JP2005515629A - 電気化学エッジおよびべベル洗浄方法およびシステム - Google Patents

電気化学エッジおよびべベル洗浄方法およびシステム Download PDF

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Abstract

【解決手段】 エッジ洗浄システムおよび方法は、穏やかなエッチング液の向けられた流れが、前表面エッジおよびベベルを含む回転する被加工物のエッジ領域に、前記被加工物と前記流れとの電位差を維持させながら、供給されることにおいて公開される。ある観点においては、本発明は前記被加工物の堆積あるいは除去処理に使用するものと同じチャンバに配置される、エッジ洗浄システムを供す。他の観点では、エッジ除去に使用される穏やかなエッチング液はまた、前表面あるいはウェハを洗浄するために、エッジ除去処理と同時あるいは連続的に、使用される。

Description

これは、２００１年１２月２１日に出願されたU.S. Ser No. 10/032,318（NT-239-US）と、２０００２年１１月８日に出願されたU.S. Prov. No. 60/424,936（NT-252-P）に優先され参照によりここですべて取り入れられる請求項の、一部の開示である。
本発明は一般的に半導体処理技術に関し、かつ特に被加工物のエッジおよび／またはベベルから導電層を除去し、かつ不必要な不純物のないこれらの領域を供するシステムおよび方法に関する。
半導体工業において様々な方法がウェハ上に導体材料を堆積しかつ除去するために使われることができる。堆積技術は電気化学的堆積（ＥＣＤ）および電気化学機械的堆積（ＥＣＭＤ）のような方法を含む。両方法において、銅のような導体が、ウェハの表面および他の電極と接触する電解質から半導体ウェハあるいは被加工物に堆積する。材料除去技術は、化学的エッチング（ＣＥ）、電気化学的エッチング（ＥＣＥ）、電気化学機械的エッチング（ＥＣＭＥ）および化学機械研磨（ＣＭＰ）を含み、これらは被加工物表面から不必要で過剰な材料部分を除去する。
電気化学機械的処理（ＥＣＭＰＲ）という用語は、電気化学機械的エッチング（ＥＣＭＥ）はもちろん、電気化学機械研磨とも呼ばれる電気化学機械的堆積（ＥＣＭＤ）法の両方を含んで使用されるものであった。両者が被加工物表面に対する電気化学的処理および機械的作動を含むため、一般的にＥＣＭＤおよびＥＣＭＥ法は両方とも電気化学機械的処理（ＥＣＭＰＲ）と呼ばれることに気付くべきである。
ＥＣＭＰＲ法の一つの観点において、マスク、パッドあるいはスイーパーのような被加工物表面影響装置（ＷＳＩＤ）は被加工物表面とＷＳＩＤとの間に物理的接触または近接および相対運動があるとき、電気処理の少なくとも一部の間に使用される。平面堆積および平面エッチング方法、すなわちＥＣＭＰＲ手法および装置を含む様々な堆積およびエッチング方法の記述が、‘電気化学機械的堆積の方法および装置’と題する米国特許６、１７６，９５２明細書および‘外部影響を用いて被加工物の頂部表面およびキャビティー表面に位置する添加剤間に差を創るメッキ方法および装置’と題する２００１年１２月１８日に出願された米国出願番号０９／７４０，７０１に見出すことができ、両方とも普通本発明の指定代理人に所有される。
堆積および除去方法が使用されているにもかかわらず、従来、処理後、被加工物は様々なタイプの洗浄および乾燥の場に移動させられる。洗浄工程の間、処理により発生した残留物は被加工物から洗い落とされ、つづいて被加工物は旋回により乾燥され、もし必要であればその表面に窒素を吹き付ける。
ある設計において、メッキ、除去処理またはＥＣＭＰＲが行われるところの処理チャンバおよびリンスチャンバは、縦処理チャンバ配置において縦に積み重ねられることができる。この配置において、処理は下部チャンバにてなされることができ、かつ洗浄および乾燥はそれぞれのチャンバで使用される化学物質が互いに混入しないように上部チャンバを下部チャンバから隔離した後に、上部チャンバにてなされる。このような縦チャンバは、１９９９年１２月１７日に出願された‘複数の処理に使用される縦に配置されたチャンバ’と題する共同出願中米国出願番号０９／４６６，０１４号に開示されており、普通本発明の指定代理人に所有される。
従来、典型的な処理順序は、最初に導電材料を被加工物上に堆積またはメッキをなし、その後不必要な積み過ぎた過装入の導電材料のようないくつかの予め堆積された導電材料を被加工物の前面から除去する。
銅は集積回路（ＩＣ）内部コネクタおよびパッケージ利用に使用される好ましい導電材料である。ＥＣＤとＥＣＭＤ処理は銅を堆積できる。よってそれは一例として使用されるであろう。
銅がウェハの前表面、さらにＩＣが存在する領域にメッキされる時、ＩＣまたは回路が位置されていないウェハのエッジや側面、すなわちベベルにもまた堆積してもよい。いくつかの場合、エッジやべベルはメッキ液から保護され、ゆえに、銅はそこにメッキされない。しかしエッジ領域およびベベルには銅シーズ層がまだ存在する。ウェハの側部およびエッジから残っている銅、すなわちエッジ銅のようなソースであっても特にアニーリング工程中に近隣の活性領域に転移する。さらに、ウェハエッジを起源とする銅粒子はウェハ輸送システムおよびアニ−ルシステム等のような他の処理装置を汚染し、そのため他のウェハを汚染していく。ウェハエッジからの乏しい付着性の弱いフレークもまた次第に緩くなりかつ回路がある表面領域に乗ることによって、ＣＭＰ工程中に問題を起こす。これらの理由およびそれ以上のため、各々の銅メッキ処理工程を随伴するウェハのエッジおよびベベルから銅を除去する必要がある。
米国特許６，３０９，９８１号明細書は金属を半導体ウェハのエッジベベル領域から除去する方法を記載している。本発明の指定代理人に属する出願、米国臨時出願６０／２７６，１０３号願書は、下部処理チャンバをも含む縦チャンバシステムの上部リンスチャンバ内でエッジ銅を除去する方法および装置を記載している。
両方の上記書類において、化学除去アプローチは、硫酸および過酸化水素混合物または硝酸のような強い酸化剤のような酸化剤を持つ攻撃的なエッチング液を使用する。このような攻撃的なエッチング液は、酸化剤が銅を化学的に酸化し、その酸化された銅が酸性溶液に溶解するように設計されている。高い処理スループットを得ることができるために攻撃的なエッチング液は、３００〜４００Ａ（オングストローム）／秒以上、好ましくは１０００Ａ／秒以上のような高い銅へのエッチング速度をもたらすように配合される。これは２００００Ａ／分をはるかに超えるエッチング速度に相当する。攻撃的なエッチング液およびそれを使用するシステムが現在使用されているが、それらの利用に関連されるいくらかの問題がある。
過酸化水素のような強い酸化剤はあまり安定ではない。それゆえ、攻撃的なエッジ銅除去エッチング液の混合、移送および保管は努力を必要とする。例えば過酸化水素を含む溶液は、過酸化水素の分解のためにコンテナ内の圧力が上がらない通気性コンテナに移送される必要がある。これらのエッチング液はまた、酸化剤の能力低下のために限られた寿命を有する。被加工物の前面エッジからの材料除去の試みおよび被加工物のエッジ以外の前面部分からの攻撃的なエッチング液の隔離を維持するために挑戦している。先に述べたように、攻撃的なエッチング液は非常に高い速度で銅をエッチングするように設計されている。それゆえにウェハのほかの部分に不用意に落ちたいくらかの小滴はこれらの領域をエッチングさせ、酸化、およびＩＣとしての電位欠陥を生じさせる。攻撃的なエッチング液の蒸気でさえ、銅表面の数箇所、特に材料除去が行われるエッジの近傍の酸化および脱色を生じさせる。このような酸化される領域は、非常に低い化学的エッチング速度を持つ異なる酸性溶液を使用し、エッジの銅除去処理の後に典型的に洗浄する必要がある。これは保管しかつ他の溶液化学物質をもウェハ表面に運ぶことを必要とし、したがってコストを増やす。特に図５に示されるような縦チャンバ構成に対して攻撃的なエッチング液を使用することに関して別の考慮がある。これらのシステムにおいて、上部チャンバと下部チャンバはフラップあるいは他の隔離方法によって首尾よく隔離されている。しかし、いくつかの偶発的なリークがあり、かつエッジ銅除去液の雫が下部チャンバへの経路に見出すならば、それが電気的処理液と混合し問題を起こす。
米国特許６，０５６，８６９号明細書は、特別なデバイス設計を用いる特別な電気化学的エッチングアプローチを使用する化学機械研磨のための半導体ウェハの側部エッジおよび後部エッジから脱メッキする装置を記載している。この特許において、エッチング液はウェハの裏側全体に移送され、かつそのエッチング液はウェハの上部側が不活性流体ジャケットによりエッチング液から保護されながら、金属をエッジおよび裏側から電気化学的に脱メッキするために使用される。
したがって、ウェハ前面からのエッジ銅の除去を含む効率的な処理および別の浄化処理の一部としてエッジ銅の除去をなすシステムおよび方法のための半導体工業に必要である。
被加工物に存在するエッジ導体の除去の方法および装置を提供することが本発明の課題である。
被加工物のエッジに適用される穏やかなエッチング液の向けられた流れを使用しエッジ導体を除去する方法および装置を提供することがさらに本発明の課題である。
その溶液を通る電流を流しかつ、選択的にその溶液をウェハのエッジ導体に運ぶことにより非常に低エッチング速度溶液のエッチング能力を増加させることがさらに本発明の課題である。
エッジ導体を除去し、かつまた被加工物の前表面を洗浄するための同様な穏やかなエッチング液を考慮に入れるシステムを提供することがさらに本発明の課題である。
被加工物の前表面に導体を堆積し、かつまたエッジ導体を除去するための同様な穏やかなエッチング溶液を考慮に入れるシステムを提供することがさらに本発明の課題である。
被加工物の堆積または除去処理に用いられる同様な処理チャンバ内でなされるべきエッジ導体除去、被加工物前表面の洗浄、あるいはその両方を考慮に入れるシステムを提供することがその上さらに、本発明の課題である。
上述の本発明の課題、とりわけ、単独もしくはそれらの組み合わせは、被加工物と注がれる流れ間の電位差を維持しながら、穏やかなエッチング液の向けられる流れが前表面エッジおよびベベルを含む回転している被加工物のエッジ領域に供給する、エッジ洗浄システムおよび方法を提供することによって、本発明により達成される。
ある視点において、本発明は被加工物の堆積または除去処理に使われる同様な処理チャンバに配置されるエッジ洗浄システムを提供する。
別の視点において、エッジ除去に使用される穏やかなエッチング液はウェハの前表面の洗浄のためにも、エッジ除去処理と同時にまたは続いて使用される。
本発明の、上述あるいは他の課題、特徴および有利性は以下の詳細な記述にさらに記載され、本発明の制限しない実施例の方法による図面を参照し、参照数字はいくらかの視点を通し本発明の類似の部分を表す。
本発明は、上に提示された関係の解決策を供する。以下に記述されるように、本発明の手法は、有利的にエッジ銅除去時間を短縮し、かつそれによってより攻撃的なエッチング液を使用することの問題に関連せずに、処理スループットを増大させる。技術は、酸化剤なしの穏やかなエッチング液を使用する能力を有し、それによってエッチング剤の安定性の問題を有さない。被加工物の前面エッジ上の導体は、被加工物の別の前面部分がエッチング液の小滴によってエッチングまたは他の影響を受けるであろう懸念なしで除去されることができ、なぜならば穏やかなエッチング溶液は例示導体としての銅に対して１００Ａ（オングストローム）／秒未満、好ましくは５０Ａ／秒未満の非常に遅い化学エッチング速度を有する。これらの速度は、約２００００Ａ／分をはるかに超える攻撃的なエッチング液のエッチング速度とは対照的に、約３０００Ａ／分未満の範囲のエッチング速度に相当する。これは、本発明で使用する穏やかなエッチング液は強い酸化剤ではない、またはそれが強い酸化剤の相当量を含まないからである。一例としてのある穏やかなエッチング液は５〜１０重量％の硫酸水溶液である。下文で記述されるように、典型的な銅メッキ液でさえ本発明の穏やかなエッチング液として使用されてもよい。酸化剤の減量を伴う攻撃的なエッチング液の配合物もまた本発明において使用されてよい。一例としてのある攻撃的なエッチング液の具体的な組成は３〜１０重量％の過酸化水素を含む。この液の化学エッチング速度は、約１％未満の過酸化水素濃度を使用することで減少される。本発明において好ましいのものは５０Ａ／秒未満の化学エッチング（電圧をかけないで）速度を有すエッチング液の使用である。
本発明の穏やかなエッチング液のエッチング速度は、電圧が銅にそれを酸化するために適用するときにのみ増加する。銅表面が電気化学処理により一旦酸化されると、それはエッチング液により取り除かれることができる。穏やかなエッチング液のエッチング速度は適用電圧の存在下で５００Ａ／秒を超え、好ましくは１０００Ａ／秒を超えてもよい。このようなエッチング速度のためのエッチング電流密度は１００ｍＡ／ｃｍ２を超えてよい。メッキ電解液と相溶性のある溶液は、エッジ銅除去液がメッキ電解液に偶発的に漏れる可能性は縦チャンバ処理モジュールにとっては重要ではないので、穏やかなエッチング液として使用されてよい。例えば、５〜１５重量％の硫酸溶液の使用は、この溶液が硫酸と硫酸銅を含んでいる一般的に使用される銅メッキ電解液と化学的に相溶性を持つため、非常に魅力がある。
本発明がエッジ銅除去システムまたはチャンバに使用されることができることに気付くべきである。縦チャンバ構成とＥＣＭＤの使用はただの一例の方法によってここに示される。穏やかなエッチング液は、エッジ銅除去処理が行われるエッジ領域近傍の銅表面の酸化を引き起こさない。それゆえ、酸洗浄工程を完全に除外されてよい。このような工程がたとえ利用されても、この処理工程は適用電圧を用いずに、エッジ銅除去工程中に使用される同じ穏やかなエッチング液を使用することができた。これはウェハ表面への第２液の貯蔵および配送を省くので、さらに節約を意味する。銅除去工程が銅メッキ処理と統合されたシステムにおいてなされる場合、メッキ電解液をエッジ銅除去液として使用することが可能である。これはさらにコストを削減する。
穏やかなエッチング液が本発明の方法において使用されるとき、エッチング液の小滴は銅除去をしようとするエッジ領域以外のウェハ領域に不用意に付着する。小滴はカソード電圧が溶液にかけられるところの電極と物理的接触をしないため、これはこの場合に問題を示さない。エッチング液と銅を通るエッチング電流なしで、エッチング小滴は、議論したように最小限である化学エッチングしか行えない。
図１は半導体ウェハのようなメッキされた被加工物１００の上部平面図である。側面図として図２にも示されるように、メッキされたウェハ１００は上段表面１０３を有す上段層１０２および、上部表面１０５ａおよび下部表面１０５ｂを有す下段層１０４からなる。上段層１０２は下段層１０４の上部表面１０５ａの上に形成される。下段層１０４の上部表面１０５ａの表面エッジ領域、下段層の側部表面１０８および下段層の下段表面エッジ部分１０７は下段層１０４の外周を周るエッジ領域１０１を規定する。この実施において、メッキされたウェハ１００の上段層１０２は、例えば銅のような導電材料の層または複数層からなり、かつ下段層１０４はそこに既に組み込まれているデバイス、回路および内部コネクタ構造を有すシリコン基板のような半導体基板を具備する。
図３は、図２に示された、ウェハ１００の頂部表面領域付近１０９の部分的に拡大した断面図であり、それは前もってウェハ表面に形成された絶縁領域１１４に形成されたビアおよび溝機能１１０、１１２を具備する。図３に示されるように、メッキされたウェハ１００の表面領域１０９は、デュアルダマシン機能のような、ビア、溝およびその他の機能を具備してよい。機能１１０、１１２およびそれら機能間の絶縁体表面は、拡散障壁／接着剤層１１６、およびシード層１１８、すなわち銅堆積の場合の銅シード層で典型的に覆われる。多くの場合、障壁層１１６および／またはシード層１１８は頂部表面エッジ部分１０６に延び時にはウェハ側面１０８に延びる。事実、これら層の一つまたは両方は表面エッジ部１０７を包みかつ被覆し、それによってエッジ領域１０１を被覆する。電気メッキ中、銅のみが障壁または銅シード層、または障壁／シードからなる層によって被覆された導電領域に堆積するので、もしエッジ領域１０１がメッキ電解液に曝されるなら、これは順番に銅をエッジ領域１０１に堆積するための銅を生じる。電気メッキされた銅層１０２はビア１１０および溝１１２を充填し、かつ銅層１０２を基板１０４に形成する。
上述のように銅層１０２はまたエッジ領域１０１に延出し、それにより図４で示すとおりにエッジ銅１２０を形成する。障壁／接着剤層は図４に示されていないこと、およびエッジ銅１２０はエッジ領域１０１上に銅シード層を有し、かつメッキ中にエッジ領域１０１をメッキ電解液に曝したときに銅でこの領域をメッキすることの結果であることに気付くべきである。択一的にエッジ銅１２０は、エッジ領域がよく知られているシール方法を使用しメッキ処理を行う間メッキ電解液から保護されるなら、まさにそれ自身がエッジ領域１０１を覆うシード層であってよい。エッジ銅１２０はウェハ１００の全体または一部の外周の周囲に形成される。図４の例として、エッジ銅１２０は上部１２２、側部１２４および下部１２６を有し、それらはエッジ領域１０１に形成される。エッジ銅部分１２２〜１２６は、本発明の処理を通して銅エッチング液を適用することでエッジ領域１０１から取り除かれることができる。この実施ではエッジ銅１２０が上部、側部および下部を使い例示されるが、これは問題例示の目的のため、したがって、不必要な銅は上部あるいは、まさに上部、または側部などをまさに有すことが理解される。
銅がメッキ工程中に図４の頂部表面エッジ部１０６、側部表面１０８および下部表面エッジ部１０５に堆積しない場合でさえ、それらの領域において銅シード層の存在が示され、かつそれは典型的に所望されないことに気付くべきである。また、メッキ工程の後になされる従来のＣＭＰ工程は頂部表面エッジ部分１０６上の銅を除去することができるが、側部表面１０８および下部表面エッジ部分１０７から銅を取り除くことには有効ではない。
銅層１０２は、図５に示される電気メッキ方法およびシステム２００を使用して基板１０４上に堆積される。システム２００は下部セクション２０２および上部セクション２０４を含む縦チャンバであってよい。このようなチャンバシステムは、１９９９年１２月１７日出願の、‘複雑な処理のための縦配置チャンバ’と題する米国出願番号０９／４６６，０１４号に開示されており、普通本発明の指定代理人に所有される。本発明は縦チャンバシステムを使用して記載されているが、それは本発明の例示が目的である。本発明の実施は、さらにここで記述されるような他の処理をなすチャンバ内はもちろん、近接しない洗浄および処理チャンバを有すシステムのような他のシステムで使用されることができる。したがって、この実施によるとエッジ銅除去処理は上部チャンバ内でなされる。したがって、下部チャンバはいくつかの型のＥＣＭＰＲ、メッキまたは材料除去システムのような処理セクションを含み、上部セクションは洗浄、エッジ銅除去および乾燥セクションを含むであろう。上部および下部セクションは、ここでさらに記述するように上部チャンバの処理で使用される様々な材料および液が下部チャンバに達することを抑え、ある特別な実施でガードフラップとして記述される移動可能な障壁を有する。
ある処理の実施において、処理はまず下部セクション２０２の被加工物前表面に施され、次の段階で、リンスによる洗浄が上部セクション２０４においてなされる。以下にさらに詳しく記述するように、上部セクション２０４において洗浄と、連続的に前もしくは後、または同時にエッジ銅除去処理がなされる。以下の択一的な実施においても記述されるように、エッジ銅除去処理はまた下部セクションがこのように装着されるとき下部セクションにおいてもなされる。エッジ銅除去処理は、もし望まれるなら、第２の洗浄および乾燥処理に続いてもよい。択一的に、最初の洗浄工程は処理スループットを増加させるためにとばしてもよい。この場合洗浄および乾燥はエッジ銅除去処理が完了したらすぐに行われる。
図５で示されるように、堆積処理が下部セクション２０２でなされるので、ウェハホルダ２０６はウェハ１００を支持する。ウェハホルダは、好ましくは、ウェハ１００が装填される下段表面１０５の第１（図４参照）かつ安全にされる円形チャック２０７を具備する。ウェハホルダ２０６がシャフト２１２を使用して下部セクション２０２内に下降できるようにガードフラップ２０８がシャフト／ローラー結合２１０を介し垂直に位置している。シャフト２１２は端から端に移動し、かつシャフト２１２の垂直軸で回転できるようにさらに適応されている。洗浄、エッジ銅除去および乾燥の間、ウェハホルダ２０６は上部セクション２０４中に垂直に上昇させられ、かつフラップ２０８は矢印２１４の方向に動くことによって閉鎖する。
ＥＣＭＰＲの間、上述のように、ウェハ１００が操作される（図３も参照）。例えば、ＥＣＭＤ処理は一般的に平坦な銅層を機能上に形成することに用いることができる。ＥＣＭＰＲ装置２１５は隆起２２０を有すパッドのようなＷＩＳＤ２１７を有する、ウェハ表面影響デバイス（ＷＳＩＤ）アセンブリー２１６と、ＥＣＭＤまたはＥＣＭＥのどちらかが使用されるならば電解質、ＥＣＭＥのみがなされるならエッチング液、および他の堆積または除去方法が使われるならば他の溶液である溶液に浸漬する電極とを具備する。
ＥＣＭＤ処理で使われる電解液溶液は、堆積されるべき銅のような金属のイオンを含み、ＷＳＩＤ２１７を通して流すことによって、メッキ電極（図示しない）およびウェハ１００と接触する。例示的な銅メッキ液は、硫化銅、工業に一般的に使用され、かつ促進剤、サプレッサー、塩素およびいくつかの場合にはリベラ−のような添加剤も含む硫酸溶液であってよい。電気処理中、ウェハ１００の頂部表面１０３は電位差がメッキ電極とウェハ表面とに適用されながら、ＷＳＩＤ２１７にほんのわずかな間隙を持てるようにまたは好ましくは接触できるように、極めて接近して運ばれる。
図６、図７で示されるように、システム２００の下部セクション２０２において処理がなされた後、ウェハホルダ２０６はシャフト２１２を用いて上昇させられる。それから、フラップ２０８は下部セクション２０２を上部セクション２０４から隔離するように垂直配置から水平配置に移動させられる。フラップ２０８が閉鎖配置になるとすぐ洗浄がなされる。リンスによる洗浄中、ホルダ２０６はフラップ２０８に向けて下降される。
ある実施では、矢印２２２で示された洗浄液の流れは上部セクションの側壁２２６および／またはフラップ２０８に位置するノズル２２４を通して供される。使用された洗浄液は、図６に模式的に示されているように外壁２２６上の外部導管２２８を用いてセクション２０４の外に排出される。この溶液は閉鎖配置のフラップ２０８があるために、下部セクション２０２内において電解液と混入しない。洗浄工程中、ウェハ１００は回転され、かつ洗浄液はウェハ１００に適用される。ウェハ１００は高回転数の回転により回転乾燥される。さらに、洗浄および乾燥空気または窒素のような不活性ガスもその乾燥を助長するためにウェハに吹き付けられる。
洗浄および乾燥処理後、エッジ銅除去処理は下記に記述するように穏やかなエッチング剤の流れを用いて同じ上部チャンバ２０４でなされる。択一的に被加工物処理が下部チャンバ２０２で完了した後、ウェハはウェハ表面が下部チャンバ内の溶液と接触しないようにシャフト２１２によって上昇させられる。しかしウェハはまだ下部チャンバ２０２に残る。ウェハの高回転数（典型的には２００〜１０００ｒｐｍ）は過剰な電解液のような液をウェハ表面から除去しかつ表面を乾燥させる。それからウェハはエッジ銅除去処理のために上部チャンバ２０４に上昇させられる。洗浄および乾燥工程はエッジ銅除去の後になされる。
他の択一的な処理順序は、メッキ工程後に上部チャンバ２０４においてウェハ表面をリンスすることをまだ含む。エッジ銅除去はそれから回転乾燥なしでなされる。この択一的処理順序は処理時間を短縮し、かつ処理スループットを増やすことを目的とする。
図６、７を参照すると、エッジ銅除去中に、ウェハ１００がおよそ２０〜１０００ｒｐｍ、好ましくは５０〜５００ｒｐｍで回転されながら、矢印２３０で示される穏やかなエッチング液の流れがエッジ銅１２０に適用される。さらに、より詳しく図９に示されるように、（+）および（-）として示される電位差は流れと被加工物との間に創られ、それは電位差の利用なしに行われるより非常に短い時間で被加工物のエッジおよびベベル領域において金属除去をなすことを穏やかなエッチング液に供す。電位は銅フィルムを含むウェハ表面と穏やかなエッチング液と物理的に接触するエッチング電極との間に適用される。電気的接点はウェハは回転するのでウェハ表面上をスライドする定常的な接点を通すことを含む様々な方法を通してウェハ表面に作られる。エッチング電極はそれに接触する穏やかなエッチング液の中で安定な導電材料からなる。プラチナ被覆金属またはチタンがエッチング電極材料である。
前に指摘したように、穏やかなエッチング液が溶液を意味するとき、電位差が適用されないなら、それは最小限のエッチングしか供さない。このような穏やかなエッチング液のエッチング速度は１００Ａ／秒未満、好ましくは５０Ａ／秒未満である。それゆえにこれらの溶液は標準エッジ銅エッチング適用には有用ではない。例えば、２０００Ａのエッジ銅層を穏やかなエッチング液を用いて除去するために、４０秒を超える処理時間が必要になる。例えば１ミクロンの薄い層を除去するためには、法外な処理時間が必要となる。択一的に、このような溶液が適用された電圧の存在下で本発明において使用されるとき、より短い処理時間は、エッチング速度が加えられた電圧、溶液の温度および溶液のある化学組成に依存して１０００Ａ／秒を超えるため、達成できる。処理中もしいくらかの穏やかなエッチング液がエッジから離れたウェハ表面にこぼれるなら、ゼロボルト（化学的に）エッチング速度のため、わずかな量しかエッチングされない。図７を参照すると、穏やかなエッチング液は少なくとも一つのノズル２３２を通して整流の形態で供給され、このノズル２３２が手法（流れがウェハ１００の中心から遠ざけて向ける水平成分を有する）で穏やかなエッチング液の流れをウェハ１００に向けるようにフラップ２０８に載せるかまたは逆にウェハ１００に関連して位置されることが好ましく、したがって溶液をウェハの中心部から離れるが、エッジ銅１２０上に保持することを促進する。
穏やかなエッチング液はフィードポンプ（図示しない）に接続されるフィードチューブ２３４を通してノズル２３２に注ぎ込まれることができる。ノズル２３２は溶液を強く制御された流れとしてエッジまたはウェハの外周に向ける。エッチング液は様々な量を様々な時間間隔で適用され、１〜１０ｍｌ毎秒の間の量を約５〜１０秒間適用することが好ましい。回転するウェハおよび溶液の表面張力から生じる両方の遠心力のために、溶液はウェハのエッジにある角度で到達し、エッジ銅１２０の上部１２２に外向きに向けられる溶液の流れはエッジ銅１２０の部分１２４および１２６の上を流れ、かつそれらを覆う（図４参照）。穏やかなエッチング液がエッジ銅１２０に接触する角度もまた多様で、エッジ領域１０６であるエッチング領域の狭小化または広幅化をなす。エッジ領域１０６の幅はまたウェハおよび／またはノズルの横方向または縦方向の移動により変えられることができる。ノズルが常に所定の角度を保っていれば、エッチング領域はウェハを上下に動かすことまたはそれを横に動かすことによって狭小化あるいは広幅化される。同様に、ウェハが同様の水平位置および同様の高度を保てば（回転せずに）、エッチング領域はウェハに対するノズルの角度の変化によって狭小化あるいは広幅化されることができる。記述された方法における上述の所定の処理作業である限りは、ノズルは壁または他の場所に設置されてよく、発明の範囲内である。以下に例示するように、選択的な実施において同様の電気化学除去処理は、図５で示されるように下部チャンバ２０２がこのように装着されているとき下部チャンバ２０２中で行われることができる。
したがって図８で示されるように、穏やかなエッチング液は電位差適用下においてエッジ銅部分１２２〜１２６をエッチングし、頂部表面エッジ部分１０６、側部表面１０８およびエッジ部分１０７から除去し、それによってエッジ領域１０１を露出させる。図８を参照すると、本発明の除去処理はエッジ領域１０１近傍の銅の末端壁２５０を残す。エッチング処理後、ウェハは洗浄され、かつ乾燥される。
したがって、本発明の主旨において、エッジ銅は穏やかなエッチング液を用いて電気化学的に除去される。化学除去またはエッチング処理と比較して、エッジ銅の電気化学的除去は迅速であってもよい。電気化学的エッジ銅除去のほかの優位性は、処理が酸化剤を含む標準エッジ銅除去液の希薄溶液はもちろん、穏やかなエッチング液、標準エッジ銅除去液を用いることができることである。好ましい方法は穏やかなエッチング液を使用することである。
本発明の独特な特徴はメッキ液をエッジ銅除去のために穏やかなエッチング液として使用することである。この目的のために、いくらかの種類メッキ液が使用されることができる。この実施において、エッジ銅除去に使用される例として穏やかなエッチング液は１０〜２００ｇｍ／ｌの硫酸および１５〜５０ｍｇ／ｌの銅を含む銅メッキ液であってよい。この液は、塩素、促進剤、サプレッサーおよびリベラーを含む一般的に使用される少なくとも一つのメッキ添加剤もまた含んでよい。エッジ銅除去が図５のシステムの上部チャンバにおいてなされるなら、それらは両方とも同じ溶液であるので、この溶液の偶発的な下部チャンバで使用されるメッキ液への漏れはメッキ液の質に影響を与えないであろう。
図９はエッジ銅除去システムおよび処理のより詳細を示す。様々な構成要素の番号は図６、７と同様である。穏やかなエッチング液２３０はエッジ銅１２０に接触する。少なくとも一つの接触素子２８６は電源２８２の正極端子に接続され、銅層１０２のどこかに接触してよい。接触素子２８６は導電ブラシまたはワイヤからなる。電源２８２の負極端子はエッチング電極２９０に接続され、それは物理的に穏やかなエッチング液に接触する。処理中、電源２８２からの電圧の適用下で、電流が太矢印Ｉで記す回路を流れる。穏やかなエッチング液２８４は、矢印で示されるように良好な調節された流れの形態で流れ、エッチング電流が通電するこの回路中の導体として働くことに気付くべきである。それ故に、流れが連続であることが重要である。別の方法ではエッチングは増加された速度で行われない。ノズル２３２は、導管２８４を通る溶液２３０を受ける電気的導電ノズルであることができる。この場合においてノズルはエッチング電極であってよく、かつ電源２８２の負極端末はノズル本体に直接接続されてよい。択一的に、図９に示されるようにノズル２３２は絶縁材料からなることができる。この場合、溶液２３０に接触するエッチング電極２９０は電源２８２の負極端末に接続されてよい。どちらの方法においても、エッチング電極上の負電圧のために、多段階のエッジ銅除去処理後に銅積載がエッチング電極表面上で起きる。それ故に、それらはそこに集積して堆積した銅を除去するために定期的洗浄されなくてはならない。この洗浄は全体的に化学的または電気化学的であってよい。ノズル２３２は例えばフラップ上またはチャンバ側壁上に設置されることができる。電源は縦チャンバシステムにおける電気堆積に使用される電源またはエッジ除去処理に単独で使用される電源であってよい。しかし、縦チャンバシステムの電源が使用されるならば、電源はそれがメッキに使用されないときにはエッジ銅除去処理に使用できるような両処理用の共有方法において利用されることができる。
電気化学的エッジ銅除去中、ウェハ１００が約２０〜１０００ｒｐｍ、好ましくは５０〜５００ｒｐｍで回転しながら、図９において矢印で表された穏やかなエッチング液２３０がウェハ１００のエッジ銅に適用される。穏やかなエッチング液は良好に調製され連続な流れの形態でノズル２３２を通して適用される。好ましくは、穏やかなエッチング液の流れは０．５〜２ｍｍ、好ましくは１ｍｍの直径を有する。電力が接触素子および電極またはノズルに適用されるとすぐに、エッジ銅１２０が電気化学的に除去される。前に示したように、除去液の表面張力およびウェハの回転数の両方のための除去の間、溶液は図８において示されるウェハ１００のエッジ領域１０１を現しながら、エッジ銅を包みかつエッジ銅を均一にエッチングする。この点において、ウェハの回転数は図８に示されるエッジ輪郭を示すように最適化されるべきである。ウェハの回転数が速すぎるならば、溶液はエッジを包まず、結果としてエッジ除去が成功しないであろう。一方、回転数が遅すぎるならば、溶液がウェハの中心にさらに広がり、望まれない状況として、潜在的にエッジ領域１０１近傍の銅層を薄くする結果となる。
前に述べたように、穏やかなエッチング液の使用および本発明の電気化学的性質は従来のエッジ銅除去処理に対しての有利性を供す。上述の利益に加え、従来技術の攻撃的なエッチング液に対して、銅層上に穏やかなエッチング液が偶発的飛び散る間、穏やかな溶液によるダメージは非常に小さいものである。理解できるように、電気化学的処理における電気的構成要素の非連続性は、飛び散る間、容易に穏やかな溶液の増強されたエッチング能力を奪う。処理の他の優位性は、電圧コントロール法または電流コントロール法のいずれかで行うことができる、というものである。両技術は、除去処理のモニターの操作をなし、および終点が検出された時、つまりエッジ銅が除去されたときにそれを停止する。例えば電圧コントロールが選択されたら、除去処理に使用される電流の鋭い減衰はエッジ銅除去の終点を明らかにし、かつ処理はこの点で停止する。択一的に、電流コントロールを選択すれば、処理に使用する電圧の鋭い上昇がエッジ銅除去の終点を示す。
この実施において、より良好な溶液を取り巻き覆うものを供すために、ノズルはウェハ１００の高さ以上に位置し、エッジ銅１２０とわずかな角度をなしてよい。
ある状況においてエッジベベル除去に使用される溶液は穏やかな溶液であるので、エッジベベル除去は、堆積または被加工物の前面からの材料除去を操作するものと同様の処理チャンバにおいて行われる。図１０Ａ−１０Ｂは、電気化学エッジ銅除去が図５で示されるシステム２００の下部２０２においてなされる択一的実施を示す。前述のように、ＥＣＭＰＲ装置２１５は、隆起２２０、処理液２１９に浸漬する電極２１８を有すＷＩＳＤ２１７を具備する。処理液２１９はＷＳＩＤが設置される上にあるキャビティー２２１に保持される。上述のように、ＥＣＭＰＲ中に電位が処理されかつＷＩＳＤ２１７に近接するウェハ１００の表面と電極２１８との間に確立されながら、ウェハ表面はＷＩＳＤ２１７を通り流れる処理液によって湿潤させられる。この実施において、堆積処理の代わりにエッチング処理もまたなされることができたと理解されたが、処理液２１９は例えばメッキ処理および次の電気化学的エッジ銅処理の両方に使用することができる処理液である。両処理のために処理液２１９は処理液供給タンク（図示しない）から供される。処理中、ウェハ表面への電気的接触はＷＩＳＤ２１７近傍に位置する接点２２３と通して確立されることができる。ウェハがＷＩＳＤの上を移動しながら、接点は移動可能にウェハの露出エッジに接触する。接点２２３は典型的に、例えば‘電気処理のための電気的接点を供する方法およびシステム’と題する、２００１年９月１２日に出願された臨時願書に記載されているような、導電ブラシである。
図１０Ａに示してあるようにこの実施において、ＥＣＭＰＲ装置２１５はノズルであってよい電気化学エッジ銅除去装置２９０と装着される。ノズルは、そこで電極２１８と電気的接触する上述の同様の処理液供給タンクに接続される。システム２００の電極２１８とのこの電気的接続は、電気化学的エッジ除去処理をなすときに両方ともシステム２００の電源２９２の負極端子に接続されている必要がある導電ノズルまたは特別なエッチング電極を具備するノズルの必要性を除外する。代わりにメッキ（または除去）に使用される電極２１８がまたエッジ銅除去処理のエッチング電極としても使用される。もちろん、特別なエッチング電極を有すノズルまたは複数のノズルは本発明の範囲内である。
電気化学エッジ銅除去処理中、ウェハ表面への必要な正電荷接触はＥＣＭＰＲ装置２１５の接点２２３に既に電気的に接触している接続素子を使用してなされてよい。この場合、キャビティー２２１中の処理液２１９の水位は、キャビティー内の溶液２１９を通ってウェハ１００の表面に到達する溶液２１９を通る電気経路が存在しないほど低く、それ故に溶液２１９を通りウェハ１００に到達するように存在する導電経路のみがエッジ銅除去装置２９０を通る経路であることを保証する。択一的接点２９３は隔離されてもよく、かつ電源２９２とのその電気的接続はスイッチ（図示しない）を通して達成されてよい。択一的配置を伴い、図１０Ａおよび１０Ｂを参照して、接触素子２９３はノズル２９０近傍に位置する導電ブラシであってよい。ブラシ２９３およびノズル２９０の両方は、メッキ（あるいは除去）が行われる期間の間にウェハとのわずかでも物理的接触がないように、ＷＩＳＤの適切な周辺に位置してよい。ブラシ２９３は接点のストランドよりも長いストランドを有す。このようなより長いストランドは、ウェハがＷＩＳＤの上で上昇されかつノズルおよびブラシ２９３が位置する領域上を移動させられるときに、エッジ銅除去処理のため、ウェハ表面との接触を確立することができる。このエッジ銅除去処理中、溶液２１９からウェハ１００までに存在する電気経路のみがエッジ銅除去装置２９０を通る。
図１０Ｂにおいて示されるように、先のＥＣＭＰＲ処理中に銅メッキされたウェハがエッジ銅除去装置２９０の近くに移動されるので、ブラシ２９３は表面と接触する。穏やかなエッチング液２１９はエッジ銅に上述の方法で適用される。銅堆積（除去）処理後、ウェハをＷＩＳＤおよびメッキ液から移動し、かつその表面から過剰の溶液を運ぶためにそれを回転することが最良である。それからウェハを新しい位置に移動しエッジ銅除去工程を行う。多くの目的（メッキまたは銅除去）のための多くの溶液を管理し運ぶ必要を除外するため、エッジ銅除去液としてメッキ液を使用することは魅力がある。
図１１に示されるように、他の実施において、銅除去装置３００は、互いに下地部３０６と接続される上部アーム部３０２および下部アーム部３０４を有す角形の‘Ｕ’字型本体を具備する。溶液入り口３０７は、Ｕ字本体中に配置される溶液保管部材に穏やかなエッチング液を配送するために、上部アームおよび下部アームに接続される。装置３００の下地部３０６は電源３１２の正極端子に接続される電極３１０を具備する。保管部材３０８は入り口を通して配送される穏やかな溶液で満ちた柔らかなスポンジ状の材料であることが好ましい。保管部材がエッジ銅１２０によって加圧されるとき、それはエッジ銅を包みかつ穏やかな溶液をエッジ銅１２０に運ぶ。電源３１０の正極端子に接続される少なくとも一つの接触素子３１４は銅層１０２上のどこかに接触してもよい。穏やかなエッチング液はウェハ１００が回転しながらエッジ銅１２０に適用される。結果としてエッジ銅はウェハのエッジからエッチングされる。
図１２は他の実施を説明し、同様の液が両方のエッジベベル除去およびウェハ前面洗浄に使用される。図１２は、前に記述した図６の改良として、この記載の目的を説明する。しかし、ここに記載されるシステムはそのような位置でそれを使用することの優位性はあるが、縦チャンバ処理システムの上部チャンバにて使用される必要がなく、結果としてそのように記載されることに気付く。同様な溶液はエッジベベル除去に適しているので、溶液はノズル２３２、もちろんノズル２３４の両方に矢印で示される単一供給源から供給するために用いられる。同様の供給源を使用しながら、異なるノズルの異なるポンプ、または単一ポンプおよび連続流を供するノズル２３２およびミストを供するノズル２２４のような異なるタイプのノズルがあってよい。しかし説明されるように、上述のようにエッジベベル除去をなすためにノズル２３２から放出される溶液の流れがある一方、ノズル２２４から放出された溶液は小滴と共に、流れを避けるスプレーとして放出される。前面エッジを含むエッジベベル除去のための溶液流れを用いることによって、被加工物の残留前面上の小滴のみであるがエッチングは小滴維持されることができない、流れが維持する電気経路によってエッジベベル領域上で非常により迅速に起こる。
図１３Ａ−１３Ｂは、エッジベベル導体除去装置１１０２（以下ＥＢＣＲ装置）を具備するＥＣＭＰＲシステム１１００を説明する。本発明のＥＣＭＰＲシステムは電気化学機械的堆積（ＥＣＭＤ）システム、電気化学機械的エッチング（ＥＣＭＥ）システム、またはその両方として使用されてよい。以下に記載するように、ＥＣＭＰＲシステム１１００はＥＢＣＲ装置１１０２および同様の電解質またはＥＣＭＰＲシステム１１００内で行われる堆積またはエッチング処理に使用される処理液を使用し、エッジベベル導体除去処理をその場でなすことができる。本発明のＥＢＣＲ装置は、他のより従来的な導体堆積および除去システム、例えば標準電気メッキシステムおよび電気ポリッシャーシステムにおいて、ウェハからエッジ銅を除去するために使われることができる。
ＥＣＭＰＲシステム１１００はキャリアヘッド１１０４、被加工物表面影響装置（ＷＳＩＤ）１１０６および処理液１１１０に浸漬する電極１０８のような多くの構成部材をさらに具備し、処理液コンテナ１１１２を備える。ＥＣＭＰＲシステム１１００は、平面または非平面エッチングと同様に平面または非平面メッキをなすことができる。例えば非平面処理法が選択されるならば、ウェハの前面はＷＳＩＤに接近して運ばれるが、非平面金属堆積がなせるように、ウェハ表面とＷＳＩＤ表面の間にはギャップが存在する。さらに、平面処理法が選択されるならば、ウェハの前面または側面は相対運動がＷＳＩＤとウェハ表面の間で確立されるように、ＷＳＩＤに接触する。電解液はＷＳＩＤを通して配送されるため、ウェハは前面がＷＳＩＤに接触しながら動かされる。ウェハと電極の間への適用の下で、かつＷＳＩＤを通して流れる処理液の存在で、銅のような導体はウェハの前表面にメッキされるか、またはエッチングされる。
第１実施における処理液１１１０は、ＥＣＭＤ処理で使用される電気メッキ液でよい。ＷＳＩＤは、ＷＳＩＤ１１０６通して処理液１１１０を流す多数の導管１１１４を備え、かつキャリアヘッド１１０４に保持されるウェハ１１１８の前面１１１６を湿潤させてよい。キャリアヘッドは、ウェハの前面１１１６、例えば全ての前面をエッジを除かずに電気メッキ液に曝しながら、ウェハを回転および横方向および縦方向に移動することができる。この実施においてウェハ１１１８の前面１１１６は導体層、好ましくはシステム１１００において電気化学的堆積（ＥＣＤ）またはＥＣＭＤ処理に使用される銅層によってメッキされる。メッキ処理中、電極１１０８は陽極として働き、電源１１１９の正極端子に接続される。ウェハ１１１８の前面１１１６は接点１１２０（図１３Ｂ）を通して電源の負極端子に接続される。メッキ処理中、ウェハが移動されかつ回転されることによりウェハ前表面全体はメッキ液に曝されるので、ウェハのエッジ領域１１２２は導体でメッキされる。エッジ領域はウェハの側表面およびこの側表面近傍にある前面の細いエッジストライプを備える。そのエッジにはウェハの後部表面に広がるいくらかの包まれた導体がさらにある。このエッジ領域すべてをメッキする導体はＥＢＣＲ処理工程で除去されるべきである。以下に、ウェハのエッジ領域１１２２上にメッキされる導体を本発明のＥＢＣＲ装置１１０２を使用しその場でどのように除去するかを記載する。この実施において、銅（Ｃｕ）は導体の例として選択される。
図１３Ａ−１３Ｂにおいて示されるように、システムのＥＢＣＲ装置１１０２はシステム１１００のＷＳＩＤ１１０６に設置される。操作において、ウェハに施される処理が終了するとすぐに、ウェハキャリア１１０４はウェハ１１１８をＥＢＣＲ装置に移動しかつ、エッジ領域１１２２をＥＢＣＲ装置１１０２の上部開口１１２４上に配置する。ＥＢＣＲの上部開口１１２４はＷＳＩＤ１１０６の頂部表面１１２６にあり、かつそれ故に導管１１１４を通って流れる電解液を連続的にＥＢＣＲ装置の中および外に流出させる。択一的に、電解液はＥＢＣＲ装置の底から直接的に移ってきてもよい。ＥＢＣＲ装置中の溶液は、ＷＳＩＤとウェハ１１１８の前面上のメッキされた銅の間に流れそれにより両者と接触する電解液１１０の一部である。この段階において、ＥＢＣＲ装置１１０２はＥＢＣＲ装置と電源１１１９（図１３Ｂ参照）の負極端子との接続の確立によってスイッチが入る。ウェハ１１１８の前面１１１６は電源の正極端子と接点１１２０を通して接続される。この方法で、エッジ銅除去はウェハのエッジでエッジベベル銅の電気エッチングを通してなされてよい。
図１４に示されるように、ＥＢＣＲ装置はＥＢＣＲ電極１１２８を保持する囲い１１２７を備える。囲い１１２７はＷＳＩＤ中の開口でよい。ＥＢＣＲ装置を充填する電解液１１１０は電極１１２８、ウェハ１１１８の前面１１１６およびエッジ領域１１２２の銅を湿潤する。故に、ＥＢＣＲ電極１１２８と銅層またはウェハ表面との間に電圧が適用されるとすぐ、ウェハはより正電荷を帯び、電気エッチング電流がウェハ（陽極）のエッジ領域１１２２からＥＢＣＲ電極１１２８（陰極）に流れる。電気エッチング電流は実質的に囲い１１２７の電圧に制限され、それによって電流はより局在化する。電解液１１１０がＷＳＩＤを通って流れるので、エッジ領域はウェハ１１１８の回転により開口１１２４上を移動させられ、それによりエッジ領域１１２２が開口１１２４上を通ることによりエッジ領域１１２２上の銅が除去される。しかし、エッジ領域がＥＢＣＲ装置１１０２の開口１１２４上に運ばれるとすぐに、エッジ領域からの銅除去の範囲は開口とエッジ領域１１２２との距離および処理液抵抗のようなある変数に依存する。
図１５Ａに例示されるように、ウェハがＷＳＩＤ１１０６と接触しながらＥＢＣＲ装置１１０２上を運ばれるならば、エッジ領域またはウェハの前面１１１６とＷＳＩＤ１１０６の表面との距離は最小またはゼロである。したがって、エッジ領域１１２２の銅の電気エッチングは開口１１２４上に位置するエッジ領域の部分に沿って進行する。ウェハがＷＳＩＤ１１０６と接触するので、エッチングは前側に対して明らかに内向きには広がらない。距離dE1は、ウェハがＷＳＩＤ１１０６と接触しながらＥＢＣＲ装置によって除去される銅の範囲を近似的に示す。
しかし図１５Ｂで示されるように、ウェハが接触しない位置にあれば、ＥＢＣＲ装置の効果はさらに内面に広がり、かつエッジからの除去範囲は広くなる。エッチングされる距離は距離dE2（dE2>dE1）で表されるならば、それから距離dE2はウェハとＷＳＩＤとの間の鉛直距離が増加するので増大する。これはウェハ周辺のより大きな領域がＥＢＣＲ装置からの電流に曝されることによる。しかし、ＥＣＭＰＲシステムにおいて使用される処理液が低酸性度ではあるが高銅濃度を持つ処理液のような高抵抗の処理液であるならば、エッチングの範囲はＥＢＣＲ装置１１０２の開口１１２４を横切る領域に実質的に限定される。
一般的に、ＥＢＣＲ処理の完了はエッチング電流と電圧をモニターすることで検出される。図１５Ａおよび１５Ｂを参照すると、銅はウェハのエッジ領域１１２２から除去されるので、もし電気的接触が銅層に形成されたら（図１３Ｂに示される接点１１２０を通るように）、エッジからの銅除去を示しながら、電圧は所定の電流に対して増加し、電流は所定の電圧に対して減少する。
図１７に関連して図１６Ａ−１６Ｃは、図１３Ｂで使用されるもののようなウェハ１１１８への電気接点を使用するＥＢＣＲ終点検出処理を例示する。図１６Ａ−１６Ｃに示される段階（Ｉ）、（ＩＩ）および（ＩＩＩ）は、図１５Ａ−１５Ｂと関連して記載されるＥＢＣＲ装置を使用し、ある例示的時間期間内にＥＢＣＲ処理が進むことでウェハの前表面１１１６にメッキされる銅を説明する。図１７は時間に対するＥＢＣＲ処理電圧の変化を示す。図１６Ａの段階（Ｉ）は、第１時間期間での銅除去範囲を示す。ウェハ１１１８は回転させられるので、電気接点の位置はエッジ領域１１２２上の軌道Ａとして示される。第１の例示的時間期間t1における電圧の適用下で、まさにその外周で銅は第１除去線１１３０まで除去され、それにより下部障壁層を曝す。さらに、図１６Ｂの段階（ＩＩ）において、第２の例示的時間期間t2で、銅層は第２の除去線１１３２まで除去される。図１７を参照してt1およびt2の例示的時間期間中、エッジ領域から除去されるべき銅がまだ存在することを示す電圧は相対的に変化しないままでいる。図１６Ｃを参照して、段階（ＩＩＩ）において、第３の時間期間で銅は軌道ＡまたはＥＢＣＲ処理を完了する終点まで除去される。図１７に示されるように、銅除去は電気接点軌道Ａにさらに近づくので、接点軌道Ａに沿うエッジ銅除去を示す電圧は増加する。接点軌道Ａに沿う銅が除去されるので、電気接点は銅より低い導電性を有す障壁層に接触する。これは電圧の増加をもたらす。電圧増加の検出により、ＥＢＣＲ処理は停止される。
図１８において説明されるように、上述の手法とは異なり、ＥＢＣＲ処理中、ＷＳＩＤ１１０６の表面に接触または非常に近接しながら、ウェハはＥＢＣＲ装置１１０２から遠ざけられる。この手法において、エッジ領域１１２２とＥＢＣＲ電極１１２８との距離は最も短いので、電源が適用されたとき電気エッチングがエッジ領域で始まり、かつ時間の関数として回転するウェハの中心に向けて広がる。ＥＢＣＲ処理中、電流の流れはＷＳＩＤ上を流れる電解質１１１０を実質的に通る。電流の方向は矢印Ａで示される。さらに、矢印Ｂで示されるように漏れ電流はＷＳＩＤの穴１１１４を通る他の経路を辿る。このような漏れはエッジ領域１１２２以外の領域においてウェハ表面からの銅エッチングを起こす。故にこの漏れ電流は、経路Ａを通る電流の流れの抵抗を減少させ、かつ経路Ｂを通る抵抗を増加させることで最小化される必要がある。ここに記載されるＥＢＣＲ手法は、前面エッジ領域、後面エッジ領域およびベベルを含むウェハのエッジ領域全てから全ての不必要な銅を除去することに気付くべきである。ＥＢＣＲ中、処理液がこれら全ての領域に物理的に接触し、かつ電気エッチング電流がそれら全てに接近することがその理由である。
多くの時間ＥＢＣＲ処理を繰り返した後、または各々のＥＢＣＲ処理の後に、ＥＢＣＲ電極１１２８はいくつかそれに堆積された銅を有することが予想される。ＥＢＣＲ電極１１２８に堆積した銅は、ＥＢＣＲ電極１１２８と電極１１０８のような溶液に接触する他の電極とに電位差を適用することによって洗浄されてよい。図１３Ａに戻って参照すると、ＥＢＣＲ洗浄中、電極１１２８上の堆積した銅がエッチングされるまで、電極１１０８は電源１１１９’の負極端子に接続される一方、電極１１２８は電源１１１９’の正極端子に接続される（点線で示される）。本例においてＥＢＣＲ処理は電源１１１９を使用することでなされ、かつＥＢＣＲ電極の洗浄が電源１１１９’を使用することでなされるが、電源１１１９は適切な電気接点とスイッチを後に記載されるように有するＥＣＭＰＲシステムにおいてなされる処理全ての電源として、単独で使用されることができることが理解される。さらに、ＥＢＣＲ電極洗浄工程は、ウェハがＥＢＣＲ処理後にリンスを通して洗浄される時間期間で行われてよい。このようにＥＢＣＲ電極洗浄時間はＥＢＣＲ処理の全処理量に影響を与えない。
図１９Ａ−１９Ｂはエッジベベル除去装置１２０２（以下ＥＢＣＲ装置）を含むＥＣＤ（電気化学的堆積）システム１２００を説明する。システム１２００は電気堆積および堆積のためのシステムに使用されるものと同様の電解液と共にＥＢＣＲ装置を使用する、ベベル除去処理をその場でなすことができる。システム１２００はキャリアヘッド１２０４、処理液コンテナ１２１２に収容される処理液１２１０に浸漬する電極１２０８のような多くのシステム構成部材を具備する。コンテナ１２１２は上部開口１２１３を有する角形の囲いであってよい。コンテナ１２１２は上部開口１２１３の位置まで電解液により満たされており、かつ電解液は開口１２１３から外に流出される。ウェハが上部開口１２１３の近くに運ばれるなら、外に流出する電解液はキャリアヘッド１２０４により保持されるウェハ１２１８の前面１２１６を湿潤する。ウェハの前面１２１６を電解液に曝しながら、キャリアヘッドはウェハを回転し横および開口１２１３上で上下に移動させることができる。ＥＢＣＲ処理に先立って、ウェハと電極との電位が適用される下で、ウェハ１２１８の前面１２１６は銅層のような導体層によりメッキされる。電極（陽極）はこの処理中に電源（図示しない）の正極端子に接続される。ウェハの前面１２１６は、コンテナ１２１２に沿って（図１９に示されるように）広がる接点１２２０の接点を通り電源の負極端子に接続する。接点１２２０は曲面（これはウェハの円周を辿る）を含む、異なる形および形状でよいことに気付くべきである。本例では定常的な直線状の接点を使用する。
上述の場合のように、メッキ中、銅はウェハのエッジ領域１２２２にもメッキされる。これは不必要な状況であり、かつエッジ領域にメッキされた銅は本実施のＥＢＣＲ処理工程を使用して除去されるべきである。図１９Ａ−１９Ｂを参照すると、システムのＥＢＣＲ装置１２０２は処理液１２１０に浸漬される。操作中、ＥＣＤ処理が終わるとすぐに、ウェハキャリア１２０４は横方向にウェハ１２１８をＥＢＣＲ装置１２０２にむけて移動させ、かつそのエッジ領域１２２２をＥＢＣＲ装置１２０２上に位置させる。択一的に、ＥＢＣＲ装置はエッジ領域に向けて移動されてよい。ＥＢＣＲ装置はまた銅堆積中に処理液の中に入らない。ＥＢＣＲ処理をなしながら、それは処理液に浸漬される。
処理液にウェハの後部を湿潤させる適切なウェハキャリア設計をまた使用し、電極はウェハの後側部に位置してよく、かつＥＢＣＲ処理はエッジ領域の銅を除去するためになされてよい。図２０は、処理液コンテナ１６０６に収容される処理液１６０４に浸漬される電極１６０２を具備するＥＢＣＲシステムを説明する。銅でメッキされた前表面１６１０を有す半導体ウェハのような被加工物１６０８の側面１６０７が電極１６０２にまたがって位置する。電極１６０２（それは円形であると思われる）の中心およびウェハ１６０８の中心はＺ軸にそって整列していることが好ましい。
ウェハキャリア（図示しない）はウェハを処理液表面１６１４に近づける。ウェハのエッジ領域１６１６の範囲を越えるエッチングを避けるために、ウェハ前表面１６１０は処理液表面１６１４とウェハ１６０８の前表面１６１０との距離ｄが好ましくは基板上の銅フィルムの抵抗よりも非常に大きい処理液の抵抗を導入する量未満であるように処理液表面１６１４に近づけられる。距離ｄは数ミリメートルでよい。ＥＢＣＲ処理中、電極１６０２は電源１６１８の負極端子に接続される一方、ウェハの前表面１６０８は電源１６１８の正極端子に接続される。電力が適用されたとき、電気エッチングがエッジ領域１６１６で始まり、かつ時間の関数として前表面１６１０の中心に向けて内面的に広がる。前表面１６１０上の限られた溶液本体の高い電気抵抗は前表面１６０８上の電気エッチングの範囲を制限する。前表面上の電気エッチングの範囲は距離ｄの増加により増加する。この手法で使用される溶液はフィルム表面１６０８を明らかに化学的にエッチングしないものであるべきであることに気付くべきである。しかし、それは電圧が適用されるときには電気化学的にエッチングできる能力を有すべきである。溶液の化学的エッチング速度は１１００Ａ／分未満でよい。このような穏やかな化学的エッチング液は本発明において電気エッチング液として良好に働き、それらは穏やかに化学的にエッチングしＥＢＣＲ処理が行われるので表面を洗浄する。ウェハ表面への電気的接点は図２０のウェハの中間に示される。好ましくは、この接点は銅フィルムのエッジが洗浄されるとき電気エッチング処理からの電流と電圧のシグナルが前に記載されたように処理の完了をしめすようにウェハのエッジのどこか近くまたはエッジにあってよい。そういった点で、接点はウェハの前面エッジのＥＢＣＲ後ウェハに所望されるエッジ除去の数値に等しいかまたは近い場所に位置する。それからベベル上の銅が取り除かれる。除去はそれから上部表面１６０８上のウェハの中心に向けて続く。エッジ除去が電気接点に到達したとき、電圧は処理が電気エッチングの終了により停止する終点を示す。
図２１Ａは、図１５Ａおよび１５Ｂに示され、ＥＢＣＲ電極１２２８を保持する囲い１２２７を具備するＥＢＣＲ装置１２０２を詳細に表す。ＥＢＣＲ装置１２０２は処理液１２１０を、デバイスの先端にある開口１２２４を通して、随意に装置の周りの多くの開口または穴１２２５を通して、ＥＢＣＲ装置に流出させることをなす。この段階において、ＥＢＣＲ装置１２０２はＥＢＣＲ装置と電源の負極端子との間の接続を確立することによってスイッチが入れられる。ウェハの前面上の銅は電源の正極端子に接続される。ＥＢＣＲ装置を満たす処理液１２１０は、電源の負極端子に接続するＥＢＣＲ装置のＥＢＣＲ電極１２２８を前面１２１６およびウェハ１２１８のエッジ領域１２２２の銅に、処理液を通して、電気的に接触させる。処理液１２１０は流動するので、エッジ領域１２２２はウェハ１２１８を回転させることにより開口１２２４上を移動させられ、それによりエッジ領域１２２２上の銅はエッジ領域が開口１２２４上を横切るので電気化学的に除去される。
上述のようにエッジ領域１１２２からの銅除去の範囲は、エッジ領域とＥＢＣＲ装置１２０２の開口１２２４との距離に依存する。開口とウェハのエッジ領域との鉛直距離が増加すると、銅除去の範囲もまた増加する。しかし前もって説明した通り、これは処理液の抵抗によってもまた制限される。
図１９Ａ−１９Ｂおよび図２０に関連して記載されるものと類似なある手法においては、ＥＢＣＲ処理はウェハ１２１８を結局動かさずに開始される。しかし、ＥＢＣＲ装置は電解液１１１０表面に近づくように運ばれてもよい。この手法において、処理液１２１０はウェハ１２１８の表面１２１６およびエッジ領域１２２２に適用される。電力が供給されるとき、電気エッチングはエッジ領域で始まり、かつ時間の関数として回転するウェハの中心に向けて内向きに広がる。この特別な手法において比較的小さい電極はＥＢＣＲ装置と取って代わってよい。
前の実施で記載されたように、ＥＢＣＲ電極１２２８に堆積した銅はＥＢＣＲ処理が完了した後、ＥＢＣＲ電極１２２８と電極１２０８とに適切な電位をかけることで除去される。択一的に、溶液と接触する他の電極（図示しない）は堆積した銅を移動するのに使用されてもよい。この他の電極は、それから間をおいて、それを取り出しかつエッチング液の中でそれをエッチングすることで洗浄されてもよい。
他の実施において本発明のＥＢＣＲ装置１２３０が図２１Ｂのように示される。この実施において、デバイス１２３０は、内部導電核１２３２および外部絶縁囲い１２２４を有す固体本体からなる。本実施のＥＢＣＲ装置１２３０は、装置１２０２のための前の実施において記載されたように利用される。
図２２Ａ−２２Ｂは、ＥＢＣＲ装置１３０２を具備するＥＢＣＲシステム１３００を説明する。システム１３００はＥＢＣＲ液１３０３と共にＥＢＣＲ装置を使用してエッジベベル除去処理をなすことができる。このシステムで処理されるべきウェハは、ＥＣＭＤ、ＥＣＤ、ＣＶＤ、ＭＯＣＶＤおよびＰＶＤを具備するよく知られている堆積方法のいずれかを使用して銅メッキされる、前処理されるウェハでよい。
システム１３００はキャリアヘッド１３０４、コンテナ１３０８に収容されるＥＢＣＲ液１３０６を具備する。コンテナ１３０８は上部開口１３１０を有す角形の囲いであってよい。図２２Ａは長手側の視野にそってコンテナ１３０８を示す。コンテナ１３０８は溶液で上部開口１３１０の高さまで満たされた状態を保ち、溶液は連続的に開口１３１０から流出する。処理中、キャリアヘッド１３０４により保持されるウェハは開口１３１０に近づくように運ばれ、かつそのエッジ領域１３１１はＥＢＣＲ液１３０３に浸漬するＥＢＣＲ装置１３０２の上に設置される。ＥＢＣＲ装置１３０２は電極１３１８を保持する囲い１３１６を具備する。ＥＢＣＲ装置１３０２は、処理液１３０３を、装置の先端で開口１３２０を通し、随意に装置の周りの多くの穴を通し、ＥＢＣＲ装置に流入させる。キャリアヘッドは、ウェハの前面１３１４を、弱い溶液１３０３に十分に曝させながら、開口１３１０上で回転できる。弱い液はウェハの前面１３１４上の銅をエッチングしない。
図２２Ｂは、コンテナをその短手の視野にそって示す。図２２Ｂに示されるように、ウェハの前面３１１４はコンテナ１３０８にそって広がる接点１３１７を通して電源の正極端子に接続される。この段階で、ＥＢＣＲ装置１３０２はＥＢＣＲ装置と電源との接続が確立されることによってスイッチが入れられる。ＥＢＣＲ装置を満たす溶液１３０３は、電源の負極端子に接続するＥＢＣＲ装置の電極１３１８をウェハ１３１２の前面１３１４およびエッジ領域１３１１に接触させる。溶液は流動するので、エッジ領域１３１１はウェハ１３１２を回転することでＥＢＣＲ装置１３０２の開口１３２０上を移動させられ、それによりエッジ領域１３１１上の銅はエッジ領域が開口１３２０上を横切ることで除去される。
以前の場合と同じように、エッジ領域１３１１からの銅除去の範囲はエッジ領域とＥＢＣＲ装置１３０２の開口１３２０との間の距離に依存する。開口とウェハのエッジ領域１３１１との距離が増加すると、銅除去の範囲もまた増加する。しかし前に説明したように、これもまた処理液の抵抗に制限される。
図２３Ａ−２３Ｂは、電極１４０１を有すエッジべべル除去装置１４０２（以下ＥＢＣＲ装置）を具備するＥＣＤ（電気化学堆積システム）１４００を示す。システム１４００は、堆積のためのシステムで使用されるものと同じ電解液と結合するＥＢＣＲ装置を使用してベベル除去処理をその場でなすことができる。
システム１４００はキャリアヘッド１４０８、処理液コンテナ１４１２に収容される処理液１４１０に浸漬した電極１４０８のような多くのシステム構成部材を具備する。コンテナ１４１２は上部開口１４１３を有す角形の囲いであってよい。壁１４１４はコンテナの第１セクション１４１５ａを第２セクション１４１５ｂから隔離する。この実施において、第１セクション１４１５ａはＥＢＣＲ装置１４０２が保持され、かつＥＢＣＲ処理がなされるＥＢＣＲセクションである。第２セクション１４１５ａはＥＣＤセクションである。ＥＢＣＲおよびＥＣＤセクション１４１５ａ、１４１５ｂは壁１４１４の開口１４１６を通し連結されてよい。これはその先端での流体伝達に加えて、セクション１４１５ａと１４１５ｂとの間の他の流体伝達開口を付与する。コンテナ１４１２は開口１４１３の高さまで電解液で満たされた状態を保ち、電解液は開口１４１３から連続的に流出する。ウェハ１４１７がＥＣＤセクション１４１５ｂの上部開口１４１３に近づくように運ばれるとき、外に流出する電解液はキャリアヘッド１４０４に保持されるウェハ１４１７の前面１４１８を湿潤させる。キャリアヘッドは、ウェハの前面１４１８を電解液に十分に曝らさせながら、ウェハを回転させ、かつ横方向および縦方向に開口１４１３上を移動させることができる。ＥＣＤセクション１４１５ｂにおいて、ＥＢＣＲ処理に先立ってウェハ１４１６の前面１４１８はウェハと電極との電位適用の下で導体層、好ましくは銅層でメッキされる。電極（陽極）は電源（図示しない）の正極端子に接続される。ウェハの前面１４１８は、コンテナ１４１２に沿って広がる接点（図示しない）を通して、電源１４１９の負極に接続される。
図２３Ａ−２３Ｂに示されるように、エッジ領域１４２２上にメッキされる銅は、システム１４００のＥＢＣＲセクション１４１５ａにおいて、ウェハをＥＢＣＲセクション１４１５ａ上で横方向に移動させかつ、エッジ領域１４２２をＥＢＣＲ装置１４０２の上または非常に近接させるように位置させることにより、除去される。電極１４０１が電源１４１９の負極端子に接続されるとすぐに、電流は穴１４１６を通って、‘経路Ｂ’を流れる電流抵抗はより高いので、優先的に‘経路Ｂ’よりも‘経路Ａ’に流れる。この実施において、ＥＢＣＲ処理は前の実施のようになされる。この計画はＥＢＣＲ電解質を使用するＥＢＣＲシステムの隔離にもまた使用されてもよい。
図２４は、ＥＢＣＲ処理および、メッキ処理あるいはＥＣＭＰＲ、ＥＣＤまたはＥＣＭＤのような電気的エッチング処理のいずれかの処理の両方に使用される電力スイッチシステムの、考えうる概略図を例示する。電力スイッチシステム１５００は電源１５０２を具備する。第１スイッチ１５０４および第２スイッチ１５０６を通して、電源１５０２はＥＣＭＰＲまたはＥＣＤシステムである電気処理システム１６００に接続する。明瞭な目的のため、図２４はウェハ１ １６０２、ＥＢＣＲ電極１６０４およびシステム１６００の電極を概略的に示す。以下の表は、システム１５００中のスイッチ１５０４および１５０６の位置はもちろん点Ａの極性が変化したときの、システム１６００においてなされることができる処理のタイプを示す。
Figure 2005515629
上に記載されたいくらかの例は、適切にエッジ導体除去をその場で達成できる本発明の方法の能力を論証するために、処理液としてメッキ液を使用したが、記載されたシステムはエッチングシステムでよく、かつ処理液は銅除去のためのリン酸のようなエッチング液でよい、ということを理解すべきである。この場合において、電気エッチング処理は被加工物の表面から銅を除去するためなされ、その場でのエッジ銅の除去は本発明においてＥＢＣＲ装置を使用し行われる。選択的に、ＥＢＣＲを有す上述のシステムは、他のモジュールにおいて前処理された被加工物のエッジ銅フィルムを除去することに使用されてよい。例えば、これらのシステムは、エッジを除くその表面全体から過剰な導体を除去するためのＣＭＰ、エッチングまたは電気エッチング技術により研磨されたウェハからエッジ銅を除去することにも使用されてよい。
様々な好ましい実施が詳細に上に記載されたが、熟練者は、実施例の多くの改良は実質的に本発明の目新しい技術および優位性からそれることなしに可能であることを、速やかに理解するだろう。
本発明に従ってエッジ除去がなされるウェハの説明図。 本発明に従ってエッジ除去がなされるウェハの断面図。 本発明に従ってエッジ除去がなされるウェハの表面部分の詳細な断面図。 本発明に従ってエッジ除去がなされるウェハのエッジ部分の詳細な断面図。 本発明に従ってエッジ除去がなされる縦チャンバを説明する図。 本発明のエッジ除去装置のさらに詳細な図 本発明のエッジ除去装置のさらに詳細な図 本発明に従ってそこから銅が除去されたウェハのエッジ部を説明する図。 図６と７で説明された本発明の実施例に従うエッジ除去をさらに詳細に説明する図。 本発明に従ってＥＣＭＰＲおよびエッジ除去処理の両方に使うことができる装置図。 発明の他の実施形態に従うエッジ除去の詳細な図。 本発明に従って被加工物洗浄およびエッジ除去処理の両方に使用できる装置図。 本発明のエッジベベル導体除去装置（ＥＢＣＲ装置）を具備するＥＣＭＰＲ（電気化学機械的処理）システムを説明する図。 被加工物影響表面装置に位置するＥＢＣＲ装置図。 エッジベベル導体除去処理中、ＥＢＣＲ装置の開口上に位置するウェハのエッジ領域の図。 エッジベベル導体除去処理の段階図。 時間に対してＥＢＣＲ処理電圧の変化を示すグラフ。 ウェハのエッジがＥＢＣＲ装置から離れながらなされる選択的なＥＢＣＲ処理を説明する図。 ＥＢＣＲを有する電気化学的堆積システムを説明する図。 エッチング電極を具備するＥＢＣＲシステムを説明する図。 ＥＢＣＲ装置の様々な実施形態を説明する図。 ＥＢＣＲ装置を具備するＥＢＣＲシステムを説明する図。 電気化学的堆積およびＥＢＣＲセクションを有するシステムを説明する図。 電気メッキまたは電気エッチングシステム内でＥＢＣＲ処理に使用することができるパワースイッチシステムを説明する図。

Claims (59)

  1. エッチング溶液および前記エッチング溶液と接触するエッチング電極を用いて被加工物の導電性層のベベルエッジ、この導電層の前面ベベルエッジ表面を含む、から導電材料を除去する方法であって、
    前記被加工物を回転させる工程；
    前記被加工物を回転させながら、前記エッチング溶液の連続流を前記被加工物の前記ベベルエッジ、前記ベベルエッジは前記導電層の前記前面エッジを含む、に向ける工程；および
    前記電極と前記被加工物の前記導電層とに電位差を適用する工程、
    を含む方法。
  2. 前記向ける工程が穏やかなエッチング液をベベルエッジに向ける請求項１記載の方法。
  3. 前記穏やかなエッチング液は、前記電位差の適用の結果として、前記電位差の適用なしで起きるよりも、よりベベルエッジをエッチングする請求項２記載の方法。
  4. 前記穏やかなエッチング液はメッキ液である請求項２記載の方法。
  5. 前記向ける工程に先立ち、前記メッキ液を使用して前記被加工物の前記導電層の頂部表面に導体を堆積させる工程をさらに含む請求項４記載の方法。
  6. 前記堆積工程は縦チャンバアセンブリーの下部チャンバに配置される前記被加工物で行われ、かつ前記向けるおよび適用する工程は前記縦チャンバアセンブリーの上部チャンバに配置される前記被加工物で行われ、かつ前記堆積工程の後および前記向ける工程の前に前記被加工物を下部チャンバから上部チャンバに移動させる工程をさらに含む請求項５に記載の方法。
  7. 前記堆積工程は電気化学機械的堆積法を使用する請求項６記載の方法。
  8. 前記堆積および前記向ける両方の工程は単一チャンバに配置した前記被加工物で行われる請求項５記載の方法。
  9. 前記堆積および前記向ける両方の工程はそれぞれ異なるチャンバに配置された被加工物で行われる請求項５記載の方法。
  10. 前記指導工程に先立ち、メッキ液を使用し前記被加工物の前記導電性層の頂部表面に導体を堆積させる工程をさらに含む請求項４記載の方法。
  11. 前記堆積工程は電気化学機械的堆積法を使用する請求項１０記載の方法。
  12. 前記堆積工程は直立チャンバアセンブリーの下部チャンバに配置される前記被加工物で行われ、前記向けるおよび適用する工程は前記縦チャンバアセンブリーの上部チャンバに配置される前記被加工物で行われ、前記堆積工程の後および前記向ける工程の前に前記被加工物を下部チャンバから上部チャンバに移動させる工程をさらに含む請求項１０記載の方法。
  13. 前記堆積工程は電気化学機械的堆積法を使用する請求項１０に記載の方法。
  14. 前記向ける工程に先立ち、電気化学的処理を前記被加工物の前記導電層の頂部表面になす工程をさらに含む請求項４記載の方法。
  15. 前記電気化学機械的処理をなす工程は、縦チャンバアセンブリーの下部チャンバに配置される前記被加工物で行われ、前記向ける工程および前記適用工程は前記縦チャンバアセンブリーの上部チャンバに配置される前記被加工物で行われ、前記電気化学機械的処理をなす工程の後および前記向ける工程の前に前記被加工物を下部チャンバから上部チャンバに移動させる工程をさらに含む請求項１４記載の方法。
  16. 前記電気化学機械的処理をなす工程および前記向ける工程両方は単一チャンバに配置した前記被加工物で行われる請求項１４記載の方法。
  17. 前記電気化学機械的処理をなす工程および前記向ける工程両方は各々異なるチャンバに配置した被加工物で行われる請求項１４記載の方法。
  18. 前記導電層の頂部表面上に前記穏やかなエッチング液のミストを吹き付ける工程をさらに含む請求項２記載の方法。
  19. 前記吹き付け工程および前記向ける工程両方は単一チャンバに配置した前記被加工物で行われる請求項１８記載の方法。
  20. 前記吹き付け工程および前記向ける工程両方は同時に行われる請求項１９記載の方法。
  21. 前記吹き付け工程および前記向ける工程両方は両方とも経時的に行われる請求項１９記載の方法。
  22. 被加工物の前面導電性表面エッジ上でのエッジベベル除去処理をなす装置であって、
    チャンバ；
    前記被加工物を保持し回転させる移動可能かつ回転可能な被加工物ホルダー；および
    エッジベベル除去システムを具備し、
    前記エッジベベル除去システムは、
    少なくとも前記被加工物の前記前面導電表面エッジにエッチング液の連続流を供給するための少なくとも一つのエッジ導電材料除去装置；
    前記連続流に物理的に接触することに適応し、かつ前記連続流と前記被加工物の前記前面導電表面エッジとの電位差を供するための電極、
    を備える装置。
  23. 前記エッジ銅除去装置は、前記エッチング液の前記連続流が前記被加工物の前記前面導電表面エッジに外向きに向かうように前記被加工物に関連する位置内に配置される少なくとも一つのノズルを具備する請求項２２記載の装置。
  24. 前記被加工物の前表面に穏やかなエッチング液を向けるための、前記チャンバ内に配置される洗浄ノズルを少なくともさらに含む請求項２２に記載の装置。
  25. 前記穏やかなエッチング液と前記エッチング液は、同じ溶液である請求項２４記載の装置。
  26. 前記チャンバの下に配置される他のチャンバ；
    前記被加工物が前記チャンバ内にあり、かつ少なくとも一つ前記エッジ銅除去装置が使用されるときに、前記他のチャンバを前記チャンバから隔離するのに適応する移動可能ガード；および
    前記他のチャンバに配置される前記被加工物の前表面を処理するシステム
    をさらに具備する請求項２２記載の装置。
  27. 前記システムは、電気化学機械的処理システムである請求項２６に記載の装置。
  28. 前記電気化学機械的処理システムは、電気化学機械的堆積システムである請求項２７に記載の装置。
  29. 前記被加工物の前表面に電気化学機械的処理を供するための前記チャンバ内に配置される電気化学機械的処理システムをさらに含む請求項２２記載の装置。
  30. 少なくとも一つのエッジ導体材料除去装置に使用される前記エッチング液は、また前記電気化学機械的処理システムにも使用され、
    前記電気化学機械的処理システムはキャビティー、前記キャビティー内に配置される電極、前記電極から前記被加工物の前記前表面までの一つの電気経路を供するために前記キャビティー内に配置するエッチング液、前記エッチング液が流れるところの被加工物の近くに配置される被加工物表面影響装置、および前記キャビティー内に配置される前記エッチング液と前記被加工物との電位差が維持できるように電気化学機械的処理中に前記被加工物に電気的接触を供するための端子を含む請求項２２記載の装置。
  31. 前記エッチング液の前記連続流を前記キャビティーから少なくとも一つの前記エッジ導体材料除去装置に供するための導管をさらに含む請求項３０記載の装置。
  32. エッジ導体材料の除去中に前記被加工物に電気的接触を供する他の端子をさらに含む請求項３１記載の装置。
  33. 前記他の端子は、前記端子と同じものである請求項３２記載の装置。
  34. 前記他の端子は、前記端子と異なる請求項３２記載の装置。
  35. 前記エッジ銅除去装置は、前記エッチング液の連続流を前記被加工物の前記前面導電表面エッジに外向きに向けるために前記被加工物に関連する位置内に配置される少なくとも一つのノズルを含む請求項３０記載の装置。
  36. 前記電気化学機械的処理システムは、電気化学機械的堆積システムである請求項３０記載の装置。
  37. 前記エッチング液が、電気化学機械的処理が行われるときに第１の水位を有し、かつエッジベベル除去が行われるときにキャビティー内に他の低い水位を有するようにキャビティー内のエッチング液の水位を調節する流量調節器をさらに含む請求項３０記載の装置。
  38. 被加工物のエッジベベル除去をなし、かつ溶液を用いて被加工物の前面を洗浄する方法であって、
    前記被加工物を回転させる工程；
    導体材料を第１の速度で前記ベベルエッジから除去するために前記被加工物を回転させながら、ソースから得られる液体の連続流を前記被加工物の導電性層のベベルエッジに向ける工程；および
    前記被加工物の前記前表面を洗浄するために前記被加工物を回転させながら、前記ソースから得られる前記溶液の吹き付けを前記被加工物の前記導電性層の前面に向ける工程、
    を含む方法。
  39. 前記流れを向ける前記工程と前記吹き付けを向ける工程は経時的になされる請求項３８記載の方法。
  40. 前記流れを向ける工程と前記吹き付けを向ける工程は同時になされる請求項３８記載の方法。
  41. 前記連続流を向ける工程が行われながら、前記溶液の前記連続流と前記被加工物の前記導電層との電位差が適用され、かつ前記吹き付けは電気経路を前記導電層に供することができず、それによって前記被加工物の前記前面からの前記導電材料の除去が前記第１の速度よりも遅い第２の速度で生じることを保証する請求項３８記載の方法。
  42. 前記溶液は穏やかなエッチング液である請求項４１記載の方法。
  43. 前記流れを向ける工程と前記吹き付けを向ける工程は、経時的になされる請求項４１記載の方法。
  44. 前記流れを向ける工程と前記吹き付けを向ける工程は、同時になされる請求項４１記載の方法。
  45. 処理液と前記処理液と接触する電極を使用し、被加工物の導電表面のエッジ領域から導電性材料を除去する方法であって、
    前記被加工物を回転させる工程；
    前記被加工物の前記導電表面を前記処理液に接触させる工程；
    前記被加工物の前記エッジ領域を前記電極近傍に位置させる工程；および
    前記被加工物を回転させながら、前記電極と前記被加工物の前記導電層とに電位差を適用する工程と、
    を含む方法。
  46. 前記処理液は、メッキ液である請求項４５記載の方法。
  47. 前記メッキ液は、前記電位差適用の結果としてエッジ領域をエッチングする請求項４６記載の方法。
  48. 前記配置工程に先立って、前記メッキ液を使用して前記被加工物の前記導電表面に導体を堆積させる工程をさらに含む請求項４６記載の方法。
  49. 前記堆積、配置および適用工程すべては、単一チャンバ内に配置される前記被加工物で行われる請求項４８記載の方法。
  50. 前記堆積工程は、電気化学機械的堆積法を使用する請求項４９記載の方法。
  51. 前記堆積工程は、被加工物表面影響装置に配置される前記被加工物で行われ、前記堆積および適用工程は前記被加工物表面影響装置中の前記電極を保持する開口上方に配置される前記被加工物の前記エッジで行われる請求項５０記載の方法。
  52. 前記堆積工程は、被加工物表面影響装置に配置される前記被加工物で行われ、前記堆積および適用工程は前記被加工物有効影響装置中の前記電極を保持する開口近傍に配置される前記被加工物の前記エッジで行われる請求項５０記載の方法。
  53. 前記堆積工程は、電気化学的堆積法を使用する請求項４９記載の方法。
  54. 前記堆積工程は、前記メッキ液に浸漬される前記被加工物の前記導電表面で行われ、前記配置および適用工程は前記電極近傍に位置する前記被加工物の前記エッジで行われる請求項５３記載の方法。
  55. 前記処理液は、エッチング液である請求項４５記載の方法。
  56. 前記導電表面を前記エッチング液に浸漬させることをさらに含む請求項４５記載の方法。
  57. 前記配置および適用工程は、前記電極近傍に位置する前記被加工物のエッジで行われる請求項５５記載の方法。
  58. 被加工物の前面導電表面エッジ上でエッジベベル除去処理をなすための装置であって、
    処理液を収容するチャンバ；
    前記処理液中に前記被加工物を保持し回転させる移動可能かつ回転可能な被加工物ホルダー；および
    処理液を物理的に接触させ、かつ前記被加工物の前記前面導電表面に対して電位差を供するために適応される電極を含むエッジベベル除去構造
    を具備する装置。
  59. エッジ導体材料除去中、前記被加工物の前記導電表面に電気的接触を供する電気的接点をさらに含む請求項５８記載の装置。
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