JP2005347303A5 - - Google Patents
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Claims (3)
- 発熱源を備える加熱部材をワークに押し付け、該ワークを基板に熱圧着する熱圧着装置において、
前記加熱部材を支持するための支持部材と、
該支持部材と前記加熱部材との間に配置され、冷却媒体を通過させるための第１の流体通路を備える断熱部材と、
該断熱部材と前記加熱部材との間には、前記冷却媒体が流入する空間が形成されていることを特徴とする熱圧着装置。 - 前記第１の流体通路を通過した冷却媒体は、前記断熱部材に接続された配管により外部に排出されることを特徴とする請求項１に記載の熱圧着装置。
- 前記断熱部材は、金属材料から形成されていることを特徴とする請求項１に記載の熱圧着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004161570A JP2005347303A (ja) | 2004-05-31 | 2004-05-31 | 熱圧着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004161570A JP2005347303A (ja) | 2004-05-31 | 2004-05-31 | 熱圧着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2005347303A JP2005347303A (ja) | 2005-12-15 |
| JP2005347303A5 true JP2005347303A5 (ja) | 2007-07-12 |
Family
ID=35499434
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004161570A Pending JP2005347303A (ja) | 2004-05-31 | 2004-05-31 | 熱圧着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2005347303A (ja) |
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2004
- 2004-05-31 JP JP2004161570A patent/JP2005347303A/ja active Pending
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