JP2006003186A - 振動式圧力センサ - Google Patents
振動式圧力センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006003186A JP2006003186A JP2004179125A JP2004179125A JP2006003186A JP 2006003186 A JP2006003186 A JP 2006003186A JP 2004179125 A JP2004179125 A JP 2004179125A JP 2004179125 A JP2004179125 A JP 2004179125A JP 2006003186 A JP2006003186 A JP 2006003186A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- pressure sensor
- beam portion
- detection
- type pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0001—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
- G01L9/0008—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations
- G01L9/0019—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations of a semiconductive element
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
【課題】 出力が2倍に出来、信号増加によるS/N比が向上された振動式圧力センサを実現する。
【解決手段】 測定圧が加えられる測定ダイアフラムと、この測定ダイアフラムに設けられた半導体よりなる振動梁とを具備する振動式圧力センサにおいて、
互いに平行に配置された第1,第2の振動梁と前記第1の振動梁と第2の振動梁とを連結する少なくとも1個の連結梁部とを有する振動梁本体と、前記第1の振動梁と第2の振動梁の軸方向の少なくとも一側面側に設けられ導電体よりなる駆動振動梁部と、前記第1の振動梁と第2の振動梁の軸方向の他側面側にそれぞれ設けられた第1,第2の導電体よりなる検出振動梁部とを具備したことを特徴とする振動式圧力センサである。
【選択図】 図1
【解決手段】 測定圧が加えられる測定ダイアフラムと、この測定ダイアフラムに設けられた半導体よりなる振動梁とを具備する振動式圧力センサにおいて、
互いに平行に配置された第1,第2の振動梁と前記第1の振動梁と第2の振動梁とを連結する少なくとも1個の連結梁部とを有する振動梁本体と、前記第1の振動梁と第2の振動梁の軸方向の少なくとも一側面側に設けられ導電体よりなる駆動振動梁部と、前記第1の振動梁と第2の振動梁の軸方向の他側面側にそれぞれ設けられた第1,第2の導電体よりなる検出振動梁部とを具備したことを特徴とする振動式圧力センサである。
【選択図】 図1
Description
本発明は、出力が2倍に出来、信号増加によるS/N比が向上された振動式圧力センサに関するものである。
振動式圧力センサに関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
特開平4−116748号(第4−5頁、図4、図6、図7)
図8は、従来より一般に使用されている従来例の要部構成説明図で、例えぱ実開平4−116748号、考案の名称「振動形圧カ測定装置」に示されている。
図9は図8の要部拡大説明図詳細図、図10は図9の要部拡大説明図、図11は図8の動作説明図、図12は図8の動作説明図、図13は図8の動作説明図である。
振動形センサを圧カ測定装置に使用した例である。
図9は図8の要部拡大説明図詳細図、図10は図9の要部拡大説明図、図11は図8の動作説明図、図12は図8の動作説明図、図13は図8の動作説明図である。
振動形センサを圧カ測定装置に使用した例である。
図において、1は半導体単結晶からなるセンサチツプである。
2は、センサチップ1に設けられた凹部3により形成され測定圧Pmを受圧する測定ダイアフラムである。
2は、センサチップ1に設けられた凹部3により形成され測定圧Pmを受圧する測定ダイアフラムである。
4は測定ダイアフラム2に埋込み設けられた歪み検出センサで、振動子が使用されている。
5は封止用の半導体エピタキシャル成長層からなるシェルで、振動子4を測定ダイアフラム2に封止する。
5は封止用の半導体エピタキシャル成長層からなるシェルで、振動子4を測定ダイアフラム2に封止する。
6は、振動子4の周囲の、振動子4と、測定ダイアフラム2およびシェル5との間に設けられた真空室である。
振動子4は、図11、図12に示す如く、永久磁石7による磁場と、振動子4に接続された閉ループ自励発振回路とにより、振動子4の固有振動で発振するように構成されている。
永久磁石7は、ヨーク8,ヨークホルダ9,スペーサ11を介して、振動子4に対向して配置されている。
なお、図12においては、振動子4はH形状が採用されている。
永久磁石7は、ヨーク8,ヨークホルダ9,スペーサ11を介して、振動子4に対向して配置されている。
なお、図12においては、振動子4はH形状が採用されている。
21は、底部22側にヨークホルダ9がすきま嵌めされ、振動子4の方向に底部22が、ヨークホルダ9をスペーサ11に押圧し、開口部23側に支持体12がすきま嵌めされ、開口縁部24において支持体12に溶接25固定される弾性を有する断面U字形状のキャツプ体である。
キャップ体21は、ヨークホルダ9と支持体12に対して熱膨脹係数が近い材料からなり、振動子4と磁石7との相対位置を精度よく設定する。
26は底部22の中央部に設けられた孔である。
26は底部22の中央部に設けられた孔である。
以上の構成において、測定ダイアフラム2に測定圧力Pmが加わると、振動子4の軸カが変化し、固有振動数が変化するため、発振周波数の変化により測定圧カPmの測定が出来る。
この場合、振動子4の励振側に駆動電流i0を流してH型の振動子4を励振させ、検出側に発生する誘導起電力eoutにより共振周波数を検出する。
ここで、図13に示す如く、R1は振動子4の抵抗、R2はシェル5の抵抗である。
この場合、振動子4の励振側に駆動電流i0を流してH型の振動子4を励振させ、検出側に発生する誘導起電力eoutにより共振周波数を検出する。
ここで、図13に示す如く、R1は振動子4の抵抗、R2はシェル5の抵抗である。
しかしながら、このような装置においては、振動子の励振側に駆動電流i0を流してH型の振動子を振動させる。そのとき検出側に発生する誘導起電力eoutにより周波数を検出する。入力梁と出力梁は分かれている。
振動子形状、磁束密度強さ等の制限により、出力電圧eoutが小さい。
素子を現在よりも小型化しようとすると出力電圧が小さくなりS/N比が低下し、信号検出が困難になるため、小型化できない。
振動子形状、磁束密度強さ等の制限により、出力電圧eoutが小さい。
素子を現在よりも小型化しようとすると出力電圧が小さくなりS/N比が低下し、信号検出が困難になるため、小型化できない。
要するに、
振動子形状、磁束密度などの制限により、出力電圧eoutが小さい。
振動子とシェル部が電気的に絶縁されていないため、駆動電流i0がシェル側に漏れる。
振動子の励振側と検出側が電気的に絶縁されていないため、駆動電流i0が検出側にもれ、クロストークレベルを増大させる。
上記により、振動子4の出力電圧のS/N比が悪化する。
振動子形状、磁束密度などの制限により、出力電圧eoutが小さい。
振動子とシェル部が電気的に絶縁されていないため、駆動電流i0がシェル側に漏れる。
振動子の励振側と検出側が電気的に絶縁されていないため、駆動電流i0が検出側にもれ、クロストークレベルを増大させる。
上記により、振動子4の出力電圧のS/N比が悪化する。
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、出力が2倍に出来、信号増加によるS/N比が向上され、使用上の制限をなくした高感度かつダイナミックレンジの大きな振動式センサを提供することを目的とする。
このような課題を達成するために、本発明では、請求項1の振動式圧力センサにおいては、
測定圧が加えられる測定ダイアフラムと、この測定ダイアフラムに設けられた半導体よりなる振動梁とを具備する振動式圧力センサにおいて、
互いに平行に配置された第1,第2の振動梁と前記第1の振動梁と第2の振動梁とを連結する少なくとも1個の連結梁部とを有する振動梁本体と、前記第1の振動梁と第2の振動梁の軸方向の少なくとも一側面側に設けられ導電体よりなる駆動振動梁部と、前記第1の振動梁と第2の振動梁の軸方向の他側面側にそれぞれ設けられた第1,第2の導電体よりなる検出振動梁部とを具備したことを特徴とする。
測定圧が加えられる測定ダイアフラムと、この測定ダイアフラムに設けられた半導体よりなる振動梁とを具備する振動式圧力センサにおいて、
互いに平行に配置された第1,第2の振動梁と前記第1の振動梁と第2の振動梁とを連結する少なくとも1個の連結梁部とを有する振動梁本体と、前記第1の振動梁と第2の振動梁の軸方向の少なくとも一側面側に設けられ導電体よりなる駆動振動梁部と、前記第1の振動梁と第2の振動梁の軸方向の他側面側にそれぞれ設けられた第1,第2の導電体よりなる検出振動梁部とを具備したことを特徴とする。
本発明の請求項2においては、請求項1記載の振動式圧力センサにおいて、
前記第1の検出振動梁部の一端と前記第2の検出振動梁部の一端とを電気的に接続する検出振動梁部接続部を具備したことを特徴とする請求項1記載の振動式圧力センサ。
ことを特徴とする。
前記第1の検出振動梁部の一端と前記第2の検出振動梁部の一端とを電気的に接続する検出振動梁部接続部を具備したことを特徴とする請求項1記載の振動式圧力センサ。
ことを特徴とする。
本発明の請求項3においては、請求項1又は請求項2記載の振動式圧力センサにおいて、
前記検出振動梁部接続部は前記連結梁部に設けられたことを特徴とする。
前記検出振動梁部接続部は前記連結梁部に設けられたことを特徴とする。
本発明の請求項4においては、請求項1乃至請求項3の何れかに記載の振動式圧力センサにおいて、
前記振動梁本体は,シリコン材よりなることを特徴とする。
を特徴とする。
前記振動梁本体は,シリコン材よりなることを特徴とする。
を特徴とする。
本発明の請求項5においては、請求項1乃至請求項4の何れかに記載の振動式圧力センサにおいて、
前記駆動振動梁部と前記検出振動梁部とが絶縁帯もしくはPNジャンクションで電気的に絶縁されたことを特徴とする。
前記駆動振動梁部と前記検出振動梁部とが絶縁帯もしくはPNジャンクションで電気的に絶縁されたことを特徴とする。
本発明の請求項6においては、請求項1乃至請求項4の何れかに記載の振動式圧力センサにおいて、
前記駆動振動梁部は、前記振動梁本体にボロンあるいはリンを注入して形成されたことを特徴とする。
前記駆動振動梁部は、前記振動梁本体にボロンあるいはリンを注入して形成されたことを特徴とする。
本発明の請求項7においては、請求項1乃至請求項6の何れかに記載の振動式圧力センサにおいて、
前記検出振動梁部は、前記振動梁本体にボロンあるいはリンを注入して形成されたことを特徴とする。
前記検出振動梁部は、前記振動梁本体にボロンあるいはリンを注入して形成されたことを特徴とする。
本発明の請求項8においては、請求項1乃至請求項7の何れかに記載の振動式圧力センサにおいて、
前記第1の振動梁と前記第2の振動梁とは逆相に振動されたことを特徴とする。
前記第1の振動梁と前記第2の振動梁とは逆相に振動されたことを特徴とする。
本発明の請求項1及び請求項2によれば、次のような効果が得られる。
検出振動梁部が、従来例より2倍の長さにすることができるので、振動子の出力を2倍にすることができる振動式圧力センサが得られる。
出力が大きく出来るので、S/N比が向上された振動式圧力センサが得られる。
検出振動梁部が、従来例より2倍の長さにすることができるので、振動子の出力を2倍にすることができる振動式圧力センサが得られる。
出力が大きく出来るので、S/N比が向上された振動式圧力センサが得られる。
出力が2倍になれば振動子長を半分にすることができるため、素子の小型化が可能となる。
素子の小型化ができるとセンサチップの小型化ができるため、センサチップのコストダウンが図れる振動式圧力センサが得られる。
素子の小型化ができるとセンサチップの小型化ができるため、センサチップのコストダウンが図れる振動式圧力センサが得られる。
素子の小型化により振動子とダイアフラムの質量比を大きくすることが可能であり、スプリアスの影響が小さくなる振動式圧力センサが得られる。
素子の小型化により素子を使用する計測器としての小型化も可能となり、大幅なコストダウンが見込める振動式圧力センサが得られる。
素子の小型化により素子を使用する計測器としての小型化も可能となり、大幅なコストダウンが見込める振動式圧力センサが得られる。
本発明の請求項3によれば、次のような効果が得られる。
検出振動梁部接続部は連結梁部に設けられたことので、半導体製造プロセスにおいて、同時に作り込むことができ、安価な振動式圧力センサが得られる。
検出振動梁部接続部は連結梁部に設けられたことので、半導体製造プロセスにおいて、同時に作り込むことができ、安価な振動式圧力センサが得られる。
本発明の請求項4によれば、次のような効果が得られる。
振動梁本体は,シリコン材よりなるので、シリコン材は市場性があり安価に入手出来るので、安価な振動式圧力センサが得られる。
振動梁本体は,シリコン材よりなるので、シリコン材は市場性があり安価に入手出来るので、安価な振動式圧力センサが得られる。
本発明の請求項5によれば、次のような効果が得られる。
駆動振動梁部と検出振動梁部とが絶縁帯もしくはPNジャンクションで電気的に絶縁されたので、クロストークレベルが下がる振動式圧力センサが得られる。
駆動振動梁部と検出振動梁部とが絶縁帯もしくはPNジャンクションで電気的に絶縁されたので、クロストークレベルが下がる振動式圧力センサが得られる。
本発明の請求項6によれば、次のような効果が得られる。
駆動振動梁部は、振動梁本体にボロンあるいはリンを注入して形成されたので、半導体プロセスを容易に利用することが出来、PNジャンクションによる検出振動梁部と絶縁が容易に出来、安価な振動式圧力センサが得られる。
駆動振動梁部は、振動梁本体にボロンあるいはリンを注入して形成されたので、半導体プロセスを容易に利用することが出来、PNジャンクションによる検出振動梁部と絶縁が容易に出来、安価な振動式圧力センサが得られる。
本発明の請求項7によれば、次のような効果が得られる。
検出振動梁部は、振動梁本体にボロンあるいはリンを注入して形成されたので、半導体プロセスを容易に利用することが出来、PNジャンクションによる検出振動梁部と絶縁が容易に出来、安価な振動式圧力センサが得られる。
検出振動梁部は、振動梁本体にボロンあるいはリンを注入して形成されたので、半導体プロセスを容易に利用することが出来、PNジャンクションによる検出振動梁部と絶縁が容易に出来、安価な振動式圧力センサが得られる。
本発明の請求項8によれば、次のような効果が得られる。
第1の振動梁と第2の振動梁とは逆相に振動されたので、差動結合により、2本の梁に同相で存在するノイズは容易に打ち消すことが出来、しかも2倍の出力が容易に得られる振動式圧力センサが得られる。
第1の振動梁と第2の振動梁とは逆相に振動されたので、差動結合により、2本の梁に同相で存在するノイズは容易に打ち消すことが出来、しかも2倍の出力が容易に得られる振動式圧力センサが得られる。
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図1は本発明の一実施例の要部構成説明図、図2は図1の動作説明図である。
図において、振動梁本体30は、第1,第2の振動梁31,32と連結梁部33とを有する。
図1は本発明の一実施例の要部構成説明図、図2は図1の動作説明図である。
図において、振動梁本体30は、第1,第2の振動梁31,32と連結梁部33とを有する。
第1,第2の振動梁31,32とは、互いに平行に配置されている。
少なくとも1個の連結梁部33は、第1の振動梁31と第2の振動梁32とを連結する。
駆動振動梁部34は、第1の振動梁31と第2の振動梁32の軸方向の少なくとも一側面側に設けられ導電体よりなる。
検出振動梁部35、36は、第1の振動梁31と第2の振動梁32の軸方向の他側面側にそれぞれ設けられている。
少なくとも1個の連結梁部33は、第1の振動梁31と第2の振動梁32とを連結する。
駆動振動梁部34は、第1の振動梁31と第2の振動梁32の軸方向の少なくとも一側面側に設けられ導電体よりなる。
検出振動梁部35、36は、第1の振動梁31と第2の振動梁32の軸方向の他側面側にそれぞれ設けられている。
検出振動梁部接続部37は、第1の検出振動梁部の一端と前記第2の検出振動梁部の一端とを電気的に接続する。
この場合は、振動梁本体30は、シリコン材よりなる。
また、振動梁本体30は、測定ダイアフラム2に絶縁膜(図示せず)を介して設けられている。この場合は、絶縁膜は酸化シリコン膜が使用されている。
この場合は、振動梁本体30は、シリコン材よりなる。
また、振動梁本体30は、測定ダイアフラム2に絶縁膜(図示せず)を介して設けられている。この場合は、絶縁膜は酸化シリコン膜が使用されている。
駆動振動梁部34と検出振動梁部35,36とは、絶縁帯もしくはPNジャンクションで電気的に絶縁されている。
駆動振動梁部34は、振動梁本体30にボロンあるいはリンを注入して形成されている。
検出振動梁部35,36は、振動梁本体30にボロンあるいはリンを注入して形成されている。
駆動振動梁部34は、振動梁本体30にボロンあるいはリンを注入して形成されている。
検出振動梁部35,36は、振動梁本体30にボロンあるいはリンを注入して形成されている。
以上の構成において、H型振動子は、駆動振動梁部34に交流電流を流すと、検出振動梁部35と検出振動梁部36とで逆相の誘導起電力が発生し、図2に示す如く、検出振動梁部35と検出振動梁部36とが逆相で振動する。
直,図2において、点線は振動前の形状Cを示す。
導体が磁束を横切ることにより、検出振動梁部35と検出振動梁部36には交流の誘導起電力が発生する。
直,図2において、点線は振動前の形状Cを示す。
導体が磁束を横切ることにより、検出振動梁部35と検出振動梁部36には交流の誘導起電力が発生する。
検出振動梁部接続部37を基準とすると、検出振動梁部35には+E(または-E)の起電力が発生し、検出振動梁部36には-E(または+E)の起電力が発生する。検出振動梁部接続部37を基準とした場合、検出振動梁部35と、検出振動梁部36とには常に逆相の起電力が発生する。
検出振動梁部35-検出振動梁部36から起電力を取り出すと+E-(-E)=2Eとなり、を入力、出振動梁部36を出力とするよりも同じ振動子の長さで2倍の出力が取り出せる。
この結果、
本発明によれば、次のような効果がある。
検出振動梁部35,36が、従来例より2倍の長さにすることができるので、振動子の出力を2倍にすることができる振動式圧力センサが得られる。
出力が大きく出来るので、S/N比が向上された振動式圧力センサが得られる。
本発明によれば、次のような効果がある。
検出振動梁部35,36が、従来例より2倍の長さにすることができるので、振動子の出力を2倍にすることができる振動式圧力センサが得られる。
出力が大きく出来るので、S/N比が向上された振動式圧力センサが得られる。
出力が2倍になれば振動子長を半分にすることができるため、素子の小型化が可能となる。
素子の小型化ができるとセンサチップ1の小型化ができるため、センサチップ1のコストダウンが図れる振動式圧力センサが得られる。
素子の小型化ができるとセンサチップ1の小型化ができるため、センサチップ1のコストダウンが図れる振動式圧力センサが得られる。
素子の小型化により振動子とダイアフラム2の質量比を大きくすることが可能であり、スプリアスの影響が小さくなる振動式圧力センサが得られる。
素子の小型化により素子を使用する計測器としての小型化も可能となり、大幅なコストダウンが見込める振動式圧力センサが得られる。
素子の小型化により素子を使用する計測器としての小型化も可能となり、大幅なコストダウンが見込める振動式圧力センサが得られる。
第1の検出振動梁部35の一端と第2の検出振動梁部36の一端とを電気的に接続する検出振動梁部接続部37が設けられたので、検出振動梁部35,36は従来例より実質的に2倍の長さとなり、振動子の出力を2倍にすることができる振動式圧力センサが得られる。
振動梁本体30は,シリコン材よりなるので、シリコン材は市場性があり安価に入手出来るので、安価な振動式圧力センサが得られる。
駆動振動梁部34と検出振動梁部35,36とが絶縁帯もしくはPNジャンクションで電気的に絶縁されたので、クロストークレベルが下がる振動式圧力センサが得られる。
駆動振動梁部34は、振動梁本体30にボロンあるいはリンを注入して形成されたので、半導体プロセスを容易に利用することが出来、安価な振動式圧力センサが得られる。
検出振動梁部35,36は、振動梁本体30にボロンあるいはリンを注入して形成されたので、半導体プロセスを容易に利用することが出来、安価な振動式圧力センサが得られる。
振動梁本体30は、測定ダイアフラム2に絶縁膜を介して設けられたので、振動子とダイアフラム2が絶縁膜により絶縁されているため、駆動電流がダイアフラム2に洩れない振動式圧力センサが得られる。
絶縁膜は、酸化シリコン膜が使用されたので、酸化シリコン膜は半導体プロセスを容易に利用することが出来、安価な振動式圧力センサが得られる。
第1の振動梁31と第2の振動梁32とは逆相に振動されたので、差動結合により、ノイズは容易に打ち消すことが出来、しかも2倍の出力が容易に得られる振動式圧力センサが得られる。
図3は本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
本実施例においては、検出振動梁部接続部37は連結梁部3に設けられている。
この結果、検出振動梁部接続部37は連結梁部33に設けられたので、半導体製造プロセスにおいて、同時に作り込むことができ、安価な振動式圧力センサが得られる。
本実施例においては、検出振動梁部接続部37は連結梁部3に設けられている。
この結果、検出振動梁部接続部37は連結梁部33に設けられたので、半導体製造プロセスにおいて、同時に作り込むことができ、安価な振動式圧力センサが得られる。
図4は本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
本実施例においては、連結梁部33が3個設けられたものである。
本実施例においては、連結梁部33が3個設けられたものである。
図5は本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
本実施例においては、連結梁部33が2個途中に設けられたものである。
本実施例においては、連結梁部33が2個途中に設けられたものである。
図6は本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
本実施例においては、連結梁部33が1個途中に設けられたものである。
本実施例においては、連結梁部33が1個途中に設けられたものである。
図7は本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
本実施例においては、駆動振動梁部34が、第1,第2の振動梁に設けられたものである。
本実施例においては、駆動振動梁部34が、第1,第2の振動梁に設けられたものである。
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
1 センサチップ
2 測定ダイアフラム
3 凹部
4 歪み検出センサ
5 シェル
6 真空室
7 永久磁石
8 ヨーク
9 ヨークホルダ
11 スペーサ
21 キャツプ体
22 底部
23 開口部
24 開口縁部
25 溶接
26 孔
30 振動梁本体
31 第1の振動梁
32 第2の振動梁
33 連結梁部
34 駆動振動梁部
35 検出振動梁部
36 検出振動梁部
37 検出振動梁部接続部
C 振動前の形状
eout 誘導起電力
i0 駆動電流
R1 振動子の抵抗
R2 シェルの抵抗
2 測定ダイアフラム
3 凹部
4 歪み検出センサ
5 シェル
6 真空室
7 永久磁石
8 ヨーク
9 ヨークホルダ
11 スペーサ
21 キャツプ体
22 底部
23 開口部
24 開口縁部
25 溶接
26 孔
30 振動梁本体
31 第1の振動梁
32 第2の振動梁
33 連結梁部
34 駆動振動梁部
35 検出振動梁部
36 検出振動梁部
37 検出振動梁部接続部
C 振動前の形状
eout 誘導起電力
i0 駆動電流
R1 振動子の抵抗
R2 シェルの抵抗
Claims (8)
- 測定圧が加えられる測定ダイアフラムと、この測定ダイアフラムに設けられた半導体よりなる振動梁とを具備する振動式圧力センサにおいて、
互いに平行に配置された第1,第2の振動梁と
前記第1の振動梁と第2の振動梁とを連結する少なくとも1個の連結梁部と
を有する振動梁本体と、
前記第1の振動梁と第2の振動梁の軸方向の少なくとも一側面側に設けられ導電体よりなる駆動振動梁部と、
前記第1の振動梁と第2の振動梁の軸方向の他側面側にそれぞれ設けられた第1,第2の導電体よりなる検出振動梁部と
を具備したことを特徴とする振動式圧力センサ。 - 前記第1の検出振動梁部の一端と前記第2の検出振動梁部の一端とを電気的に接続する検出振動梁部接続部
を具備したことを特徴とする請求項1記載の振動式圧力センサ。 - 前記検出振動梁部接続部は前記連結梁部に設けられたこと
を特徴とする請求項1又は請求項2記載の振動式圧力センサ。 - 前記振動梁本体は,シリコン材よりなること
を特徴とする請求項1乃至請求項3の何れかに記載の振動式圧力センサ。 - 前記駆動振動梁部と前記検出振動梁部とが絶縁帯もしくはPNジャンクションで電気的に絶縁されたこと
を特徴とする請求項1乃至請求項4の何れかに記載の振動式圧力センサ。 - 前記駆動振動梁部は、前記振動梁本体にボロンあるいはリンを注入して形成されたこと
を特徴とする請求項1乃至請求項5の何れかに記載の振動式圧力センサ。 - 前記検出振動梁部は、前記振動梁本体にボロンあるいはリンを注入して形成されたこと
を特徴とする請求項1乃至請求項6の何れかに記載の振動式圧力センサ。 - 前記第1の振動梁と前記第2の振動梁とは逆相に振動されたこと
を特徴とする請求項1乃至請求項7の何れかに記載の振動式圧力センサ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004179125A JP2006003186A (ja) | 2004-06-17 | 2004-06-17 | 振動式圧力センサ |
US11/153,665 US7013733B2 (en) | 2004-06-17 | 2005-06-15 | Silicon resonant type pressure sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004179125A JP2006003186A (ja) | 2004-06-17 | 2004-06-17 | 振動式圧力センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006003186A true JP2006003186A (ja) | 2006-01-05 |
Family
ID=35479195
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004179125A Pending JP2006003186A (ja) | 2004-06-17 | 2004-06-17 | 振動式圧力センサ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7013733B2 (ja) |
JP (1) | JP2006003186A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009186249A (ja) * | 2008-02-05 | 2009-08-20 | Yokogawa Electric Corp | 圧力測定装置 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7878069B2 (en) * | 2009-05-04 | 2011-02-01 | Kulite Semiconductor Products, Inc. | Torque insensitive header assembly |
GB2470398B (en) | 2009-05-21 | 2014-03-19 | Ge Infrastructure Sensing Inc | A resonant sensor for measuring the pressure of a fluid |
CN102374915B (zh) * | 2010-08-06 | 2013-05-22 | 中国科学院电子学研究所 | 一种电磁驱动谐振式微结构压力传感器封装方法 |
CN102374909A (zh) * | 2010-08-11 | 2012-03-14 | 中国科学院电子学研究所 | 基于微机械的电磁激励谐振式压力传感器 |
US20130047710A1 (en) * | 2011-08-26 | 2013-02-28 | Purdue Research Foundation | Nonlinear, bifurcation-based mass sensor |
RU2601221C1 (ru) * | 2015-08-24 | 2016-10-27 | Акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" | Резонансный преобразователь давления |
CN111855031B (zh) * | 2020-06-19 | 2021-10-15 | 太原理工大学 | 一种硅谐振压力传感器双频输出转换成单频输出的方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4311053A (en) * | 1979-05-14 | 1982-01-19 | Rosemount, Inc. | Vibrating beam pressure sensor |
JP2564978B2 (ja) | 1990-09-07 | 1996-12-18 | 日本電気株式会社 | 通信制御プログラムのトレースデータ収集方式 |
US6906395B2 (en) * | 2001-08-24 | 2005-06-14 | Honeywell International, Inc. | Hermetically sealed silicon micro-machined electromechanical system (MEMS) device having diffused conductors |
US6949807B2 (en) * | 2003-12-24 | 2005-09-27 | Honeywell International, Inc. | Signal routing in a hermetically sealed MEMS device |
-
2004
- 2004-06-17 JP JP2004179125A patent/JP2006003186A/ja active Pending
-
2005
- 2005-06-15 US US11/153,665 patent/US7013733B2/en active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009186249A (ja) * | 2008-02-05 | 2009-08-20 | Yokogawa Electric Corp | 圧力測定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7013733B2 (en) | 2006-03-21 |
US20050279175A1 (en) | 2005-12-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3659160B2 (ja) | 角速度センサ | |
US7013733B2 (en) | Silicon resonant type pressure sensor | |
CN110243394B (zh) | 基于智能材料的谐振式传感器 | |
US20070068251A1 (en) | Vibration gyro | |
JP2005037309A (ja) | 振動式トランスデューサ | |
CN210741516U (zh) | 谐振式传感器 | |
JP4801881B2 (ja) | 共振型磁気センサとこれを用いた磁場検出装置 | |
JP2006029984A (ja) | 振動式圧力センサ | |
JP2005140735A (ja) | 振動式圧力センサ | |
JP2006234411A (ja) | 振動型ジャイロセンサ | |
JP2005140614A (ja) | 振動式圧力センサ | |
JP2770488B2 (ja) | 半導体圧力計 | |
JPH0781919B2 (ja) | 振動形半導体トランスデューサ | |
JPH0628662Y2 (ja) | 振動形差圧センサ | |
JP2687676B2 (ja) | 振動形トランスデュサ | |
JP2513280B2 (ja) | メカニカルフィルタ― | |
JPH07101750B2 (ja) | 振動形トランスデュサの製造方法 | |
JPH07101748B2 (ja) | 振動形トランスデュサの製造方法 | |
JP2006275630A (ja) | 振動ジャイロの音叉型振動子搭載構造 | |
JP2822598B2 (ja) | 振動形トランスデュサ | |
JP2679349B2 (ja) | 振動式半導体トランスデューサ | |
JP2004283676A (ja) | 振動子 | |
JPH0749395Y2 (ja) | 振動式圧力センサ | |
JP2822594B2 (ja) | 振動形トランスデュサ | |
JPH07101749B2 (ja) | 振動形トランスデュサの製造方法 |