JP2005506543A5

JP2005506543A5 -

Info

Publication number: JP2005506543A5
Application number: JP2003538681A
Authority: JP
Filing date: 2002-10-16
Publication date: 2008-02-21
Anticipated expiration: 2022-10-16

Claims

可動な部材（５，８）を基体（１）に接続する、長さが可変の支持体（３，１１）と、
それにより支持体（３，１１）が基体（１）内の支点（Ｄ２）を中心にして旋回可能に支承されているリンク機構（２）と
支持体（３，１１）に沿って、基体（１）に対して可動な部材（５，８）の間隔を測定する長さ測定装置（６）と、
光源（７．１）と検出器（７．２）との間の光路内において少なくとも一つの光源（７．１）と一つの検出器（７．２）と一つの格子（７．３）とを有する、可動な部材（５，８）と基体（１）との間の角度を測定する角度測定装置（７）とを備えた基体（１）に対して可動な部材（５）の空間的位置を捕捉する位置測定装置において、
角度を測定するための光路（Ｌ）が、可動な部材（５，８）と基体（１）との間にあり、この光路内において、光源（７．１）を使用して格子（７．３）を照射することにより、強度パターンＭが得られ、検出器（７．２）に対してこの強度パターンの位置が、角度に関する尺度であることを特徴とする位置測定装置。
支持体（３）と可動な部材（５）との間に、他のリンク機構（４）が設けられており、このリンク機構により可動な部材（５）が、支点（Ｄ４）を中心にして支持体（３）に旋回可能に支承されていることを特徴とする請求項２記載の方法。
支点（Ｄ２）において、光源（７．１）あるいは検出器（７．２）の感光性部材の重心が存在していることを特徴とする請求項２記載の方法。
一方の支点（Ｄ２，Ｄ４）内には光源（７．１）が、もう一方の支点（Ｄ４，Ｄ２）内には検出器（７．２）の感光性部材の重心が存在していることを特徴とする請求項３記載の方法。
一方の支点内に光源が設けられ、かつ検出器の感光性部材の重心が存在しており、もう一方の支点内に再帰性反射部材が設けられていることを特徴とする請求項３記載の方法。
支持体（３）がテレスコープ式に形成され、角度測定装置（７）用のカバーが形成されており、かつ一方のテレスコープ部（３．１）にスケール（６．１）が、もう一方のテレスコープ部（３．２）に長さ測定装置（６）のスケール（６．１）を走査するスキャナユニット（６．２）が固定されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載の装置。
長さ測定装置が干渉計（６０）であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載の装置。
共通の光源（６４）の光が、角度を測定しかつ長さを測定するために、二つの部分光線束（Ｌ１，Ｌ２）に分割されるように構成されていることを特徴とする請求項７記載の装置。
格子（７．３）が二次元の強度パターンＭを形成する二次元の交差格子であり、検出器（７．２）に対してこの強度パターンの位置が角度に関する尺度であることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一つに記載の装置。
可動な部材（５）がプログラム制御された機械部分（５‘）で固定されていて、かつ基体（１）が機械の基礎部分（１’）で固定されていることにより、この位置測定装置が、プログラム制御された機械部分（５‘）の位置精度を検査するために使用されるように構成されていることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一つに記載の装置。