JP2006003318A - レーザラマン分光による気泡内ガス分析装置及び分析法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本レーザラマン分光による気泡内ガス成分分析装置は、レーザラマン光学系を有し、試料近傍での空気励起を防止する第1の空気励起防止手段と、反射または散乱したレーザ光線が絞られる中間集光位置での空気励起を防止する第2の空気励起防止手段を設け、レーザラマン光学系における空気励起を防止して分析を行なう。また、気泡内ガス成分分析方法。
【選択図】 図1
Description
図1に示すような本発明の第1実施形態に係るレーザラマン分光による気泡内ガス成分分析装置を用い、出力1WのAr514nmレーザ光を石英ガラスに生じた直径50μmの微小気泡に照射し、気泡内ガス成分の検出を試みた(実施例1)。
結果を図6に示す。試料近傍及び中間集光位置での空気励起を防止した実施例1及び実施例2は、いずれも空気の成分であるN2とO2ピークは検出されず、実施例1及び実施例2によれば、微小気泡内ガス成分の検出が確実にかつ容易に行なうことができることがわかった。
2 石英ガラス製セル
3 対物レンズ
4 フィルタ
5 中間絞り
6 集光レンズ
7 CCD
8 演算処理手段
9 ディスプレー
Claims (4)
- レーザ光を試料ガラス中の気泡に照射して前記気泡内部のガス成分から発生するラマン散乱光を測定することにより、内部ガス成分を分析するレーザラマン分光装置において、前記試料近傍での空気励起を防止する第1の空気励起防止手段と、反射または散乱したレーザ光線が絞られる中間集光位置での空気励起を防止する第2の空気励起防止手段を設け、レーザラマン光学系における前記試料近傍と前記中間集光位置での空気励起を防止してガス成分の分析を行なうことを特徴とするレーザラマン分光による気泡内ガス成分分析装置。
- 前記第1の空気励起防止手段は、試料の周囲を囲み、内部が真空あるいはガス封入された石英ガラス製セルであり、前記第2の空気励起防止手段は、試料から反射または散乱したレーザ光線をカットし、ラマン散乱光を集光し検出するレーザラマン光学系に於ける中間集光位置と試料の間に設置されたフィルタであることを特徴とする請求項1に記載のレーザラマン分光による気泡内ガス成分分析装置。
- 前記第1の空気励起防止手段は、試料の周囲を囲み、内部が真空あるいはガス封入された石英ガラス製セルであり、前記第2の空気励起防止手段は、前記石英ガラス製セルを形成し、入射レーザ光を吸収するフィルタ材あるいは石英ガラスセルに色フィルタを貼り付けた部材であることを特徴とする請求項1に記載のレーザラマン分光による気泡内ガス成分分析装置。
- レーザ光をガラス中の気泡に照射して気泡内部のガス成分から発生するラマン散乱光を測定することにより、内部ガス成分を分析するレーザラマン分光による気泡内ガス成分分析法において、試料近傍での空気励起を防止する第1の空気励起防止手段及び反射または散乱したレーザ光線が絞られる中間集光位置での空気励起を防止する第2の空気励起防止手段により、レーザラマン光学系における前記試料近傍と前記中間集光位置での空気励起を防止してガス成分の分析を行なうことを特徴とするレーザラマン分光による気泡内ガス成分分析法。
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