JP2006007287A - レーザ加工方法と加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 外側に膨らませる曲線の半径を算出するための補正データを記憶する手段と、レーザ照射不足を補うために上記座標データに座標を追加するデータを記憶する手段、さらに、レーザ照射位置を読取る手段を設け、照射開始と終了のタイミングを調整する手段を備えている。そして、この構成により、まず、第1の方法として加工する曲線が上記追従遅れにより内回りする現象に対し、外側に膨らませる曲線の半径を前記記憶手段から取り出して座標補正を行って、加工する曲線にレーザ照射を重ね合わせることができる。
【選択図】 図1
Description
(実施の形態1)
図1は本発明における円形描画を行った際の座標データの補正位置と実際のレーザ照射位置を示すものである。11は補正された指令座標のポイント、12は補正された指令座標の2周目のポイント、13は実際のレーザ照射ポイント、14は実際のガルバノの移動経路、15はガルバノに与える指令経路を示す。
(実施の形態2)
図7はレーザの照射位置をモニタリングしてその曲率半径が規定範囲内だけレーザパルスを照射するタイミングの説明を示す図である。
(実施の形態3)
図9はレーザ照射の回転回数が2回あるいは複数回の場合のレーザ照射ポイントの設定方法を示した図である。
12 第2周目の補正指令ポイント
13 レーザ照射ポイント
14 実際のガルバノ移動経路
15 ガルバノ指令経路
31 加工データ送信制御部
32 レーザ発振器
33 ガルバノスキャナ
34 fθスキャンレンズ
35 被加工物
36 加工穴
37 加工テーブル
81 回転半径算出手段
82 安定動作判定手段
83 レーザ照射指令制御手段
91 第1,3周目の補正指令ポイント
92 第2,4周目の補正指令ポイント
101 第1周目の補正指令ポイント
102 第2周目の補正指令ポイント
103 第3周目の補正指令ポイント
Claims (14)
- レーザ光と被加工物を相対移動する駆動手段と、前記駆動手段に動作指令を与える制御手段を備え、前記制御手段は、前記駆動手段の動作指令に対する追従遅れに応じて補正した補正動作指令を前記駆動手段に与える装置において、制御手段は、駆動手段による加工穴直径に対する加工速度に応じて選択または演算して補正量を求めるレーザ加工装置。
- レーザ光と被加工物の相対移動が曲線を含む場合、駆動手段による加工穴直径に対する加工速度に対応させて、求める曲線の曲率または径と補正せずに相対移動した際の曲率または径との比を拡大率として記憶した記憶手段と、前記駆動手段の加工穴直径に対する加工速度に応じた拡大率を前記記憶手段から選択し、前記選択した拡大率と求める曲線から補正量を前記制御手段が求める請求項1記載のレーザ加工装置。
- レーザ光と被加工物の相対移動が円を含む場合、前記駆動手段の動作指令に対する追従遅れに応じて円上のレーザ光の加工開始点と少なくとも1周または複数回数回った後の加工点を一致させるように動作指令を制御手段で補正する装置において、求める円の終了点と補正せずに相対移動した際の終了点との差分をオーバーラップ角度として記憶した記憶手段と、前記駆動手段の加工穴直径に対する加工速度に応じたオーバーラップ角度を前記記憶手段から選択し、前記選択したオーバーラップ角度と求める請求項1から2の何れかに記載のレーザ加工装置。
- レーザ光を走査して移動させる駆動手段とレーザパルスを照射させるレーザ出力波形を生成する制御手段を備え、前記駆動手段のレーザ光の現在位置を示す位置波形が所定の位置である時に前記制御手段がレーザパルス照射を行うレーザ加工装置。
- レーザ光の所望の軌跡座標を記憶した記憶手段とレーザ光の現在位置を示す位置波形を生成しその座標が確認できる制御手段を備え、前記記憶手段に記憶された軌跡座標と前記制御手段による現在位置座標の差分に対し、判定手段が規定範囲内かどうかを判断する請求項4記載のレーザ加工装置。
- レーザ光と被加工物の相対移動が曲線または円を含み、その回転数が2周以上の複数回数の場合、位置演算手段が前回の周回の隣り合ったレーザパルス照射位置の中間の位置に照射位置を設定するレーザ加工装置。
- レーザ光と被加工物の相対移動が2周以上の複数回数の場合、前回の周回のレーザパルス照射位置を記憶する記憶手段と隣り合う2点間の中間点を求める演算手段を備えた請求項6記載のレーザ加工装置。
- レーザ光と被加工物の相対移動が曲線または円を含み、その回転数が3周以上の複数回数で全ての照射ポイントを重複させない場合、位置演算手段が前回の周回の隣り合ったレーザパルス照射位置の2点間を3以上に分割した照射位置に設定するレーザ加工装置。
- レーザ光と被加工物の相対移動が3周以上の複数回数で全ての照射ポイントを重複させない場合、第1周目のレーザパルス照射位置を記憶する記憶手段と第2周以降の隣り合う2点間を3以上で分割して求める演算手段を備えた請求項8記載のレーザ加工装置
- レーザ光と被加工物を相対移動する駆動手段と、前記駆動手段に動作指令を与える制御手段を備え、前記制御手段は、前記駆動手段の動作指令に対する追従遅れに応じて補正した補正動作指令を前記駆動手段に与える装置において、
請求項1記載の方法でレーザ光の照射位置を補正し、請求項4記載の方法でレーザパルスの照射開始位置を制御するレーザ加工装置。 - レーザ光と被加工物を相対移動する駆動手段と、前記駆動手段に動作指令を与える制御手段を備え、前記制御手段は、前記駆動手段の動作指令に対する追従遅れに応じて補正した補正動作指令を前記駆動手段に与える装置において、請求項1記載の方法でレーザ光の照射位置を補正し、レーザ光と被加工物の相対移動が曲線または円を含み、その回転数が2周以上の複数回数の場合、請求項6記載の方法で第2周目以降の照射位置を設定するレーザ加工装置。
- レーザ光と被加工物を相対移動する駆動手段と、前記駆動手段に動作指令を与える制御手段を備え、前記制御手段は、前記駆動手段の動作指令に対する追従遅れに応じて補正した補正動作指令を前記駆動手段に与える装置において、請求項1記載の方法でレーザ光の照射位置を補正し、レーザ光と被加工物の相対移動が曲線または円を含み、その回転数が3周以上の複数回数で全ての照射ポイントを重複させない場合、請求項8記載の方法で第2周目以降の照射位置を設定するレーザ加工装置。
- レーザ光と被加工物を相対移動する駆動手段と、前記駆動手段に動作指令を与える制御手段を備え、前記制御手段は、前記駆動手段の動作指令に対する追従遅れに応じて補正した補正動作指令を前記駆動手段に与える装置において、請求項1記載の方法でレーザ光の照射位置を補正し、請求項4記載の方法でレーザパルスの照射開始位置を制御し、さらに、レーザ光と被加工物の相対移動が曲線または円を含み、その回転数が2周以上の複数回数の場合、請求項6記載の方法で第2周目以降の照射位置を設定するレーザ加工装置。
- レーザ光と被加工物を相対移動する駆動手段と、前記駆動手段に動作指令を与える制御手段を備え、前記制御手段は、前記駆動手段の動作指令に対する追従遅れに応じて補正した補正動作指令を前記駆動手段に与える装置において、請求項1記載の方法でレーザ光の照射位置を補正し、請求項4記載の方法でレーザパルスの照射開始位置を制御し、さらに、レーザ光と被加工物の相対移動が曲線または円を含み、その回転数が3周以上の複数回数で全ての照射ポイントを重複させない場合、請求項8記載の方法で第2周目以降の照射位置を設定するレーザ加工装置。
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