JP2006003084A - 微量質量測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 水晶等の圧電振動子をセンサとして用いた微量質量測定装置において、試料溶液の流れる流路に、該圧電振動子より生じる液相中を伝播する振動（縦波）を拡散するための簡素な反射拡散構造を有する微量質量測定装置を提供すること。
【解決手段】 試料溶液を流す流路と、該流路内に設置した水晶等の圧電振動子からなるセンサとを備え、該センサより生じる液相中を伝播する振動（縦波）を拡散する構造とするために、前記流路は前記試料溶液の流れを曲げる屈曲部を有し、前記センサは該屈曲部内に設置する微量質量測定装置とした。
【選択図】 図１

Description

本発明は、水晶等の圧電材料を用いた振動子の電極表面を液相中に晒し、それに特異的に吸着する酵素、抗体、たんぱく質、ホルモンなどの化学物質を測定するＱＣＭ（Ｑｕａｒｔｚ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｍｉｃｒｏｂａｌａｎｃｅ）型バイオセンサを用いて微量の質量変化を測定する微量質量測定装置に関し、特に前記ＱＣＭ型バイオセンサから液相中に生じる縦波を流路内で反射および拡散させる反射拡散構造に関する。

圧電材料に水晶を用いたものはＱＣＭ（Ｑｕａｒｔｚ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｍｉｃｒｏｂａｒａｎｃｅ）と呼ばれ、ＡＴカットの水晶板の両面に金属薄膜電極を形成した構造をもつ。この金属薄膜電極対に発振回路を接続し電圧を印加すると水晶板の厚さに反比例した周波数で発振する。この金属薄膜電極上に物質が付加されると振動子全体の固有周波数が変化する。この周波数変化を利用し金属薄膜電極上に付着した物質の質量を検出しようとするものである。

ＱＣＭでは、測定に必要なのは厚み滑り振動が主な振動モードであるが、実際には振動子からは縦方向の振動も発生している。液相中における測定においては、この振動により発生した縦波が、試料溶液の流れる流路の天井面や側壁などの界面で反射するため、共振周波数が特に界面の高さに依存することが報告されている（Ａｎａｌ．Ｃｈｅｍ．Ｖｏｌ６７，Ｎｏ４．，１９９５，Ｐ６８５−６９３、Ａｎａｌ．Ｃｈｅｍ．Ｖｏｌ６７，Ｎｏ１８．，１９９５，Ｐ３３２４−３３３５）。これらの報告によれば、共振周波数に与える影響はおよそ１ｋＨｚである。 ここで、振動子より液相中に生じた縦波が共振周波数に影響を与えないように、縦波を反射拡散させる従来の構造としては、例えば、特開２００３−２４０６９５号公報による「微量質量測定装置における反射拡散構造」がある。

以下、特開２００３−２４０６９５号公報による「微量質量測定装置における反射拡散構造」について、図７を参照して説明する。
図７（ａ）は従来の微量質量測定装置における反射拡散構造を上方から見た平面図であり、図７（ｂ）は図７（ａ）のＡ−Ａ’線における断面図である。１１はＡＴカットの水晶基板、１２、１３は電極、１４は流路形成基板、１５は試料溶液が流れる流路、１６は反射拡散構造、１７、１８は電極への配線である。試料溶液を流路１５に流しながら、所定の発振回路より配線１７、１８を通して電極１２、１３に電流を供給すると、電極１２、１３に挟まれた部分が共振周波数にて振動する。このとき、電極１３から生じた縦波が、その直上の流路１５の天井に形成した反射拡散構造１６により反射拡散する。反射拡散構造１６は、例えば正四角錐とすれば、主に検出用電極１３直上に向かう縦波の反射波は四方へ拡散され検出用電極１３へ戻らず、縦波の影響を軽減する。
特開２００３−２４０６９５号公報 Ａｎａｌ．Ｃｈｅｍ．Ｖｏｌ６７，Ｎｏ４．，１９９５，Ｐ６８５−６９３ Ａｎａｌ．Ｃｈｅｍ．Ｖｏｌ６７，Ｎｏ１８．，１９９５，Ｐ３３２４−３３３５

生化学物質を固定化し、それに特異的に吸着する酵素、抗体、たんぱく質、ホルモンなどの化学物質をＱＣＭ測定する場合には、ｎｇ（ナノグラム）レベル以下の質量変化を読み取ることが必要である。この質量変化に対応する共振周波数変化は、基本周波数にもよるがおよそ数十から数百Ｈｚとなる。したがって、縦波から受ける共振周波数への影響があると質量変化を正確に読み取ることができず大きな問題となる。

従来の微量質量測定装置における反射拡散構造では、流路の天井に複雑な反射拡散構造を形成する必要があるため、特に数百μｍから数十μｍオーダーの微細な流路（マイクロ流路）において、高い加工精度が要求され高価となる問題があった。また、流路の天井に形成した反射拡散構造によって、検出用電極直上に向かう縦波の反射波は四方へ拡散されるが、検出用電極へ戻ってきてしまう反射波があるため、縦波の影響を完全に無視できないという問題があった。

本発明は、以上の問題点に鑑みなされたもので、流路の天井に複雑な反射拡散構造を必要としない簡素な構造を有し、かつ、縦波から受ける共振周波数への影響がない構造を有する微量質量測定装置を提供することを目的としている。

前記課題を解決するため、本発明の微量質量測定装置は以下のような反射拡散構造を有する構成とした。

本発明の微量質量測定装置を一言で説明するならば、試料溶液を流す流路と、該流路内に設置した圧電振動子からなるセンサとを備え、該センサより生じる液相中を伝播する振動（縦波）を反射させて拡散する構造とするために、前記流路は前記試料溶液の流れを曲げる屈曲部を有し、前記センサは該屈曲部内に設置する構造とした。
具体的には、本願発明によれば、縦波から受ける共振周波数への影響がない構造とするために、前記屈曲部は前記試料溶液の流れを曲げるＬ字形状からなり、前記センサは前記屈曲部内の外周側の側面に設置する構造とした。

また、本願発明によれば、縦波から受ける共振周波数への影響がない構造とするために、前記屈曲部は前記試料溶液の流れを曲げるクランク形状からなり、前記センサは前記試料溶液が前記屈曲部に流入する流れ方向に垂直な該屈曲部内の側面に設置する構造とした。
また、本願発明によれば、縦波から受ける共振周波数への影響がない構造とするために、前記屈曲部は前記試料溶液の流れを曲げるＵ字形状からなり、前記センサは前記屈曲部の外周側の側面に設置する構造とした。
本発明の微量質量測定装置は、以上の構成とすることによって、微量質量測定装置における反射拡散構造の簡素化ができ、かつ、縦波から受ける共振周波数への影響をなくすことが可能となる。

前記背景技術の微量質量測定装置における反射拡散構造には、流路の天井に複雑な反射拡散構造を形成する必要があるため、特に数百μｍから数十μｍオーダーの微細な流路（マイクロ流路）において、高い加工精度が要求され高価であった。また、流路の天井に形成した反射拡散構造によって、検出用電極直上に向かう縦波の反射波は四方へ拡散されるが、検出用電極へ戻ってきてしまう反射波があるため、縦波の影響を完全に無視できなかった。
本発明の微量質量測定装置では、流路の天井に複雑な反射拡散構造を必要とせず、簡便な反射拡散構造で圧電振動子の電極より生じる縦波により影響を受ける共振周波数の変動による誤差成分をなくすことができる。

よって、本発明では微量質量測定装置における反射拡散構造の作製を低コスト化することが可能となる。すなわち、本発明はＱＣＭセンサを組み込んだディスポーザブルバイオチップなどへ応用展開することができる。

以下、本発明を実施するための最良の形態を、図面を参照して説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。また、本発明の趣旨を逸脱しない限り、互いに組み合わせることが可能である。

図１および図２は本発明の第１の実施例の微量質量測定装置を示した図であり、図１は微量質量測定装置における反射拡散構造を上方から見た平面図を示し、図２は図１の微量質量測定装置における反射拡散構造の斜視図（透視図）を示している。１０１はセンサとして用いるＡＴカットの水晶基板、１０２、１０３は電極、１０４は流路形成基板、１０５は試料溶液が流れるＬ字形状流路、１０６は支持基板、１０７は水晶基板１０１を設置する空隙部である。

流路形成基板１０４はポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）で作製し、支持基板１０６はガラスで作製する。流路形成基板１０４はＬ字形状流路１０５と空隙部１０７とが支持基板１０６とシールして形成される。Ｌ字形状流路１０５はＬ字形に試料溶液の流れを曲げる屈曲した部分を有する流路であり、特定の流れの方向は持たないが、便宜上、Ｌ字形状流路１０５の出入口を入口Ｉｎおよび出口Ｏｕｔと呼ぶ。空隙部１０７は水晶基板１０１をＬ字形状流路１０５の屈曲した部分の外周側の側面に設置するための空間である。水晶基板１０１は、接着剤を用いて位置を合わせて空隙部１０７に接着し、かつ、水晶基板１０１の電極１０３側の面へ試料溶液が漏れないように水晶基板１０１の端部を接着剤で封止する。なお、流路形成基板１０４はシリコン樹脂、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）やポリプロピレン（ＰＰＰ）などの熱可塑性樹脂、または、ガラスで作製してもよい。

試料溶液をＬ字形状流路１０５に流しながら、所定の発振回路より配線を通して電極１０２、１０３に電流を供給すると、電極１０２、１０３に挟まれた部分が共振周波数にて振動する。このとき、図１の矢印に示されるように、検出用電極１０３から生じた縦波がＬ字形状流路１０５により反射拡散され、縦波の反射波はＬ字形状流路１０５の入口Ｉｎおよび出口Ｏｕｔへ拡散され検出用電極１０３へ戻らず、縦波の影響を無視できる。

また、従来の反射拡散構造では、水晶基板を流路の底面に設置するため、試料溶液の流れの方向と水晶基板の面とが平行になり、検出用電極上で試料溶液を効率よく反応させることができなかった。本実施例では、水晶基板１０１をＬ字形状流路１０５の屈曲した部分の外周側の側面に設置することによって、試料溶液の流れを水晶基板１０１の面で受けるため、検出用電極１０３上で試料溶液を効率よく反応させることができる。

ここで、試料溶液の流れから受ける共振周波数への影響について説明する。マイクロ流路において試料溶液の流れは層流であるので、試料溶液の流れから受ける共振周波数への影響は無視できる。乱流の場合であっても流速が遅ければ、この影響はほとんど無視できる。また、ポンプを使用して試料溶液を流路に流す際に試料溶液の流れが脈動性を有する場合、脈動流によって共振周波数は周期的に影響を受けるが、この共振周波数の信号を脈動の周期に合わせてフィルタ処理すれば、この影響は軽減できる。さらに、試料溶液の流れから受ける共振周波数への影響を完全に排除するために、共振周波数を測定している間だけ試料溶液の流れを止めてもよい。

本実施例の反射拡散構造において、縦波の影響の評価を行なった結果について説明する。水晶基板１０１は２７ＭＨｚの基本共振周波数を持つ水晶振動子を使用した。水晶基板１０１には、５００μｍφの金電極１０２、１０３および配線を１００Åの厚さで蒸着して形成した。流路形成基板１０４はＰＤＭＳで作製し、流路形成基板１０４の高さは２ｍｍとした。支持基板１０６はガラスで作製し、支持基板１０６の高さは１ｍｍとした。Ｌ字形状流路１０５は幅５００μｍ、深さ１ｍｍ、空隙部１０７は幅５００μｍ、深さ１ｍｍとして形成した。水晶基板１０１は空隙部１０７に接着してＬ字形状流路１０５の屈曲した部分の外周側の側面に設置した。このとき、入口Ｉｎより純水をＬ字形状流路１０５に流しながら、所定の発振回路より配線を通して電極１０２、１０３に電流を供給すると、電極１０２、１０３に挟まれた部分が共振周波数にて振動し、検出用電極１０３より生じる縦波により影響を受ける共振周波数の変動はなかった。

以上、本実施形態によれば、圧電振動子からなるセンサの電極より生じる縦波により影響を受ける共振周波数の変動による誤差成分をなくすことができ、かつ、流路の天井に複雑な反射拡散構造を必要としない簡素な構造とすることができる。よって、本実施例では微量質量測定装置における反射拡散構造を低コスト化することが可能となる。さらに、圧電振動子として用いる水晶基板をＬ字形状流路の屈曲した部分の外周側の側面に設置することによって、検出用電極上で試料溶液を効率よく反応させることが可能となる。

図３および図４は本発明の第２の実施例の微量質量測定装置を示した図であり、図３は微量質量測定装置における反射拡散構造を上方から見た平面図を示し、図４は図３の微量質量測定装置における反射拡散構造の斜視図（透視図）を示している。２０１はセンサとして用いるＡＴカットの水晶基板、２０２、２０３は電極、２０４は流路形成基板、２０５は試料溶液が流れるクランク形状流路、２０６は支持基板、２０７は水晶基板２０１を設置する空隙部である。

流路形成基板２０４はＰＤＭＳで作製し、支持基板２０６はガラスで作製する。流路形成基板２０４はクランク形状流路２０５と空隙部２０７とが支持基板２０６とシールして形成される。クランク形状流路２０５はクランク形に試料溶液の流れを曲げる屈曲した部分を有する流路であり、クランク形状流路２０５の出入口を入口Ｉｎおよび出口Ｏｕｔと呼ぶ。空隙部２０７は水晶基板２０１を試料溶液がクランク形状流路２０５の屈曲した部分に流入する流れ方向に垂直なクランク形状流路２０５の屈曲した部分の側面に設置するための空間である。水晶基板２０１は、接着剤を用いて位置を合わせて空隙部２０７に接着し、かつ、水晶基板２０１の電極２０３側の面へ試料溶液が漏れないように水晶基板２０１の端部を接着剤で封止する。なお、流路形成基板１０４はシリコン樹脂、ＰＥＴやＰＰＰなどの熱可塑性樹脂、または、ガラスで作製してもよい。

試料溶液をクランク形状流路２０５に流しながら、所定の発振回路より配線を通して電極２０２、２０３に電流を供給すると、電極２０２、２０３に挟まれた部分が共振周波数にて振動する。このとき、図３の矢印に示されるように、検出用電極２０３から生じた縦波がクランク形状流路２０５により反射拡散され、縦波の反射波はクランク形状流路２０５の入口Ｉｎおよび出口Ｏｕｔへ拡散され検出用電極２０３へ戻らず、縦波の影響を無視できる。

また、従来の反射拡散構造では、水晶基板を流路の底面に設置するため、試料溶液の流れの方向と水晶基板の面とが平行になり、検出用電極上で試料溶液を効率よく反応させることができなかった。本実施例では、水晶基板２０１を試料溶液がクランク形状流路２０５の屈曲した部分に流入する流れ方向に垂直なクランク形状流路２０５の屈曲した部分の側面に設置することによって、試料溶液の流れを水晶基板２０１の面で受けるため、検出用電極２０３上で試料溶液を効率よく反応させることができる。

ここで、試料溶液の流れから受ける共振周波数への影響について説明する。マイクロ流路において試料溶液の流れは層流であるので、試料溶液の流れから受ける共振周波数への影響は無視できる。乱流の場合であっても流速が遅ければ、この影響はほとんど無視できる。また、ポンプを使用して試料溶液を流路に流す際に試料溶液の流れが脈動性を有する場合、脈動流によって共振周波数は周期的に影響を受けるが、この共振周波数の信号を脈動の周期に合わせてフィルタ処理すれば、この影響は軽減できる。さらに、試料溶液の流れから受ける共振周波数への影響を完全に排除するために、共振周波数を測定している間だけ試料溶液の流れを止めてもよい。

本実施例の反射拡散構造において、縦波の影響の評価を行なった結果について説明する。水晶基板２０１は２７ＭＨｚの基本共振周波数を持つ水晶振動子を使用した。水晶基板２０１には、５００μｍφの金電極２０２、２０３および配線を１００Åの厚さで蒸着して形成した。流路形成基板２０４はＰＤＭＳで作製し、流路形成基板２０４の高さは２ｍｍとした。支持基板２０６はガラスで作製し、支持基板２０６の高さは１ｍｍとした。クランク形状流路２０５は幅５００μｍ、深さ１ｍｍ、空隙部２０７は幅５００μｍ、深さ１ｍｍとして形成した。水晶基板２０１は空隙部２０７に接着して、試料溶液がクランク形状流路２０５の屈曲した部分に流入する流れ方向に垂直なクランク形状流路２０５の屈曲した部分の側面に設置した。このとき、入口Ｉｎより純水をクランク形状流路１０５に流しながら、所定の発振回路より配線を通して電極２０２、２０３に電流を供給すると、電極２０２、２０３に挟まれた部分が共振周波数にて振動し、検出用電極２０３より生じる縦波により影響を受ける共振周波数の変動はなかった。

以上、本実施形態によれば、圧電振動子からなるセンサの電極より生じる縦波により影響を受ける共振周波数の変動による誤差成分をなくすことができ、かつ、流路の天井に複雑な反射拡散構造を必要としない簡素な構造とすることができる。よって、本実施例では微量質量測定装置における反射拡散構造を低コスト化することが可能となる。さらに、圧電振動子として用いる水晶基板を試料溶液がクランク形状流路の屈曲した部分に流入する流れ方向に垂直なクランク形状流路の屈曲した部分の側面に設置することによって、検出用電極上で試料溶液を効率よく反応させることが可能となる。

図５および図６は本発明の第３の実施例の微量質量測定装置を示した図であり、図５は微量質量測定装置における反射拡散構造を上方から見た平面図を示し、図６は図５の微量質量測定装置における反射拡散構造の斜視図（透視図）を示している。３０１はセンサとして用いるＡＴカットの水晶基板、３０２、３０３は電極、３０４は流路形成基板、３０５は試料溶液が流れるＵ字形状流路、３０６は支持基板、３０７は水晶基板３０１を設置する空隙部である。

流路形成基板３０４はＰＤＭＳで作製し、支持基板３０６はガラスで作製する。流路形成基板３０４はＵ字形状流路３０５と空隙部３０７とが支持基板３０６とシールして形成される。Ｕ字形状流路３０５はＵ字形に試料溶液の流れを曲げる屈曲した部分を有する流路であり、特定の流れの方向は持たないが、便宜上、Ｕ字形状流路３０５の出入口を入口Ｉｎおよび出口Ｏｕｔと呼ぶ。空隙部３０７は水晶基板３０１をＵ字形状流路３０５の屈曲した部分の外周側の側面に設置するための空間である。水晶基板３０１は、接着剤を用いて位置を合わせて空隙部３０７に接着し、かつ、水晶基板３０１の電極３０３側の面へ試料溶液が漏れないように水晶基板３０１の端部を接着剤で封止する。なお、流路形成基板３０４はシリコン樹脂、ＰＥＴやＰＰＰなどの熱可塑性樹脂、または、ガラスで作製してもよい。

試料溶液をＵ字形状流路３０５に流しながら、所定の発振回路より配線を通して電極３０２、３０３に電流を供給すると、電極３０２、３０３に挟まれた部分が共振周波数にて振動する。このとき、図５の矢印に示されるように、検出用電極３０３から生じた縦波がＵ字形状流路３０５により反射拡散され、縦波の反射波はＵ字形状流路３０５の入口Ｉｎおよび出口Ｏｕｔへ拡散され検出用電極３０３へ戻らず、縦波の影響を無視できる。

また、従来の反射拡散構造では、水晶基板を流路の底面に設置するため、試料溶液の流れの方向と水晶基板の面とが平行になり、検出用電極上で試料溶液を効率よく反応させることができなかった。本実施例では、水晶基板３０１をＵ字形状流路３０５の屈曲した部分の外周側の側面に設置することによって、試料溶液の流れを水晶基板３０１の面で受けるため、検出用電極３０３上で試料溶液を効率よく反応させることができる。

ここで、試料溶液の流れから受ける共振周波数への影響について説明する。マイクロ流路において試料溶液の流れは層流であるので、試料溶液の流れから受ける共振周波数への影響は無視できる。乱流の場合であっても流速が遅ければ、この影響はほとんど無視できる。また、ポンプを使用して試料溶液を流路に流す際に試料溶液の流れが脈動性を有する場合、脈動流によって共振周波数は周期的に影響を受けるが、この共振周波数の信号を脈動の周期に合わせてフィルタ処理すれば、この影響は軽減できる。さらに、試料溶液の流れから受ける共振周波数への影響を完全に排除するために、共振周波数を測定している間だけ試料溶液の流れを止めてもよい。

本実施例の反射拡散構造において、縦波の影響の評価を行なった結果について説明する。水晶基板３０１は２７ＭＨｚの基本共振周波数を持つ水晶振動子を使用した。水晶基板３０１には、５００μｍφの金電極３０２、３０３および配線を１００Åの厚さで蒸着して形成した。流路形成基板３０４はＰＤＭＳで作製し、流路形成基板３０４の高さは２ｍｍとした。支持基板３０６はガラスで作製し、支持基板３０６の高さは１ｍｍとした。Ｕ字形状流路３０５は幅５００μｍ、深さ１ｍｍ、空隙部３０７は幅５００μｍ、深さ１ｍｍとして形成した。水晶基板３０１は空隙部３０７に接着してＵ字形状流路３０５の屈曲した部分の外周側の側面に設置した。このとき、入口Ｉｎより純水をＵ字形状流路３０５に流しながら、所定の発振回路より配線を通して電極３０２、３０３に電流を供給すると、電極３０２、３０３に挟まれた部分が共振周波数にて振動し、検出用電極３０３より生じる縦波により影響を受ける共振周波数の変動はなかった。

以上、本実施形態によれば、圧電振動子からなるセンサの電極より生じる縦波により影響を受ける共振周波数の変動による誤差成分をなくすことができ、かつ、流路の天井に複雑な反射拡散構造を必要としない簡素な構造とすることができる。よって、本実施例では微量質量測定装置における反射拡散構造を低コスト化することが可能となる。さらに、圧電振動子として用いる水晶基板をＵ字形状流路の屈曲した部分の外周側の側面に設置することによって、検出用電極上で試料溶液を効率よく反応させることが可能となる。

本発明の実施例１の微量質量測定装置を示す説明図であり、微量質量測定装置における反射拡散構造を上方から見た平面図である。 本発明の実施例１の微量質量測定装置を示す説明図であり、微量質量測定装置における反射拡散構造の斜視図（透視図）である。 本発明の実施例２の微量質量測定装置を示す説明図であり、微量質量測定装置における反射拡散構造を上方から見た平面図である。 本発明の実施例２の微量質量測定装置を示す説明図であり、微量質量測定装置における反射拡散構造の斜視図（透視図）である。 本発明の実施例３の微量質量測定装置を示す説明図であり、微量質量測定装置における反射拡散構造を上方から見た平面図である。 本発明の実施例３の微量質量測定装置を示す説明図であり、微量質量測定装置における反射拡散構造の斜視図（透視図）である。 従来例の微量質量測定装置における反射拡散構造を示す説明図であり、（ａ）は反射拡散構造を上方から見た平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ’線における断面図である。

符号の説明

１１ 水晶基板
１２ 電極
１３ 電極（検出用電極）
１４ 流路形成基板
１５ 流路
１６ 反射拡散構造
１７ 配線
１８ 配線
１０１ 水晶基板
１０２ 電極
１０３ 電極（検出用電極）
１０４ 流路形成基板
１０５ Ｌ字形状流路
１０６ 支持基板
１０７ 空隙部
２０１ 水晶基板
２０２ 電極
２０３ 電極（検出用電極）
２０４ 流路形成基板
２０５ クランク形状流路
２０６ 支持基板
２０７ 空隙部
３０１ 水晶基板
３０２ 電極
３０３ 電極（検出用電極）
３０４ 流路形成基板
３０５ Ｕ形状流路
３０６ 支持基板
３０７ 空隙部

Claims (9)

1. 試料溶液を流す流路と、該流路内に設置した圧電振動子からなるセンサとを備え、前記試料溶液中に含まれる化学物質が前記センサに付着する質量を測定する微量質量測定装置において、
   前記流路は前記試料溶液の流れを曲げる屈曲部を有し、前記センサは該屈曲部内に設置することを特徴とする微量質量測定装置。
2. 前記屈曲部は前記試料溶液の流れを曲げるＬ字形状を有し、前記センサは前記屈曲部内の外周側の側面に設置することを特徴とする請求項１記載の微量質量測定装置。
3. 前記屈曲部は前記試料溶液の流れを曲げるクランク形状を有し、前記センサは前記試料溶液が前記屈曲部に流入する流れ方向に垂直な該屈曲部内の側面に設置することを特徴とする請求項１記載の微量質量測定装置。
4. 前記屈曲部は前記試料溶液の流れを曲げるＵ字形状を有し、前記センサは前記屈曲部内の外周側の側面に設置することを特徴とする請求項１記載の微量質量測定装置。
5. 前記圧電振動子は、水晶振動子であることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の微量質量測定装置。
6. 前記流路を形成する部材は、シリコン樹脂からなることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の微量質量測定装置。
7. 前記流路を形成する部材は、ポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）からなることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の微量質量測定装置。
8. 前記流路を形成する部材は、熱可塑性樹脂からなることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の微量質量測定装置。
9. 前記流路を形成する部材は、ガラスからなることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の微量質量測定装置。

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