JP2005507996A - 質量流量装置を作製および使用するためのシステム及び方法 - Google Patents
質量流量装置を作製および使用するためのシステム及び方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005507996A JP2005507996A JP2003535006A JP2003535006A JP2005507996A JP 2005507996 A JP2005507996 A JP 2005507996A JP 2003535006 A JP2003535006 A JP 2003535006A JP 2003535006 A JP2003535006 A JP 2003535006A JP 2005507996 A JP2005507996 A JP 2005507996A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid
- flow
- data
- sensor
- behavior
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
- G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
- G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
- G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Flow Control (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
- Paper (AREA)
- Automobile Manufacture Line, Endless Track Vehicle, Trailer (AREA)
- Details Of Flowmeters (AREA)
Abstract
Description
【0001】
本出願は、2001年10月12日に出願された米国仮特許出願第60/329,031号および2002年8月28日に出願された米国仮特許出願第60/406,511号の優先権を主張しており、また2000年9月20日に出願された米国特許出願第09/666,039号の一部継続出願である。
【0002】
本開示は、一般に流量システム、特に質量流量装置を作製および使用するための方法に関する。
【背景技術】
【0003】
正確な流体質量流量コントローラを案出するために、特に、半導体素子の製造に使用される種類の毒性で高い反応性気体のような流体の質量流量を制御する流量コントローラを案出するために努力がなされてきた。半導体製造の分野において種々の気体が、エッチングおよび蒸着プロセスに使用されている。これらの気体は、人間にとり毒性であることもあり、かつ周囲大気条件に曝されると高い反応性であることがある。上述の種類の流体の流量を測定しかつ制御する質量流量コントローラが案出されており、そこにおいてその測定は、流体の熱特性に基づいている。規制部材またはオリフィスの前後の圧力差に基づいている他の流体質量流量コントローラが案出されている。ここで対象となる型式の従来技術の流体質量流量コントローラの精度は、流量コントローラの多くの用途に対して不十分である。
【0004】
半導体製造プロセスは、プロセスチャンバ中への流体(主に気体)の非常に正確な量の送出を要求することがある。たとえば、毎分20リットルもの高い流量から毎分1立方センチメートル(CCM)の数十分の1の低い流量までの範囲の流量が要求されることがある。さらに、半導体製造において反応性気体の制御に使用される流量コントローラの応答時間と安定化速度は、コントローラが、「オン」信号に応答できること、および1秒未満、好ましくは1秒よりもかなり短い時間内に所要の流量で安定化できることを要求することがある。プロセス自体は、概して数秒から数時間続くことがある。現行の流体質量流量コントローラがそのような速度で応答および安定化する能力は、達成するには難しい。
【0005】
従来技術の圧力センサ、およびそのような圧力センサを使用する従来技術の流体質量流量コントローラに付随する問題は、それらの構造に固有の無効空間の大きさである。標準的には、そのような質量流量コントローラは、それぞれの圧力変換器に付随する中空チャンバ中に開放する単一の入口/出口ポートを有する。その結果、中空チャンバの一部の部位における流体流量がかなり制約される恐れがあるので、押し流されない大きい内部容積部分、長い水分乾燥停止時間、および不十分なパージ性を生じる。
【0006】
従来技術の流体質量流量コントローラに付随する他の問題は、種々のプロセス流体についてコントローラを検量する要求事項に関係する。従来技術の流体質量流量コントローラは、標準的には、不活性または非毒性の検量流体を使用して検量され、その流体は、換算因数また換算データのセットの案出を必要とする。それぞれのコントローラ器具を検量するために毒性または高い反応性のプロセス流体の使用が、コスト的に高過ぎるし、かつ操作要員にとり危険であるので、従来技術の質量流量コントローラは、標準的には、窒素またはアルゴンのような不活性流体について、もしくは質量流量コントローラにより制御されるプロセス流体の特性と同様な特性を有する流体について検量される。検量流体と変換因数を使用するこのプロセスは、質量流量コントローラの作動にエラーが導入され、時間がかかり、かくして費用がかかる。従来技術の質量流量コントローラの不正確さ、および初期設定中と取換手順においてコントローラを検量するのに必要な費用と時間は、流体質量流量コントローラの一定の改良が強く望まれている程に、半導体素子の製造を含む多くの製造プロセスのコストをかなり増加する。
【0007】
したがって、特に上述のような製造プロセスに使用される型式の圧力センサと、およびそのような圧力センサを組込む流体質量流量コントローラとに対する幾つかの願望が明らかにされている。そのような願望には、コントローラ設定値の数パーセント以内(1パーセント未満が好ましい)のコントローラ精度と、熱に基づいた質量流量コントローラにより生じるような、「通常」温度より高い温度または低い温度で、かつ種々の位置または姿勢(すなわち、表を上、横向き、または表を下の姿勢)で、精度を低下することがない作動と、広範囲の流量にわたる正確な測定と制御と、作動開始から安定した流量状態を達成するまでの迅速な応答時間と、製造の経済性と、および流量コントローラの使用を容易にするために、かつ製造プロセス用に、流体流量分布システムから流量コントローラへの変更を容易にするために、複雑でないモジュール式機械的構造とが含まれる。流体質量流量コントローラに望ましい他の特徴には、製造時にそれぞれの完備したコントローラ器具の検量、および使用後の再検量の必要がないことと、確実かつ容易に交換される流量規制部材またはオリフィス部材の提供と、使用後または流量規制部材を交換後に流量コントローラの作動性と精度の確認が容易なことと、半導体製造プロセスに使用される広範囲の毒性および/または反応性の流体、特に気体状の数百種類の流体について流量を正確に制御する能力と、および種々の気体または液体状の流体に対する流量についてコントローラ作動データの変更が容易なこととがある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0008】
したがって、必要とされるものは、多様な範囲の圧力と温度にわたって1種類以上の流体を正確に測定または制御できる質量流量装置を作製するシステム及び方法である。
【課題を解決するための手段】
【0009】
少なくとも1種類の流体に使用される質量流量装置を作製する新規な方法とシステムにより、技術的な進歩が提供されている。1つの実施例において、その方法には、規制部材を選択するステップが含まれ、そこにおいて規制部材はオフセットパラメータに関連する。オフセットパラメータは、流体に関連する挙動データで処理されて、装置パラメータを生成する。装置パラメータが装置にダウンロードされるので、装置は、環境条件の範囲にわたり流体の流量を監視できる。
【0010】
他の実施例において、質量流量装置へ情報を提供する方法は、規制部材に関連する規制部材情報、および少なくとも1つのセンサに関連するセンサ情報を特定するステップを含む。規制部材情報とセンサ情報は、規制部材とセンサの特性をそれぞれ特定する。流体に関連する挙動情報が特定される。特定された規制部材とセンサの情報が挙動情報で処理されて、その装置用の操作データを生成するので、装置は流体を制御できる。操作データは、装置にアクセスできるメモリに格納される。
【0011】
さらに他の実施例において、少なくとも1種類の流体流量を制御する装置は、流体流量を制約する規制部材と、プロセッサと、流体流量を制御するためにプロセッサへアクセスできるバルブと、流体流量を表す流量データを生成する少なくとも1つのセンサと、プロセッサにアクセスできるメモリとから構成される。そのメモリは、規制部材、センサおよび流体に関連する装置データと、プロセッサが処理する命令とを含む。その命令は、センサからの流量データを受信し、受信された流量データと装置データとに基づいて流量を計算し、そしてバルブを作動するためのものである。作動の程度は、計算された流量に関連する。
【発明を実施するための最良の形態】
【0012】
本開示は、一般に流量システム、特に質量流量装置を作製および使用する方法に関する。しかしながら下記の開示は、本発明の種々の特徴を実現する多くの種々の実施例または例を提供するものであることが理解されよう。コンポーネントと器具の特定の例が、本開示を単純化するために以下に述べられる。勿論これらは、単なる例であり、限定を意図したものではない。加えて本開示は、種々の例において参照数字および/または文字を繰返すことができる。この繰返しは、単純化および明瞭化のためのものであり、検討される種々の実施例および/または種々の構成の間の関係に影響するものではない。
【0013】
図1を参照すると、流量制御装置(図2乃至6)を作製する方法10が示されている。この方法10は、流量測定装置のような流体流量システムに使用される他の装置またはコンポーネントに等しく適用できることが理解されよう。後に詳細に述べるように、流量制御装置は、流体の挙動に影響し得る環境条件の範囲にわたり1種類以上の流体を制御するように作動できる。たとえば、流体の圧力および/または温度、ならびに装置の入力圧力と出力圧力の変動は、装置を通る流体の流量に影響することがある。さらに1つの流体の挙動は、流体の特性の相違により、他の流体の挙動と非常に異なることがある。したがって装置は、特定の流体について所望の流量を維持する必要があるならば、これらの変動に応じて流体流量を調整しなければならない。方法10のステップ12において、流体挙動データは、種々の圧力および/または温度における流体の挙動を実験的に求めることにより、コンパイルされる。たとえば、データを、圧力が真空(たとえば、平方インチ当りゼロポンド(psi)すなわちゼロトール)から1気圧(たとえば、14.7psiすなわち760トール)まで増加するときの種々の圧力点で得ることができる。別のデータを、種々の温度点で得て、流体の挙動をさらに規定することができる。
【0014】
流体挙動データがステップ12においてコンパイルされた後に、方法10は、ステップ14へ続き、そこにおいて、センサや規制部材のような流体制御装置の種々のコンポーネントについてのパラメータを得ることができる。後に詳細に述べるように、センサにより、流体流量の或る特性(たとえば、圧力または温度)を検出できるし、また規制部材は、予め規定された規制部材特性に従って流量を変えるように機能する。本例において、複数のセンサと規制部材についてのパラメータが得られ、これらのパラメータは特定のセンサまたは規制部材に関連付けられる。たとえば、所定の規制部材についての1組のパラメータを得、ついでそのパラメータを、その規制部材へ割当てられた独自の通し番号で、データベースにおいて、関連させることができる。
【0015】
ステップ16において、流量制御装置に使用するために、規制部材と1つ以上のセンサが選択される。各センサと規制部材は1組のパラメータに関連するので、選択されたコンポーネントの挙動が知られ、かつ選択をするときには特定の注意を必要としない。続いてステップ18において、規制部材のパラメータが流体挙動データで処理される。他の実施例においてセンサパラメータも流体挙動データで処理される。本例において流量制御装置は、単一の流体についての使用を意図しているが、複数の流体用の流体挙動データを処理できることが理解されよう。この処理により、流体に関する装置の挙動を規定する装置パラメータが得られる。ステップ20において装置パラメータを、装置へ(たとえば、装置へアクセスできるメモリへ)ダウンロードすることができる。したがって1つ以上のバルブを使用すると、装置は、センサと、規制部材とおよび流体との間の既知の関係を使用して流体の流量を制御できる。方法10により、センサ/規制部材のパラメータおよび流体の挙動データが既知である限り、種々のセンサ/規制部材の組合せを使用して装置を作製することができるし、かつ多くの種々の流体で装置を作動することができる。
【0016】
ここで図2を参照すると、図1の方法10を使用して作成できるような流体質量流量コントローラ21が示されている。質量流量コントローラ21は、協働する平面24aと26aのそれぞれにおいて従来の機械的締付具(図示されない)により互いに適切に接合することができるほぼ矩形ブロック状の第1及び第2の本体部分24と26から構成される二部分モジュール式本体22を有する。本体部分24と26には、たとえば、半導体製造に使用される特に気体状の毒性または反応性流体を供給する半導体製造システム29(図3)のような、流体供給システムの適切な導管へ接続するための適切なコネクタ25および27がそれぞれ設けられる。
【0017】
一例として、図3に示されるように、質量流量コントローラ21を半導体製造システム29に介入させることができ、このシステムは、六弗化タングステン、塩素、六弗化硫黄のような流体、またはたとえば、製造プロセスに使用できる200種類を超える流体の1つを加圧下で供給する圧力源容器28を備える。圧力源容器28は、適切な導管30を介して流量コントローラ21へ接続される。パージ導管32も、導管30と、および図示されないパージ気体源へ接続されて、必要なときに流量コントローラを適切なレシーバまたはスクラバ34へパージする。しかしながら流量コントローラ21の作動中、流体の正確な流量が、制御されて、導管33を経て半導体製造チャンバまたは容器36へ導入される。チャンバ36は、一般には、たとえば、1つ以上の真空ポンプ37によりほぼ減圧状態に維持される。図3に示されるように、流量コントローラ21が介入されたシステム29は、流量コントローラの1つの好ましい用途を図示するために、一例として、簡略化された形態で示される。流量コントローラ21は他のシステムに使用できることが理解されよう。
【0018】
図3乃至6も参照すると、第1の本体部分24により、電気的に制御される流量制御バルブ40が支承され、このバルブは、従来の機械的締付け具40aにより第1の本体部分24の面24b上に着脱自在に取付けられる。流量制御バルブ40は、所定の位置において第1の本体部分24に容易に取付けできて、一旦取付けられると流量制御バルブ40の調整が必要ないようにするために、好ましくは予め組立られたモジュール構造のものである。これは、バルブ40がモジュール式でなくて調整が必要となり、その調整は一般に比較的長い時間を要する従来技術のシステムよりも有利である。バルブ40は、第1の本体部分24の第1の内部流路42から第2の内部流路44への流体の流れを絞るように作動自在である電気的に作動される閉止部材41(図4)を備える。第1の内部流路42は、圧力源容器28からの流体を受容するために導管30と流体連通する。バルブ40は、閉止部材41を全開位置と全閉位置との間で動かすアクチュエータ43も備える。アクチュエータ43は、好ましくは、閉止部材41の位置を高精度で全開位置と全閉位置との間で迅速かつ正確に制御する電磁型または圧電型のものである。第1の圧力変換器46が、第1の本体部分24の面24bにも取付けられ、かつ第1の本体部分24に形成される第2の内部流路44および第3の内部流路47と流体連通する。第2の圧力変換器48が、第2の本体部分26の面26bに取付けられ、かつ第2の本体部分26に形成される第1の内部流路49および第2の内部流路50と流体連通する。第2の内部流路50は、製造チャンバ36へ導かれる導管33へも流体接続される。流体質量流量コントローラ21のコンポーネントを収納する着脱自在のカバー(図示されない)を設けることができる。
【0019】
図5に最も明確に示されるように、それぞれの本体部分24と26に、円筒形窪み52が好ましくは形成される。それぞれの窪み52は好ましくは、底壁54、およびその底壁から延びて周方向に延びる側壁56を有する。カップ状ダイアフラム58が、それぞれの窪みに固定配置される。それぞれのカップ状ダイアフラムは、好ましくは底壁54へ密接しかつそれと平行に延びて測定隙間62を形成する下部ダイアフラム壁60と、好ましくは側壁56に隣接しかつそれと平行して延びて環状流路66を形成する環状側壁64とを有する。測定隙間62は、高さがほぼ0.003乃至0.020インチ、好ましくは高さが約0.010インチである一方、環状流路66は、好ましくは高さがより大きい。ダイアフラム壁60は、平坦または波形にできるし、また好ましくは、流体圧力を受けるときに屈曲性を示す厚さで形成される。ダイアフラム壁60の厚さは、ダイアフラム壁が受ける流体圧力範囲に応じて変えることができる。比較的低い圧力範囲の場合にダイアフラム壁は、比較的薄くできるが、比較的高い圧力範囲の場合には、比較的厚くできる。高腐蝕性の環境の場合には、ダイアフラム58、および特にダイアフラム壁60は、好ましくは、ステンレス鋼、サファイア、インコネル、アルミナ、およびセラミックなどのような耐蝕材料から構成される。圧力変換器46と48は、ダイアフラム壁60におけるたわみ量、ひいては質量流量コントローラ21内の流体圧力を測定するための抵抗ひずみ計型または容量型のものにできる。
【0020】
上述の配置により、環状流路66を通る流体流量は、実質的に妨げられことなく、一方、測定隙間62を通る流体流量は制約されるので、環状流路66に存在するであろう流体乱流が減衰され、従来技術の解決策において一般に生じる雑音が減少される。測定隙間62および環状流路66により、これらの空間を通じて流体が、確実に押し流される。したがって、これらの空間内のデッドスペースが無くなり、パージ性が向上し、かつ乾燥停止時間が短くなる。好ましくは、第1の本体部分24の環状流路66は、第2の本体部分26の環状流路66よりも幅が狭い。というのは、第1の本体部分の流量は、第1の本体部分の流体圧力の方が通常高いので、第2の本体部分の流体圧力よりも通常低いからである。このようにして、流体流量を遮断または開始する遅延時間を減少できる。
【0021】
本体部分24、26は好ましくは、ステンレス鋼またはアルミニウムなどのような熱伝導性材料から構成されて、それを通る流体を加熱または冷却するように機能する。ダイアフラム壁60が、その対応する本体部分24または26に比較的近接して配置されるので、ダイアフラム壁60の温度は、流体温度に影響されにくく、従来技術システムに比べて測定精度が向上する。
【0022】
ここで図6Aを参照すると、本発明の別の実施例に従う圧力センサ70が図示され、そこにおいて前の実施例における同様な部材は、同様な数字で表されている。圧力センサ70は、第1の導管コネクタ76と第2の導管コネクタ78との間において本体部分74を通って延びる主内部流路72を除いて、上述の本体部分24および26と構造において同様である。主内部流路72は、第1の内部流路75および第2の内部流路77へ流体接続される。ついで第1と第2の内部流路75、77が、前の実施例におけるように、測定隙間62および環状流路66と流体連通される。この実施例は、比較的高い流量で流れる流体の圧力を測定する場合に特に有利であり、そこにおいて流体の一部が圧力測定チャンバを迂回するので、そうでないと生じることがある乱流が減少する。
【0023】
質量流量コントローラ21の本体部分24および26を、比較的高い流量を測定および制御する場合に主内部流路72を備えるように同様な仕方で変更できることが理解されよう。
【0024】
ここで図6Bを参照すると、本発明のさらに別の実施例に従う圧力センサ80が図示され、そこにおいて前の実施例における同様な部材は、同様な数字により表されている。圧力センサ80は、主内部流路72を除き圧力センサ70と構造において同様であり、主内部流路72が、第2の内部流路84と流体連通する第1の内部流路82により、かつ第3の内部流路88と流体連通する第4の内部流路86により置換えられる。第2と第3の内部流路84、88も、前の実施例におけるように、測定隙間62および環状流路66と流体連通する。この実施例は好ましくは、前の実施例よりも低い流量で流れる流体の圧力を測定するのに使用される。
【0025】
図4、5Aおよび5Bを再び参照すると、第1の本体部分24は好ましくは、第1の本体部分24の第3の内部流路47と同心である第1の円筒形座ぐり穴110を備え、また第2の本体部分26は好ましくは、第1の円筒形座ぐり穴110に面し、かつ第2の本体部分26の第1の内部流路49と同心である第2の円筒形座ぐり穴112を備える。規制部材114が好ましくは、第1と第2の座ぐり空洞110、112内に位置決めされる。規制部材114は好ましくは、チューブ状スリーブ116内で支承できる材料のディスク118から構成される。スリーブ116は、適切なチューブ状アダプタ内に取付けられ、かつシールリング113a、113b間で座ぐり空洞110、112内で支承される。したがって規制部材114は、本体部分24と26を分離し、規制部材114を取外し、ついで同様な流量特性または異なる流量特性の適切な代替規制部材に取換えることにより、本体22から容易に取外すことができる。ディスク118は好ましくは、流体が流通できる、所定の空隙率を有する焼結金属材料から構成され、それによって、圧力変換器46と48により感知できる差圧をディスクの前後に生じるに十分に流れを規制する。流れ規制部材114は、たとえば、所望の空隙率と流れ規制特性を提供するように、適切に圧縮および焼結されたステンレス鋼またはニッケルの粒子から製造することができる。規制部材114は好都合には、制御バルブ40の下流側において流通コントローラ21内に配設される。規制部材114は、他の材料から製造できること、および/またはコイル状毛細管、オリフィスまたは他の規制手段として具体化できることが理解されよう。
【0026】
本発明によれば、流れ規制部材114は、個別の上流側または下流側の流体フィルタを無くすことができるように、規制手段として、かつ流体フィルタとして機能するように配置することができる。一般的な制流手段の場合、制御された圧力降下は、ろ過特性に関係なく特定される。一般的な流体フィルタの場合、ろ過特性は、制御された圧力降下に関係なく特定される。かくして本発明の流れ規制部材114は、制御された圧力降下と、通過する特定の流体についての特定のろ過特性とを有するように製作することができる。
【0027】
流通コントローラ21に使用できる規制部材の他の実施例は、2002年8月28日に出願された米国仮特許出願第60/406,511号に記載され、その開示が、ここに参照によって全体で組込まれる。
【0028】
規制部材114の温度を検出するために、座ぐり穴110に近接する空間中に温度プローブ136(図3)を挿入できるように、スロット(図示されない)を、第1の本体部分24内に設けることができる。流体の実際の温度に基づいて規制部材特性情報を使用できるように、温度プローブ136から得られた温度信号を制御回路(図3)に使用できる。
【0029】
図2および3を再び参照すると、流量コントローラ21は好ましくは、本体22から延びる取付けブラケット124へ固定される一対の離間する印刷回路基板(PCB)120、122に取付けられる制御回路または制御システムをさらに備える。制御回路には、デジタル信号プロセッサ(DSP)130として特徴づけられるマイクロコントローラまたはマイクロプロセッサが備えられ、そのプロセッサ130は、EEPROMのような不揮発性メモリ132と、データ入力装置134とへ作動可能に接続される。プロセッサ130は、閉止位置と開放位置との間で閉止部材41(図3)を動かすことができるバルブ40へ作動可能に接続される。プロセッサ130はまた、信号増幅器138及び140をそれぞれ介して圧力変換器46及び48へ、および所要の位置においてコントローラ21を通れる流体温度を検知するように配置できる温度センサ136へ作動可能に接続される。マイクロプロセッサ130は、種々の送信源から命令信号、データセットおよびプログラム作成変更を受信するプラグコネクタ142(図1)のような適切なインターフェースへ作動可能に接続される。流量コントローラ21が作動しているときを表示するインジケータ発光ダイオード(LED)144を設けることができる。
【0030】
プロセッサ130は好ましくは、テキサス・インスツルメンツ・インコーポレーテッドから入手できるTMS320LF2406固定小数点式マイクロコントローラである。しかしながら、本発明の精神と範囲から逸脱することなく、他の固定小数点式または浮動小数点式のプロセッサを使用できることが理解されよう。圧力センサ46と48は好ましくは、それ自体のA/DおよびD/A変換器を担持するプロセッサ130へのアナログ入力部として14乃至16のビット解像度を有するプラス/マイナス0.5ボルトの範囲で作動する。他のアナログ入力部は、温度センサ136用のものと、および12ビット解像度を有するゼロ乃至5ボルトの設定点命令信号入力部(図示されない)とであろう。プロセッサ130は、バルブドライバ(図示されない)を介してバルブ40の作動を制御するアナログ出力信号も送信できる。プロセッサ130との通信は、他の通信手段も使用できるが、RS485の4線通信リンクおよび/またはCAN(コントローラ地域ネットワーク)を経て実施できる。プロセッサ130は好ましくは、エミュレーションとデバッグ用のジョイント試験アクショングループ(JTAG)インターフェース、およびプログラム作成用のパワーアップブートローダ機能にも対応できる。メモリ132は好ましくは、少なくとも32キロバイトのシリアルな電気的に消去可能なROM(EEPROM)から構成される。
【0031】
プロセッサ130は好ましくは、圧力センサ46と48用の入力とバルブ40の制御用の出力信号との間で毎秒約200回の速度で実行される閉ループ制御機能を作動する。インターフェース142を通じての通信は、制御ループの更新が維持されていないとき新規データの転送またはメモリ132への転送を供給できるけれども、制御ループが機能している間に実施される。
【0032】
流量コントローラ21の各コンポーネントは、通し番号のような識別コードを有することができる。たとえば、流量コントローラ21は、バルブ40、変換器46、48、規制部材114、PCBの120、122、DSP130、メモリ132および温度センサ136が有するように、独自の通し番号を有することができる。これらの通し番号をデータベースまたは他の記憶手段に入力できるので、特定の流量コントローラ21に関連するコンポーネントを容易に特定できる。後で詳細に述べるように、データベースは、その開示が、ここに参照によって全体で組込まれた2001年10月12日に出願された米国仮特許出願第60/329,031号に記載されているように、それぞれのコンポーネントに関する情報も含むことができる。
【0033】
ここで図7を参照すると、図2乃至6の流量コントローラ21を作製する方法200が図示される。方法200は、組立前、組立および組立後の段階に分割されるステップ210乃至228を使用して、流量コントローラコンポーネントが未組立状態から組立状態までの種々の状態をとるように操作できる。組立前、組立および組立後の段階は、単なる説明のためのものであり、1つの組立方法を明らかにするためのものである。下記のステップの順序は変わることがあること、および一部のステップを自動化できることが分かる。さらに或るステップは、同一型式の複数のコンポーネントを加工するためにバッチ処理モードを利用することができる。
【0034】
ステップ210乃至218において、方法200の組立前は、流量コントローラ21をプログラムするに必要な種々の情報を得ること、および1つ以上のデータベースにその情報を記憶することを含む。これらのステップは、流体挙動を規定するステップ(ステップ210)、および流量コントローラ21に使用すべき物理的コンポーネント用のパラメータを規定するステップ(ステップ212乃至216)を含む。
【0035】
ここで図7のステップ210およびさらに図8を参照すると、複数の流体についての流体挙動データが実験的に求められる。流体挙動は、圧力と温度の変動により変えられることがある。一般的に、一定の温度に保持されてオリフィス(たとえば、規制部材)を通過する流体は、或る質量流量/差圧の比で、質量流量と差圧(たとえば、下流側圧力/上流側圧力)との間で比較的に線形関係を示すことがある。この線形領域は、「抑制された流通」領域であると名付けられ、またたとえば、差圧に対する質量流量の比が1.6:1を超える場合に生じ得る。抑制された流れの際、流体速度は、音速(たとえば、音の速さ)に達し、上流側圧力がさらに増加すると、オリフィスを通る流体速度の対応する増加を生じない。しかしながら質量流量は、上流側圧力の増加に伴い線形に増加し続け得る。これは、上流側圧力の増加により流体密度が高くなり、それが質量流量に直接影響するからである。この線形関係のために、抑制された流れ領域において流体の質量流量を制御する流量コントローラを設計および使用することは、抑制されない流通領域(たとえば、差圧に対する質量流量の比が1.6:1未満の場合)において流体を制御することに比べて比較的容易である。
【0036】
抑制されない流れ領域において、流量と差圧との間の関係は、非線形であるので、制御は一層難しくなるであろう。しかしながら抑制されない流れ領域における流れ制御は、半導体処理産業のような或る産業において特に関心があることがある。さらに或る用途においていくつかの流体は、抑制されない流れ領域においてだけ利用できることがあるので、抑制された流れ領域における制御が、非常に不適切になる。たとえば流体は、抑制されない流れ領域における気体から抑制された流れ領域における液体へ変化することがあるので、気体状で流体を使用することは、抑制されない流れ操作を必要とすることがある。したがって抑制されない流れ領域における流体の正確な測定と制御が望ましいし、また図8に図示されるように、データは、種々の流体の挙動をモデル化するために収集する必要がある。このデータは、圧力と温度の変動が、一定サイズ(SCCMで測定した)の規制部材を通る流体の流量にどのように影響するかを特定するのに重要である。様々な流体が様々な特性を有するので、流量コントローラ21により使用できるそれぞれの流体の挙動を求める必要がある。
【0037】
ここで図8だけを参照すると、流体挙動データを収集するプロセス229は、ステップ230において、或る数(たとえば、12個)の規制部材の選択と設置で開始する。ステップ232において、差圧、下流側圧力および温度の或る組合せについての流体の挙動を表すデータ点を得るために、1種類以上の流体を規制部材に通過させる。説明のために、流体の試験は、真空から1気圧までの範囲の圧力を流体に受けさせること、および特定の圧力点(たとえば、本例においては14点)においてデータを集めることを含む。流体の挙動は抑制された流れ領域においてより少ないデータ点を使用して予測できるので、これらのデータ点の大部分は、抑制されない流れ領域に位置決めできることに注目されたい。別のデータを、流体の温度を変えることにより得ることができる。これらの変動を種々の規制部材について行って、特定の規制部材設計に関しての流体の挙動を規定できる。したがって、3種類の温度と12個の規制部材が14回の圧力測定に使用されるならば、合計14×3×12=504箇所のデータ点をサンプリングして、単一の流体の挙動を規定することができる。ついで別の流体の挙動を、同様な仕方で規定することができる。本例において合計32種類の流体が数千箇所のデータ点を使用して規定される。これらのデータ点は、抑制された流れ領域と抑制されない流れ領域との両方における所定の規制部材を通る流体の流れを求めるのに使用できる。
【0038】
図8のプロセスに続き、ステップ234において、試験プロセスにより得られたデータが記録される。記録されたデータはついで、ステップ236において解析され、最良のあてはめ値と補間式(best fit and interpolation equations) を生成して、三次元グラフ(図9)に別の点を規定する。この解析により、特定の規制部材に関して特定の気体の挙動を提供するように補間できる、それぞれの流体についての多項式因数が得られる。ステップ238において多項式因数は、データベースに記憶される。
【0039】
本発明の1つの側面は、質量流量コントローラ21の通常の作動範囲において、流体流量は、規制部材114前後の差圧の関数ばかりではなく、製造チャンバ36における圧力にほぼ対応する下流側絶対圧力の関数でもあることの発見にある。この関係は、2000年9月20日に出願された米国特許出願第09/666,039号に詳細に記載されており、この開示はここに参照によって全体が組込まれる。
【0040】
ここで図9を参照すると、流量と下流側絶対圧力との間の関係がグラフ239に示され、このグラフは、下流側圧力(トール単位でy軸244により表される)と差圧(トール単位でx軸240により表される)に対する流量(SCCM単位でz軸242により表される)の依存関係を示す。グラフ239は、それぞれが異なる流体温度を示す3つの表面246、248、250も含む。
【0041】
規制部材を通る質量流量は、差圧、下流側絶対圧力および温度で変わるが、上流側圧力と、下流側圧力と流量との間の関係は線形関係ではないことに注目されたい。たとえば、下流側圧力が約0.0トールであり規制部材前後の差圧が約1575.0トールならば、試験される特定の規制部材についての流量は、約280SCCM(データ点252により示される)である。しかしながら、下流側圧力が760.0トールならば、流れ規制部材前後の同一の差圧(たとえば、1575.0トール)についての流量は、約500SCCM(データ点254により示される)である。ここで図7のステップ212、およびさらに図10Aと10Bを参照すると、PCB120、122およびDSP130についてのパラメータが得られる。たとえば、DSPに関連する増幅器のゲイン値SP1,SP2を得るために、ベッドオブネイルズ(bed of nails)(BON)試験を使用できる。同様に、+5ボルト(V)、+3.3V、および/または+3.0V(DSP基準電圧であり得る)の理想値からの分散値のようなPCB120、122の電圧を求めるために、BON試験を使用できる。この変動は、流量コントローラ21の性能に影響するので、所望のレベルの流体制御を達成するために、考慮する必要がある。後述するように、これらのパラメータにより、コンポーネントの理想値と実際値との間の変動についての補正が可能となる。
【0042】
ここで特に図10Aを参照すると、アナログまたはデジタルの入出力(I/O)基板を、以下のように方法259を使用して試験できる。ステップ260において、試験用の基板が選択および設置される。その基板に関連する電圧は、ステップ262において合格/不合格基準を使用して測定され、ついでその結果が記録される。ステップ264においてデジタル通信路が、合格/不合格基準を使用して試験され、ついでその結果が記録される。バルブ駆動信号(たとえば、図2のバルブ40を駆動するために使用される信号)も、ステップ266において合格/不合格基準を使用して試験される。それぞれの試験結果は、ついで、ステップ268において、試験された基板に関連する通し番号とともにデータベースに記憶される。
【0043】
ここで特に図10Bを参照すると、DSP基板を、以下のように方法269を使用して試験できる。ステップ270において、試験用の基板が選択されて設置される。ステップ272において、3Vのアナログ・デジタル基準電圧が測定されて記録される。ステップ274において、増幅器A1、A2(図3)のそれぞれに関連するゲインSP1およびSP2が、温度センサ136(図3)に関連するゲインと同様に、測定され記録される。ついでDSPはステップ276においてプログラムされ、アナログ入力回路がステップ278において試験される。DSP基板に関連する流れ回路の試験は、ステップ280において実施される。それぞれの試験の結果は、ついでステップ282において、試験された基板に関連する通し番号とともにデータベースに記憶される。ここで図7のステップ214および特に図11の方法283を参照すると、変換器46、48は以下のように特徴づけられる。ステップ284において、変換器および関連するブロックが、選択されて固定部に設置される。ステップ286、288において、各変換器はついで、ゼロパーセント圧力から100パーセント圧力までの範囲を通して25パーセント増分で段階的に変化され、ついで100パーセント圧力からゼロパーセント圧力まで下げた圧力まで変化されて、応答曲線とヒステリシス値が得られる。たとえば、それぞれの変換器は、ゼロから50psi(12.5psi増分を使用して)までの範囲の圧力を受け、ついで50psiからゼロまで下げた圧力を受けることができる。ついでステップ290において、応答を、多項式因数A0、A1およびA2に曲線をあてはめることができ、また多項式因数を、該当する変換器に関連する通し番号とともに記憶できる。ついでこれらの因数を、DSP130により使用して、各変換器46、48により検知される絶対圧力を計算できる。上述のように、このプロセスは変換器の変動の特定に役立ち、かつこのプロセスにより、流量コントローラ21が、絶対圧力を求めるときの変動を明らかにすることができる。
【0044】
ここで図7のステップ216、およびさらに図12の方法291を参照すると、ステップ210において使用される12個の規制部材のような、様々なサイズの複数の規制部材の各々に関して、「短期試験」を実施できる。短期試験は、「基準」規制部材についての特性を規定し、かつ他の規制部材(たとえば、製造業者により様々な時間で生産される規制部材のバッチ)をそれに対して測定できるベースラインを確立することにより、少なくとも2つの目的に役立つ。
【0045】
本例において、12種類の異なるサイズ(SCCMでの)の規制部材を、規制部材の特性を規定するために識別できる。各サイズにおいて、或る数(たとえば、100個)の規制部材を選択し試験して、平均流量を求める。本例において、2つのデータ点が、3種類の流体の組について収集され、この組は、ステップ210において挙動が特徴づけられた流体のサブ組である。たとえば、第1の試験は、定格流量における規制部材の圧力降下を測定できる。これにより、0乃至99(50の理想値での)の値を有する因数Q1が求められる。ついで第2の試験が実施されて、定格流量の分数値(たとえば、2分の1の値)における規制部材の圧力降下が測定される。Q1とゼロ切片値と第2の試験結果とを使用して、同じく0乃至99(50の理想値での)の値を有する因数Q2を求めることができる。したがってQ1およびQ2は、規制部材の挙動を特徴づける。一旦、規制部材の挙動が求められると、プラスまたはマイナス10パーセントのような許容範囲を特定できる。この許容範囲は、組立てられた流量コントローラにより補正できる流量範囲を特定できる。流量コントローラ21を組立てる際に使用される全ての規制部材は、短期試験を受けて、許容範囲(たとえば、範囲0乃至99におけるQ1とQ2の値を有する)に入るか、または不合格とされることになる。
【0046】
ここで特に図12を参照すると、規制部材は、ステップ292において試験のために選択されて設置される。ステップ294において流体(たとえば、窒素)が、定格流量(たとえば、100SCCM)で規制部材を通して流される。ステップ296において上流側と下流側の圧力が測定され記録される。ステップ298において、その圧力は、上流側圧力の分数値(たとえば、2分の1の値)まで減少され、上流側と下流側の圧力が再び測定されて記録される。先に得られた(図7のステップ210)流体挙動データを使用して、ステップ300においてQ1とQ2についての値が、その規制部材について確定される。Q1とQ2の値が許容範囲外にある場合、規制部材は不合格とされることが分かる。規制部材についての短期試験が実施された後に、その規制部材を、圧力と線形性との軸を有する二次元配列におけるデータ点として表すことができる(図13)。
【0047】
ここで図13を参照すると、グラフ302は、100SCCM規制部材の標準的なグループの圧力と非線形性の特徴を測定する過程においてプロットされ得る情報を示す106箇所のデータ点304を含む。グラフ302は、圧力降下(1140乃至1380トールの範囲での)を表すx軸306、および非線形性を表すy軸(10.5乃至13.5の範囲での)308を含む。かくして各データ点は、圧力降下と非線形性の特定の組合せを有する規制部材を表す。このデータは、各規制部材についてのQ1とQ2の値を確定するのに使用できる。たとえば、グラフ302において、Q1=50とQ2=50の値を有する規制部材は、1273トールの圧力値、およびフルスケールの12.1%の非線形性を有するであろう。
【0048】
ここで図7だけを参照し、ステップ218へ進むと、ステップ210乃至216で得られたデータを、1つ以上のデータベースに入力できる。或るデータは一度だけ得ることができるのが理解されよう。たとえば、所定の流体についての流体挙動データは、一度だけで得てデータベースに記憶される必要がある。ついでそれは、将来の使用に利用できることになる。同様に、各コンポーネント(たとえば、PCB、DSP、変換器および規制部材など)は、複数のコンポーネントを所定の試験サイクル中に試験できるけれども、一度で試験できる。コンポーネントを表すデータは、通し番号のような独自の識別マークにより特定のコンポーネントに関連させることができる。一部のコンポーネントパラメータは、コンポーネントを製造し、ついで発送する間に、またはその後に識別できることが理解されよう。これにより、所定のパラメータを有するコンポーネントの取得ができるので、流量コントローラ21の組立中にパラメータを求める必要性が無くなる。
【0049】
ステップ220において、PCB、DSP、変換器、規制部材およびバルブなどが、流量コントローラ21用に選択される。各コンポーネントが所定のパラメータに関連するので、特定の規準に厳格に合致するコンポーネントを選択する必要はない。たとえば、特定の流体を使用すべきならば、選択されたそれぞれのコンポーネントについてのパラメータが、所定の範囲の許容値に入る限り、狭い規制に合致するコンポーネントを選択する必要はない。これにより、Q1とQ2の特定の値を有する規制部材を見出そうとすることなく、規制部材をサイズにより選択できる。
【0050】
ステップ222において、規制部材と変換器のパラメータが流体挙動データで処理されて、装置パラメータが生成される。この処理は先のステップにおいて得られた情報をコンパイルして、プロセッサが、特定の流体についての電圧変動値、規制部材特性、変換器パラメータおよび挙動パターンを明らかにできるようにする。これれにより、A0、A1、A2、BBackpressure、切片値および同様な情報を使用して最良のあてはめ値が生成される。この情報は、特定の流量コントローラについての流体により異なることがあるので、この処理を、流量コントローラにより制御されるべき流体毎に実施できる。
【0051】
ステップ224(図7に図示されるようにステップ222と並列にできる)において、装置は、上述のように物理的に組立てられ、またステップ226において装置パラメータが、装置にダウンロードされる。ステップ228の組立後段階において、適正な作動を確実にするために、装置についての確認試験が実施される。
【0052】
ここで図14を参照すると、方法309は、図2乃至6の流量コントローラ21に関する図7のステップ220乃至228で説明された組立プロセスを要約したものである。ステップ310において、流量コントローラ21についての要件(たとえば、25psiの入口圧力でのBC13の500SCCMフルスケール流量、および100ミリトールで作動するプロセスチャンバ中への出口)が規定される。ステップ312において、規制部材114についての規制部材サイズ(たとえば、1000SCCM窒素)が規定される。Q1とQ2のパラメータが一旦記録されると、いかなる1000SCCMユニットも使用できることに注目されたい。バルブ40は、流体が流通できるオリフィスを有するように選択されるが、このパラメータを外れて特徴づけられる必要はない。ステップ314において変換器46、48、および使用されるベースブロックが選択される。所要の流量が250SCCM窒素相当量未満であるならば、低流量モデルについての入口ブロックも選択される。入口と出口ブロックの両方は、3SLM窒素相当量を超える流量についての高流量変更部を有する必要がある。これらの選択は、これらのブロックに溶接される変換器の特徴づけに影響しない。変換器毎についての曲線のあてはめ因数を、流量コントローラ21について記録する必要がある。
【0053】
ステップ316において、PCB(たとえば、I/O基板およびDSP基板)が選択され、また流量コントローラ21についての電圧とゲイン値が記録される。ステップ318において、記録されたデータが、流量コントローラ21に関連する装置データベースファイルに記憶される。選択された気体と規制部材のサイズについての規制部材データベースからの多項式データが、ステップ320において取得される。ステップ322において、操作プログラムが、装置データベースファイルに記録された収集データと規制部材データベースからの多項式データとを取得して、流量コントローラ21の作動のためのパラメータを設定するデータファイルを生成する。ついでデータファイルがメモリ132にダウンロードされるので、DSPは流量コントローラ21の流量を制御できる。ステップ324において、窒素流量制御用のパラメータも、流量コントローラ21用の気体テーブル中にダウンロードすることができる。ステップ326において、流量コントローラ21の作動が、仕上げられた流量コントローラ21に窒素を流すことにより確認されて、装置の応答と精度が証明される。
【0054】
本発明を、その好ましい実施例を参照して特に図示および説明してきたが、形態と詳細における種々の変更を本発明の精神と範囲から逸脱することなく実施できることは、当業者により理解されるであろう。したがって特許請求の範囲は、本発明と矛盾しない広い形かたちで解釈されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【0055】
【図1】流量コントローラを作製する代表的な方法のフローチャートである。
【図2】図1の方法を使用して組立できる代表的な質量流量コントローラと種々のコンポーネントの図である。
【図3】図1の方法を使用して組立できる代表的な質量流量コントローラと種々のコンポーネントの図である。
【図4】図1の方法を使用して組立できる代表的な質量流量コントローラと種々のコンポーネントの図である。
【図5】図1の方法を使用して組立できる代表的な質量流量コントローラと種々のコンポーネントの図である。
【図6】図1の方法を使用して組立できる代表的な質量流量コントローラと種々のコンポーネントの図である。
【図7】図2乃至6の質量流量コントローラを作製する方法の別の実施例を図示するフローチャートである。
【図8】図7の方法に従って流体挙動データを取得する方法を図示するフローチャートである。
【図9】図8の方法により得ることができる代表的な流体の挙動特性を図示する三次元グラフである。
【図10】図7の方法に従って或るコンポーネントパラメータを得る特定の方法を図示するフローチャートである。
【図11】図7の方法に従ってセンサを特徴づける特定の方法を図示するフローチャートである。
【図12】図7の方法に従って規制部材を特徴づける特定の方法を図示するフローチャートである。
【図13】図12の方法により得ることができる代表的なデータ点を図示するグラフである。
【図14】特定の流体と流量についての図2〜図6の流量コントローラの組立を要約したフローチャートである。
Claims (26)
- 少なくとも一つの流体について使用される流量装置を構成するための方法であって、
オフセットパラメータに関連する規制部材を選択することと、
その流体に関連する挙動データでオフセットパラメータを処理して、装置パラメータを生成することと、
装置パラメータを装置にダウンロードすることを有し、装置パラメータは、装置が環境条件の範囲にわたり流体の流量をモニターすることを可能とする方法。 - 複数の下流側絶対圧力、差圧及び温度において流体の挙動を実験的に求めることにより、挙動データを得ることをさらに含む請求項1に記載の方法。
- 実験的に求められる挙動は、既知の流量を有する試験用規制部材を使用して求められる請求項2に記載の方法。
- 規制部材は、複数の規制部材からサイズにより選択される請求項1に記載の方法。
- 規制部材の試験を実施して、選択された規制部材についてのオフセットパラメータを求めることをさらに含む請求項1に記載の方法。
- 規制部材の試験を実施するステップは、
定格圧力で規制部材を試験することにより第1の値を得ることと、
定格圧力未満の圧力で規制部材を試験することにより第2の値を得ることと、
第1と第2の値を使用して、オフセットパラメータを特定することを有し、第1と第2の値により規制部材の挙動の特性把握が可能である請求項5に記載の方法。 - 第1と第2の値はオフセットパラメータである請求項6に記載の方法。
- 挙動データでオフセットパラメータの最良のあてはめ値を見出すことをさらに含む請求項6に記載の方法。
- センサパラメータに関連する少なくとも1つのセンサを選択することをさらに含み、センサパラメータは、或る圧力の範囲にわたりセンサを試験することにより得られる応答曲線ヒステリシス値とを計算することにより求められる請求項1に記載の方法。
- 環境条件の範囲は、複数の下流側絶対圧力を含む請求項1に記載の方法。
- 環境条件の範囲は、複数の差圧を含む請求項1に記載の方法。
- 環境条件の範囲は、複数の温度を含む請求項1に記載の方法。
- 複数の流体から流体を選択することをさらに含み、それによって、コンポーネントとオフセットパラメータが、選択された流体の関連する挙動データだけで処理される請求項1に記載の方法。
- 流体を制御するための情報で質量流量装置を提供する方法であって、
規制部材に関連する規制部材情報、および少なくとも1つのセンサに関連するセンサ情報を特定することを有し、ここで規制部材情報とセンサ情報が規制部材とセンサの特性をそれぞれ規定するものであり、
流体に関連する挙動情報を特定することを有し、
特定された規制部材とセンサの情報を挙動情報で処理して、その装置のための操作データを生成することを有し、ここで操作データは装置による流体の制御を可能とするものであり、そして
操作データを、装置にアクセスできるメモリに記憶すること
を含む方法。 - 試験を実施して操作データを確認することをさらに有し、その試験は、少なくとも1つの既知の流体値を使用して装置の精度レベルを測定するものである請求項14に記載の方法。
- 少なくとも1つのデータベースから規制部材情報、センサ情報および挙動情報を取り出すことをさらに含む請求項14に記載の方法。
- 挙動情報は、ある範囲の下流側絶対圧力、差圧および温度にわたる流体の挙動を表すデータを含む請求項14に記載の方法。
- 流体の質量流量と装置の差圧との間の関係は非線形である請求項17に記載の方法。
- 少なくとも1つの流体の流れを制御するための装置であって、
流体の流れを規制するための規制部材と、
プロセッサと、
流体の流れを制御するためにプロセッサへアクセスできるバルブと、
流体の流れを表す流れデータをつくるための少なくとも1つのセンサと、
プロセッサにアクセスできるメモリとを有し、該メモリは、
規制部材、センサおよび流体に関連する装置データと、
センサから流れデータを受けて、この受けた流れデータと装置データとに基づいて流量を計算し、そしてバルブを作動させるための命令とを含み、作動の程度が計算された流量に関連する、装置。 - 装置データは、規制部材の物理的パラメータと流体の挙動特性との間の関係を特定する、処理された情報を含む請求項19に記載の装置。
- 底面と側面とを有するセンサを受容できるハウジングをさらに有し、該ハウジングは、
装置を通る流体のための流路を提供するために流体連通する第1及び第2の流路と、
第1と第2の流路間に配設されてセンサによりほぼ占有される空所とを有し、
流路は、空所の側面とセンサの側面とにより形成される第1の隙間により、また空所の底面とセンサの底面とにより形成される第2の隙間とにより空所を通って形成されていて、流体は、第1の流路から空所に、そして空所から第2の流路に、ほぼ非一掃式(unswept manner)で流れる請求項19の装置。 - 少なくとも1つの流体の流れに関して規制部材を特徴づけるための方法であって、
流体の定格流量における規制部材の第1の圧力降下を測定することと、
測定された圧力降下に基づいて第1の因数を計算することと、
流体の定格流量の分数の流量における規制部材の第2の圧力降下を測定することと、
第2の圧力降下に基づいて第2の因数を計算することとを含み、第1と第2の因数が、規制部材の挙動を特徴づける方法。 - 第2の因数の計算も、第1の因数とゼロ切片値とに基づく請求項22項に記載の方法。
- 定格流量の分数の流量は、定格流量の半分である請求項22に記載の方法。
- 第1と第2の因数の少なくともいずれかが所定の範囲外にある場合に規制部材を不合格にすることをさらに含む請求項22項に記載の方法。
- 圧力を表す第1の軸と線形性を表す第2の軸とを有する二次元配列におけるデータ点として規制部材を表すことをさらに含み、第1と第2の因数の一方は、第1の軸に関連し、また第1と第2の因数の他方は、第2の軸に関連する請求項22の方法。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US32903101P | 2001-10-12 | 2001-10-12 | |
US60/329,031 | 2001-10-12 | ||
US40651102P | 2002-08-28 | 2002-08-28 | |
US60/406,511 | 2002-08-28 | ||
PCT/US2002/032533 WO2003032101A1 (en) | 2001-10-12 | 2002-10-11 | System and method for making and using a mass flow device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005507996A true JP2005507996A (ja) | 2005-03-24 |
JP5069839B2 JP5069839B2 (ja) | 2012-11-07 |
Family
ID=26986624
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003535006A Expired - Fee Related JP5069839B2 (ja) | 2001-10-12 | 2002-10-11 | 質量流量装置を作製および使用するためのシステム及び方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP1442343B1 (ja) |
JP (1) | JP5069839B2 (ja) |
KR (1) | KR100937726B1 (ja) |
CN (2) | CN1606721A (ja) |
AT (1) | ATE395652T1 (ja) |
DE (1) | DE60226626D1 (ja) |
WO (1) | WO2003032101A1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008282781A (ja) * | 2007-05-14 | 2008-11-20 | Aisin Seiki Co Ltd | 流体送出装置、改質器および燃料電池システム |
WO2009001500A1 (ja) * | 2007-06-25 | 2008-12-31 | Yamatake Corporation | 流量計の調整方法、流量計測装置及び調整データ管理システム |
WO2019221183A1 (ja) * | 2018-05-18 | 2019-11-21 | 株式会社デンソー | 気体流量測定装置および気体流量測定方法 |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4874576B2 (ja) * | 2004-08-11 | 2012-02-15 | サーパス工業株式会社 | 流量制御システム |
CN1318930C (zh) * | 2005-04-27 | 2007-05-30 | 杭州电子科技大学 | 智能执行器用阀门流量特性实现方法 |
US7637152B2 (en) * | 2005-06-07 | 2009-12-29 | Surpass Industry Co., Ltd. | Flow meter and flow-regulating system using the same |
US7971604B2 (en) | 2006-04-20 | 2011-07-05 | Hitachi Metals, Ltd. | Flow controller delivery of a specified-quantity of a fluid |
KR101382159B1 (ko) * | 2006-05-26 | 2014-04-07 | 가부시키가이샤 호리바 에스텍 | 써멀타입 질량유량계 및 써멀타입 질량유량 제어 장치 |
US8528427B2 (en) * | 2010-10-29 | 2013-09-10 | Becton, Dickinson And Company | Dual feedback vacuum fluidics for a flow-type particle analyzer |
US9958302B2 (en) | 2011-08-20 | 2018-05-01 | Reno Technologies, Inc. | Flow control system, method, and apparatus |
US9690301B2 (en) | 2012-09-10 | 2017-06-27 | Reno Technologies, Inc. | Pressure based mass flow controller |
US9188989B1 (en) | 2011-08-20 | 2015-11-17 | Daniel T. Mudd | Flow node to deliver process gas using a remote pressure measurement device |
EP3043228B1 (de) * | 2015-01-09 | 2018-09-19 | Levitronix GmbH | Strömungsregler sowie verfahren zum einstellen vorgebbaren volumenstroms |
US10247324B2 (en) * | 2015-02-24 | 2019-04-02 | General Electric Technology Gmbh | Thermostatic flow control device and method of use |
US11144075B2 (en) | 2016-06-30 | 2021-10-12 | Ichor Systems, Inc. | Flow control system, method, and apparatus |
US10838437B2 (en) | 2018-02-22 | 2020-11-17 | Ichor Systems, Inc. | Apparatus for splitting flow of process gas and method of operating same |
US10303189B2 (en) | 2016-06-30 | 2019-05-28 | Reno Technologies, Inc. | Flow control system, method, and apparatus |
US10679880B2 (en) | 2016-09-27 | 2020-06-09 | Ichor Systems, Inc. | Method of achieving improved transient response in apparatus for controlling flow and system for accomplishing same |
US10663337B2 (en) | 2016-12-30 | 2020-05-26 | Ichor Systems, Inc. | Apparatus for controlling flow and method of calibrating same |
WO2022186971A1 (en) | 2021-03-03 | 2022-09-09 | Ichor Systems, Inc. | Fluid flow control system comprising a manifold assembly |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07159208A (ja) * | 1993-10-16 | 1995-06-23 | Iwk Regler & Kompensatoren Gmbh | 管路の中の流体の流量mを決定する方法と装置 |
JPH10325743A (ja) * | 1997-04-02 | 1998-12-08 | Wagner Internatl Ag | 流体の流量を測定する方法、流体の流量を測定及び制御する方法、流体流量測定装置、並びに流体の流量を測定及び制御する装置 |
JPH1194604A (ja) * | 1997-07-08 | 1999-04-09 | Emerson Electric Co | 質量流量測定装置及び方法 |
WO2001018496A2 (en) * | 1999-09-03 | 2001-03-15 | Microbridge Technologies Inc. | Several gas flow measuring devices and signal processing methods |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4096746A (en) * | 1977-02-25 | 1978-06-27 | The Perkin-Elmer Corporation | Flow controller-flow sensor assembly for gas chromatographs and the like |
US5080131A (en) * | 1989-09-26 | 1992-01-14 | Lintec Co., Ltd. | Mass flow controller |
JPH03156509A (ja) * | 1989-11-14 | 1991-07-04 | Stec Kk | マスフローコントローラ |
US5311762A (en) * | 1991-12-16 | 1994-05-17 | Dxl Usa | Flow sensor calibration |
US5190068A (en) * | 1992-07-02 | 1993-03-02 | Brian Philbin | Control apparatus and method for controlling fluid flows and pressures |
US5606513A (en) * | 1993-09-20 | 1997-02-25 | Rosemount Inc. | Transmitter having input for receiving a process variable from a remote sensor |
US5660207A (en) * | 1994-12-29 | 1997-08-26 | Tylan General, Inc. | Flow controller, parts of flow controller, and related method |
US5868159A (en) * | 1996-07-12 | 1999-02-09 | Mks Instruments, Inc. | Pressure-based mass flow controller |
US5911238A (en) * | 1996-10-04 | 1999-06-15 | Emerson Electric Co. | Thermal mass flowmeter and mass flow controller, flowmetering system and method |
US6152162A (en) * | 1998-10-08 | 2000-11-28 | Mott Metallurgical Corporation | Fluid flow controlling |
US6119710A (en) * | 1999-05-26 | 2000-09-19 | Cyber Instrument Technologies Llc | Method for wide range gas flow system with real time flow measurement and correction |
-
2002
- 2002-10-11 CN CNA028200969A patent/CN1606721A/zh active Pending
- 2002-10-11 DE DE60226626T patent/DE60226626D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-10-11 AT AT02778519T patent/ATE395652T1/de not_active IP Right Cessation
- 2002-10-11 KR KR1020047005401A patent/KR100937726B1/ko active IP Right Grant
- 2002-10-11 EP EP02778519A patent/EP1442343B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-10-11 CN CN201310717913.0A patent/CN103838261B/zh not_active Expired - Lifetime
- 2002-10-11 JP JP2003535006A patent/JP5069839B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-10-11 WO PCT/US2002/032533 patent/WO2003032101A1/en active Application Filing
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07159208A (ja) * | 1993-10-16 | 1995-06-23 | Iwk Regler & Kompensatoren Gmbh | 管路の中の流体の流量mを決定する方法と装置 |
JPH10325743A (ja) * | 1997-04-02 | 1998-12-08 | Wagner Internatl Ag | 流体の流量を測定する方法、流体の流量を測定及び制御する方法、流体流量測定装置、並びに流体の流量を測定及び制御する装置 |
JPH1194604A (ja) * | 1997-07-08 | 1999-04-09 | Emerson Electric Co | 質量流量測定装置及び方法 |
WO2001018496A2 (en) * | 1999-09-03 | 2001-03-15 | Microbridge Technologies Inc. | Several gas flow measuring devices and signal processing methods |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008282781A (ja) * | 2007-05-14 | 2008-11-20 | Aisin Seiki Co Ltd | 流体送出装置、改質器および燃料電池システム |
WO2009001500A1 (ja) * | 2007-06-25 | 2008-12-31 | Yamatake Corporation | 流量計の調整方法、流量計測装置及び調整データ管理システム |
JP2009002910A (ja) * | 2007-06-25 | 2009-01-08 | Yamatake Corp | 流量計の調整方法、流量計測装置及び調整データ管理システム |
US8656752B2 (en) | 2007-06-25 | 2014-02-25 | Azbil Corporation | Flow meter adjusting method, flow rate measuring device and adjustment data controlling system |
WO2019221183A1 (ja) * | 2018-05-18 | 2019-11-21 | 株式会社デンソー | 気体流量測定装置および気体流量測定方法 |
JP2019200181A (ja) * | 2018-05-18 | 2019-11-21 | 株式会社デンソー | 気体流量測定装置および気体流量測定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE60226626D1 (de) | 2008-06-26 |
KR20050035159A (ko) | 2005-04-15 |
ATE395652T1 (de) | 2008-05-15 |
EP1442343A1 (en) | 2004-08-04 |
EP1442343A4 (en) | 2005-11-09 |
JP5069839B2 (ja) | 2012-11-07 |
CN103838261A (zh) | 2014-06-04 |
CN1606721A (zh) | 2005-04-13 |
EP1442343B1 (en) | 2008-05-14 |
WO2003032101A1 (en) | 2003-04-17 |
CN103838261B (zh) | 2017-05-03 |
KR100937726B1 (ko) | 2010-01-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5069839B2 (ja) | 質量流量装置を作製および使用するためのシステム及び方法 | |
US6539968B1 (en) | Fluid flow controller and method of operation | |
US5911238A (en) | Thermal mass flowmeter and mass flow controller, flowmetering system and method | |
JP5337542B2 (ja) | マスフローメータ、マスフローコントローラ、それらを含むマスフローメータシステムおよびマスフローコントローラシステム | |
JP4594728B2 (ja) | より高い正確度の圧力に基づく流れコントローラ | |
US8104323B2 (en) | Flow controller, flow measuring device testing method, flow controller testing system, and semiconductor manufacturing apparatus | |
US9910448B2 (en) | Pressure-based gas flow controller with dynamic self-calibration | |
US20020046612A1 (en) | Fluid mass flow meter with substantial measurement range | |
KR101318670B1 (ko) | 유량센서, 질량유량 콘트롤러, 가스유량 측정방법 및 질량유량 제어방법 | |
KR20030074663A (ko) | 압력기반형 질량유량제어기 시스템 | |
KR20140105623A (ko) | 차압식 매스 플로우 컨트롤러에 있어서 진단 기구 | |
GB2296796A (en) | Method and apparatus for improved flow and pressure measurement and control | |
US20020157448A1 (en) | Flowmeter calibration apparatus | |
JP2007507713A (ja) | プロセス圧力センサのキャリブレーション | |
JP2014056618A (ja) | 圧力の揺らぎに鈍感な質量流量制御のための装置及び方法 | |
CN219016171U (zh) | 具有压力补偿的氧气分析仪 | |
US7543595B2 (en) | Valve calibration method and apparatus | |
JP2021021677A (ja) | 流量測定装置内の容積測定方法および流量測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050531 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070816 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070828 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20071127 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20071204 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20071221 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20080104 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080228 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090317 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100622 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100922 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100930 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20101021 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20101028 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20101119 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20101129 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101222 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110830 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20111129 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20111206 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20111227 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120110 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20120130 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120206 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120228 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120403 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20120703 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120710 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120718 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120807 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120820 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150824 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5069839 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |