JP2006006243A - ナノピラー、その製造方法およびナノピラーを用いたマイクロチップ - Google Patents
ナノピラー、その製造方法およびナノピラーを用いたマイクロチップ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006006243A JP2006006243A JP2004190105A JP2004190105A JP2006006243A JP 2006006243 A JP2006006243 A JP 2006006243A JP 2004190105 A JP2004190105 A JP 2004190105A JP 2004190105 A JP2004190105 A JP 2004190105A JP 2006006243 A JP2006006243 A JP 2006006243A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nanopillar
- metal
- substrate
- nanopillars
- resistance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Separation Of Solids By Using Liquids Or Pneumatic Power (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Automatic Analysis And Handling Materials Therefor (AREA)
- Apparatus Associated With Microorganisms And Enzymes (AREA)
- Electrostatic Separation (AREA)
Abstract
【課題】
耐性の高いナノピラーを得る。
【解決手段】
マイクロチップ基板への金薄膜の蒸着を10〜20nmの厚さに行い、その後チップを400〜600度で1時間程度熱処理して自己組織化させることにより、金属によるランダムピラー構造のナノピラーを基板上に形成させる。
【選択図】 図3
Description
S. W. Turner, A. Perez, A. Lopez and H.G. Graighead, J. Vac. Sci. Technol., B16(6), Nov/Dec, pp. 3835-3840(1998) Micro Total Analysis Systems 2003 Vol.2 p1315-1318
本発明は、耐性の高いナノピラーとその製造方法及びそのようなナノピラーを用いたチップを提供することを目的とする。
金属は自己組織化する金属であり、その一例は金又は白金であり、耐熱、滅菌、耐有機溶媒性、耐酸性、耐アルカリ性、又は耐薬品性を有している。
ここで、「自己組織化」とは散逸系での秩序形成が行われる性質を言う。
本発明のナノピラー製造方法は、基板へ自己組織化する金属薄膜の蒸着を行い、その後前記基板を熱処理して金属を自己組織化させることによって、ランダムナノピラー構造を前記基板上に形成させる方法である。
従来法ではナノスタンピング等で樹脂材料にナノピラーを形成していた。しかし、DNAを抽出する場合は樹脂材料チップでは200度滅菌操作に耐えられず、変形などを起こす場合がある。
それに対し、本発明でナノピラーの材料として金属を用いるので、従来品に比べ高温(200度)の滅菌処理や高い耐有機溶媒性、耐酸性、耐アルカリ性、耐薬品性、耐熱性をもち、連続分析や耐久性の面で非常に優れた効果を有する。
そのようなマイクロチップは生体高分子分離装置として利用することができる。
本発明の製造方法によれば、基板へ金属薄膜を蒸着し、その後熱処理するだけでランダムナノピラー構造を容易に形成させることができる。
図1(A)に示すように、ナノピラーを形成するマイクロチップは、ベースとなる石英製の下基板10にマイクロ流路(深さ150nm)を、例えばリソグラフィーとエッチングなどによって形成する。
基板10の流路内に、金を20nmの厚さになるように蒸着する。このとき、金属マスクなどのマスクを用いることにより、流路部分20のみに金を蒸着するようにする。
基板10には、流路20の拡大図(B)のようなランダムナノピラーが形成された。
サンプル入り口12及び出口14が形成されたカバーガラス16を基板10の流路形成面にフッ酸接合により密着して接合し、マイクロチップ基板とした。
カバーガラス16へのサンプル入り口12及び出口14は、サンドブラスト法などによって形成した。
ナノピラーの形成条件としては、金薄膜の厚さに関しては50nm以下の場合が好ましく、熱処理温度に関しては金薄膜の厚さが大きくなる程、高い温度が必要になる傾向を示している。
図5は図4中の線A−Bと線C−Dの断面形状を示している。図6及び図7の上側の図は図4中の線A−Bと線C−Dの線に沿った表面粗さ、下側の図は表面の凹凸を周波数分布として表したものである。
図5〜7より、本発明によって形成されたナノピラーは高さが50〜170nmで変動し、間隔も不揃いのランダム構造であることがわかる。
図9は図8中の線A−Bと線C−Dの断面形状を示している。図10及び11の上側の図は図8中の線A−Bと線C−Dの線に沿った表面粗さ、下側の図は表面の凹凸を周波数分布として表したものである。
図9〜11より、形成された金属の高さは0〜3nmで、ピラーは形成されておらず、平坦な表面に近いものとなっていることがわかる。
この性質を利用し、マイクロチップ基板を生体高分子装置に組み込み、流路中のフィルターとして用いると、μTAS(Micro Total Analysis Systems)や電気泳動チップなどに応用することができ、例えば、DNAやタンパク質の分離などを行なうことが可能な装置とすることができる。
12 試料導入穴
14 試料排出穴
16 カバーガラス
20 ナノピラー形成流路
Claims (5)
- 金属製で、複数の形状が混在したランダムピラー構造を含むナノピラー。
- 前記金属は自己組織化する金属である請求項1に記載のナノピラー。
- 前記金属は金又は白金である請求項2に記載のナノピラー。
- 基板内部に流路が形成され、前記流路の少なくとも一部を遮って請求項1から3のいずれかに記載のナノピラーが設けられていることを特徴とするマイクロチップ。
- 請求項1から3のいずれかに記載のナノピラーの製造法であって、基板へ自己組織化する金属薄膜を数十nm以下の厚さに蒸着法によって形成するステップと、その後前記基板を熱処理して金属を自己組織化させるステップとを備えていることを特徴とするナノピラー製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004190105A JP4412071B2 (ja) | 2004-06-28 | 2004-06-28 | フィルター、その製造方法およびそのフィルターを用いたマイクロチップ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004190105A JP4412071B2 (ja) | 2004-06-28 | 2004-06-28 | フィルター、その製造方法およびそのフィルターを用いたマイクロチップ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006006243A true JP2006006243A (ja) | 2006-01-12 |
JP4412071B2 JP4412071B2 (ja) | 2010-02-10 |
Family
ID=35774151
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004190105A Expired - Fee Related JP4412071B2 (ja) | 2004-06-28 | 2004-06-28 | フィルター、その製造方法およびそのフィルターを用いたマイクロチップ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4412071B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010122720A1 (ja) * | 2009-04-20 | 2010-10-28 | パナソニック株式会社 | 流路デバイス |
JP2014240065A (ja) * | 2013-05-15 | 2014-12-25 | 公立大学法人大阪府立大学 | 流路構造体および流路構造体の製造方法 |
WO2016083941A1 (en) * | 2014-11-26 | 2016-06-02 | International Business Machines Corporation | Pillar array structure with uniform and high aspect ratio nanometer gaps |
-
2004
- 2004-06-28 JP JP2004190105A patent/JP4412071B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010122720A1 (ja) * | 2009-04-20 | 2010-10-28 | パナソニック株式会社 | 流路デバイス |
JP2014240065A (ja) * | 2013-05-15 | 2014-12-25 | 公立大学法人大阪府立大学 | 流路構造体および流路構造体の製造方法 |
WO2016083941A1 (en) * | 2014-11-26 | 2016-06-02 | International Business Machines Corporation | Pillar array structure with uniform and high aspect ratio nanometer gaps |
US9636675B2 (en) | 2014-11-26 | 2017-05-02 | International Business Machines Corporation | Pillar array structure with uniform and high aspect ratio nanometer gaps |
GB2548723A (en) * | 2014-11-26 | 2017-09-27 | Ibm | Pillar array structure with uniform and high aspect ratio nanometer gaps |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4412071B2 (ja) | 2010-02-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6919002B2 (en) | Nanopore system using nanotubes and C60 molecules | |
US11442026B2 (en) | Crack structure and tunneling device with a layer exhibiting a crack-defined gap between two cantilevering parts | |
Shin et al. | Multicomponent nanopatterns by directed block copolymer self-assembly | |
US10393642B2 (en) | Pillar array structure with uniform and high aspect ratio nanometer gaps | |
KR102333635B1 (ko) | 광 방출의 검출을 개선시키기 위한 구조화 기판 및 이와 관련한 방법 | |
Fischbein et al. | Sub-10 nm device fabrication in a transmission electron microscope | |
Lyubchenko et al. | Atomic force microscopy of reovirus dsRNA: a routine technique for length measurements | |
US8202496B2 (en) | Separation device of molecules and production method thereof | |
Son et al. | Placement control of nanomaterial arrays on the surface-reconstructed block copolymer thin films | |
EP3545076A1 (en) | Nucleic acid sequencing device containing graphene | |
US20050176228A1 (en) | Controlled nanowire growth in permanent, integrated nano-templates and methods of fabricating sensor and transducer structures | |
CN1511625A (zh) | 无机纳米多孔膜及其形成方法 | |
JP2004233356A (ja) | ナノポアを通って移動するバイオポリマーの識別装置及び方法 | |
JP2014531327A5 (ja) | ||
Bhandaru et al. | Ordered alternating binary polymer nanodroplet array by sequential spin dewetting | |
Berenschot et al. | 3D nanofabrication of fluidic components by corner lithography | |
JP2008039541A (ja) | マイクロ流路チップ及びそれを用いた生体高分子の処理方法 | |
US20110021381A1 (en) | Method for immobilizing self-organizing material or fine particle on substrate, and substrate manufactured by using such method | |
JP4412071B2 (ja) | フィルター、その製造方法およびそのフィルターを用いたマイクロチップ | |
JP5142763B2 (ja) | 分子分析方法および分子分析素子 | |
Zhao et al. | Effects of polymer surface energy on morphology and properties of silver nanowire fabricated via nanoimprint and E-beam evaporation | |
Adam et al. | Recent advances in techniques for fabrication and characterization of nanogap biosensors: A review | |
KR20120018688A (ko) | 생물분자 고정화용 패턴화 기판, 이의 제조 방법 및 바이오칩용 마이크로어레이 센서 | |
Chang | Thermal reflow of plasma-polymerized fluorocarbon for nanochannels and particle encapsulation | |
KR100948595B1 (ko) | 표면 개질형 나노선 센서 및 그 제작 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060905 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090707 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090902 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20091027 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20091109 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121127 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4412071 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121127 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131127 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |