JP2005524852A - 多目的メモリを有するテスタシステム - Google Patents
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Abstract
集積回路(70)を試験する機器(10)は、試験用装置(70)に接続可能である出力チャネル(50)を有するシーケンス制御ロジックユニット(20)と、各データセットが出力チャネルへ出力するためのテストパターンを決定するためシーケンス制御ロジックユニット(20)により使用される少なくとも2タイプのデータセット(60b,60c,..)を格納するためのメモリ(60)とを含む。
Description
[0001]本願は、米国特許法119条(e)に基づいて、2002年5月8日に出願された米国特許出願第60/379,341号に基づく優先権を主張し、この特許出願の全内容は参照によって本明細書に組み入れられる。
[0002]本願は集積回路テストに関する。
[0003]典型的な集積回路テストシステムでは、テストパターンのシーケンス(「テストシーケンス」)が、試験用装置(DUT)のピンに供給される。多種多様なテストパターン、例えば、スキャンパターン、機能パターン、アルゴリズムパターン、及びアナログパターンが特定のDUTを収容する様々なロジックセクションを試験するため使用される。一部のタイプのテストパターン(例えば、スキャンパターン)は直列形式でDUTピンへ供給され、別のタイプ(例えば、機能パターン、アナログパターン及びアルゴリズムパターン)は並列形式でピンの組に供給される。DUTのアーキテクチャに応じて、テストシーケンスは、複合テストパターンを出力し、すなわち、2タイプ以上のテストパターンを同時にDUTの異なるピンへ出力する。
[0004]テストシーケンス中に、DUTは出力ピンからテスト「結果」を出力する。したがって、テストシステムは、テストシーケンス中にテスト結果を受信するためDUTに接続された二つ以上の入力チャネルを含む。
[0008]本発明の一態様によれば、集積回路を試験する機器は、試験用装置に接続可能である出力チャネルを有するシーケンス制御ロジックユニットと、それぞれが出力チャネルへ出力するためのテストパターンを決定するためシーケンス制御ロジックユニットにより使用される少なくとも2タイプのデータセットを格納するためのメモリと、を含む。
[0009]以下の一つ以上の特徴が含まれる。メモリは、シーケンス制御ロジックユニットによって実行可能である命令を含む少なくとも一つのテストシーケンスプログラムを格納するように更に構成され、機器の動作中に、テストシーケンスプログラムがシーケンス制御ロジックユニットによって実行される。シーケンス制御ロジックユニットは、少なくとも二つの別個の要求元からメモリアクセス要求を受信するため接続された読み出し/書き込みキューを有するメモリインタフェースを更に含む。シーケンス制御ロジックユニットは、メモリインタフェースからの実行可能な命令を受信し保持するため接続された命令キャッシュを更に備える。シーケンス制御ロジックユニットは複数のデータバッファを更に含み、各データバッファが要求元と関連付けられ、各データバッファがメモリインタフェースから受信されたデータを格納するように更に構成される。メモリは、試験用装置から受信されたテスト結果を格納するように更に構成される。機器は、試験用装置から受信されたテスト結果を格納するため結果キャッシュを更に含む。シーケンス制御ロジックユニットは複数のパターン制御ロジックブロックを更に含み、複数のパターン制御ロジックブロックのうちの少なくとも一つは、メモリに格納された二つのデータセットのうちの一方から受信されたデータに基づいてテストパターンを出力するように構成される。メモリに格納されたテストデータセットは、機能データ、スキャンデータ、及びデジタル化されたアナログデータを表すデータセットのうちの少なくとも一つを備える。機器はメモリインタフェースに接続されたフロントエンドプロセッサを更に含み、フロントエンドプロセッサは、プログラムの実行前に、データセット及び実行可能なテストシーケンスプログラムをロードするように構成される。機器は、複数のパターン制御ロジックブロックのうちの対応する一つから少なくとも一つの出力ビットを受信するため複数の選択マルチプレクサを更に含み、複数の選択マルチプレクサのそれぞれの出力を制御するためデータ選択ロジックブロックを更に含む。データ選択ロジックブロックは、テストシーケンスプログラムの一部としてメモリに格納された命令の一部分に基づいて、複数の選択マルチプレクサのそれぞれに対する選択コードを決定する。データ選択ロジックブロックはインデックス付きテーブルを含み、データ選択ロジックブロックは命令の一部分に基づいてインデックスを受信するため接続される。機器は、試験用装置の入力ピンに接続可能である第2の出力チャネルを有する第2のシーケンス制御ロジックユニットと、少なくとも1タイプのデータセット及び第2の実行可能なテストプログラムを格納するための第2のメモリと、を更に含み、第2のメモリに格納された各データセットは第2の出力チャネルに出力するためのテストパターンを決定するため第2のシーケンス制御ロジックユニットによって使用可能である。機器はフロントエンドプロセッサと第1及び第2のシーケンス制御ロジックユニットとを接続する制御ラインを更に含み、機器の動作中に、制御ラインは、第1及び第2のテストシーケンスプログラムの実行を協調させ、第1及び第2のシーケンス制御ユニットの出力チャネルに接続可能である単一の試験用装置へのテストパターンの出力を協調させるべく、第1の制御ユニットと第2の制御ユニットの両方に同期信号を送信するため使用される。
[0010]本発明の更なる態様による物品(article)は、マシンによって実行されたときに、各データセットが試験用装置の入力ピンに接続可能である一つ以上の出力チャネルによって出力されるべきテストパターンを決定するためシーケンス制御ロジックユニットによって使用可能である少なくとも2タイプのデータセットをメモリに格納するステップを実行させる命令が格納された記憶媒体を含む。
[0011]一つ以上の以下の特徴もまた含まれる。格納するステップは、シーケンス制御ロジックユニットによって実行可能である命令を備えた少なくとも一つのテストシーケンスプログラムをメモリに格納するステップを更に含む。この物品は、また、要求元からのメモリアクセス要求をメモリへのインタフェースでキューに入れるステップを更に含む。この物品は、メモリインタフェースから受信した命令を命令キャッシュに格納するステップを更に含む。この物品は、メモリインタフェースから受信したデータを、それぞれが要求元の一つと関連付けられた複数のデータバッファに格納するステップを更に含む。この物品は、試験用装置から受信したテスト結果をメモリに格納するステップを更に含む。この物品は、格納するステップが、試験用装置から受信したテスト結果を結果キャッシュに格納するステップと、格納されたテスト結果を結果キャッシュからメモリインタフェースへ書き込むステップと、を更に含む。この物品は、複数のパターン制御ロジックブロックのうちの少なくとも一つからのテストパターンを出力チャネルへ出力するステップを更に含み、このテストパターンがメモリに格納されたデータセットから受信されたデータに基づく。この物品は、複数のマルチプレクサのそれぞれで、複数のパターン制御ロジックブロックのうちの対応する一つから少なくとも一つの出力ビットを受信するステップと、複数のマルチプレクサのそれぞれから少なくとも一つの出力ビットを選択するステップと、を更に含む。この物品は、選択するステップが、テストシーケンスプログラムの一部としてメモリに格納された命令の一部分に基づいて、複数のマルチプレクサのそれぞれに対し選択コードを決定するステップを更に含む。
[0012]本発明の更なる一態様によれば、集積回路を試験する方法は、各データセットが試験用装置の入力ピンに接続可能である一つ以上の出力チャネルによって出力されるべきテストパターンを決定するためシーケンス制御ロジックユニットによって使用可能である少なくとも2タイプのデータセットをメモリに格納するステップを含む。
[0013]一つ以上の以下の特徴もまた含まれる。格納するステップは、シーケンス制御ロジックユニットによって実行可能である命令を含んだ少なくとも一つのテストシーケンスプログラムをメモリに格納するステップを更に含む。この方法は、また、要求元からのメモリアクセス要求をメモリへのインタフェースでキューに入れるステップを更に含む。この方法は、メモリインタフェースから受信した命令を命令キャッシュに格納するステップを更に含む。この方法は、メモリインタフェースから受信したデータを、それぞれが要求元の一つと関連付けられた複数のデータバッファに格納するステップを更に含む。この方法は、試験用装置から受信したテスト結果をメモリに格納するステップを更に含む。この方法は、格納するステップが、試験用装置から受信したテスト結果を結果キャッシュに格納するステップと、格納されたテスト結果を結果キャッシュからメモリインタフェースへ書き込むステップと、を更に含む。この方法は、複数のパターン制御ロジックブロックのうちの少なくとも一つからのテストパターンを出力チャネルへ出力するステップを更に含み、このテストパターンがメモリに格納されたデータセットから受信されたデータに基づく。この方法は、複数のマルチプレクサのそれぞれで、複数のパターン制御ロジックブロックのうちの対応する一つから少なくとも一つの出力ビットを受信するステップと、複数のマルチプレクサのそれぞれから少なくとも一つの出力ビットを選択するステップと、を更に含む。選択するステップは、テストシーケンスプログラムの一部としてメモリに格納された命令の一部分に基づいて複数のマルチプレクサのそれぞれに対し選択コードを決定するステップを更に含む。
[0014]本発明の実施形態は以下の一つ以上の効果を奏する。例えば、単一の多目的メモリの使用は、DUTを試験するため必要なテストパターンの異なるタイプのそれぞれのために別個のメモリが要求されないので機器のコストを削減する。更に、単一の多目的メモリの使用は、別個のコンポーネントの個数が削減されるので、すなわち、テストパターンのそれぞれのタイプのためのメモリ及び別個のロジックブロックの個数が削減されるので機器の信頼性を高める。また、機器のプログラミング及び使用は、一つのメモリだけを単一ソースからロードすればよいので、複数の分割されたメモリを有するシステムの使用よりも比較的簡単である。
[0015]図1を参照すると、試験用装置(DUT70)を試験する集積回路テストシステム10は、シーケンス制御ロジックのブロック20(SCL20)と、多目的メモリ60と、フロントエンドプロセッサ65(FEP65)と、出力チャネル50と、入力チャネル51と、を含む。システム10の動作中に、実行可能なテストシーケンスプログラム60a及びテストデータ60b−60nの組がメモリ60へロードされる。テストデータ60b−60nの各組は、DUT70内に収容されたロジックのセクションを試験するために必要な異なるタイプのテストパターンに対応する。メモリ60のロードに続いて、プログラム60aからの命令がSCL20によって読み出され、実行され、一つ以上のデータセット60b−60nからのデータのブロックが、複合テストパターンを発生し出力チャネル50からDUT70へ出力するため、SCL20によって読み出され使用される。
[0016]従来のテストシステムは、DUTを試験するため必要な特定のテストパターンのそれぞれを発生する別個のロジックのブロックを含むことがよくある。典型的に、別個のパターン固有ロジックブロックのそれぞれは、特定のタイプのテストパターンを生成するため必要なデータセット及び/又はアルゴリズム情報を記憶する別個のメモリを含む。これに対して、システム10は、複数のデータセットを格納するため使用される唯一の多目的メモリ60を含み、各データセットはDUTをテストするために必要である様々なタイプのテストパターンに対応する。メモリ60は、また、システム10の一つ以上の実行可能なテストシーケンスプログラムを格納するため使用される。更に、メモリ60は、また、テスト結果(「獲得」又は「不成功」)、すなわち、試験用DUTから受信した出力を格納するため使用される。統一された多目的メモリの使用は、DUTを試験するため必要な異なるタイプのテストパターンのそれぞれに別個のメモリが要求されないのでシステム10のコストを削減する。更に、統一メモリの使用は、別個のコンポーネントの個数が減少し、すなわち、テストパターンのそれぞれのタイプのためのメモリと別個のロジックブロックの個数を減少させ得るので、システム10の信頼性を向上させる。また、システム10のプログラミング及び使用は、唯一のメモリだけが単一のソース(例えば、フロントエンドプロセッサ65)からロードされれば済むので、複数の分割されたメモリを有するシステムの使用よりも比較的簡単である。
[0017]図1を更に参照すると、SCL20は、テストシーケンスプログラム60aを実行し、また一連のパターン制御ロジックブロック37a−37c(PCL37a−37c)及びアルゴリズムパターン発生ブロック41(APG41)の出力を制御するシーケンス制御プロセッサ25(SCP25)を含む。APG41は、SCP25によって作動されたとき、ハードウェアに組み込まれた、又は、プログラム60aの実行前若しくは実行中にAPG41にロードされたソフトウェアプログラムによって実現された、アルゴリズムに基づく出力ビットパターンを生成する。使用される具体的なアルゴリズムは、希望のテストのタイプ及びDUTの仕様に依存する。SPL制御ブロック37aは、データセットに基づいて出力するために適切なSCANビットを決定する制御ブロックを表す。APL制御ブロック37bは、データセットに基づいて出力するために適切なデジタル化されたアナログビットを決定する制御ブロックを表す。F制御ブロック37cは、データセットに基づいて出力するために適切な機能データビットを決定する制御ブロックを表す。
[0018]PCL37a−37cは、メモリ60に格納されたデータセット60b−60nからデータのブロックを受信するため接続される。PCL37a−37c及びAPG41の出力39a−39dはセレクタマルチプレクサ43(MUX43)へ入力される。複合ビットパターンはMUX43からバス44に出力され、選択された複合ビットパターンはSCP25からの制御ライン40によって制御される。バス44上の複合ビットパターンは、次に、イベントロジックブロック47及びピンエレクトロニクスブロック49を介して送信される。SCP25は、制御ライン46上のイベントロジック47に機能信号を送信するため接続される。ライン46上の機能信号は、DUT70によって要求される適切な出力信号特性を決定するためイベントロジック47及びピンエレクトロニクス49によって使用される。より詳細には、機能信号46は、DUT70へ送信される出力信号の適切な動作特性を決定するため、例えば、出力チャネル50に接続されたDUT70の各ピンによって要求されるタイミング、電圧レベル及び/又は電流レベルを決定するため、イベントロジック47及びピンエレクトロニクス49によって使用される。
[0019]メモリ60へアクセスするため、SCL20は、メモリバス61によってメモリ60に接続されたメモリインタフェース/ページ要求スプーラ29(MIPRS29)を含む。MIPRS29は、SCL20内の様々なロジックブロック(要求元)からデータ及び命令読み出し/書き込み要求を受信するため接続された読み出し/書き込みキュー29aを含む。読み出し/書き込みキュー29aは、MIPRS29が複数の読み出し/書き込み要求を保持し、これらの要求を順番に処理することを可能にさせる。システム10の本実施例において、要求元は(プログラム60aから命令を要求する)SCP25と、(それぞれがデータセット60b−60nからデータを要求する)PCL37a−37cと、(結果がDUT70から入力チャネル51で受信されたときにデータ書き込みを要求する)PE49と、を含む。各要求元は、また、第1の要求元が動作を継続している間に同時にMIPRS29が第2の要求元からの読み出し又は書き込み要求を処理可能にするために十分なデータ又は命令のバッファを保持するため、関連したキャッシュ(又はバッファ)(例えば、1組のFIFOレジスタ)を含む。より詳細には、SCL20は、命令キャッシュ25a及び結果キャッシュ31を含み、両方のキャッシュはMIPRS29に接続され、メモリ60から読み出された命令及びメモリ60へ書き込まれるべき結果データをそれぞれ記憶するため使用される。同様に、各PCL37a−37cは、バス34上でメモリ60から読み出されたテストデータ、及び、MIPRS29から受信されたテストデータを保持するため使用されるFIFOレジスタ38a−38cを含む。
[0020]SCL20は、バス28によってMIPRS29に接続されたバスインタフェースブロック27を含む。バスインタフェースブロック27は、また、バス66によってフロントエンドプロセッサ65に接続され、バス26によってシーケンス制御プロセッサ25(SCP25)に接続される。システム10の動作中に、フロントエンドプロセッサ65は、バスインタフェース27及びMIPRS29を経由してプログラム及びデータセットを送信することにより、テストシーケンスプログラム60a及びテストデータセット60b−60nをメモリ60にロードする。
[0021]典型的に、テストシーケンスプログラム60a及びデータセット60b−60nがメモリ60へロードされる前に、プログラマ(「ユーザ」)は、DUT70を試験するため必要なテストパターンを指定する。ユーザは、フロントエンドプロセッサ65上でテストシーケンス発生プログラムを実行してもよい。テストシーケンス発生プログラムは、ユーザがフロントエンドプロセッサ65に接続された入力/出力装置(例えば、図示されないキーボード又はマウス)を用いてDUTテスト用選択を実行できるようにする。より詳細には、テストシーケンス発生プログラムは、ユーザがDUT70の各ピンに必要なテストパターンのタイプ、及び、テストプログラム(「テストシーケンス」)の実行中にDUT70へ出力する逐次的なパターンの個数を選択し指定できるようにする。ユーザは、また、テストシーケンス中にDUT出力ピンからの予想結果を選択し指定してもよい。ユーザの選択に基づいて、テストシーケンス発生プログラムは、テストシーケンスプログラム60aをアセンブルし、この結果、指定されたDUTピン毎に適切なテストパターンがSCL20によるテストシーケンスプログラム60aの実行中の適切な時点に出力されるであろう。ユーザは、また、DUT70の物理特性、例えば、DUT70によって必要とされるクロック速度及び/又は動作電圧レベルを指定してもよい。この場合、テストシーケンスプログラム60aは、後述するように、SCL20から出力されたテストパターン信号及びDUTへの入力がDUTの動作信号必要条件に合致するよう条件付けされるように、DUTの物理特性を反映するコマンド(又はコマンドフィールド)を含む。
[0022]バスインタフェース27は、複数のレジスタREGa−REGnを含み、複数のレジスタは、メモリ60に格納されたプログラム60aの開始アドレス及び各データセットの開始(「ベース」)アドレスを格納するため、フロントエンドプロセッサ65によって使用される。各データのベースアドレス及びサイズは可変である。システム10の動作中、フロントエンドプロセッサ65は、データセットがメモリ60へ書き込まれる前に、各データセットのベースアドレスをレジスタREGa−REGnのうちの一つのレジスタに書き込む。ベースアドレスはMIPRS29へ転送され、MIPRS29は、次のデータセットの書き込みのロケーションを決定するためベースアドレスを使用する。MIPRS29は、また、パターン制御ブロック37a−37cから受信された次の読み出しのロケーションを決定するため、すなわち、各データセットのベースアドレスに相対的にデータセット内の次の読み出しアドレスを決定するため、各データセットのベースアドレスを使用する。
[0023]フロントエンドプロセッサ65は、信号ライン68によってSCP25へコマンド信号を送信するため接続される。テストシーケンスプログラム60a及びテストデータセット60b−60nがメモリ60にロードされた後、フロントエンドプロセッサ65は信号ライン68上のSCP25へ「スタート」信号を送信し、これにより、SCP25にテストシーケンスプログラム60aの実行を開始させる。SCP25がFEP65から「スタート」信号を受信するとき、SCP25は、(レジスタREGa−REGnのうちの一つのレジスタに格納された)プログラム60aの開始アドレスをMIPRS29へ送信する。MIPRS29は、送信された開始アドレスから始まるプログラム60aから命令のブロックを読み出し、次に、読み出された命令を命令キャッシュ25aへ転送し、命令キャッシュは次にこれらの命令を命令バス33上のSCP25へ転送する。
[0024]上述のように、レジスタREGa−REGnは、メモリ60に格納されたテストデータ60b−60nの各セットに関するベースアドレスを格納するため使用される。SCP25がテストシーケンスプログラム60aの実行を開始すると、SCP25は、要求された各データセットの第1の読み出し要求を初期化するため、これらのベースアドレスを読み出し、バスインタフェース27を介してMIPRS29へ転送する。後続の読み出し要求は、データセット60b−60nからの付加データを要求する要求側のPCL37a−37cからMIPRS29へ送信される。同様に、SCP25は、付加命令がSCP25によって要求されたとき、命令読み出し要求をMIPRS29へ送信する。MIPRS29によって受信された各読み出し要求は、MIPRS29に、テストデータ60b−60nからデータ又は命令のページを読み出させ、データのページを要求元へ返却させる。「ページ」は、各要求元がその付随したバッファに格納することができるデータ又は命令のブロックサイズを表す。各要求元が有するページサイズは異なっていてもよい。
[0025]SCP25は、各FIFO38a−38cに保持されたデータの進みを制御するため、制御ライン29によって各制御ブロック37a−37cのそれぞれの出力39a−39cに接続される。SCP25は、また、MUX43へのアルゴリズムパターンの出力39dを制御するため、制御ライン27によってAPG41に接続される。SCP25は、また、選択ライン40によってMUX43へ接続され、バス44上の複合ビットパターンの選択を制御する。システム10の動作中、テストシーケンスプログラム60a内の実行可能な命令のそれぞれがSCP25によって受信されるとき、その命令はSCP25によってデコードされる。SCP25は、サイクルの実行中に各PCL37a−37c及びAPG41から要求される出力ビットを決定する。この決定に基づいて、SCP25は、制御ライン29及び制御ライン27のそれぞれに前進信号を送信することにより、PCL37a−37c及びAPG41のそれぞれから出力39a−39cへの適切なビットを進める。SCP25は、次に、選択コードを決定し、MUX43への制御バス40に出力する。選択コードは、DUT70のピン毎に指定されたテストパターンに対応し、パターン制御ブロック37a−37c及びAPG41のそれぞれからの適切なビットを選択させる。一例として、MUX出力バス44が32ビット幅であるならば(ビット0からビット31までのビット位置を有するならば)、命令は、SPL制御ブロック37aからのスキャンビットとしてビット0を指定し、APL制御ブロック37bからのアナログビットとしてビット1〜ビット31を指定する。したがって、バス29上の前進信号は、SPLブロック37aからの1ビット及びAPLブロック37bからの31ビットを出力するため送信される。SCP25は、次に、MUX43からの複合出力パターンを形成するため、SPLブロック37a及びAPLブロック37bから出力されたビットを選択するように選択コードを送信し、この場合は、SPLブロック37aからのビット0とAPLブロック37bからのビット1〜ビット31を結合する。
[0026]バス44上の複合ビットパターン出力はイベントロジックブロック45に入力される。イベントロジック45は、また、SCP25からのライン46上の機能制御信号を受信する。機能信号は、出力チャネル50に接続されたDUT70の各ピンのため必要な出力信号の動作特性を反映する。イベントロジック47は、バス48上のデジタル信号パターンとバス46a上の条件付け信号をピンエレクトロニクス49(PE49)へ転送する。バス48上のデジタル信号パターンはDUT70の必要なタイミングに基づく。PE49は、次に、バス46a上の条件付け信号に応じて、受信したデジタル信号パターンに「条件を設定」し、例えば、出力信号の電圧を増幅し、及び/又は、デジタル信号パターンをアナログ出力信号に変換し、及び/又は、DUT70のピン若しくはピンの組によって要求される出力信号のタイミングを調整する。
[0027]PE49からDUT70への条件設定された出力信号は、DUTピン70a−70dに接続された信号チャネル50に出力される。テストパターンがDUT70へ出力されるとき、テスト結果はピン70eでDUT70に接続された入力チャネル51上でSCL20に入力される。受信された結果は、次に、バス49aを介して送信され、結果キャッシュ31に格納される。結果キャッシュ31が結果のページ全体を格納したとき、結果キャッシュ31は、結果のページをメモリ60へ書き込むため、書き込み要求をMIPRS29へ送信する。メモリ60に格納された結果は、フロントエンドプロセッサ65又はSCP25によって後で取り出される。受信された結果は、プログラム60aから実行される命令の流れを決定するため(例えば、受信した結果に基づいて分岐判定を行うため)、プログラム60aの実行中にSCP25によって使用される。
[0028]メモリ60は、各々が異なるタイプのテストパターンに対応する可能性がある多数のタイプのテストデータセット及び/又はテストプログラムを格納するため使用してもよい。例えば、データセットのタイプは、機能データ(「Fデータ」)、スキャンデータ及びデジタル化されたアナログデータを含む。しかしながら、デジタルフォーマットで表現されるあらゆるタイプのデータはメモリ60に格納しメモリ60から読み出してもよい。
[0029]特定のデータセット60b−60nと関連付けられたリンクテーブルがデータセットと共にメモリ60に格納される。リンクテーブルは、データセットの種々のセグメントへのポインタを含み、データセットが非リニア形式でメモリに保存されメモリから読み出されることを可能にする。この場合は、特定のPCL37a−37cは、リンクテーブルを要求し、関連したFIFOレジスタ38a−38cにリンクテーブルを格納し、格納されたリンクテーブルは、メモリ60に格納され、これらのリンクテーブルに基づいて編成されたデータセットのセグメントにアクセスするため使用される。
[0030]多目的メモリ60は、「PC標準」メモリ、すなわち、PC標準通信プロトコルに準拠して動作するように構築されたメモリでもよい。この場合、メモリ60は別のPC標準メモリによって置き換えてもよい。また、メモリ60は、単一のアドレス/データバス61及びMIPRS29によってアクセス可能であるマルチプルチップセットを使用して構成してもよく、例えば、メモリ60は、「デュアルインラインメモリ」(DIMM)として実現される。一般に、単一の統一メモリアドレス空間としてアクセスすることができるあらゆる物理的又は電気的メモリ構造が使用される。
[0031]図2を参照すると、テストシステム10の代替の実施形態は、データ選択ロジック10a(DSL10a)を含む。DSL10aは、PCL37a−37c及びAPG41からの複合ビットパターンを選択し割り当てる代替的な方式を表す。一部のケースでは、PCL37a−37c及びAPG41のような1組のパターン制御ロジックブロックからの出力ラインの本数は、MUX43のような単一のマルチプレクサの入力ライン容量を超過する。したがって、DSL10aは、データ選択ルックアップロジックブロック42(DSLLB42)の出力によって制御される複数のマルチプレクサ43a−43fを使用して、比較的多数の入力を多重化することが可能である。より詳細には、各PCL37a−37c及びAPG41は、32ビットのデータをそれぞれのバス39a−39dに出力する。16個の選択マルチプレクサ43a−43pがPCL37a−37c及びAPG41の各出力バス39a−39nからそれぞれ2ビットを受信するため接続される。各MUX43a−43pは、次に、16本の出力バスD(0:1)−D(30:31)にそれぞれ2ビットずつを出力するため選択され、バス44に複合ビットパターンを形成する。バス44上で適切な複合ビットパターンを選択するため、DSLLB42は、テストシーケンスプログラム60aの実行前にインデックス付きルックアップテーブルがロードされる。DSLLB42は、ライン40上でSCP25から4ビットデータ選択インデックス40a(DS Index0:3)を受信するため接続され、次に、3ビット選択コードを選択ライン43a−43p上のそれぞれのMUX43a−43pへ出力する。データ選択インデックス40aは、システム10の動作中にメモリ60又はRAM75の何れかからフェッチされたSDS命令33aのオペランドフィールドの一部に対応する。この場合、SCP25はSDS命令をデコードし、対応した4ビットデータ選択インデックス40a(DS Index(0:3))をDSLLB42へ出力する。DSLLB42は、受信した4ビット「DS Index」を使用し、格納されたルックアップテーブルに索引を付け、16個の別個の3ビット選択コードを、3ビット選択コード毎に別個の選択バス45a−45pで、それぞれのMUX43a−43pへ出力する。
[0032]このようにインデックス付きルックアップテーブルを用いて複数のマルチプレクサを制御する方式は、比較的短いオペコードフィールドを有する実行可能な命令で比較的多数のマルチプレクサを制御可能にさせる。この場合は、SDS命令は、アセンブルされ、4ビットオペコードフィールドによって表現され、DSLLB42からそれぞれのライン45a−45pへ出力される16個の3ビット選択コードを選択するため使用される。これは、比較的小規模のオペコードが複数のマルチプレクサを制御するために十分な個別の選択コードを発生させるため使用されるので有利である。
[0033]複合ビットパターン44は分割され、集積回路の種々の物理的な部分へ割り当てられ、又は、種々の回路基板へ割り当てられる。例えば、出力バス44の32ビットは、二つの16ビットグループ、すなわち、D(0−15)及びD(16−31)のそれぞれに分割され、各グループが異なる回路基板又は集積回路へ割り当てられる。これは、32ビットのテストパターンを制御するために必要なロジックの量が単一の集積回路又は回路基板の回路容量を上回るような状況である。
[0034]図3を参照すると、集積回路テストシステム100の第3の実施形態は、複数のテストシーケンスボード80a−80nを含み、テストシーケンスボードのそれぞれは、複数のシーケンス制御ロジックブロック(SCL)20a−20b、20c−20d及び20m−20nをそれぞれに含む。各SCL20a−20nは、入力チャネル51a−51n及び出力チャネル50a−50nを介してDUT70の入力/出力ピンの組に接続される。各SCL20a−20nは、上述のメモリ60と同じ形式で動作する関連した多目的メモリ81a−81nに接続され、すなわち、各メモリ81a−81nは、テストパターンをDUT70へ出力するため使用されるテストシーケンスプログラム及び複数のデータセットを保持するため使用される。システム100は、制御バス61及びデータバス62によってSCLのそれぞれに接続されたフロントエンドプロセッサ65(FEP6)を含む。データバス62は、各SCL20a−20nにそれぞれ収容されたバスインタフェースブロック27a−27nに「ディジーチェイン」形式で接続される。各バスインタフェースブロック27a−27nは関連したメモリ81a−81nに接続される。
[0035]システム100の動作中に、FEP46はバス62を介して、バスインタフェースブロック27a−27nを経由して関連したメモリ81a−81nに実行可能なテストシーケンスプログラムをロードする。各メモリ81a−81nにロードされた実行可能なプログラム及びテストデータセットは、各SCLプロセッサ20a−20nにそれぞれ接続された各ピンのため適切である。FEP60は、次に、テストプログラムの実行を開始するため、制御バス61を介して各SCLへ「スタート」信号を発行する。
[0036]FEP65は、DUT70の試験中に、二つのSCLプロセッサの動作を同期させるため、二つ(以上)のSCLプロセッサへバス61上の同期(SYNCH)信号を送信する。複数のSCLの同期動作を協調させるため、システム10aは、また、クロックライン91によって各SCLプロセッサへ接続されたシステムクロック90を含む。
[0037]制御バス61は双方向でもよく、FEP65及び各SCL20a−20nが相互に協調用信号を送受信可能にさせる。例えば、SCL20aは、試験中に不成功のテスト結果であると判定されるテスト出力を入力チャネル51a上で受信する。SCL20aは、次に、不成功の判定を示すために、制御バス61上でSCL20cのような他のSCLへ協調用信号を送信する。SCL20cは、SCL20aから受信した結果を使用して、その固有のテストシーケンスプログラムの実行フローを決定するか、又は、そのテストシーケンスプログラムの実行を中止する。
[0038]統一メモリ60は、必ずしもテストシステム内の別個のパターン固有ロジックブロックのすべてに対して使用されなくてもよい。それどころか、統一メモリは、二つ以上の別個のパターン固有ロジックブロックの任意の組み合わせのために機能し、一方、他のロジックブロックが専用メモリを有し、及び/又は、別個の統一メモリアドレス空間を共有してもよい。
[0039]上記の実施形態における集積回路を試験するプロセス(又は方法)は、図1〜3のハードウェア及びソフトウェアとの共用に限定されない。以下ではプロセス200と称されるこのプロセスは、あらゆるコンピューティング又はプロセシング環境にアプリケーションが見出されるであろう。プロセス200は、ハードウェア、ソフトウェア、又は、両者の組み合わせの形で実施される。プロセス200は、それぞれにプロセッサ及びプロセッサによって読み取り可能な記憶媒体を含むプログラマブルコンピュータ又はその他のマシンで実行されるコンピュータプログラムの形で実施される。
[0040]本明細書に記載されていないその他の実施形態も特許請求の範囲に含まれる。
Claims (35)
- 集積回路を試験する機器であって、
試験用装置に接続可能である出力チャネルを有するシーケンス制御ロジックユニットと、
それぞれのデータセットが出力チャネルへ出力するためのテストパターンを決定するため前記シーケンス制御ロジックユニットにより使用される少なくとも2タイプのデータセットを格納するためのメモリと、
を備える、機器。 - 前記メモリが、前記シーケンス制御ロジックユニットによって実行可能である命令を備える少なくとも一つのテストシーケンスプログラムを格納するように更に構成され、
前記機器の動作中に、前記テストシーケンスプログラムが前記シーケンス制御ロジックユニットによって実行される、請求項1に記載の機器。 - 前記シーケンス制御ロジックユニットが、少なくとも二つの別個の要求元からメモリアクセス要求を受信するため接続された読み出し/書き込みキューを有するメモリインタフェースを更に備える、請求項2に記載の機器。
- 前記シーケンス制御ロジックユニットが、前記メモリインタフェースからの実行可能な命令を受信し保持するため接続された命令キャッシュを更に備える、請求項3に記載の機器。
- 前記シーケンス制御ロジックユニットが、複数のデータバッファを更に備え、各データバッファが要求元と関連付けられ、各データバッファが前記メモリインタフェースから受信されたデータを格納する、請求項3に記載の機器。
- 前記メモリが、前記試験用装置から受信されたテスト結果を格納するように更に構成される、請求項3に記載の機器。
- 前記試験用装置から受信されたテスト結果を格納するため結果キャッシュを更に備える、請求項6に記載の機器。
- 前記シーケンス制御ロジックユニットが、複数のパターン制御ロジックブロックを更に備え、
前記複数のパターン制御ロジックブロックのうちの少なくとも一つが、前記メモリに格納された前記データセットのうちの一方から受信されたデータに基づいてテストパターンを出力するように構成される、請求項3に記載の機器。 - 前記メモリに格納された前記テストデータセットのうちの少なくとも一つが、機能データ、スキャンデータ、及びデジタル化されたアナログデータを表すデータセットのうちの少なくとも一つを備える、請求項8に記載の機器。
- 前記メモリインタフェースに接続され、前記データセット及び前記実行可能なテストシーケンスプログラムを前記プログラムの実行前にロードするためのフロントエンドプロセッサを更に備え、請求項3に記載の機器。
- 前記複数のパターン制御ロジックブロックのうちの対応する一つから少なくとも一つの出力ビットを受信するための複数の選択マルチプレクサと、
前記複数の選択マルチプレクサのそれぞれの出力を制御するためのデータ選択ロジックブロックと、
を更に備える、請求項8に記載の機器。 - 前記データ選択ロジックブロックが、前記テストシーケンスプログラムの一部として前記メモリに格納された命令の一部分に基づいて、前記複数の選択マルチプレクサのそれぞれに対する選択コードを決定する、請求項11に記載の機器。
- 前記データ選択ロジックブロックがインデックス付きテーブルを含み、
前記データ選択ロジックブロックが命令の一部分に基づいてインデックスを受信するため接続される、請求項12に記載の機器。 - 試験用装置の入力ピンに接続可能である第2の出力チャネルを有する第2のシーケンス制御ロジックユニットと、
少なくとも1タイプのデータセット及び第2の実行可能なテストプログラムを格納するための第2のメモリと、
を更に備え、
前記第2のメモリに格納された各データセットが、前記第2の出力チャネルに出力されるべきテストパターンを決定するため、前記第2のシーケンス制御ロジックユニットによって使用可能である、請求項3に記載の機器。 - 前記フロントエンドプロセッサと前記第1及び第2のシーケンス制御ロジックユニットとを接続する制御ラインを更に備え、
前記機器の動作中に、前記制御ラインが、前記第1及び第2のテストシーケンスプログラムの実行を協調させ、前記第1及び第2のシーケンス制御ユニットの前記出力チャネルに接続可能である単一の試験用装置へのテストパターンの出力を協調させるように、前記第1及び第2の制御ユニットの両方に同期信号を送信するため使用される、請求項14に記載の機器。 - 各データセットが試験用装置の入力ピンに接続可能である一つ以上の出力チャネルによって出力されるべきテストパターンを決定するため、シーケンス制御ロジックユニットによって使用可能である少なくとも2タイプのデータセットをメモリに格納するステップを、マシンに実行させるための命令が格納された記憶媒体を備える、物品。
- 前記格納するステップが前記シーケンス制御ロジックユニットによって実行可能である命令を備えた少なくとも一つのテストシーケンスプログラムを前記メモリに格納するステップを更に備える、請求項16に記載の物品。
- 複数の要求元からのメモリアクセス要求を、前記メモリへのインタフェースでキューに入れるステップを更に備える、請求項17に記載の物品。
- 前記メモリインタフェースから受信した命令を命令キャッシュに格納するステップを更に備える、請求項17に記載の物品。
- 前記メモリインタフェースから受信したデータを、それぞれが前記複数の要求元の一つと関連付けられた複数のデータバッファに格納するステップを更に備える、請求項18に記載の物品。
- 前記試験用装置から受信したテスト結果を前記メモリに格納するステップを更に備える、請求項18に記載の物品。
- 前記格納するステップが、
前記試験用装置から受信したテスト結果を結果キャッシュに格納するステップと、
前記格納されたテスト結果を前記結果キャッシュから前記メモリへ書き込むステップと、
を更に備える、請求項21に記載の物品。 - 複数のパターン制御ロジックブロックのうちの少なくとも一つから、前記メモリに格納されたデータセットから受信されたデータに基づくテストパターンを前記出力チャネルへ出力するステップを更に備える、請求項18に記載の物品。
- 複数のマルチプレクサのそれぞれで前記複数のパターン制御ロジックブロックのうちの対応する一つから少なくとも一つの出力ビットを受信するステップと、
前記複数のマルチプレクサのそれぞれから少なくとも一つの出力ビットを選択するステップと、
を更に備える、請求項21に記載の物品。 - 前記選択するステップが、前記テストシーケンスプログラムの一部として前記メモリに格納された命令の一部分に基づいて前記複数のマルチプレクサのそれぞれに対し選択コードを決定するステップを更に備える、請求項24に記載の物品。
- 集積回路を試験する方法であって、
各データセットが試験用装置の入力ピンに接続可能である一つ以上の出力チャネルによって出力されるべきテストパターンを決定するため、シーケンス制御ロジックユニットによって使用可能である少なくとも2タイプのデータセットをメモリに格納するステップを備える、方法。 - 前記格納するステップが、前記シーケンス制御ロジックユニットによって実行可能である命令を備えた少なくとも一つのテストシーケンスプログラムを前記メモリに格納するステップを更に備える、請求項26に記載の方法。
- 要求元からのメモリアクセス要求を前記メモリへのインタフェースでキューに入れるステップを更に備える、請求項27に記載の方法。
- 前記メモリインタフェースから受信した命令を命令キャッシュに格納するステップを更に備える、請求項27に記載の方法。
- 前記メモリインタフェースから受信したデータを、それぞれが前記要求元の一つと関連付けられた複数のデータバッファに格納するステップを更に備える、請求項28に記載の方法。
- 前記試験用装置から受信したテスト結果を前記メモリに格納するステップを更に備える、請求項28に記載の方法。
- 前記格納するステップが、
前記試験用装置から受信したテスト結果を結果キャッシュに格納するステップと、
前記格納されたテスト結果を前記結果キャッシュから前記メモリインタフェースへ書き込むステップと、
を更に備える、請求項31に記載の方法。 - 複数のパターン制御ロジックブロックのうちの少なくとも一つから、前記メモリに格納されたデータセットから受信されたデータに基づくテストパターンを前記出力チャネルへ出力するステップを更に備える、請求項28に記載の方法。
- 複数のマルチプレクサのそれぞれで前記複数のパターン制御ロジックブロックのうちの対応する一つから少なくとも一つの出力ビットを受信するステップと、
前記複数のマルチプレクサのそれぞれから少なくとも一つの出力ビットを選択するステップと、
を更に備える、請求項31に記載の方法。 - 前記選択するステップが、前記テストシーケンスプログラムの一部として前記メモリに格納された命令の一部分に基づいて、前記複数のマルチプレクサのそれぞれに対し選択コードを決定するステップを更に備える、請求項34に記載の方法。
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