JP2005531106A - 発行部品 - Google Patents
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Abstract
支持部材(1),電極(2,5),発光層(4)および任意で1または複数の付加層(3)を含む発光部品(LED)において,前記発光層(4)は,異なる色の光を発する少なくとも2つの有機成分を含有し,前記成分の一方は過度に供給され,前記成分または過度に供給されていない成分による発光は,放射化学的プロセスの結果できた前記発光層の残りについての局所的に定められた領域では,減少あるいは全体的に抑制されている。前記成分は,短時間かつ経済的に生産可能なので,構造化された複数色の発光を要する装置に有効に利用することができる。
Description
本発明は,支持部材,電極,発光層および任意で1または複数の付加層を含む発光部品(LED),特に発光色それぞれが多色あるいは可変の有機発光部品に関し,さらにその製造方法に関する。
電気的な動作電圧の低い発光部品,いわゆる「発光素子(LED)」は,有機物質から製造できることが知られている(C.W. Tang, S.A. Vanslyke, Appl. Phys. Lett.51, 913(1987年))。この文献では,かかる部品はまた「発光ダイオード」とも呼ばれている。有機物質に基づいたLEDについては,この文献では,OLEDという略称も用いられており,ポリマーに基づくLEDに関しては,同様にPLEDという略称が用いられている。このようなLEDの設計原理は,上記C.W. Tang 他の文献に詳細に記載されている。さらに,有機LEDについては以下の文献にも記されている。J.Kalinowski, J. Phys. D: Appl. Phys. 32, R179(1999年), R.H. Friend, R.W. Gymer,A.B. Holmes, J.H. Burroughes, R.N. Marks, C. Taliani, D.D.C. Bradley, D.A. DosSantos, J.L. Bredas, M. Loegdlund, W.R. Salaneck, Nature (London) 397, 121(1999) およびH. Sixl, H. Schenk, N. Yu, Physikalische Blaetter 54/3, 225 (1998年)。
低分子有機成分だけでなく,共役高分子(例えば,米国特許5,247,190号明細書)およびオリゴマーをも,有機物質として用いることができる。
本発明においては,以下,20を超える繰り返し単位からなる有機成分を「ポリマー」と称し,6から20の繰り返し単位を「オリゴマー」と称する。
しかし,本発明では特に明示はしないが,明細書および特許請求の範囲で用いられるポリマー(poly−)という用語には対応するオリゴマーを常に含むものとする。
以下の記載において,2から5の繰り返し単位からなる有機成分は,「低分子化合物」に含まれる。LEDの製造に使用可能な低分子化合物の複数の例は,J. Kalinowskiによる概要的な論文(J. Phys. D: Appl. Phys. 32, R179(1999年))に記載されている。この中に含まれるものは,アントラセン,ペリレンおよびスチルベンの誘導体のような芳香族化合物,オキサゾールおよびオキサジアゾールの誘導体のような複素環式化合物,ならびにトリ(8−ヒドロキシキノリン)アルミニウム(Alq3)およびポルフィリン錯体のような金属錯体化合物である。
一般に,ある動作電圧では,特定の発光染料のみが単一の発光薄層を用いて生成され得る。ここでの発光染料は,主として使用される有機物質により決定される。しかし,多染性の発光ダイオード,さらに多染性の発光の構造は,カラースクリーンおよび表示要素における適用の点で特に興味深い。このように構造化された発光ダイオードの製造方法は,当技術分野では公知されている。
白色光エミッタと構造化された赤,緑および青のフィルターエレメントとの組み合わせは,例えばJ. Kido, M. Kimura, K. Nagai共著 (Science 267, 1332 (1995年))で述べられている。米国特許5,294,870号明細書では,色変換物質(colourconversion materials)がこの目的で用いられている。これらの物質は,有機分子において発光は吸収に比べ長波長側にシフトするという性質に基づいている。同様に,赤,緑および青色のエミッタからなるマルチへテロ層(multihetero-layer)構造の発光ダイオードが知られている(Z. Shen, P.E. Burrows, V. Bulovic, S.R.Forrest,M.E. Thompson, Science 276, 2009 (1997年); G. Parthasarathy, G. Gu, S.R. Forest,Adv. Mater. 11, 907(1999年))。組み合わされた赤,緑,青色の発光もまた,一部分割されたエッチングプロセスにより実現された(C.C.Wu, J.C.Sturm, R.A.Register; M.E. Thompson, Appl. Phys. Lett. 69, 2959(1996年))。
近年,印刷プロセスは,構造化された発光を保証するために,一部分割された方法でさまざまな染料を適用する目的で,ますます用いられている(T.R.Hebner, C.C. Wu, D. Marcy, M.H. Lu, J.C. Sturm, Appl. Phys.Lett. 72, 519 (1998年); S.-C. Chang, J. Bharathan, Y.Yang, R. Helgeson, F. Wudl,M.B. Ramley, R. Reynolds, Appl. Phys. Lett. 73, 2561 (1998年);D.A. Pardo, G.E.Jabbour, N. Peyghambarian, Adv. Mater. 12, 1249(2000年))。
しかし,これまでに知られているプロセスは技術的に非常に複雑で,それゆえ費用も高いという欠点がある。
S.Shirei,J. Kido共著のJ. Photopolymer Science and Technology 14(2), 317 (2001年)には,画素に分割された発光の生成プロセスが記載されている。ここで,ポリ(N−ビニルカルバゾール)マトリクスに分散された染料分子は,酸化漂白される。この目的のために,従来の積層プロセスを用いてもよい。
単色LEDの発光パターン生成の既知のプロセス(K. Tada, M. Onoda, Thin Solid Films 363, 195(2000年); C. Kocher, A.Montali, P. Smith, C. Weder, Adv. Funct. Mater. 11, 31(2001年))は,酸素の存在下で有機発光層に紫外線を横方向に分解して照射するというものである。有機発光層の成分はこの方法で光酸化され,これにより発光の挙動が変わる。特定の有機発光物質の光学性質も同様に,ヒドラジンの存在下での紫外線照射により変わる。ポリスチレンやポリ(ビニルナフタレン)といった芳香族重合体の光化学反応は,W.Kern 他によりRadTech Europe 2002年, Conference Proceedings, p.699〜704,Radtech Europe Association (Den Haag)およびVincentz Verlag (Hannover), 2001年に記載されている。
上記のプロセスにより,有機物質の発光は局所的に構造化された方法で消光される。しかし,この方法で達成される発光スペクトルのシフトは非常に小さい。他の欠点は,LED部品の活性層の全照射ゾーンにおける光化学変化により,LEDとしての動作に必要な電荷輸送が多大な影響を受けるということである。
本発明の目的は,上述の欠点を克服することであり,短時間かつ経済的に生産可能な発光部品,かつ発光における局所的に構造化された色差をつけるための多層設計や精巧な印刷技術のいずれも要しない発光部品を提供することにある。
本発明によれば,上記発光部品の発光層が,異なる色の光を発する少なくとも2つの有機成分を含有し,上記有機成分のうちの一方は過度に供給され,上記有機成分あるいは過度に供給されていない成分による発光が,放射化学的プロセスの結果できた上記発光層の残りについての局所的に定められた領域では,減少あるいは全体的に抑制されていることにより,本目的は達成される。
以下のプロセスは,少なくとも2つの成分を含有する発光層の光生成において重要な役割を果たす。ここでの電荷キャリアの輸送は,過度に供給された成分(ホスト)経由でなされることが好ましい。
(i) 電子と正孔とはホスト物質中で接触し,励起状態を作り出す。この励起状態は,ホスト物質中で放射性再結合をしてもよい。これにより出現した光のスペクトルの分布は,ホスト物質の化学構造および形態学により決められる。
(ii) 励起エネルギーは,ホストから過度に供給されていない成分(ゲスト)へ移動でき,すぐにゲスト系において放射性再結合をしてもよい。好適な光学/電子性質を有する数種のゲスト系を用いると,個々のゲスト物質間でのエネルギーの移動も可能である。
(iii) 好適な1または複数のゲスト物質を選ぶ場合には,すなわちイオン化エネルギーが十分小さく電子親和力が十分高い場合には,後に放射性再結合をするゲスト分子に有意義な程度に直接励起状態を生じさせることも可能である。
ケース(ii)および(iii)では,発生した光のスペクトルの分布は,1または複数のゲスト物質の化学構造および形態学により決められる。全体的な色の効果は,ホストからの発光の相対量(プロセス(i)の結果)およびゲストからの発光の相対量(プロセス(ii)および(iii)の結果)の大きさにより決められる。
このようなエネルギー移動のプロセスは,当業者には公知であり発光部品の特定の発光染料を調製する際にも用いられる(S. Tasch, E.J.W. List, O. Ekstroem, W. Graupner, G. Leising, P.Schlichting, U. Rohr, Y. Geerts, U. Scherf, K. Muellen, Appl, Phys. Lett. 71,2883(1997年))。
本発明によれば,ゲスト物質(複数のゲスト物質または複数のゲスト物質うちの一つ)は,発光層の明確な領域において放射化学のプロセスにより変化させられる。変化は,プロセス(ii)および/またはプロセス(iii)が減少させられるか,あるいは完全に防止されるかの方法によりなされ,これにより1または複数のゲストからの発光の相対量もそれぞれ減少し,その結果,全体の色の効果が変化する。
しかし,プロセス(ii)および(iii)が減少させられたり防止されたりしない場合には,すなわち,放射化学反応の後ホストから1または複数のゲストへのエネルギー移動がまだ実現可能であり,励起状態がゲスト分子上に直接発生することがまだ可能である場合には,1または複数のゲスト物質による発光量を減少あるいは抑制させることも可能となる。しかし,この場合,発光性再結合プロセスと非発光性再結合プロセスとの比率は,放射化学反応による本発明に従って変化する。
ゲスト‐ホスト系において,ある放射化学プロセスにより1または複数のゲスト成分が選択的にあるいは好ましくは移動し,これにより部品の発光色が変化するということは当業者にとっては驚くべきことであり,自明なことでもなかった。このようなプロセスにより,好適な化学構造を選択したときのゲスト物質の濃度および放射化学反応の状態をそれに応じて調整したとき,非照射領域の発光がゲスト分子で決まる一方で放射化学反応をする領域が基本的にホストの発光色を呈する部品を製造することが可能であることはまったく予期しないことであった。
好適な実施の形態では,上記部品の発光層は,ポリ(パラフェニレンビニレン)誘導体,ポリ(パラフェニレン)誘導体およびポリ(チオフェン)誘導体からなる群から選ばれた共役ポリマーあるいは共役オリゴマーを有機成分として含む。共役重合体の概要およびその構成および性質は,Handbook of Conducting Polymers, Editor T.A. Skotheim, R.L.Eisenbaumer and J.R. Reynolds, Publ. Marcel Dekker Inc., Ney York 1998年に記載されている。
特に好適な実施の形態によれば,上記発光層は,過度に供給された上記有機成分(ホスト物質)としてポリ(パラフェニレン)の誘導体を含む。特に,ポリ(パラフェニレン)およびポリ(フルオレン)の誘導体や,架橋ポリ(フェニレン)およびその誘導体が挙げられる。架橋ポリ(フェニレン)型の例としては,ラダー型ポリ(パラフェニレン)(LPPP)(A. Haugeneder 他, Applied Physics B66, 389-392 (1998年))およびスピロ−6−パラフェニレン(H.Sixl 他, Phys. Bl. 54/3,225-230, (1998年))などを挙げることができる。
上記好適な実施の形態において,ポリ(パラフェニレンビニレン)誘導体を1または複数のゲスト分子として用いることができる。これにより,フェニレンビニレン誘導体は,放射化学反応によってポリ(パラフェニレンビニレン)誘導体よりもはるかに効率的に変化する。その結果,フェニレンビニレン誘導体における共役は減少し,エネルギーギャップが大きく広がる。この効果により,プロセス(ii)および(iii)は抑制される。
他の好適な実施の形態において,過度に供給された上記有機成分は,ポリ(パラフェニレン)の誘導体であり,さらにもう1つの上記有機成分あるいはさらに他の有機成分は,主鎖にビニレン単位を含む共役ポリマーまたは共役オリゴマーである。
さらに好適な実施の形態は,過度に供給された上記有機成分が,ポリ(パラフェニレン)の誘導体であり,さらにもう1つの上記有機成分あるいはさらに他の有機成分が,染料あるいはオリゴマーのような低分子化合物であることを特徴とする。
好ましくは,ポリ(パラフェニレン)の誘導体は,ポリ(フルオレン)誘導体または架橋ポリ(パラフェニレン)誘導体である。
さらに好適な実施の形態では,上記有機成分は,アントラセン,ペリレンおよびスチルベンの誘導体のような芳香族化合物,オキサゾールおよびオキサジアゾールの誘導体のような複素環式化合物,ならびにトリ(8−ヒドロキシキノリン)アルミニウム(Alq3)およびポルフィリン錯体のような金属錯体化合物といった低分子化合物である。有機発光部品で通常用いられる低分子有機化合物の概要は,上記J. Kalinowskiの論文(J. Phys. D: Appl. Phys. 32, R179(1999年))に記載されている。低分子有機化合物を用いた本発明による出願においては,発光色の放射化学構造に関する類似の法則が適用される。
本発明の発光部品は,第1の電極,発光層および第2の電極さらに任意で1または複数の付加的な中間層が支持部材上に積層されており,本発明による発光部品の製造プロセスは,上記第2の電極を積層する前に,試薬の存在下,局所的に定められた領域で上記発光層が照射され,放射化学反応をすることを特徴とする。
好ましくは,放射化学反応は,気体試薬の存在下で行われる。特に好適な実施の形態では,ヒドラジンあるいはヒドラジン誘導体が気体試薬として用いられる。これにより発光層は,例えば波長範囲180nmから280nmの紫外線を照射される。光の照射の下,このような試薬により上記ゲスト分子は好適な還元反応をする。
さらに特別好適な実施の形態では,気体チオールすなわち,例えば,2−プロパンチオールのようなメルカプト基(−SH)を有する化合物が気体試薬として用いられる。これにより発光層は,チオールの存在下で,例えば波長範囲180nmから280nmの紫外線を照射される。光の照射の下,このようなチオールにより上記ゲスト分子はいわゆるチオール−エン光化学反応を経て好適な還元反応をする。このチオール−エン光化学反応は,チオエーテル単位を形成するチオ分子(thio molecules)のC=C二重結合の反応を表し,例えば芳香族―脂肪族ケトンのようなラジカル開始剤の存在下で加速することができる。
もちろん,蒸気圧が低く,露光開始前に発光層と混合されたチオールは,本発明による上記反応に用いることもできる。いわゆるチオール−エン光化学反応さらにこの反応を触媒で加速させる可能性については,例えばA.Jacobineの研究論文“Radiation Caring in Polymer Science Vol. III, Elsevier (London 1993), p. 219-268”に記載されている。
気体試薬の存在下での反応は,ゲスト−ホスト系,すなわち発光層が膜の形態で基板に形成され,そして気体試薬が照射中に膜の表面を流動するようにして行うことができる。しかし,このような膜は,静圧気体雰囲気下で照射を受けるようにしてもよい。好ましくは,試薬は,反応対象の物質に対し照射開始前に拡散法により投入される。
照射は,平面的あるいは横方向に構造化されて,例えば投影リソグラフィ法により行うことができる。
他の好適な実施の形態は,他の還元試薬および酸素または他の酸化試薬の存在下,あるいはゲスト分子において付加反応または置換反応により所望の化学反応を開始する試薬の存在下での放射化学的プロセスを含む。
さらに好適な実施の形態によれば,放射化学反応をする試薬はすでに上記発光層の製造中に拡散法によってゲスト−ホストシステムに注入されている。
特に好適な実施の形態では,ドデカンチオールのような液体アルカンチオールが放射化学的反応に対する試薬として用いられる。この試薬は,ポリマー層を作るために用いられる溶液と混合される。
好ましくは,照射は紫外線により行われる。しかし,発光層及び用いられる試薬の組成により,ガンマ線,エックス線,電子またはイオンビームのような粒子線を用いてもよい。
他の好適な実施の形態では,発光層の局所的に定められた異なる領域は,異なる時間照射される。例えば紫外線照射の時間を変えることにより,放射化学反応の時間が異なってくるため,ゲスト−ホスト系は,発光色の色彩(混合色)を増加させるように変えることができる。
複数の色の発光色を出すために,複数種の異なるゲスト分子をも発光層に含有させることができる。発光の性質は,放射化学反応のタイプや程度により,局所的に分解した異なる方法で変化する。
例えば,同様の化学反応性を持つが発光色の異なるゲスト物質を,異なる濃度のゲスト−ホスト系に含有させることで,さらなる変形例を構成することができる。ゲスト分子の個々好適な濃度を選択すれば,濃度の高いゲスト分子による発光がなおLED素子の色の効果に対し大きく貢献する一方で,放射化学的プロセスを十分実現し濃度の低いゲスト分子による発光を大きく抑制できる。
さらなる実施の形態では,個々のゲスト成分は放射化学的プロセスの中での反応における反応速度の点でも互いに異なる。この場合も放射化学的プロセスの時間を変えることで,部品による発光の色の効果をある限度内で変えることができる。
本発明の上記実施形態により,混合色の表示素子のみならず複数色の表示素子(LED)も実現可能である。上記実施形態により,放射化学的プロセスを用いて部品の有機成分の好適な組み合わせで定まる発光色を,特に選択的に変化させること,およびそれを特定の意図的な用途に採用することが可能である。
図1に,直流電圧により作動する有機発光部品の概略的設計図を示す。インジウム/スズ酸化物(ITO)電極2が,支持部材1,例えばガラス基板に取り付けられ,電極が外部電圧源の陽極を形成する。ポリ(ジオキシエチレンチエニレン)(PEDOT)層3は,電極層2の上方に配置される。このポリ(ジオキシエチレンチエニレン)(PEDOT)層3には,任意でポリ(スチレンスルホン酸)(PSS)を添加してもよい。PEDOT層3は任意であり,設計の際には省略してもよい。設計の次段階は,発光ポリマー層4である。この上にカルシウムおよびアルミニウムの電極5が形成され,外部電圧源の陰極として機能する。このような発光部品においては,付加層,例えば電荷輸送層あるいは光の指向性反射を起こす層が相互に配置されていてもよい。
以下,実施例を挙げて本発明をさらに説明する。
(実施例1)
ポツダム大学で2001年に発表されたH.G.Nothoferの論文(Logos Verlag, Berlin 2001年, ISBN 3-89722-668-5)により合成されたポリ(フルオレン)(ポリ(9,9−ジ−(2−エチルヘキシル)−フルオレニルー2,7−ジイル),およびH.-H.Hoerhold, H. Tillmann, C. Bader, R. Stockmann, J. Nowotny, E. Klemm, W. Holzer,A. Penzkofer, Synth. Met. 119, 199 (2001年)に従って合成されたMEH−PPV[ポリ(2−メトキシ−5−(2−エチルヘキシルオキシ)−1,4−フェニレンビニレン)]を,70℃,高真空(10−5mbar)で3時間乾燥した。アルゴン雰囲気下で,その乾燥ポリマーからトルエンの溶液が生成された。ポリフルオレンの濃度はトルエン1リットル当たり10gとなった。MEH−PPVの濃度はトルエン1リットル当たり1gとなった。
ポツダム大学で2001年に発表されたH.G.Nothoferの論文(Logos Verlag, Berlin 2001年, ISBN 3-89722-668-5)により合成されたポリ(フルオレン)(ポリ(9,9−ジ−(2−エチルヘキシル)−フルオレニルー2,7−ジイル),およびH.-H.Hoerhold, H. Tillmann, C. Bader, R. Stockmann, J. Nowotny, E. Klemm, W. Holzer,A. Penzkofer, Synth. Met. 119, 199 (2001年)に従って合成されたMEH−PPV[ポリ(2−メトキシ−5−(2−エチルヘキシルオキシ)−1,4−フェニレンビニレン)]を,70℃,高真空(10−5mbar)で3時間乾燥した。アルゴン雰囲気下で,その乾燥ポリマーからトルエンの溶液が生成された。ポリフルオレンの濃度はトルエン1リットル当たり10gとなった。MEH−PPVの濃度はトルエン1リットル当たり1gとなった。
含有するポリフルオレンとMEH−PPVの重量比が99.5:0.5となるようにそれら2種の溶液で混合物を調製した。全体のポリマーの濃度は,トルエン1リットル当たり9.6gとなった。上記発明によれば,ポリフルオレンはこれによって過度に供給される成分(ホスト物質)として,MEH−PPVは過度に供給されていない成分(ゲスト物質)として働く。
表面にインジウム/スズ酸化物(ITO)をのせた幅9mmのガラス基板(1.5cm×1.5cm)の一片を,酸素プラズマを用いてエッチングした。プラズマエッチングについては,J.S. Kim 他により記載の手続き(Journal of Applied Physics 84, 6860 (1998年))に拠った。続いて,ポリ(スチレンスルホン酸)(PSS)をドープしたポリ(ジオキシエチレンチエニレン)(PEDOT)を,空気雰囲気の下で層の厚さが100nm未満となるように,市販のラッカー遠心分離機を用いて回転塗布した。PSSをドープしたPEDOTは,商標名Bayton P.のものをBayer AG(ドイツ)にて購入した。乾燥(120℃,20分,アルゴン雰囲気下)および続く真空乾燥(120℃,3時間,10−5mbar)に際し,上述したポリマー混合物の薄膜(ポリフルオレンおよびMEH−PPV含有)を上記層にアルゴン雰囲気下で回転塗布した。その後すぐに,試料をアルゴン雰囲気下で3時間,70℃乾燥させた(圧力は1バール)。
試料は,耐食鋼で製造された鋼鉄製の容器に入れられた。この容器により試料は水晶窓を通して紫外線照射を受ける。鋼鉄製の容器の基本的設計を図2に示す(断面図)。
鋼鉄製の容器は,土台6(任意に温度調節可能),横窓7,水晶窓9を組み込んだねじ込み可能な蓋8,および周辺シール10から構成されている。入口ノズル12および出口ノズル13を経由してガスを流す標本空間11において,照射対象の試料14は,取り付け装置15を用いて,水晶窓9を通って照射を受けるように配置される。任意で用いられる平面のシャドーマスク16は,例えば指示された位置に適切に備え付けることができる。
まず,鋼鉄製の容器内の空気を置き換えるために,鋼鉄製の容器を純窒素で約15分間洗浄した。その後すぐに,気体窒素を70℃に温調したガラス製の容器に通した。この中は無水ヒドラジンが存在していた。無水ヒドラジンは,H. BockとG. Rudolph共著の指示(Z. Anorg. Allg. Chem. 311, 117 (1962年))に従い,前もって市販のヒドラジン水和物から調製してあった。このようにしてヒドラジンを含んだ窒素が,前もって純窒素で洗浄された鋼鉄製の容器を15分間流された。最後に,窒素/ヒドラジン雰囲気下で鋼鉄製の容器に現存する試料に,ろ過されていない水銀高圧ランプ(Heraeus Q1023)を用いて温度25℃で20秒間多色光を照射した。ランプと試料表面との間の距離は12cmであった。紫外線照射は,試料表面の一部を平面マスクで覆って行われた。この照射の間,窒素/ヒドラジン混合物での洗浄が続けられた。照射終了後,鋼鉄製の容器をさらに15分間純窒素で洗浄した。その後すぐに,試料を鋼鉄製の容器から取り除き,70℃,高真空(10−5mbar)で5時間乾燥した。
高真空蒸発プラント(Balzers MED010)の中で,まずカルシウム含有の平面の薄層を,底面圧3×10−6mbarで金属カルシウム含有の供給源から試料の上面に蒸発させることにより覆った。次に,アルミニウムをカルシウム含有の薄層に蒸着させることにより平面的に被覆した。蒸着により被覆された接触面を,ITO層への導電接続が起こらないように導電性銀と接触させた。さらに,一片のITOを,試料の両端で機械的にさらし,これも導電性銀と接触させた。接触した試料は,空気中の酸素や湿気を避けるためアルゴン雰囲気に導入された。
いわゆるオンセット電圧を超える直流電圧を個々の端末に印加すると,試料の,先に紫外線照射を受けた部分は薄青色に輝き,受けなかった部分は黄色に近い橙色に輝いた。
これにより,ITO層は陽極に,カルシウム/アルミニウム電極は陰極に分極した。
オンセット電圧により,直流電圧はこれを超えた発光が適切な市販のフォトダイオードを用いて検出可能であるということを意味づけた。
(実施例2)
ポツダム大学で2001年に発表されたH.G.Nothoferの論文(Logos Verlag, Berlin 2001, ISBN 3-89722-668-5)により合成されたポリ(フルオレン)(ポリ(9,9−ジ−(2−エチルヘキシル)−フルオレニルー2,7−ジイル),およびH.-H.Hoerhold, H. Tillmann, C. Bader, R. Stockmann, J. Nowotny, E. Klemm, W. Holzer,A. Penzkofer, Synth. Met. 119, 199 (2001)に従って合成されたMEH−PPV[ポリ(2−メトキシ−5−(2−エチルヘキシルオキシ)−1,4−フェニレンビニレン)]を,70℃,高真空(10−5mbar)で3時間乾燥した。アルゴン雰囲気下で,その乾燥ポリマーからトルエンの溶液が生成された。ポリフルオレンの濃度はトルエン1リットル当たり10g,MEH−PPVの濃度はトルエン1リットル当たり1gとなった。
ポツダム大学で2001年に発表されたH.G.Nothoferの論文(Logos Verlag, Berlin 2001, ISBN 3-89722-668-5)により合成されたポリ(フルオレン)(ポリ(9,9−ジ−(2−エチルヘキシル)−フルオレニルー2,7−ジイル),およびH.-H.Hoerhold, H. Tillmann, C. Bader, R. Stockmann, J. Nowotny, E. Klemm, W. Holzer,A. Penzkofer, Synth. Met. 119, 199 (2001)に従って合成されたMEH−PPV[ポリ(2−メトキシ−5−(2−エチルヘキシルオキシ)−1,4−フェニレンビニレン)]を,70℃,高真空(10−5mbar)で3時間乾燥した。アルゴン雰囲気下で,その乾燥ポリマーからトルエンの溶液が生成された。ポリフルオレンの濃度はトルエン1リットル当たり10g,MEH−PPVの濃度はトルエン1リットル当たり1gとなった。
含有するポリフルオレンとMEH−PPVの重量比が99.5:0.5となるようにそれら2種の溶液で混合物を調製した。全体の重合体の濃度は,トルエン1リットル当たり9.6gとなった。上記発明によれば,ポリフルオレンはこれによって過度に供給される成分(ホスト物質)として,MEH−PPVは過度に供給されていない成分(ゲスト物質)として働く。
表面にインジウム/スズ酸化物(ITO)をのせた幅9mmのガラス基板(1.5cm×1.5cm)の一片を,酸素プラズマを用いてエッチングした。プラズマエッチングについては,J.S. Kim 他により記載の手続き(Journal of Applied Physics 84, 6860 (1998年))に拠った。続いて,ポリ(スチレンスルホン酸)(PSS)をドープしたポリ(ジオキシエチレンチエニレン)(PEDOT)を,空気雰囲気の下で層の厚さが100nm未満となるように,市販のラッカー遠心分離機を用いて回転塗布した。PSSをドープしたPEDOTは,商標名Bayton P.のものをBayer AG(ドイツ)にて購入した。乾燥(120℃,20分,アルゴン雰囲気下)および続く真空乾燥(120℃,3時間,10−5mbar)に際し,上述したポリマー混合物の薄膜(ポリフルオレンおよびMEH−PPV含有)を前記層にアルゴン雰囲気下で回転塗布した。その後すぐに,試料をアルゴン雰囲気下で3時間,70℃乾燥させた(圧力は1バール)。
試料は,耐食鋼で製造された鋼鉄製の容器に入れられた。この容器により試料は水晶窓を通して紫外線照射を受ける(図2参照)。まず鋼鉄製の容器内の空気を置換するために,鋼鉄製の容器を純窒素で約15分間洗浄した。その後すぐに,気体窒素を70℃に温調したガラス製の容器に通した。この中は無水ヒドラジンが存在していた。無水ヒドラジンは,H. BockとG. Rudolph共著の指示(Z. Anorg. Allg. Chem. 311, 117 (1962年))に従い,前もって市販のヒドラジン水和物から調製してあった。このようにしてヒドラジンを含んだ窒素が,前もって純窒素で洗浄された鋼鉄製の容器を15分間流された。最後に,窒素/ヒドラジン雰囲気下で鋼鉄製の容器に現存する試料に,ろ過されていない水銀高圧ランプ(Heraeus Q1023)を用いて温度25℃で20秒間多色光を照射した。ランプと試料表面との間の距離は12cm,試料の温度は約25℃であった。
平面マスクの助力を受けて,紫外線照射は試料表面の一領域を5秒間,他の領域は20秒間,もうひとつの領域は40秒間紫外線照射を受けるようにして行われた。試料の他の領域はスクリーンで被覆し,全く照射を受けないようにした。この紫外線照射の間,窒素/ヒドラジン混合物での洗浄が続けられた。照射終了後,鋼鉄製の容器をさらに15分間純窒素で洗浄した。その後すぐ,試料を鋼鉄製の容器から取り除き,70℃,高真空(10−5mbar)で5時間乾燥した。
高真空蒸発プラント(Balzers MED010)の中で,まずカルシウム含有の平面の薄層を,底面圧3×10−6mbarで金属カルシウム含有の供給源から試料の上面に蒸着させることにより被覆した。次にアルミニウムを,カルシウム含有の薄層に蒸着させることにより被覆した。
こうする中で蒸着は,互いに離れた大きさ約7mm×5mmの数箇所の接触面が試料の表面に生成するようにシャドーマスクを用いて行われた。接触面の位置は,個々の接触面が異なる時間紫外線照射を受けた試料の領域のそれぞれに存在するように選択された。
蒸着により被覆された接触面を,ITO層への導電接続が起こらないように導電性銀と接触させた。さらに,一片のITOを,試料の両端で機械的にさらし,これも導電性銀と接触させた。接触した試料は,空気中の酸素や湿気を避けるためアルゴン雰囲気に導入された。
いわゆるオンセット電圧を超える直流電圧を個々の接触面に印加すると,紫外線照射を受けなかった領域は黄色に近い橙色に,5秒間照射を受けた領域は黄緑色に,20秒間照射を受けた領域は薄青色に,40秒間照射を受けた領域は青色に輝いた。
(実施例3)
本実施例にて使用の以下の物質を,カナダケベック州のAmerican Dye Source, Inc.にて購入した。ADSBE129[ポリ(9,9−ジ−n−オクチルフルオレニル−2,7’−ジイル)],ADSGE108[ポリ{(9,9−ジオクチル−2,7−ジビニレンフルオレニレン)−alt−co−(2−メトキシ−5−(2−エチルへキシルオキシ)−1,4−フェニレン)}]およびADSRE111[ポリ{(9,9−ジヘキシル−2,7−ビス(1−シアノビニレン)フルオレニレン)−alt−co−(2,5−ビス(N,N−ジフェニルアミノ)−1,4−フェニレン)}]。
本実施例にて使用の以下の物質を,カナダケベック州のAmerican Dye Source, Inc.にて購入した。ADSBE129[ポリ(9,9−ジ−n−オクチルフルオレニル−2,7’−ジイル)],ADSGE108[ポリ{(9,9−ジオクチル−2,7−ジビニレンフルオレニレン)−alt−co−(2−メトキシ−5−(2−エチルへキシルオキシ)−1,4−フェニレン)}]およびADSRE111[ポリ{(9,9−ジヘキシル−2,7−ビス(1−シアノビニレン)フルオレニレン)−alt−co−(2,5−ビス(N,N−ジフェニルアミノ)−1,4−フェニレン)}]。
これら重合体をアルゴン雰囲気下で,70℃,高真空(10−5mbar)で3時間乾燥した。ADSBE129の濃度はトルエン1リットル当たり10g,ADSGE108の濃度はトルエン1リットル当たり5g,ADSRE111の濃度はトルエン1リットル当たり4gとなった。
含有するADSBE129,ADSGE108,ADSRE111の重量比が80:15:5となるようにそれら溶液で混合物を調製した。トルエンでさらに希釈した後,全体の重合体の濃度は,トルエン1リットル当たり7gとなった。上記混合物を1時間,70℃まで加熱し,同時にポリ(テトラフルオロエニレン)でコーティングされた攪拌用磁石および電磁攪拌機を用いて150回転/分でかき混ぜた。上記発明によれば,ADSBE129はこれによってホスト物質として,ADSGE108およびADSRE111はゲスト物質として働く。
表面にインジウム/スズ酸化物(ITO)をのせた幅9mmのガラス基板(1.5cm×1.5cm)の一片を,酸素プラズマを用いてエッチングした。プラズマエッチングについては,J.S. Kim 他により記載の手続き(Journal of Applied Physics 84, 6860 (1998年))に拠った。続いて,ポリ(スチレンスルホン酸)(PSS)をドープしたポリ(ジオキシエチレンチエニレン)(PEDOT)を,空気雰囲気の下で層の厚さが100nm未満となるように,市販のラッカー遠心分離機を用いて回転塗布した。PSSをドープしたPEDOTは,商標名Bayton P.のものをBayer AG(ドイツ)にて購入した。乾燥(120℃,20分,アルゴン雰囲気下)および続く真空乾燥(120℃,3時間,10−5mbar)に際し,上述したポリマー混合物の薄膜(ADSBE120,ADSGE108およびADSRE111含有)を上記層にアルゴン雰囲気下で回転塗布した。その後すぐに,試料をアルゴン雰囲気下で3時間,70℃乾燥させた(圧力は1バール)。
試料は,耐食鋼で製造された鋼鉄製の容器に入れられた。この容器により試料は水晶窓を通して紫外線照射を受ける(図2参照)。まず鋼鉄製の容器内の空気を置き換えるために,鋼鉄製の容器を純窒素で約15分間洗浄した。その後すぐに,気体窒素を70℃に温調したガラス製の容器に通した。この中は無水ヒドラジンが存在していた。無水ヒドラジンは,H. BockとG. Rudolph共著の指示(Z. Anorg. Allg. Chem. 311, 117 (1962年))に従い,前もって市販のヒドラジン水和物から調製してあった。
最後に,窒素/ヒドラジン雰囲気下で鋼鉄製の容器に現存する試料に,ろ過されていない水銀高圧ランプ(Heraeus Q1023)を用いて光を照射した。こうする中で,表面の個々の領域に20秒間照射し,平面マスクを通して90秒間照射した。試料の残りの部分は照射を受けなかった。ランプと試料表面の距離は12cmであった。この紫外線照射の間,窒素/ヒドラジン混合物での洗浄が続けられた。鋼鉄製のチャンバ内の温度は25℃であった。
照射終了後,鋼鉄製の容器をさらに15分間純窒素で洗浄した。その後すぐ,試料を鋼鉄製の容器から取り除き,70℃,高真空(10−5mbar)で5時間乾燥した。
高真空蒸発プラント(Balzers MED010)の中で,まずカルシウム含有の平面の薄層を,底面圧3×10−6mbarで金属カルシウム含有の供給源から試料の上面に蒸着させることにより被覆した。次にアルミニウムを,カルシウム含有の薄層に蒸着させることにより平面的に被覆した。
こうする中で蒸着は,互いに離れた大きさ約7mm×5mmの数箇所の接触面が試料の表面に生成するようにシャドーマスクを用いて行われた。接触面の位置は,個々の接触面が異なる時間紫外線照射を受けた試料の領域のそれぞれに存在するように選択された。
蒸着により被覆された接触面を,ITO層への導電接続が起こらないように導電性銀と接触させた。さらに,一片のITOを,試料の両端で機械的にさらし,これも導電性銀と接触させた。接触した試料は,空気中の酸素や湿気を避けるためアルゴン雰囲気に導入された。
(いわゆるオンセット電圧を超える)直流電圧を個々の接触面に印加すると,試料の,20秒間照射を受けた領域は青緑色に,90秒間照射を受けた領域は青色に,紫外線照射を受けなかった領域は橙赤色に輝いた。
(実施例4)
本実施例にて使用の以下の化学物質を,カナダケベック州のAmerican Dye Source, Inc.にて購入した。ADSBE129[ポリ(9,9−ジ−n−オクチルフルオレニル−2,7’−ジイル)]。同様に以下の成分を,Sigma−Aldrichにて購入した。MEHPPV[ポリ(2−メトキシ−5−(2−エチルヘキシロキシ)−1,4−フェニレンビニレン)]。
本実施例にて使用の以下の化学物質を,カナダケベック州のAmerican Dye Source, Inc.にて購入した。ADSBE129[ポリ(9,9−ジ−n−オクチルフルオレニル−2,7’−ジイル)]。同様に以下の成分を,Sigma−Aldrichにて購入した。MEHPPV[ポリ(2−メトキシ−5−(2−エチルヘキシロキシ)−1,4−フェニレンビニレン)]。
これら重合体を,70℃,高真空(10−5mbar)で3時間乾燥した。アルゴン雰囲気下で,その乾燥ポリマーからクロロホルムの溶液が生成された。ADSBE129の濃度はクロロホルム1リットル当たり5g,MEHPPVの濃度はクロロホルム1リットル当たり5gとなった。
含有するADSBE129とMEHPPVとの重量比が99:1となるようにそれら溶液で混合物を調製した。上記混合物を,ポリ(テトラフルオロエニレン)でコーティングされた拡販用磁石および電磁攪拌機を用いて150回転/分で少なくとも1時間かき混ぜた。上記発明によれば,ADSBE129はこれによってホスト物質として,MEHPPVはゲスト物質として働く。
表面にインジウム/スズ酸化物(ITO)をのせた幅9mmのガラス基板(1.5cm×1.5cm)の一片を,酸素プラズマを用いてエッチングした。プラズマエッチングについては,J.S. Kim 他により記載の手続き(Journal of Applied Physics 84, 6860 (1998年))に拠った。続いて,ポリ(スチレンスルホン酸)(PSS)をドープしたポリ(ジオキシエチレンチエニレン)(PEDOT)を,空気雰囲気の下で層の厚さが100nm未満となるように,市販のラッカー遠心分離機を用いて回転塗布した。PSSをドープしたPEDOTは,商標名Bayton P.のものをBayer AG(ドイツ)にて購入した。乾燥(120℃,20分,アルゴン雰囲気下)および続く真空乾燥(120℃,3時間,10−5mbar)に際し,上述したポリマー混合物の薄膜(ADSBE129およびMEHPPV含有)を上記層にアルゴン雰囲気下で回転塗布した。その後すぐに,試料をアルゴン雰囲気下で3時間,70℃乾燥させた(圧力は1バール)。
試料は耐食鋼で製造された鋼鉄製の容器に入れられた。この容器により試料は水晶窓を通して紫外線照射を受ける(図2参照)。まず鋼鉄製の容器内の空気を置き換えるために,鋼鉄製の容器を純窒素で約15分間洗浄した。その後すぐに,まず気体窒素を液体2−プロパンチオールを含有するガラス製の容器に通し,その後,窒素および気体2−プロパンチオールを含有する雰囲気に対し鋼鉄製の容器に存在する試料をさらすため上述の鋼鉄製の容器に通した。
最後に,この(窒素および気体2−プロパンチオールを含有する)雰囲気下で鋼鉄製の容器に現存する試料に,ろ過されていない水銀高圧ランプ(Heraeus Q1023,1300W)を用いて光を照射した。こうする中で,表面の個々の領域に平面マスクを通して20秒間照射した。試料の残りの部分は照射を受けなかった。ランプと試料表面の距離は12cmであった。この紫外線照射の間,窒素/2−プロパンチオール混合物での洗浄が続けられた。鋼鉄製のチャンバ内の温度は25℃であった。
照射終了後,鋼鉄製の容器をさらに15分間純窒素で洗浄した。その後すぐに,試料を鋼鉄製の容器から取り除き,70℃,高真空(10−5mbar)で5時間乾燥した。
高真空蒸発プラント(Balzers MED010)の中で,まずカルシウム含有の平面の薄層を,底面圧3×10−6mbarで金属カルシウム含有の供給源から試料の上面に蒸着させることにより被覆した。次にアルミニウムを,カルシウム含有の薄層に蒸着させることにより平面的に被覆した。
こうする中で蒸着は,互いに離れITO層と重なった大きさ約2.5mm×2.5mmの数箇所の接触面が試料の表面に生成するようにシャドーマスクを用いて行われた。接触面の位置は,少なくとも一の接触面が異なる時間紫外線照射を受けた試料の領域のそれぞれに存在するように選択された。
蒸着により被覆された接触面を,ITO層への導電接続が起こらないように導電性銀と接触させた。さらに,一片のITOを,試料の両端で機械的にさらし,これも導電性銀と接触させた。接触した試料は,空気中の酸素や湿気を避けるためアルゴン雰囲気に導入された。
(いわゆるオンセット電圧を超える)直流電圧を個々の接触面に印加すると,試料の,20秒間照射を受けた領域は青色に,紫外線照射を受けなかった領域は橙色に輝いた。
(実施例5)
本実施例にて使用の以下の化学物質を,カナダケベック州のAmerican Dye Source, Inc.にて購入した。ADSBE129[ポリ(9,9−ジ−n−オクチルフルオレニル−2,7’−ジイル)]。同様に以下の成分を,Sigma−Aldrichにて購入した。MEHPPV[ポリ(2−メトキシ−5−(2−エチルヘキシロキシ)−1,4−フェニレンビニレン)]。
本実施例にて使用の以下の化学物質を,カナダケベック州のAmerican Dye Source, Inc.にて購入した。ADSBE129[ポリ(9,9−ジ−n−オクチルフルオレニル−2,7’−ジイル)]。同様に以下の成分を,Sigma−Aldrichにて購入した。MEHPPV[ポリ(2−メトキシ−5−(2−エチルヘキシロキシ)−1,4−フェニレンビニレン)]。
これら重合体を,70℃,高真空(10−5mbar)で3時間乾燥させた。アルゴン雰囲気下で,その乾燥ポリマーからクロロホルムの溶液が生成された。ADSBE129の濃度はクロロホルム1リットル当たり5g,MEHPPVの濃度はクロロホルム1リットル当たり5gとなった。
含有するADSBE129とMEHPPVとの重量比が99:1となるようにそれら溶液で混合物を調製した。上記混合物を,ポリ(テトラフルオロエニレン)でコーティングされた拡販用磁石および電磁攪拌機を用いて150回転/分で少なくとも1時間かき混ぜた。上記発明によれば,ADSBE129はこれによってホスト物質として,MEHPPVはゲスト物質として働く。重合体を含有する溶液に,MEHPPVのビニレン単位1モルあたり4モルのドデカンチオールを溶液に含有するようにドデカンチオールを添加した(モル比C=C:−SHは1:4)。
表面にインジウム/スズ酸化物(ITO)をのせた幅9mmのガラス基板(1.5cm×1.5cm)の一片を,酸素プラズマを用いてエッチングした。プラズマエッチングについては,J.S. Kim 他により記載の手続き(Journal of Applied Physics 84, 6860 (1998年))に拠った。続いて,ポリ(スチレンスルホン酸)(PSS)をドープしたポリ(ジオキシエチレンチエニレン)(PEDOT)を,空気雰囲気の下で層の厚さが100nm未満となるように,市販のラッカー遠心分離機を用いて回転塗布した。PSSをドープしたPEDOTは,商標名Bayton P.のものをBayer AG(ドイツ)にて購入した。乾燥(120℃,20分,アルゴン雰囲気下)および続く真空乾燥(120℃,3時間,10−5mbar)に際し,上述したポリマー混合物の薄膜(ADSBE129,MEHPPVおよびドデカンチオール含有)を上記層にアルゴン雰囲気下で回転塗布した。
試料は耐食鋼で製造された鋼鉄製の容器に入れられた。この容器により試料は水晶窓を通して紫外線照射を受ける(図2参照)。まず,鋼鉄製の容器内の空気を置き換えるために,鋼鉄製の容器を純窒素で約15分間洗浄した。窒素洗浄中と同様に回転塗布中も,ADSBE129,MEHPPVおよびドデカンチオールの組み合わせ混合物内に設定されたMEHPPVとドデカンチオールとの比を実質的に変えないよう注意した。
最後に,窒素雰囲気下で鋼鉄製の容器に現存する試料に,ろ過されていない水銀高圧ランプ(Heraeus Q1023,1300W)を用いて光を照射した。こうする中で,表面の個々の領域に平面マスクを通して60秒間照射した。試料の残りの部分は照射を受けなかった。ランプと試料表面の距離は12cmであった。この紫外線照射の間,窒素での洗浄が続けられた。鋼鉄製のチャンバ内の温度は25℃であった。
照射終了後,鋼鉄製の容器をさらに15分間純窒素で洗浄した。その後すぐ,試料を鋼鉄製の容器から取り除き,70℃,高真空(10−5mbar)で5時間乾燥した。
高真空蒸発プラント(Balzers MED010)の中で,まずカルシウム含有の平面の薄層を,底面圧3×10−6mbarで金属カルシウム含有の供給源から試料の上面に蒸着させることにより被覆した。次にアルミニウムを,カルシウム含有の薄層に蒸着させることにより平面的に被覆した。
こうする中で蒸着は,互いに離れITO層と重なった大きさ約2.5mm×2.5mmの数箇所の接触面が試料の表面に生成するようにシャドーマスクを用いて行われた。接触面の位置は,少なくとも一の接触面が異なる時間紫外線照射を受けた試料の領域のそれぞれに存在するように選択された。
蒸着により被覆された接触面を,ITO層への導電接続が起こらないように導電性銀と接触させた。さらに,一片のITOを,試料の両端で機械的にさらし,これも導電性銀と接触させた。接触した試料は,空気中の酸素や湿気を避けるためアルゴン雰囲気に導入された。
(いわゆるオンセット電圧を超える)直流電圧を個々の接触面に印加すると,試料の,60秒間照射を受けた領域は青色に,紫外線照射を受けなかった領域は橙色に輝いた。
Claims (16)
- 支持部材(1),電極(2,5),発光層(4)および任意に1または複数の付加層(3)を含む発光部品(LED)であって,
前記発光層(4)は,異なる色の光を発する少なくとも2つの有機成分を含み,
前記有機成分の一方は過度に供給され,前記成分または過度に供給されていない成分による発光は,放射化学的プロセスの結果形成された前記発光層の残りについて局所的に定められた領域で減少あるいは全体的に抑制されることを特徴とする,発光部品。 - 前記有機成分は,ポリ(パラフェニレンビニレン)誘導体,ポリ(パラフェニレン)誘導体およびポリ(チオフェン)誘導体からなる群から選ばれた共役ポリマーまたは共役オリゴマーであることを特徴とする,請求項1に記載の発光部品(LED)。
- 前記過度に供給される有機成分は,ポリ(パラフェニレン)の誘導体であり,さらにもう1つの前記有機成分またはさらに他の有機成分は,ポリ(パラフェニレンビニレン)の誘導体であることを特徴とする,請求項2に記載の発光部品(LED)。
- 前記過度に供給される有機成分は,ポリ(パラフェニレン)の誘導体であり,さらにもう1つの前記有機成分またはさらに他の有機成分は,主鎖にビニレン単位を含む共役ポリマーまたは共役オリゴマーであることを特徴とする,請求項2に記載の発光部品(LED)。
- 前記過度に供給される有機成分は,ポリ(パラフェニレン)の誘導体であり,さらにもう1つの前記有機成分またはさらに他の有機成分は,染料あるいはオリゴマーのような低分子化合物であることを特徴とする,請求項1に記載の発光部品(LED)。
- 前記ポリ(パラフェニレン)の誘導体は,ポリ(フルオレン)誘導体あるいは架橋ポリ(パラフェニレン)誘導体であることを特徴とする,請求項2から5のいずれか1項に記載の発光部品(LED)。
- 前記有機成分は,アントラセン,ペリレンおよびスチルベンの誘導体のような芳香族化合物,オキサゾールおよびオキサジアゾールの誘導体のような複素環式化合物,ならびにトリ(8−ヒドロキシキノリン)アルミニウム(Alq3)およびポルフィリン錯体のような金属錯体化合物からなる低分子化合物であることを特徴とする,請求項1に記載の発光部品(LED)。
- 第1の電極(2),発光層(4),第2の電極(5)および任意に1または複数の付加的な中間層(3)が支持部材(1)の上に積層されており,前記第2の電極(5)を積層する前に,試薬の存在下,局所的に定められた領域で前記発光層が照射され,放射化学的に反応することを特徴とする,請求項1から7のいずれか1項に記載の発光部品(LED)の製造方法。
- 照射および反応は,気体試薬の存在下で行われることを特徴とする,請求項8に記載の発光部品(LED)の製造方法。
- 前記気体試薬は,ヒドラジンまたはヒドラジンの誘導体であることを特徴とする,請求項9に記載の製造方法。
- 前記気体試薬は,チオール,好ましくは2−プロパンチオールであることを特徴とする,請求項9に記載の製造方法。
- 前記試薬は,照射の開始前に,または,前記発光層の製造中に,拡散法によって前記発光層に注入されることを特徴とする,請求項8に記載の製造方法。
- 液体アルカンチオール,好ましくはドデカンチオールが試薬として用いられることを特徴とする,請求項12に記載の製造方法。
- 前記試薬は,還元剤,酸化剤,付加試薬または置換試薬であることを特徴とする,請求項8に記載の製造方法。
- 照射は,紫外線によって行われることを特徴とする,請求項8から14のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記発光層の局所的に定められた異なる領域は,異なる時間照射されることを特徴とする,請求項8から15のいずれか1項に記載の製造方法。
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