JP2005531021A - 反射屈折縮小対物レンズ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 物体面上に配置されたパターンを像面に投影するための反射屈折投影対物レンズであって、凹面鏡(17、36、41)及び第1全反射型偏向鏡(16)と共に少なくとも1つの第2全反射型偏向鏡(19)を有する反射屈折対物レンズ部分(15)が、前記物体面及び前記像面間に配置され、通過する光の好適な偏光方向を回転させる偏光回転体(26、37)が、前記第1偏向鏡及び前記第2偏向鏡間に配置され、それによって前記偏向鏡の反射率及び/または位相における偏光依存差を補償する、反射屈折投影対物レンズ。
Description
Z≡d(x)=(λ/4*cos(αin)/Δn(αin)
ここで、Δnは、遅延素子を取り囲む媒体(通常は空気)及び遅延素子の材料間の屈折率の差であり、αinは、光軸または<110>軸及びそれぞれ考えられるビーム38間の角度であり、d(x)は、遅延素子の半径xの関数としての厚さである。この計算は、遅延素子の半径方向に幾分放物線状の厚さ断面形を生じ、光学的理由から理想的な入射面及び出射面の曲率を考慮した負のメニスカスレンズ37の場合に、これがほぼ実現される。
5 投影対物レンズ
7 マスク
8 マスク面
10 フォトレジスト層被覆ウェハ
13 制御ユニット
16 第1偏向鏡
17、36、41 凹面鏡
18 光軸
19 第2偏向鏡
21 ビーム偏向装置
25 側部アーム
26、37、43 偏向回転体
35、40 ビームスプリッタ
48 ビームスプリッタ表面
49 偏向鏡
Claims (20)
- 物体面上に配置されたパターンを像面に投影するための反射屈折投影対物レンズであって、凹面鏡(17、36、41)及び第1全反射型偏向鏡(16)と共に少なくとも1つの第2全反射型偏向鏡(19)を有する反射屈折対物レンズ部分(15)が、前記物体面及び前記像面間に配置され、通過する光の好適な偏光方向を回転させる偏光回転体(26、37)が、前記第1偏向鏡及び前記第2偏向鏡間に配置され、それによって前記偏向鏡の反射率及び/または位相における偏光依存差を補償する、反射屈折投影対物レンズ。
- 前記偏光回転体(26、37)は、前記偏向鏡間で前記好適な偏光方向を約90°だけ回転させるように構成される、請求項1に記載の投影対物レンズ。
- 光が2回横切る領域を前記第1偏向鏡(16)及び前記第2偏向鏡(19)間に有し、前記偏光回転体(26、37)は、前記2回横切る領域内に配置された、少なくともほぼ四分の一波長板の効果を有する遅延装置である、請求項1または2に記載の投影対物レンズ。
- 前記偏光回転体(26、37)は、通過する放射光の低拡散領域内に、好ましくは該投影対物レンズのひとみ面の近傍区域内に、特に前記凹面鏡(17、36)の付近に配置される、前記請求項のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 前記偏光回転体は、少なくともほぼ二分の一波長板の効果を有する遅延装置であって、該遅延装置は、前記第1偏向鏡(16)及び前記第2偏向鏡(19)間の、光が1回だけ横切る領域(28、29)内に配置される、前記請求項のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 前記偏光回転体(37)は、固有複屈折を有する立方晶系結晶質、特にフッ化カルシウム結晶またはフッ化バリウム結晶からなる少なくとも1つの遅延素子を有し、該遅延素子の光軸は、前記結晶の<110>結晶軸の方向にほぼ整合している、前記請求項のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 前記遅延素子は、厚さが少なくとも5mm、特に約10mm〜約50mmである、請求項6に記載の投影対物レンズ。
- 少なくとも1つの遅延素子(37)は、正または負の屈折力を有するレンズ素子として、好ましくは、特に負の屈折力を有するメニスカスレンズとして構成される、請求項6または7に記載の投影対物レンズ。
- 少なくとも1つの遅延素子(37)は、2つの光学面を有し、該光学面の形状及び前記遅延素子の取り付け位置を互いに適応させて、通過するビーム及び前記遅延素子の光軸間の角度が大きいほど、前記光学面間の前記遅延素子内部でのビーム(38)の光路が長くなるようにする、請求項6〜8のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 前記偏光回転体は、固有複屈折を有する立方晶系結晶質で形成された少なくとも1つのレンズ(37)を有し、該レンズの場合、半径の関数としての厚さは、厚さが半径方向に増加するほぼ放物線状の断面形を有する、請求項6〜9のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 前記偏光回転体は、固有複屈折を有する立方晶系結晶質からなる少なくとも1つのレンズを有し、該レンズは、該投影対物レンズのひとみ面の付近に、特に、前記凹面鏡(36)の付近に配置され、好ましくは負の屈折力を有する、請求項6〜10のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 物体面上に配置されたパターンを像面に投影するための反射屈折投影対物レンズであって、凹面鏡(41)と、ビームスプリッタ表面(48)を設けた偏光選択型ビームスプリッタ(40)とを有する反射屈折対物レンズ部分が前記物体面及び前記像面間に配置され、四分の一波長板の効果を有する偏光回転体(43)が、前記ビームスプリッタ表面(48)及び前記凹面鏡(41)間に配置され、また、前記偏光回転体は、レンズとして構成された少なくとも1つの遅延素子(44、45)を有し、該遅延素子は、固有複屈折を有する立方晶系結晶質、特にフッ化カルシウム結晶またはフッ化バリウム結晶からなり、該遅延素子の光軸は、前記結晶の<110>結晶軸の方向にほぼ整合している、反射屈折投影対物レンズ。
- 前記少なくとも1つの遅延素子(44、45)は、特に負の屈折力を有するメニスカスレンズとして構成される、請求項12に記載の投影対物レンズ。
- 前記少なくとも1つの遅延素子(44、45)は、2つの光学面を有し、該光学面の形状及び前記遅延素子の取り付け位置を互いに適応させて、通過するビーム及び前記遅延素子の光軸間の角度が大きいほど、前記光学面間の前記遅延素子内部でのビームの光路が長くなるようにする、請求項12または13のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 前記遅延素子(44、45)の場合、半径の関数としての全厚は、厚さが半径方向に増加するほぼ放物線状の断面形を有する、請求項12〜14のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 前記偏光回転体(43)は、該投影対物レンズのひとみ面の付近に、特に、前記凹面鏡(41)の付近に配置される、請求項12〜14のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 前記ビームスプリッタ表面(48)及び前記凹面鏡(41)間に四分の一波長板をまったく配置しない、請求項12〜16のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- レンズとして構成されて、固有複屈折を有する立方晶系結晶質、特にフッ化カルシウム結晶またはフッ化バリウム結晶からなる少なくとも1つの遅延素子(37、44、45)を有し、該遅延素子の光軸は、前記結晶の<110>結晶軸の方向にほぼ整合している、光学系、特に前記請求項のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 前記遅延素子(37、44、45)は、特に負の屈折力を有するメニスカスレンズである、請求項18に記載の光学系。
- 前記遅延素子の、半径の関数としての厚さは、厚さが半径方向に増加するほぼ放物線状の断面形を有する、請求項18または19に記載の光学系。
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