JP2006008079A - 搬送台車 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】搬送台車100は、水平移動機構および上下移動機構を備える。水平移動機構は、アーム支持部104を支持する2本のレール103を有し、操作レバー108に対してレール103の延在方向の外力が加わると、レール103上をアーム支持部104が操作レバー108とともに外力の方向に移動するように構成されている。上下移動機構は、水平移動機構を支持し、操作レバー108の回転盤109と連結する偏心カム110を備え、操作レバー108が回動すると、偏心カム110が操作レバー108の回転盤109に連動して回転し、水平移動機構が上下方向に移動するように構成されている。
【選択図】 図1
Description
2 位置決め機構
3 近接スイッチ
4 フォーク
5 ピン
6 レバー
7 筒部
8 ステーション
9 フォークガイド
10 キャリア
11 孔
12 キャスター
13 レール
15 ハンドル
18 ウェハ
100 搬送台車
101 ウェハキャリア
102 アーム
103 レール
104 アーム支持部
105 天面
106 台車本体
107 車輪
108 操作レバー
109 回転軸
110 偏心カム
111 シャフト
112 案内部
113 板状部材
115 各種装置
117 固定装置
119 受け部
121 回転中心
123 ロール
125 回転中心
127 ロール支持部
301 ウェハキャリア
302 アーム
304 アーム支持部
306 台車本体
307 車輪
308 昇降レバー
315 装置
317 固定装置
318 スライドレバー
321 受け部
Claims (5)
- 台車本体と、
前記台車本体の上部に設けられ、ウェハキャリアを保持する保持部と、
前記保持部を水平方向に移動する水平移動機構と、
前記水平移動機構を上下方向に移動する上下移動機構と、
前記水平移動機構および前記上下移動機構を操作する操作レバーと、
を備え、
前記水平移動機構は、前記保持部を水平方向に案内するレールを含み、
前記上下移動機構は、
前記水平移動機構を支持する偏心カムと、
前記偏心カムを貫通するとともに前記操作レバーにより回転可能に構成された回転軸と、
を含み、
前記操作レバーに対して前記レールの延在方向の外力が加わると、前記操作レバーが前記保持部とともに前記レール上を前記外力の方向に移動し、
前記操作レバーが回動すると前記偏心カムが連動して回転し、前記水平移動機構が上下方向に移動するように構成されている
ことを特徴とする搬送台車。 - 請求項1に記載の搬送台車において、
前記操作レバーは、前記保持部の側面のうち、前記レールの延在方向に略直交する側面に設けられており、前記レールの延在方向と略直交する平面内で回転する
ことを特徴とする搬送台車。 - 請求項1または2に記載の搬送台車において、
前記回転軸は、前記操作レバーの一端を挿通し、
前記操作レバーは、前記回転軸に沿って移動可能に構成されている
ことを特徴とする搬送台車。 - 請求項1乃至3いずれかに記載の搬送台車において、
前記偏心カムが複数設けられていることを特徴とする搬送台車。 - 請求項1乃至4いずれかに記載の搬送台車において、
前記台車本体は、手押し操作により移動可能であることを特徴とする搬送台車。
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