JP2005534790A - 針状x線蛍光物質による支持体の蒸着方法 - Google Patents

針状x線蛍光物質による支持体の蒸着方法 Download PDF

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Abstract

本発明は、アルカリハロゲン化物相を、同時にアルカリハロゲン化物と一緒に蒸発させ、その気相中で混合する、少なくとも1つのアルカリ金属を含む針状X線蛍光物質から成る層を支持体に蒸着する方法、並びに以下に記載する式:
((M'+ '-a(M''+'''-(1-a)k:(M'+ xz+ y'- x'''- z+yb
(M'+ xz+ y'''-z*yc(M''+ xz+ y''- x'''- z*yd
(M''+ xz+ y'- x'''- z*ye
(式中M+はNa、K、Rb及びCsの群からの少なくとも1つのアルカリ金属イオンを、H-はF、Cl、Br及びIの群からの少なくとも1つのハロゲン化物を、並びにSz+
La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Y
b又はLuの群からの少なくとも1つのランタノイドイオンを表す)
に基づき生成した少なくとも1つのアルカリ金属を含む針状X線蛍光物質に関する。

Description

本発明は、少なくとも1つのアルカリ金属を含む針状のX線蛍光物質から成る層を支持体上に蒸着する方法、並びにそのX線蛍光物質に関する。その際X線蛍光物質は、蛍光によるシンチレータ及びレーザ光の誘起によるメモリ蛍光物質の「場の保持物」と見ることができる。蛍光とは、一般に低エネルギの放射の放出下に、高エネルギの放射線(UV、X線)で蛍光物質に励起させることをいう。このメモリ蛍光物質では、その「残エネルギ」は、X線の場合「蓄積」されるので、低エネルギの放射線(例えば680nm)で、例えば420nmの高エネルギの放射を発生させる。
医療技術及び非破壊材料試験において、一般にX線蛍光物質が使用される。それらの適用にあたり、一方ではX線の励起の下に自発放出するシンチレータが、また他方では電子と正孔を形成及び蓄積し、例えば赤色光線で照射する際に光誘起発光(PSL)する、適合するメモリ蛍光物質が使用される。その際アルカリハロゲン化物をベースとするX線蛍光物質は全く特別な役割を果たす。例えばそれにはCsI:NaがX線形成強化物質に、CsI:Tlがa−Si検出器に、或いは更にCsBr:Euがメモリ蛍光板として使用されている(例えばProc.of SPIE、米国写真光学装置工業会会議録、第4320巻(2001年)、Paul J.R.Leblans他による論文「新規針状結晶の電子線検出器」第59〜67頁等に記載)。
上に挙げたアルカリハロゲン化物の全ての医療技術への適用において、アルカリハロゲン化物中に高いDQEを達成するため、X線を高度に吸収することを必要とし、またその信号(光)が明らかに雑音を越えている必要がある点で共通している。高いX線の吸収は約500〜600μmの厚さのアルカリハロゲン化物の層により達成される。なお低過ぎる光の収量の問題は、上に挙げた全ての医療技術の用途においてなお存在する。特にメモリ蛍光物質のCsBr:Euの光の収量の不足の問題は未だ完全には解決されていない。
米国特許第5028509号明細書の例14には、そこでメモリ蛍光物質として使用されているCsBr:Euが、CsBr及びEu23から生成されることについて記載している。アルカリハロゲン化物の蛍光物質(Cs及びRb)の組成の一般式
(M1-X.MIx)X.aMII' 2.bMIII'' 3:dB
が挙げられている。式中MはCs又はRbを表し、MIはLi、Na、K、Rb及びCsの群からの少なくとも1つのアルカリ金属を、MIIはBe、Mg、Ca、Sr、Ba、Zn、Cd、Cu及びNiの群からの少なくとも1つの2価の金属を、MIIIはSc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Al、Ga及びInの群からの少なくとも1つの金属である活性化剤を、BはEu、Tb、Ce、Tm、Dy、Pr、Ho、Nd、Yb、Er、Gd、Lu、Sm、Y、Tl、Na、Ag、Cu、Mg、Pb、Bi、Mn及びInの群からの少なくとも1つの金属を表し、X、X'、X''は等しいか、或いは異なっており、またF、Cl、Br及びIの群からの1つのハロゲン原子を表す。
国際公開第01/03156号パンフレットから、Cs−臭化物及び/又はCs−塩化物の蛍光物質の組成として、一般式CsX:Euの誘起可能なメモリ蛍光物質の生成方法が公知である。この種のメモリ蛍光物質はCsBr及びEuBr2、EuBr3又はEuOBrから生成されたものである。
欧州特許出願公開第1113458号明細書にはEuをEuX2、EuX3及びEuOXとして組込む基板の被覆法が記載されている。
これらの全ての蛍光物質は、そのドーパントが比較的単純な分子である点で共通している。これらの簡単な分子は、しばしば格子間の隙間に蓄積される。
メモリ蛍光物質の粉末を使った実験で、アルカリハロゲン化物中に微視的に小さいドーパントの相を形成可能であることが示されている。蒸着させたCsBr:Euの層中に、このような相は、これまで発見されたことはなかった。これは、1つには、この層中のユウロピウム濃度が(CsBrとEuBr2の異なる蒸気圧のような)製造条件により、最大限で3000ppm(0.3モル%)に過ぎず、一方粉末を使用した場合、このような相及び最適なPSL信号が1モル以上のEu濃度で初めて存在したことによる。
本発明は、最適の光の収量を達成できるように、X線蛍光物質並びに針状のX線蛍光物質の生成方法を開発するという課題から出発する。
この課題は、本発明によれば、その方法に関しては、アルカリハロゲン化物相を同時にアルカリハロゲン化物と共に蒸発させ、その気相中で混合し、支持体上に蒸着することにより解決される。その際その装入は、既に蒸発器を蒸発原材料と共に装入する際に始まる。前記の文献にはこの相の蒸発については記載されておらず、層中の相の形成を推察できるに過ぎない。
この蒸着を50〜300℃の温度及び0.001〜3Paの圧力で行うと有利であることが明らかとなった。
この蒸発により濃縮させた相のより好ましい分布と光の高い収量は、蒸着及び冷却後、蛍光物質層の熱処理を行うことで達成され、その際この冷却後の熱処理は、室温で水蒸気の存在下に行われる。
本発明によれば、この熱処理を100〜300℃の範囲で周囲空気中又は不活性ガス中で行うことができる。
有利には、アルカリハロゲン化物相としてCsxEuyBr(x+2y)を、またアルカリハロゲン化物としてCsBrを使用すると、一般式CsBr:CsxEuyBr(x+2y)のX線メモリ蛍光物質が形成される。
アルカリハロゲン化物相の分量xと、アルカリハロゲン化物の分量(600g−x)を一緒に蒸発させると有利であることが判明している。
本発明によれば、針状のX線蛍光物質の層を含む支持体は、蓄積発光板に形成できる。
本発明による気相中での混合には、アルカリハロゲン化物相とアルカリハロゲン化物を船形蒸発器内で混合し、或いはこのアルカリハロゲン化物相とアルカリハロゲン化物を複数の船形蒸発器に容れるとよい。
X線蛍光物質に関する課題は、本発明により、以下に記載する式:
((M'+'-a(M''+''-(1-a)k:(M'+ xz+ y'- x'''- z*yb
(M'+ xz+ y''- x'''- z*yc(M'+ xz+ y''- x'''- z*yd
(M''+ xz+ y'- x'''- z*ye
の蛍光物質(式中M+はNa、K、Rb及びCsの群からの少なくとも1つのアルカリ金属を、H-はF、Cl、Br及びIの群からの少なくとも1つのハロゲン化物を、またSz+はLa、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb又はLuの群からの少なくとも1つのランタノイドイオンを表す)に基づき生成することにより解決される。
次に記載する式:CsBr:CsxEuyBr(x+2y)に基づくX線メモリ蛍光物質が特に有利である。
本発明は、アルカリハロゲン化物相を生成し、それらを同時にアルカリハロゲン化物と一緒に蒸発させるという考え方を基礎とする。その際蒸発は1つの船形蒸発器、或いは2個又はそれ以上の船形蒸発器から行ってもよい。蒸着及び冷却後に行われるメモリ蛍光物質層の熱処理は、蒸発により濃縮させた相のより好ましい分布をもたらし、従ってその光の収量は凡そ2〜10倍、典型的には4〜5倍高められる。
実験は、この熱処理が、冷却後、室温で同時に水蒸気の存在下で始めて有効になることを示した。水蒸気は、例えば不活性ガスのAr、N2、He、Ne、Krに添加しても、或いは周囲空気中に存在してもよい。直接の高温加熱は、蒸着後の冷却によっても、光の収量を何ら改善することにならない。つまりこの層はまず「水蒸気に触れ」なければならない。
蒸着の際の圧力と温度の管理に伴い、アルカリハロゲン化物中の相物質の均質な分布を可能にする針状層が生じる。その結果として最適な光の収量の達成には、この相物質の層厚にわたる平均値が、100〜800ppmであると十分である。
蒸着時の温度を50〜300℃に、また圧力を0.001〜3Paに調整する。それに次ぐ焼鈍温度は、有利には蒸着時の支持体の平均温度であった。焼鈍時間は所望の光の収量が達成されるように選択する。
アルカリハロゲン化物とアルカリハロゲン化物相からなる気相中での混合の結果として、以下に化学式で表される新たな針状蛍光物質のタイプが生成される。
CsBr中にCsxEuyBr(x+2y)相が生ずることで、組成CsBr:CsxEuyBr(x+2y)の、光の収量の極めて高いメモリ蛍光物質が生じる。
Na、K、Rb及びCsのM+−アルカリハロゲン化物並びにF、Cl、Br及びIのH―−ハロゲン化物の一般式は以下の通りである。
'+'-:M'+ xEuy'- x''- 2y、(H'' x' 2y・・・も可能)
(式中ハロゲン化物H'-及びH''-は同じであっても、異なっていてもよい)。
ホスト格子として2個(又はそれ以上の)アルカリハロゲン化物も使用可能であり、その総体一般式は、
(M'+''-a(M''+''-(1-a):M'+ xEuy'- x'''- 2yであり、
式中M'+及びM''+のハロゲン化物は同じであっても、異なっていてもよい。同様にH'-、H''-及びH'''-のハロゲン化物は同じであっても、異なっていてもよい。
上記の配置に基づき他の相も考えられる:
(M'+'-a(M''+''-(1-a):M''+ xEuy''- x''- 2y、及び
(M'+'-a(M''+''-(1-a):M'+ xEuy'- x'''- 2y''+ xEuy''- x'''- 2y
また一般化して:
(M'+'-a(M''+''-(1-a):(M'+ xEuy'- x'''- 2yb
(M''+ xEuy''- x'''- 2yc(M'+ xEuy''- x'''- 2yd
(M''+ xEuy'- x'''- 2ye
(或いはH'''を含めず、H'-、H''-だけからからなっていてもよい)式中aは1であり、b、c、d及びeは0であってもよく、またH'-、H''-及びH'''-は同じであっても、異なっていてもよい。
Eu2+の代わりに、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb又はLuの群からの他のランタニドSz+も使用できる。対応する一般式は、
((M'+'-a(M''+''-(1-a)k:(M'+ xz+ y'- x'''- z*yb
(M''+ xz+ y''- x'''- z*yc(M'+ xz+ y''- x'''- z*yd
(M'+ xz+ y''- x'''- z*ye
であり、「純粋な」相物質を得るために式中の係数kは0であってもよい。
上記のX線蛍光物質中にはシンチレータ(蛍光物質)も、メモリ蛍光物質も含まれている。
本発明による蛍光物質を生成するための幾つかの実施例を記載する。
a)CsEuBr350gをCsBr550gと混合し、引続き通常の蒸着法でメモリ蛍光物質CsBr:CsxEuyBr(x+2y)(針状)を生成した。
b)CsEu2Br520gをCsBr580gと混合し、引続き通常の蒸着法でメモリ蛍光物質CsBr:CsxEuyBr(x+2y)(針状)を生成した。
c)CsEu3Br7100gをCsBr500gと混合し、引続き通常の蒸着法でメモリ蛍光物質CsBr:CsxEuyBr(x+2y)(針状)を生成した。
d)Cs2EuBr410gをCsBr590gと混合し、引続き通常の蒸着法でメモリ蛍光物質CsBr:CsxEuyBr(x+2y)(針状)を生成した。
e)Cs4EuBr510gをCsBr590gと混合し、引続き通常の蒸着法でメモリ蛍光物質CsBr:CsxEuyBr(x+2y)(針状)を生成した。
f)Cs4EuBr6100gをCsBr500gと混合し、引続き通常の蒸着法でメモリ蛍光物質CsBr:CsxEuyBr(x+2y)(針状)を生成した。
g)Cs2Eu2Br630gをCsBr570gと混合し、引続き通常の蒸着法でメモリ蛍光物質CsBr:CsxEuyBr(x+2y)(針状)を生成した。
h)Cs3Eu2Br770gをCsBr530gと混合し、引続き通常の蒸着法でメモリ蛍光物質CsBr:CsxEuyBr(x+2y)(針状)を生成した。
i)Cs3Eu3Br935gをCsBr565gと混合し、引続き通常の蒸着法でメモリ蛍光物質CsBr:CsxEuyBr(x+2y)(針状)を生成した。
j)CsEuBr325gとCs2Eu2Br625gをCsBr550gと混合し、引続き通常の蒸着法でメモリ蛍光物質CsBr:CsxEuyBr(x+2y)(針状)を生成した。
k)CsEuBr315gとCs3Eu3Br925gをCsBr560gと混合し、引続き通常の蒸着法でメモリ蛍光物質CsBr:CsxEuyBr(x+2y)(針状)を生成した。
l)CsEuBr320gとCsEu2Br510gをCsBr570gと混合し、引続き通常の蒸着法でメモリ蛍光物質CsBr:CsxEuyBr(x+2y)(針状)を生成した。
m)CsEuBr310gとCsEu3Br740gをCsBr550gと混合し、引続き通常の蒸着法でメモリ蛍光物質CsBr:CsXEuyBr(x+2y)(針状)を生成し
た。
n)CsEuBr330gとCs2EuBr420gをCsBr550gと混合し、引続き通常の蒸着法でメモリ蛍光物質CsBr:CsxEuyBr(x+2y)を(針状)を生成した。
o)CsEuBr360gとCs3EuBr520gをCsBr520gと混合し、引続き通常の蒸着法でメモリ蛍光物質CsBr:CsxEuyBr(x+2y)(針状で)を生成した。
p)CsEuBr340gとCs3Eu2Br720gをCsBr540gと混合し、引続き通常の蒸着法で針状メモリ蛍光物質CsBr:CsxEuyBr(x+2y)を生成した。
Cs・・・の例で示しているように、Cs2・・・−及びCs2・・・化合物と、Cs2・・・−及びCs3又はCs4・・・・・−化合物の2(種類)の材料からなる他の混合物もメモリ蛍光物質の生成に使用できる。0.1〜20モル%の他の分量比、混合比及び濃度比もメモリ蛍光物質の生成に適している。混合物も2種類だけでなく、3種類、4種類・・・の物質もメモリ蛍光物質のベースとして適している。
舟形蒸発器内に、通常CsBr:CsxEuyBr(x+2y)の蒸発できない残分が残った場合、純粋なCsBrを注ぎ足してもよく、引続きこの混合物を蒸発させる。これは、CsBr:CsxEuyBr(x+2y)の濃度が0.1モル%以下に低下するまで、何回も繰り返し行うことができる。
1種類の混合物の代わりに、CsxEuyBr(x+2y)とCsBrの個々の材料を蒸発させてもよい。複数の船形蒸発器からCsBrとCsxEuyBr(x+2y)を混合物として、またもう1つの別の船形蒸発器から例えばCsBrの純物質を蒸発させてもよい。
ユウロピウム/臭素化合物(例えばEuBr2、EuBr3)も、CsxEuyBr(x+2y)及びCsBrと一緒に蒸発可能である。臭化物の代わりにフッ化物、塩化物及び/又はヨウ化物を使用することもできる。
ユウロピウムオキシ臭化物(例えばEuOBr、Eu34Br、Eu3OBr4、Eu4OBr6)も、CsxEuyBr(X+2y)及びCsBrと一緒に蒸発可能である。オキシ臭化物の代わりに、オキシフッ化物、オキシ塩化物及び/又はオキシヨウ化物を使用することもできる。
酸化ユウロピウム(例えばEuO、Eu23)も、CsxEuyBr(X+2y)及びC
sBrと一緒に蒸発可能である。
ユウロピウムオキシ臭化物及び酸化ユウロピウムも、CsxEuyBr(x+2y)及びCsBrと一緒に蒸発可能である。
上記のセシウムの代わりに、他のアルカリ金属(Na、K、Rb)及び全てのハロゲン化物(F、Cl、Br、I)も、先に記載した総体一般式に対応する混合物中に使用できる。
アルカリハロゲン化物をアルカリハロゲン化物−希土類相でドーピングすることにより、光の収量が、従来公知のものを凌駕する新規の針状蛍光物質タイプを生成できる。その際その蛍光物質の組成に応じて、シンチレータもメモリ蛍光物質も生成可能である。


Claims (13)

  1. 少なくとも1つのアルカリ金属を含む針状X線蛍光物質の層を、支持体上に蒸着する方法において、アルカリハロゲン化物相を同時にアルカリハロゲン化物と一緒に蒸発させ、その気相中で混合し、支持体上に蒸着する方法。
  2. 上記蒸着を、50〜300℃の温度及び0.001〜3Paの圧力で行うことを特徴とする請求項1記載の方法。
  3. 蒸着及び冷却後に、この蛍光物質層の熱処理を行うことを特徴とする請求項1又は2記載の方法。
  4. 冷却後の熱処理を、特に水蒸気の存在下に室温で行うことを特徴とする請求項3記載の方法。
  5. この熱処理を、100〜300℃の範囲の温度で行うことを特徴とする請求項3記載の方法。
  6. この熱処理を、不活性ガスと水蒸気の混合物中で行うことを特徴とする請求項3から5の1つに記載の方法。
  7. この熱処理を、湿潤空気中で行うことを特徴とする請求項3から5の1つに記載の方法。
  8. アルカリハロゲン化物相としてCsxEuyBr(x+2y)を、またアルカリハロゲン化物としてCsBrを使用し、それにより一般式CsBr:CsxEuyBr(x+2y)のX線メモリ蛍光物質を生成することを特徴とする請求項1〜7の1つに記載の方法。
  9. アルカリハロゲン化物相の分量xと、アルカリハロゲン化物の分量(600g−x)を一緒に蒸発させることを特徴とする請求項1〜8の1つに記載の方法。
  10. アルカリハロゲン化物相とアルカリハロゲン化物を混合し、船形蒸発器に容れることを特徴とする請求項1〜9の1つに記載の方法。
  11. このアルカリハロゲン化物相とアルカリハロゲン化物を複数の船形蒸発器に分けて容れることを特徴とする請求項1〜9の1つに記載の方法。
  12. 以下に記載する式:
    ((M'+'-a(M''+'''-(1-a)k:(M'+ xz+ y''- x'''- z*yb
    (M'+ xz+ y''x'''z*yc(M''+ xz+ y''- x'''- z*yd
    (M''+ xz+ y'- x'''- z*ye
    (式中M+はNa、K、Rb及びCsの群からの少なくとも1つのアルカリ金属イオンを、H-はF、Cl、Br及びIの群からの少なくとも1つのハロゲン化物を、並びにSz+はLa、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb又はLuの群からの少なくとも1つのランタノイドイオンを表す)
    に基づき、請求項1〜11の1つに記載の方法により生成した少なくとも1つのアルカリ金属を含むX線蛍光物質。
  13. 以下に記載する式に基づくX線メモリ蛍光物質であることを特徴とする請求項12記載のX線蛍光物質。
    CsBr:CsxEuyBr(x+2y)
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