査ビーム光束を取得するための有効な検査対象領域が確保できなくなってしまう虞があった。この問題は、検査・計測不可能を引き起こす虞もあるものであった。

また、上述した特許文献１のものは、ビーム径センサに対物レンズを利用しており、検査対象は任意の位置での走査ビーム光束である。ビーム高さセンサを有していることから、連続的に点滅させるか連続点灯の状態でビーム光束を検査対象としないとビーム高さセンサを有効に利用できない虞がある。しかし、所定の主走査位置に応じた角度を有するビーム光束に対し、対物レンズのフレームでの散乱光に対する対策についてまで考慮されたものではなかった。

また、上述した特許文献２のものについても、走査ビーム光束のドットやバイアス光が連続的に存在するが、検査対象領域外のビーム光束が検査光学系のレンズフレームで散乱することについてまで考慮されたものではなかった。

本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、走査光学系の検査においても検査光学系のレンズフレームでの走査ビーム光束の散乱を生じさせないようにすることで、走査ビーム光束を取得するための有効な検査対象領域を確保し、検査対象のビーム光束のみを取得、検査することができる走査光学系検査装置および方法を提供することを目的とする。

かかる目的を達成するために、本発明の第１の態様としての走査光学系検査装置は、光源を備えた走査光学系から出射されたビーム光束を用いて画像を形成する機器の光学特性を検査する走査光学系検査装置であって、ビーム光束走査方向と垂直となる方向に長い開口を有してノイズ光を受光面に再結像させないよう遮蔽する遮蔽手段と、遮蔽手段の設置状態を調整する調整手段とを備えたことを特徴とする。

上記技術的手段によれば、ビーム光束自体の走査方向に存在するバイアス光または隣接する点灯状態のドット光が結像手段のフレームで反射・散乱して発生するノイズ光を抑制することができる。

上記した走査光学系から出射されたビーム光束を受光する受光手段と、ビーム光束を受光手段に結像させる結像手段とを備え、上記した遮蔽手段の開口は、結像手段のビーム光束入射側に設けられることが好ましい。

上記した調整手段は、上記した遮蔽手段を結像手段の光軸と垂直に移動させることで当該遮蔽手段の位置を調整する移動機構であることが好ましい。
また、上記した調整手段は、遮蔽手段を回転させることで当該遮蔽手段の角度を調整する回転機構であってもよい。

上記した走査光学系から出射されたビーム光束を複数位置で受光するために受光手段および／または結像手段を走査方向に移動する移動手段を備え、上記した移動手段により移動した位置で結像手段に入射するビーム光束の角度により移動機構で遮蔽手段の位置を調整するよう構成されることが好ましい。
上記技術的手段によれば、ビーム光束を受光する走査方向での位置、ビーム光束の角度変化によらずノイズ光の発生を抑制することができる。

また、上記した走査光学系から出射されたビーム光束を複数位置で受光するために受光手段および／または結像手段を走査方向に移動する移動手段を備え、上記した移動手段により移動した位置で結像手段に入射するビーム光束の角度により回転機構で遮蔽手段の角度を調整するよう構成されてもよい。
上記技術的手段によれば、ビーム光束を受光する走査方向での位置、ビーム光束の角度変化によらずノイズ光の発生を抑制することができる。

上記した走査光学系から出射されたビーム光束を複数位置で受光するために受光手段および／または結像手段を走査方向に移動する第一の移動手段と、上記した受光手段および／または結像手段を結像手段の光軸方向に走査光学系と相対的に移動する第二の移動手段とを備え、上記した移動手段および／または第二の移動手段により移動した位置で結像手段に入射するビーム光束の角度により移動機構で遮蔽手段の位置を調整するよう構成されることが好ましい。
上記技術的手段によれば、ビーム光束を受光する走査方向での位置、ビーム光束の角度変化によらずノイズ光の発生を抑制することができる。

上記した走査光学系から出射されたビーム光束を複数位置で受光するために受光手段および／または結像手段を走査方向に移動する第一の移動手段と、上記した受光手段および／または結像手段を結像手段の光軸方向に走査光学系と相対的に移動する第二の移動手段とを備え、上記した移動手段および／または第二の移動手段により移動した位置で結像手段に入射するビーム光束の角度により回転機構で遮蔽手段の角度を調整するよう構成されることが好ましい。
上記技術的手段によれば、ビーム光束を受光する走査方向での位置、ビーム光束の角度変化によらずノイズ光の発生を抑制することができる。

また、本発明の第２の態様としての走査光学系検査装置は、光源を備えた走査光学系から出射されたビーム光束を用いて画像を形成する機器の光学特性を検査する走査光学系検査装置であって、走査光学系から出射したビーム光束を受光する受光手段と、ビーム光束を受光手段に結像する結像手段と、走査光学系から出射・走査したビーム光束を複数位置で受光するために受光手段および／または結像手段を走査方向に移動する第一の移動手段と、受光手段および／または結像手段を走査方向及びビーム光束伝播方向を含む面に垂直方向に移動する第二の移動手段とを備え、第二の移動手段により受光手段および／または結像手段を移動することで、ビーム光束の受光データと結像手段のフレームからの散乱光の受光データを分離させるよう構成されたことを特徴とする。

上記技術的手段によれば、ビーム光束自体の走査方向に存在するバイアス光または隣接する点灯状態のドット光が結像手段のフレームで反射・散乱して発生するノイズ光を抑制することができる。

上記した受光手段および／または結像手段を結像手段の光軸方向に走査光学系と相対的に移動する第三の移動手段を備えることが好ましい。

また、上述した各態様としての走査光学系検査装置は、上記した走査光学系は、光源から出射されるビーム光束を変調し、変調されたビーム光束を走査させ、ビーム光束を反射結像等させる素子により走査したビーム光束を感光体ドラム等に結像させて画像を生成するシステムを有する機器に設けられることが好ましい。

また、本発明の第３の態様としての走査光学系検査方法は、光源を備えた走査光学系から出射されたビーム光束を用いて画像を形成する機器の光学特性を検査する走査光学系検査方法であって、光源を連続点灯させる点灯工程と、連続点灯したビーム光束を受光する受光工程と、受光したビーム光束のデータとビーム光束が散乱した散乱光のデータとを分離する分離工程と、ノイズ光を受光面に再結像させないよう遮蔽する遮蔽手段の設置状態を散乱が無くなるまで調整する調整工程とを備えたことを特徴とする。
上記技術的手段によれば、散乱によるノイズ光を受光することなくビーム光束を受光することができる。

また、本発明の第４の態様としての走査光学系検査方法は、光源を備えた走査光学系から出射されたビーム光束を用いて画像を形成する機器の光学特性を検査する走査光学系検査方法であって、光源を連続点灯させる点灯工程と、連続点灯したビーム光束を受光する受光工程と、ビーム光束が散乱した散乱光データを検出する検出工程と、散乱によるノイズ無く光源が点灯可能な期間を導出する導出工程とを有し、散乱によるノイズが無くなる点灯可能期間でビーム光束を点灯させることを特徴とする。
上記した光源を連続点灯させる入力値を点灯可能期間外はゼロとし、点灯可能期間内で点灯する期間の前後で光源にバイアス入力することが好ましい。

以上のように、本発明によれば、走査光学系の検査においても検査光学系のレンズフレームでの走査ビーム光束の散乱を生じさせないようにすることができる。
このため、走査ビーム光束を取得するための有効な検査対象領域を確保し、検査対象のビーム光束のみを取得、検査することができ、高精度・高効率な検査を行うことができる。

次に、本発明に係る走査光学系検査装置および方法を適用した一実施形態について、図面を用いて詳細に説明する。
本発明は、走査ビーム特有の検出対象領域外に連続して存在するビーム光束が検査光学系で散乱し発生するノイズを有効なデータに重なることなく検査可能とする装置、方法に関するものである。
まず、本発明の概要について説明し、その後に本実施形態の詳細について説明する。

電子写真方式の画像製品に搭載される走査光学系を有する書き込みユニットはＬＤ（レーザダイオード）等の光源から出射されるビーム光束をコリメータレンズ等で整形し、回転多面体鏡等により走査ビームに変調し、走査ビームに変調されたビーム光束はｆθレンズ、シリンドリカルレンズ、またはミラーなどの光学素子を経て、所望のビーム径、ビームプロファイルに加工されて感光対面上の所望の位置にドット列として結像する。

感光対面上に結像したビーム光束の光量分布状態から静電潜像、ついで画像形成プロセスより画像が作られる。その際、所望のビーム位置にビーム光束が結像しなければ、ドット位置ずれに起因する画像品質の低下が生じ、カラー機や複数光源を有する書き込みユニットではドットの重畳位置がずれて、色ずれ、ドットの相対位置ずれに起因する画像品質の低下が生じる虞がある。

ここでドットの位置ずれとは光源制御の時間的な誤差等に起因する走査方向での位置ずれや走査ビーム光束の走査線が走査方向と垂直な方向に曲がる走査線曲がり、走査線傾きに起因する位置ずれをいう。また、所望のビーム径が得られなければ、光量が分散し、潜像を形成する十分な光量が得られない、光量が得られてもトナー等の乗る領域が拡大し、画像としてはシャープさが低下するなどの不具合が生じる虞がある。

書き込みユニットに用いられる光学素子は、通常、主走査方向に長く、副走査方向に短い形状をしている。広い主走査方向全域で主副両走査方向に設定されているビーム径、ビーム位置などの光学特性が仕様を満たさなければならない。そのため、主走査方向全域でのビーム光束の品質を検証する必要がある。また、書き込みユニットの焦点深度内に感光体の位置決めをしなければならず、主走査方向全域のみならず、光軸方向のビームの特性を検証する必要がある。
画像製品の高解像化に伴いビーム光束の小径化が進み、ビーム光束をより高精細な検出系で検査・計測をする必要がある。

走査光学系の光源制御は、画像製品の高解像度化に伴い、制御パルスの高周波化が進み、光源の応答性も求められる。制御パルス形状、出力の光量波形も高精度に操作されてきている。光源の応答性を高めるために、ＬＤ（レーザダイオード）光源などでは常にバイアス電流を注入し、点灯の閾値を相対的に低くすることも実施されている。その場合は、常に自然誘導発光状態にある。そのため、走査ビーム光束は厳密には主走査領域で連続しているといえる。
また、光学素子形状も加工技術の進展に伴い、自由曲面形状をなし主走査方向の各位置でのビームの伝播角度は任意に設定されている。

ここで、走査光学系のビーム光束の検証は、回転多面鏡を固定させた状態で、静止ビームを対象に、
〈１〉ビームをスリットでスキャンしスリットを通過した光量を時系列に検出することで光量分布を測定する方法
〈２〉２次元エリアセンサに結像してビームプロファイルを２次元的に検出する方法
などがある。

一方、回転多面鏡を回転させた状態で、走査ビームを対象に、
〈３〉光源を常時点灯状態にして走査させ、スリットを横切らせ、上記〈１〉の方法のようにスリットを通過した光量を時系列で検出することで光量分布状態を検出する方法
〈４〉光源を点滅状態にし、走査周期と同期を取りながら、走査点滅ビームの光量分布状態を２次元エリアセンサで検出する方法
が主である。ほかにラインセンサを用いたものや、スリットに角度を持たせて、主副走査方向のビーム径に対応した方法などがある。

一般に、上記〈１〉、〈３〉によるスリットスキャン方式では、スリットを通過するビームの光量はスリットで切断されたスリット方向の積算光量であるためガウシアンビームなどの理想形状をしているのであれば、ビーム径は適切に検出可能であるが、実際には回折やビームの旋回などで理想形状をなすビームの取得は困難であり、適さないと言える。また、スリットで切断する光量を検出するため、ヘッド部分と光学素子との干渉など書き込みユニット内部のビーム光束の状態までを検出することは困難である。

装置としては、検出光学系を光軸方向に移動する機構や、主走査方向、副走査方向に移動する機構を設けて、書き込みユニットの感光対面上に結像したビームのデフォーカス量を検出する構成や主走査方向全域での検出に対応した構成、副走査方向のビーム位置に追従する構成が一般的である。

書き込みユニットから出射されたビーム光束は光源の応答性向上のためバイアス電流注入による暗電流発光や点灯ビームによるドット列が連続して存在する。それらの連続して存在するビームは主走査方向の位置により角度が変動する。ビーム光束を取得して光学特性を検査・計測する場合、検査・計測系の視野内に入ってくるビームについて詳細な検査・計測を行い、移動機構により逐次、主走査方向等に移動して全域を検査すればよい。

しかし、ビーム光束は検査対象のビーム光束以外にその近傍に連続して存在する。しかも、伝播角度が位置によって変動する。そのため、視野外に伝播しているビーム光束が検査光学系のレンズフレームで散乱し、視野内に入射して、広い範囲で検査対象のビーム光束に重畳したノイズとなって検査・計測不可能とする場合があった。また、実際の走査ビーム光束は、検査対象の一走査光学系の走査線曲がりや複数の走査光学系間の走査線曲がりの固体差などでレンズフレームに照射される位置が同一高さに限られるものではないため、レンズフレームで散乱するノイズ光も、すべて発生する条件が同一とは限らない。

そこで、本発明においては、走査光学系の検査において、検査光学系のレンズフレームでの走査ビーム光束の散乱が生じず、走査ビーム光束を取得するための有効な検査対象領域を確保し、検査対象のビーム光束のみを取得、検査することを可能とする走査光学系検査装置及び方法を提供することを目的とする。

次に、本発明の実施形態としての走査光学系検査装置の詳細について、図面を参照して説明する。
例えば、図１に示すように、回転するポリゴンミラー（１）でＬＤ（レーザダイオード）ユニット（２）から出射されたビーム光束が反射されｆθレンズ（３）を透過し、結像面（４）に走査、結像される走査光学系（５）において、ＬＤユニット（２）にＬＤ制御パルスを注入電流として入力し、ＬＤの点灯状態を制御すると、結像面（４）には図２に示すようなドット（６）列を形成する。

制御が高周波になるほどＬＤの応答性を高める必要上、バイアス電流を入力しておき、ＬＤが自然誘導発光している待機状態からレーザ発光状態になる電流値までの差を小さくする。その際、図３に示すように、ドット列の背景としてバイアス光（７）が存在する。

バイアス光光量と感光体が感応する閾値との関係は図４に示すとおりとなる。これら、ドット列のビーム径、ビーム位置などを測定することで、走査光学系とそれを構成する走査レンズ、ポリゴンミラーなどの品質を検証することが可能となる。近年、画像製品の高画質化に伴い、ビームサイズは小径化がすすみ、ビーム光束を高精度に検査、測定するには検査光学系の解像度を向上する必要があった。

走査光学系の検査、測定は図５に示すように走査光学系（５ａ）から出射された走査ビーム光束は結像面（４ａ）に焦点位置を合わせた対物レンズ（結像手段）（８）で拡大され２次元ＣＣＤエリアセンサ（受光手段）（９）により受光される。
通常、図６に示すように、対物レンズはレンズ性能を有効に発揮するため、対物レンズのフレーム（１０）自体がアパーチャーとなりその有効径を規定する。

開口（ＮＡ）はレンズ独自に設計されており、仕様に満たない入射光束はレンズ内部の開口絞り（１２）で２次元ＣＣＤエリアセンサ（９）の受光面（１６）には像を結ばないようになっている。他に開口絞りは明る過ぎる入射光量を減じる役目を担う。一般的な画像を入力する際、拡散光としてあらゆる光路を辿りレンズの仕様を満たす像が受光面（１６）で再結像するため、開口絞りでその一部を遮ることにより明るさを減じることができ、さらにレンズの周辺部を通る入射光に対しレンズの収差などの影響を受けたものを除去する役目も有する。

しかし、走査光学系より出射される走査ビーム光束は、それぞれのビーム光束がそれぞれの光路を辿って受光面に再結像するため、撮像多対象物から拡散光として到達する光の一部を遮るという働きとは異なり、検査対象のビーム光束を限定するという役割となる。図６における受光面（１６）に対する入射瞳（１５）を通り、ＮＡを満たす角度で伝播するビーム光束（１４）が受光面（１６）に再結像される。

レンズフレームはレンズを固定するという構成上、厚みや入射光に対する角度を有し、図７に示すように、本来、入射瞳（１５ａ）の外側であり検査対象領域外のビーム光束（１４ｄ）が、レンズフレーム（１０ａ）で反射、散乱してノイズ光（１７）となって検査対象領域に入射し、受光面（１６ａ）に受光され、図８に示すように、検査対象のビームに重畳したノイズ光（１７ａ）により検査、測定が不可能になるケースが生じる虞がある。
このノイズ光はドットの散乱やバイアス光の散乱により生じることが確認されている。ノイズ光は走査光学系より出射された検査対象領域外の走査ビーム光束により生じるため走査光学系特有であり、走査方向のみに生じる。
こうした走査ビーム光束とノイズ光との受光画像の実画像を、図９から図１１に例示する。

そこで、図１２に示すように、走査光学系特有の走査方向のみに存在するノイズ光を受光面に再結像させないため、対物レンズの入射側に走査ビーム（１４ｅ）の検査対象領域を規定する遮光板（遮蔽手段）（１８）が設けられている。
図１３に示すように遮光板（１８ａ）を設置することにより、所定の角度を有して伝播しレンズフレーム（１０ｂ）での反射、散乱によりノイズ光となりうる走査ビーム光束（１４ｆ）は遮断することが可能であるが、図１４に示すように、例えば正面よりの入射では散乱光（１７ｂ、１７ｃ）が発生し受光面に再結像した受光データに図１５に示すノイズ光（１７ｄ、１７ｅ）が重畳して受光された。

こうした現象は、走査光学系の一個体内での走査位置ごとの伝播角度により生じると同時に、走査光学系の光学素子の組み付け誤差などによる個体間の伝播角度の変動などにより生じる。そのため、走査位置毎の伝播角度や個体差に対応した遮光板の姿勢調整が必要となる。
実施例として、図１６に示すように、遮光板（１８ｃ）を対物レンズの光軸と垂直に並進する移動機構（１９）を設けることで、レンズフレームでの反射、散乱を除去することを可能とする。
ここで遮光板（１８ｃ）によるビーム光束の散乱、回折が懸念されるが、本実施例では対物レンズとの組合せにより、そうした散乱光や回折光が受光面に結像しない調整とすることで、解消することができる。

また、図１７に示すように、対物レンズの光軸方向に遮光板（１８ｄ）を移動する移動機構（２０）を付加し、検査光学系のＮＡ調整の柔軟性を持たせる例も挙げられる。
また、図１７の遮光板（１８ｄ）の並進による移動だけでは、走査光学系の走査方向の位置ごとに異なる走査ビーム光束（１４ｉ）の伝播角度に対応できない場合があり、図１８に示す例では、遮光板（１８ｅ）を回転させる回転機構（２１）を付加することで、走査光学系の走査方向の位置ごとに異なる走査ビーム光束の伝播角度に対応し、レンズの有効径を最大に活用することが可能となる。これら移動機構の組合せにより遮光板の開口幅を変えずに角度だけ変更することも可能となる。

遮光板の調整方法として、図８、図１５に示した、受光画像から走査ビーム光束の走査方向（図では水平方向）と角度を有する成分をハフ変換などで抽出する手法が考えられる。
散乱光が無くなるまで遮蔽板を調整する構成動作において、図１９に示すように、ＬＤを連続点灯し、走査ビーム光束の再結像画像（２２）を得る。連続点灯であるので、ドット点灯時のドットが内部分がレンズフレームで反射、散乱し、比較的光量の低いノイズ画像となる場合と異なり、必然的にノイズ画像（１７ｆ）を取得できる。

目視などで、図２０に示すようなノイズ画像（１７ｆ）が無いことが確認できる遮光板の設定のときの連続点灯時の走査ビーム光束の画像（２２ａ）を取得しておき、画像間の差分を実施することで、図２１に示すようにノイズ光の画像（１７ｇ）を強調した画像が得られる。図２０でハフ変換を実施し、水平方向成と異なる角度の画像を抽出することで、ノイズ光の有無を確認できる。
ノイズ光が無くなるまで移動機構を調整し、遮光板の姿勢を設定することが可能であり、調整時の無限ループからの離脱条件などを設定することで、調整の自動化も可能である。

連続点灯時の走査ビーム光束を適用する利点として、他に、ドット点灯時の走査方向の位置ずれが無い、差分を取る画像間の走査方向に垂直な方向の位置ずれ補正には、画像自体の２値化、重心検出で高さ方向の位置ずれが導出される。連続点灯時の走査ビーム光束はビームが連続して重畳しているため光量が非常に大きく、ノイズ光などを２値化により無視することが可能なため、走査方向に垂直な方向の位置ずれ検出は容易となる。
遮光板の位置調整にはモータ駆動の並進ステージや回転ステージを設置することで可能である。

以上のように、本実施形態は第１の実施例として、光源と、その光源から出射されるビーム光束を変調し、変調されたビーム光束を走査させ、ビーム光束を反射結像等させる素子により走査したビーム光束を感光体ドラム等に結像させて画像を生成するシステムを有する画像製品に搭載されている走査光学系の光学特性を検査する場合において、走査光学系から出射したビーム光束を受光する受光手段と、ビーム光束を受光手段に結像する結像手段と、受光手段で受光した受光データを処理するデータ処理手段と、結像手段のビーム光束入射側にビーム光束走査方向と垂直となる方向に長い開口を有する遮蔽手段と、遮蔽手段の位置を調整する手段とを有し、ビーム光束自体の走査方向に存在するバイアス光または隣接する点灯状態のドット光が結像手段のフレームで反射・散乱して発生するノイズ光を抑制するようにしている。

このように、本実施形態によれば、画像製品の書込みユニットを構成する走査光学系の検査検証において、走査ビームは走査方向のそれぞれの位置で伝播角度、検査光学系との相対位置が異なるため、遮蔽手段を任意の位置で設置することにより、走査ビーム特有の主走査方向に連続して存在する検査対象領域外のビーム光束が検査光学系のレンズフレームで散乱し、ノイズ光として検査領域に広がるのを防ぎ、検査対象のビーム光束のみを取得、検査することを可能とした走査光学系検査装置を提供することができる。

また、以上のように、本実施形態は第２の実施例として、光源と、その光源から出射されるビーム光束を変調し、変調されたビーム光束を走査させ、ビーム光束を反射結像等させる素子により走査したビーム光束を感光体ドラム等に結像させて画像を生成するシステムを有する画像製品に搭載されている走査光学系の光学特性を検査する場合において、走査光学系から出射したビーム光束を受光する受光手段と、ビーム光束を受光手段に結像する結像手段と、受光手段で受光した受光データを処理するデータ処理手段と、結像手段のビーム光束入射側に、ビーム光束走査方向と垂直となる方向に長い開口を有する遮蔽手段と、遮蔽手段の角度を調整する手段とを有し、ビーム光束自体の走査方向に存在するバイアス光または隣接する点灯状態のドット光が結像手段のフレームで反射・散乱して発生するノイズ光を抑制するようにしてもよい。

このように、本実施形態の第２の実施例によれば、画像製品の書込みユニットを構成する走査光学系の検査検証において、走査ビームは主走査方向のそれぞれの位置で伝播角度、検査光学系との相対位置が異なるため、遮蔽手段を任意の角度で設置することにより、走査ビーム特有の主走査方向に連続して存在する検査対象領域外のビーム光束が検査光学系のレンズフレームで散乱し、ノイズ光として検査領域に広がるのを防ぎ、検査対象のビーム光束のみを取得、検査することを可能とした走査光学系検査装置を提供することができる。

また、本実施形態は第３の実施例として、上述した第１の実施例について、走査光学系から出射・走査したビーム光束を複数位置で受光するために受光手段および／または結像手段を走査方向に移動する移動手段を有し、移動手段により移動した位置で結像手段に入射するビーム光束の角度により遮蔽手段の位置を調整して、ビーム光束を受光する走査方向での位置、ビーム光束の角度変化によらずノイズ光の発生を抑制するようにしてもよい。

このように、第３の実施例によれば、上述した第１の実施例としての走査光学系検査装置において、走査光学系特有のビーム光束の伝播角度が主走査方向の各位置において異なることに対応して、遮蔽手段の位置を調整し、検査対象領域外のビーム光束がレンズフレームで散乱しノイズ光として検査領域に広がるのを防ぎ、検査対象のビーム光束のみを取得、検査することを可能とした走査光学系検査装置を提供することができる。

また、本実施形態は第４の実施例として、上述した第２の実施例について、走査光学系から出射・走査したビーム光束を複数位置で受光するために受光手段および／または結像手段を走査方向に移動する移動手段を有し、移動手段により移動した位置で結像手段に入射するビーム光束の角度により遮蔽手段の角度を調整して、ビーム光束を受光する走査方向での位置、ビーム光束の角度変化によらずノイズ光の発生を抑制するようにしてもよい。

このように、第４の実施例によれば、上述した第２の実施例としての走査光学系検査装置において、走査光学系特有のビーム光束の伝播角度が主走査方向の各位置において異なることに対応して、遮蔽手段の角度を調整し、検査対象領域外のビーム光束がレンズフレームで散乱しノイズ光として検査領域に広がるのを防ぎ、検査対象のビーム光束のみを取得、検査することを可能とした走査光学系検査装置を提供することができる。

上述した第３、第４の実施例として、例えば図２２に示す構成では、対物レンズ（８ｂ）と２次元ＣＣＤ（９ａ）をベース（２３）上に設置し、ベース（２３）上には対物レンズ（８ｂ）のビーム光束入射側に図示しない遮光板と遮光板の姿勢調整に有用となる並進及び／または回転ステージを搭載している。
走査光学系の走査方向の全位置で走査ビーム光束を取得可能とするため、ベース（２３）は移動ステージ（２４）に固定される。移動ステージ（２４）は走査ビームの位置情報に誤差を生じさせないよう精度を要する。リニアステージなどが考えられる。

また、本実施形態は第５の実施例として、上述した第１、第３の実施例について、走査光学系から出射・走査したビーム光束を複数位置で受光するために受光手段および／または結像手段を走査方向に移動する第一の移動手段と、受光手段および／または結像手段を結像手段の光軸方向に走査光学系と相対的に移動する第二の移動手段と、移動手段および／または第二の移動手段により移動した位置で結像手段に入射するビーム光束の角度により遮蔽手段の位置を調整する手段とを有し、ビーム光束を受光する走査方向での位置、ビーム光束の角度変化によらずノイズ光の発生を抑制するようにしてもよい。

一般に、走査光学系の光学特性を走査光学系の深度方向のデータをも取得する際、検査光学系と走査光学系を相対的に光軸方向に移動しなければならず、ビーム光束の伝播角度により、ビーム光束と検査光学系が相対的に主走査方向に移動することとなり、検査光学系に入射するビーム光束が他の領域のビームに入れ替わることが生じる。
そのため、上述した第５の実施例によれば、上述した第１、第３の実施例としての走査光学系検査装置において、新たに検査対象となるビーム光束の角度、位置に合わせて遮蔽手段の位置を調整することにより、検査対象領域外のビーム光束がレンズフレームで散乱しノイズ光として検査領域に広がるのを防ぎ、検査対象のビーム光束のみを取得、検査することを可能とした走査光学系検査装置を提供することができる。

また、本実施形態は第６の実施例として、上述した第２、第４の実施例について、走査光学系から出射・走査したビーム光束を複数位置で受光するために受光手段および／または結像手段を走査方向に移動する第一の移動手段と、受光手段および／または結像手段を結像手段の光軸方向に走査光学系と相対的に移動する第二の移動手段と、移動手段および／または第二の移動手段により移動した位置で結像手段に入射するビーム光束の角度により遮蔽手段の角度を調整する手段とを有し、ビーム光束を受光する走査方向での位置、ビーム光束の角度変化によらず上記ノイズ光の発生を抑制するようにしてもよい。

一般に、走査光学系の光学特性を走査光学系の深度方向のデータをも取得する際、検査光学系と走査光学系を相対的に光軸方向に移動しなければならず、ビーム光束の伝播角度により、ビーム光束と検査光学系が相対的に主走査方向に移動することとなり、検査光学系に入射するビーム光束が他の領域のビームに入れ替わることが生じる。
そのため、上述した第６の実施例によれば、上述した第２、第４の実施例としての走査光学系検査装置において、新たに検査対象となるビーム光束の角度、位置に合わせて遮蔽手段の角度を調整することにより、検査対象領域外のビーム光束がレンズフレームで散乱しノイズ光として検査領域に広がるのを防ぎ、検査対象のビーム光束のみを取得、検査することを可能とした走査光学系検査装置を提供することができる。

上述した第５、第６の実施例として、例えば図２３に示すように、走査光学系（５ｃ）を光軸方向（図中水平方向）に移動するステージ（２５）上に設置し、対物レンズ（８ｃ）と２次元ＣＣＤエリアセンサ（２３ａ）からなる検査光学系に相対的に移動可能とする。移動ステージ（２５）はモータ駆動等により移動可能とする。
これにより、走査光学系のｆθレンズ（３ｃ）などの光学素子の結像特性など深度方向の光学特性が検証可能となる。

走査ビーム光束画対物レンズ（８ｃ）の光軸に対し角度を有して伝播している場合、走査光学系と検査光学系が光軸方向に相対的に移動することで、検査対象となる走査ビーム光束が走査方向にずれることとなる。そのため、移動後の位置での新たに検査対象となるビーム光束が有する伝播角度は、移動前の検査対象であった走査ビーム光束の伝播角度と異なるため、移動前後で遮光板の姿勢を調整する。
遮光板調整の機構は上述した通りとしてよい。上述した第３、第４の実施例における構成動作同様、ベース（２３ａ）上、対物レンズ（８ｃ）の入射側に図示しない遮光板及び遮光板の姿勢調整用の並進ステージ、及び／または回転ステージを有する。

また、本実施形態は第７の実施例として、光源と、その光源から出射されるビーム光束を変調し、変調されたビーム光束を走査させ、ビーム光束を反射結像等させる素子により走査したビーム光束を感光体ドラム等に結像させて画像を生成するシステムを有する画像製品に搭載されている走査光学系の光学特性を検査する場合において、走査光学系から出射したビーム光束を受光する受光手段と、ビーム光束を受光手段に結像する結像手段と、走査光学系から出射・走査したビーム光束を複数位置で受光するために受光手段および／または結像手段を走査方向に移動する第一の移動手段と、受光手段および／または結像手段を走査方向及びビーム光束伝播方向を含む面に垂直方向に移動する第二の移動手段と、受光手段で取得したビーム光束の光量データを処理するデータ処理手段を有し、ビーム光束の受光データと結像手段のフレームからの散乱光の受光データが分離するまで第二の移動手段により受光手段および／または結像手段を移動するようにしてもよい。

このように、第７の実施例によれば、検査対象領域外のビーム光束が散乱する方向をレンズフレームの形状から、検査対象のビーム光束に重畳しないように、検査光学系と走査光学系との相対高さを調整し、検査対象領域外のビーム光束がレンズフレームで散乱しノイズ光として検査領域に広がるのを防ぎ、検査対象のビーム光束のみを取得、検査することを可能とした走査光学系検査装置を提供することができる。

この第７の実施例として、例えば、図２４に示すように、対物レンズのフレームが円形開口であり、対物レンズの高さ方向のどこを走査ビーム光束が横切るかで、フレームと走査ビーム光束が交差する縁の角度が変動する。そのため、走査ビーム光束と対物レンズの相対高さを調整することで、走査ビーム光束の受光画像とフレームで反射、散乱したノイズ光の受光画像の相対位置を制御することが可能となる。

こうした第７の実施例を実現する構成として、走査光学系および検査光学系を横から見た図２５に示すように走査光学系（５ｄ）を、対物レンズ（８ｅ）と２次元ＣＣＤエリアセンサ（９ｃ）からなる検査光学系に対し相対高さを調整する高さ移動ステージ（２６）を設置する。

高さを移動した際、図８の走査ビーム光束の受光画像とノイズ光の受光画像との相対位置を図２６に示すような相対位置に変位させる。当然に、走査ビーム光束の対物レンズへの入射高さが変わるため、走査ビーム光束の受光画像の位置も変化する。走査ビーム光束とノイズ光との相対位置調整完了の判断は、先の実施例と同様、連続点灯時の走査ビーム光束を用いた方法により実現可能である。

また、上述した図２４から図２６には図示していないが、高さ方向の移動量を検出する高さ測定器を付加することにより、走査光学系と検査光学系の相対移動量を走査ビーム光束の測定結果のうち高さに関与するデータにフィードバックすることができる。

また、本実施形態は第８の実施例として、上述した第７の実施例について、受光手段および／または結像手段を結像手段の光軸方向に走査光学系と相対的に移動する第三の移動手段を有し、受光手段で取得したビーム光束の光量データを処理するデータ処理手段を有し、ビーム光束の受光データと結像手段のフレームからの散乱光の受光データが分離するまで第二の移動手段により受光手段および／または結像手段を移動するようにしてもよい。

このように、第８の実施例によれば、上述した第７の実施例としての走査光学系検査装置において、走査光学系と検査光学系が相対的に光軸方向に移動し、ビーム光束が主走査方向と垂直に角度を持って伝播した際、検査光学系とビーム光束の相対高さが変動して、検査対象領域外のビーム光束がレンズフレームにあたる位置が変動するため、検査対象領域外のビーム光束が散乱する方向をレンズフレームの形状から、検査対象のビーム光束に重畳しないように、再度、検査光学系と走査光学系との相対高さを調整し、検査対象領域外のビーム光束がレンズフレームで散乱しノイズ光として検査領域に広がるのを防ぎ、検査対象のビーム光束のみを取得、検査することを可能とした走査光学系検査装置を提供することができる。

上述した第８の実施例として、例えば、視線方向を図２５と同一とした図２７に示すように、走査ビーム光束（１４ｌ（エル））が高さ方向に傾いて伝播しているとき、図２５の光軸方向移動ステージ（２５ａ）で走査光学系と検査光学系が相対的に移動した場合、対物レンズの位置が（８ｆから８ｇに）移動するとレンズフレームと走査ビーム光束（１４ｌ（エル））との交差する高さが変動する。その際、第７の実施例に示す構成動作と同様に高さ方向の調整が必要となる。

また、上述した図２５、図２７には図示していないが、高さ方向の移動量を検出する高さ測定器を付加することにより、走査光学系と検査光学系の相対移動量を走査ビーム光束の測定結果のうち高さに関与するデータにフィードバックすることができる。

また、本実施形態は第９の実施例として、上述した各実施例としての走査光学系検査装置について、光源を連続点灯する工程と、連続点灯したビーム光束を受光する工程と、受光したビーム光束のデータと結像手段のフレームで散乱した散乱光のデータとを分離する工程と、散乱が無くなるまで遮蔽手段を調整する工程を有し、散乱によるノイズ光を受光することなくビーム光束を受光する方法により検査してもよい。
これらの各工程の詳細は、上述した各実施例の通りである。

このように、第９の実施例によれば、上述した各実施例としての走査光学系検査装置において、ビーム光束が点滅状態ではレンズフレームで散乱したとき検査対象領域に入射する位置にビームドットが無い場合もありうるため、レンズフレームで散乱した場合必然的に検査対象領域に入射するかどうか判断可能となる連続点灯状態を利用し、散乱光による検査対象領域に入射してくるノイズ光を完全に除去できるまで遮蔽手段を調整することを可能とした走査光学系検査方法を提供することができる。

また、本実施形態は第１０の実施例として、光源と、その光源から出射されるビーム光束を変調し、変調されたビーム光束を走査させ、ビーム光束を反射結像等させる素子により走査したビーム光束を感光体ドラム等に結像させて画像を生成するシステムを有する画像製品に搭載されている走査光学系の光学特性を検査する場合において、光源を連続点灯させる工程と、連続点灯したビーム光束を受光する工程と、検査光学系の結像手段のフレーム等で散乱した散乱光データを検出する工程と、光源が点灯可能な期間を導出する工程とを有し、散乱によるノイズが無くなる点灯可能期間でビーム光束を点灯、受光することとしてもよい。

このように、第１０の実施例によれば、ビーム光束がレンズフレームで散乱した場合、検査対象領域にノイズ光として入射してくるかどうか必然的に判断可能な連続点灯状態で、ノイズ光が発生した際、ノイズ光が完全に除去できるまで、光源の点灯期間を狭めていき、散乱が生じない期間を導出し、その期間内のみで光源を点灯しビーム光束を取得することで、ノイズ光に影響されること無く光学特性を検査・計測することを可能とした走査光学系検査方法を提供することができる。

上述した第１０の実施例として、例えば、連続点灯で図２１に示したノイズ光の受光画像を抽出し、ノイズ光の受光画像が確認されたらＬＤの制御パルスを直流からパルスへ幅を狭めていき、ノイズ光の受光画像が確認されなくなるまで、パルス幅を小さくすることで、図２８に示すように検査対象領域内のみ点灯している幅を導出することが可能となる。検査対象領域の特定を自動化することが可能となる。

また、本実施形態は第１１の実施例として、上述した第１０の実施例について、光源を連続点灯させる入力値を点灯可能期間外はゼロとし、点灯可能期間内で点灯する期間の前後で上記光源にバイアス入力するようにしてもよい。

このように、第１１の実施例によれば、上述した第１０の実施例としての走査光学系検査方法において、走査ビーム光束は感光体上では光量が重畳するため、バイアス光も重畳するとビーム光束の取得結果に大きく影響するため、レンズフレームで散乱が生じないよう検査対象領域外では完全に消灯し、検査対象位置の前後にバイアス光が点灯するようにして、ノイズ光の影響を受けることなく重畳した光学特性を正確に取得することを可能とした走査光学系検査方法を提供することができる。

上述した第１１の実施例として、例えば、図２９に示すように走査ビーム光束のドット（６ａ）が検査対象であるとき、その前後で完全にＬＤをＯＦＦ状態とすると、図３０に示すビームプロファイル（２８）となる。
しかし、実用段階ではＬＤの応答性を考慮し、バイアス電流を注入している場合が多く、図２９のドット（６ａ）前後にはバイアス光（２７）が存在している。走査ビーム光束は感光体上、本検査装置では受光面上に光量が重畳しながら移動するため、図２９の光量分布は図３０の意プロファイル（６ｂ）となる。
そのため、検査対象がドット（６ａ）である場合、対物レンズのフレームでの反射、散乱が生じない領域でバイアス光（２７）を発光させる必要がある。この方法により、ノイズ光を発生させることなく、実用時と同様の条件で検査、測定が可能となる。

以上説明したように、走査光学系の走査ビーム光束は、主走査方向の位置に特有の角度を有して伝播する。また、走査光学系が製品に搭載された実稼動時では、ビーム光束は光源制御パルスにより変調され、走査線上にドットとして連続的に存在する。ビーム光束を詳細に検証することで走査光学系の最終出力が仕様を満たしているかどうかを判断することが可能となる。走査ビーム光束を詳細に検証するためには検査光学系の解像度を向上することが必要であり、検査光学系にレンズを適用することが有効であるが、ビーム光束が主走査方向に連続して存在するため、本来、検査対象領域外のビーム光束が機械的要素で散乱し、検査対象領域にノイズ光として入射してくる不具合が生じる。

従来の同様な検査光学系では、主走査位置のどこかでこの現象が必ず生じるといって過言ではない。検査対象とノイズ光が併存する場合は重畳して取得されるため、ノイズ光を除去しなければならない。
本発明の上述した各実施例によれば、主走査方向の全域で走査ビーム光束の検査検証が可能となり、製品の光学特性を検証し、品質を保証することが可能となる。

なお、上述した実施形態、各実施例は、本発明の好適な実施形態であり、本発明の主旨を逸脱しない範囲内において、種々変形して実施することが可能である。
例えば、走査ビームとは異なり、ビーム光束が連続して存在はしていないが、検査対象領域外に近接して点在するＬＤアレイ、ＬＥＤアレイ等の光源列を用いた画像製品の検査などへの応用も可能である。

検査対象となる走査光学系を備えた機器（画像形成装置）を模式的に示す図である。 図１の機器により結像されるドット列の例を示す図である。 ドット列の背景にバイアス光が存在する状態を示す図である。 バイアス光光量と感光体が感応する閾値との関係を示す図である。 走査光学系検査装置により検査対象を検査する状態を示す図である。 該走査光学系検査装置における光学系と受光面を模式的に示す図である。 入射瞳（１５ａ）の外側からの光がノイズ光となる様子を示す図である。 検査対象のビームにノイズ光が重畳した状態を示す図である。 走査ビーム光束とノイズ光との受光画像の実画像例である。 走査ビーム光束とノイズ光との受光画像の実画像例である。 走査ビーム光束とノイズ光との受光画像の実画像例である。 対物レンズに遮光板を設けた状態を示す斜視図である。 遮光板を設けた状態の走査光学系検査装置における光学系と受光面を模式的に示す図である。 正面からの入射光により散乱光が発生する様子を示す図である。 検査対象のビームにノイズ光が重畳した状態を示す図である。 走査光学系検査装置に遮光板を移動させる移動機構を設けた第１の実施例を示す図である。 該走査光学系検査装置に移動機構をさらに設けた状態を示す図である。 走査光学系検査装置に遮光板を回転させる回転機構を設けた第２の実施例を示す図である。 ＬＤを連続点灯させた場合の走査ビーム光束の再結像画像例を示す図である。 ノイズ画像が無い遮光板の設定のときの連続点灯時の走査ビーム光束の画像例を示す図である。 ノイズ光の画像（１７ｇ）を強調した画像例を示す図である。 本発明の第３、第４の実施例としての構成例を示す図である。 本発明の第５、第６の実施例としての構成例を示す図である。 対物レンズのフレーム構造例を示す斜視図である。 本発明の第７の実施例を実現する構成例を示す図である。 第７の実施例によりノイズ光の位置を変位させた状態を示す図である。 走査ビーム光束が高さ方向に傾いて伝播している状態を示す図である。 第１０の実施例での点灯による結像状態例を示す図である。 第１１の実施例における検査対象ドット例を示す図である。 第１１の実施例におけるビームプロファイル例を示す図である。

符号の説明

１〜１ｃ ポリゴンミラー
２〜２ｃ ＬＤユニット
３〜３ｃ ｆθレンズ
４〜４ｃ 走査光学系の結像面
５〜５ｄ 走査光学系
６、６ａ ドット点灯時の走査ビーム光束
７ 走査ビーム光束のバイアス光
８〜８ｇ 対物レンズ
９〜９ｃ ２次元ＣＣＤエリアセンサ
１０〜１０ｆ 対物レンズのフレーム
１１〜１１ｉ 対物レンズを構成するレンズ
１２〜１２ｃ 対物レンズの開口絞り
１３〜１３ｄ 対物レンズの光軸
１４〜１４ｋ 走査ビーム光束
１５〜１５ｂ 入射瞳（物体面）
１６〜１６ｂ 受光面
１７〜１７ｈ ノイズ光
１８〜１８ｅ 遮光板
１９、１９ａ 遮光板移動ステージ
２０ 遮光板移動ステージ
２１ 遮光板回転ステージ
２２〜２２ｂ 連続点灯時の走査ビーム光束
２３、２３ａ ベース
２４、２４ａ 検査光学系移動ステージ
２５、２５ａ 走査光学系移動ステージ
２６ 走査光学系高さ移動ステージ
２７ バイアス光
２８ ドット点灯時のビームプロファイル

Claims (14)

1. 光源を備えた走査光学系から出射されたビーム光束を用いて画像を形成する機器の光学特性を検査する走査光学系検査装置であって、
   ビーム光束走査方向と垂直となる方向に長い開口を有してノイズ光を受光面に再結像させないよう遮蔽する遮蔽手段と、
   前記遮蔽手段の設置状態を調整する調整手段とを備えたことを特徴とする走査光学系検査装置。
2. 前記走査光学系から出射されたビーム光束を受光する受光手段と、
   前記ビーム光束を前記受光手段に結像させる結像手段とを備え、
   前記遮蔽手段の開口は、前記結像手段の前記ビーム光束入射側に設けられたことを特徴とする請求項１記載の走査光学系検査装置。
3. 前記調整手段は、前記遮蔽手段を前記結像手段の光軸と垂直に移動させることで当該遮蔽手段の位置を調整する移動機構であることを特徴とする請求項２記載の走査光学系検査装置。
4. 前記調整手段は、前記遮蔽手段を回転させることで当該遮蔽手段の角度を調整する回転機構であることを特徴とする請求項２記載の走査光学系検査装置。
5. 前記走査光学系から出射されたビーム光束を複数位置で受光するために前記受光手段および／または前記結像手段を走査方向に移動する移動手段を備え、
   前記移動手段により移動した位置で前記結像手段に入射するビーム光束の角度により前記移動機構で前記遮蔽手段の位置を調整するよう構成されたことを特徴とする請求項３記載の走査光学系検査装置。
6. 前記走査光学系から出射されたビーム光束を複数位置で受光するために前記受光手段および／または前記結像手段を走査方向に移動する移動手段を備え、
   前記移動手段により移動した位置で前記結像手段に入射するビーム光束の角度により前記回転機構で前記遮蔽手段の角度を調整するよう構成されたことを特徴とする請求項４記載の走査光学系検査装置。
7. 前記走査光学系から出射されたビーム光束を複数位置で受光するために前記受光手段および／または前記結像手段を走査方向に移動する第一の移動手段と、
   前記受光手段および／または前記結像手段を前記結像手段の光軸方向に走査光学系と相対的に移動する第二の移動手段とを備え、
   前記移動手段および／または前記第二の移動手段により移動した位置で前記結像手段に入射するビーム光束の角度により前記移動機構で前記遮蔽手段の位置を調整するよう構成されたことを特徴とする請求項３記載の走査光学系検査装置。
8. 前記走査光学系から出射されたビーム光束を複数位置で受光するために前記受光手段および／または前記結像手段を走査方向に移動する第一の移動手段と、
   前記受光手段および／または前記結像手段を前記結像手段の光軸方向に走査光学系と相対的に移動する第二の移動手段とを備え、
   前記移動手段および／または前記第二の移動手段により移動した位置で前記結像手段に入射するビーム光束の角度により前記回転機構で前記遮蔽手段の角度を調整するよう構成されたことを特徴とする請求項４記載の走査光学系検査装置。
9. 光源を備えた走査光学系から出射されたビーム光束を用いて画像を形成する機器の光学特性を検査する走査光学系検査装置であって、
   前記走査光学系から出射したビーム光束を受光する受光手段と、
   前記ビーム光束を前記受光手段に結像する結像手段と、
   前記走査光学系から出射・走査したビーム光束を複数位置で受光するために前記受光手段および／または前記結像手段を走査方向に移動する第一の移動手段と、
   前記受光手段および／または前記結像手段を走査方向及びビーム光束伝播方向を含む面に垂直方向に移動する第二の移動手段とを備え、
   第二の移動手段により前記受光手段および／または前記結像手段を移動することで、ビーム光束の受光データと結像手段のフレームからの散乱光の受光データを分離させるよう構成されたことを特徴とする走査光学系検査装置。
10. 前記受光手段および／または前記結像手段を前記結像手段の光軸方向に走査光学系と相対的に移動する第三の移動手段を備えたことを特徴とする請求項９記載の走査光学系検査装置。
11. 前記走査光学系は、前記光源から出射されるビーム光束を変調し、変調されたビーム光束を走査させ、ビーム光束を反射結像等させる素子により走査したビーム光束を感光体ドラム等に結像させて画像を生成するシステムを有する機器に設けられたことを特徴とする請求項１から１０の何れか１項に記載の走査光学系検査装置。
12. 光源を備えた走査光学系から出射されたビーム光束を用いて画像を形成する機器の光学特性を検査する走査光学系検査方法であって、
    前記光源を連続点灯させる点灯工程と、
    連続点灯したビーム光束を受光する受光工程と、
    受光したビーム光束のデータと前記ビーム光束が散乱した散乱光のデータとを分離する分離工程と、
    ノイズ光を受光面に再結像させないよう遮蔽する遮蔽手段の設置状態を散乱が無くなるまで調整する調整工程とを備えたことを特徴とする走査光学系検査方法。
13. 光源を備えた走査光学系から出射されたビーム光束を用いて画像を形成する機器の光学特性を検査する走査光学系検査方法であって、
    前記光源を連続点灯させる点灯工程と、
    連続点灯したビーム光束を受光する受光工程と、
    前記ビーム光束が散乱した散乱光データを検出する検出工程と、
    散乱によるノイズ無く前記光源が点灯可能な期間を導出する導出工程とを有し、
    散乱によるノイズが無くなる点灯可能期間でビーム光束を点灯させることを特徴とする走査光学系検査方法。
14. 前記光源を連続点灯させる入力値を前記点灯可能期間外はゼロとし、
    前記点灯可能期間内で点灯する期間の前後で前記光源にバイアス入力することを特徴とする請求項１３記載の走査光学系検査方法。