JP2005519322A - 2つの別個のチャネルを備えた光学モードアダプタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
本発明は、第1及び第2導波管をそれぞれその第1端部11及び第2端部12端部に接続するために、光学基板31上に第1チャネルC1及び第2チャネルC2を含む光学モードアダプタを示す。これら2つのチャネルは、少なくとも1つの導波層33によって被覆され、第1チャネルC1の屈折率は、第2チャネルC2のそれより小さい。本発明は、このアダプタの製造方法も同様に対象とする。
Description
− これらのチャネルの少なくとも一方のパターンを画定するための、基板上でのマスク作成、
− マスクされた基板のイオン注入、
− マスクの取り出し、
− 基板上への導波層の蒸着、
を含むアダプタの第1の製造方法も同様に対象とする。
− 基板のイオン注入、
− これらのチャネルの少なくとも一方のパターンを画定するための、基板上でのマスク作成、
− 注入の深さに少なくとも等しい深さに対する基板のエッチング、
− マスクの取り出し、
− 基板上への導波層の蒸着、
を含む。
− チャネルの少なくとも一方のパターンを画定するための、可動イオンを含む基板上でのマスク作成、
− 分極可能なイオンを含む浴中でのマスクされた基板の浸漬、
− マスクの取り出し、
− 基板上への導波層の蒸着、
を含む。
− 基板の屈折率より大きい屈折率を有する第1層の蒸着、
− 第1チャネルを画定するための、この基板上での第1マスク作成、
− 基板のエッチング、
− この第1マスクの取り出し、
− 第2層の蒸着、
− 第2チャネルを画定するための、この基板上での第2マスク作成、
− 基板のエッチング、
− 第2マスクの取り出し、
− 基板上への導波層の蒸着、
を含む。
Claims (19)
- 第1及び第2導波管をそれぞれその第1端部(11)及び第2端部(12)に接続するために、光学基板(31)上に第1チャネル(C1)及び第2チャネル(C2)を備えた光学モードアダプタであって、これら2つのチャネルは、少なくとも1つの導波層(33)によって被覆され、第1チャネル(C1)の屈折率は、第2チャネル(C2)のそれより小さいことを特徴とするアダプタ。
- 第1チャネル(C1)の幅は、第2チャネル(C2)のそれよりも大きいことを特徴とする請求項1に記載のアダプタ。
- 2つのチャネル(C1、C2)が内部で接触する適応セル(2)を含み、このセルの第1端部(21)及び第2端部(22)のそれぞれは、アダプタの各第1端部(11)及び第2端部(12)の近傍に配置され、第1チャネル(C1)の幅は、前記適応セルの第1端部(21)から第2端部(22)へ漸減することを特徴とする請求項1又は2のいずれかに記載のアダプタ。
- 第1チャネル(C1)の幅は、前記適応セルの第2端部(22)でゼロであることを特徴とする請求項3に記載のアダプタ。
- 2つのチャネル(C1、C2)が内部で接触する適応セル(2)を含み、このセルの第1端部(21)及び第2端部(22)のそれぞれは、アダプタの各第1(11)端部及び第2端部(12)の近傍に配置され、第2チャネル(C2)の幅は、前記適応セルの第2端部(22)から第1端部(21)へ漸減することを特徴とする請求項1又は2のいずれかに記載のアダプタ。
- 第2チャネル(C2)の幅は、前記適応セルの第1端部(21)でゼロであることを特徴とする請求項5に記載のアダプタ。
- 前記適応セルの第2端部(22)は、このアダプタの第2端部(12)と一致することを特徴とする請求項3から6のいずれかに記載のアダプタ。
- この導波層(33)の屈折率は、基板(31)のそれよりも大きいことを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載のアダプタ。
- 前記導波層(33)上に配置された少なくとも1つの被覆層(34)を含み、この被覆層の屈折率は、導波層のそれ、及び前記チャネル(C1、C2)のそれよりも小さいことを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載のアダプタ。
- 前記チャネル(C1、C2)の少なくとも一方は、前記基板(31)内に集積されることを特徴とする請求項1から9のいずれかに記載のアダプタ。
- 前記チャネル(C1、C2)の少なくとも一方は、前記基板(31)上に突き出ていることを特徴とする請求項1から9のいずれかに記載のアダプタ。
- 前記導波層(33)の屈折率は、1.001を超える係数で乗じた基板(31)の屈折率に相当することを特徴とする請求項1から11のいずれかに記載のアダプタ。
- 導波層(33)全体の厚さは、1〜20ミクロンであることを特徴とする請求項1から12のいずれかに記載のアダプタ。
- 前記チャネル(C1、C2)の少なくとも一方は、前記基板(31)内のイオン注入から生じることを特徴とする請求項1から13のいずれかに記載のアダプタ。
- 次のステップ:
− 前記チャネル(C1、C2)の少なくとも一方のパターン(M)を画定するための前記基板(31)上のマスク作成、
− マスクされた基板のイオン注入、
− 前記マスクの取り出し、
− 基板上への前記導波層(33)の蒸着、を含むことを特徴とする請求項1から13のいずれかに記載のアダプタの製造方法。 - 次のステップ:
− 基板(31)のイオン注入、
− 前記チャネル(C1、C2)の少なくとも一方のパターン(M)を画定するための、前記基板上でのマスク作成、
− 注入の深さに少なくとも等しい深さに対する基板(31)のエッチング、
− 前記マスクの取り出し、
− 基板上への前記導波層(33)の蒸着、を含むことを特徴とする請求項1から13のいずれかに記載のアダプタの製造方法。 - イオン注入ステップに続く基板(31)の焼きなましステップを含むことを特徴とする請求項15又は16のいずれかに記載の方法。
- 次のステップ:
− 前記チャネル(C1、C2)の少なくとも一方のパターン(M)を画定するための、可動イオンを含む前記基板(31)上でのマスク作成、
− 分極可能なイオンを含む浴中でのマスクされた基板の浸漬、
− 前記マスクの取り出し、
− 基板上への前記導波層(33)の蒸着、を含むことを特徴とする請求項1から13のいずれかに記載のアダプタの製造方法。 - 次のステップ:
− 前記基板(31)の屈折率より大きい屈折率を有する第1層(61)の蒸着、
− 前記第1チャネル(C1)を画定するための、この基板(31)上での第1マスク作成、
− 基板(31)のエッチング、
− 前記第1マスクの取り出し、
− 第2層(62)の蒸着、
− 前記第2チャネル(C2)を画定するための、この基板(31)上での第2マスク作成、
− 基板(31)のエッチング、
− 前記第2マスクの取り出し、
− 基板上への前記導波層(33)の蒸着、を含むことを特徴とする請求項1から13のいずれかに記載のアダプタの製造方法。
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