JP2005341520A - 映像センサの実装方法およびそれに用いる粘着テープ - Google Patents

映像センサの実装方法およびそれに用いる粘着テープ Download PDF

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Abstract

【課題】 映像センサ表面を保護するとともに、作業性、安全性、生産性の高い映像センサの実装方法を提供し、併せて、こうした映像センサの実装時に使用が可能な、熱収縮性が高く、適正な粘着力を有し、かつ、テープ全体が優れた視認性を有する保護用粘着テープを提供すること。
【解決手段】 固体撮像デバイスを用いた映像センサの実装工程において、映像センサの受光部に、ポリエチレンナフタレートを基材とし、かつ、少なくとも片面に粘着層を有する粘着テープを貼り合せることを特徴とする。ここで、前記粘着テープに用いる基材の150℃における熱収縮率が、1.0%以下であることを特徴とする。
【選択図】 なし

Description

本発明は、固体撮像デバイスを用いた映像センサの実装工程に関するものである。
現在、固体撮像デバイスの製造工程において、実装および製造工程における映像センサ表面へのゴミの付着、傷つきを防止するために、映像センサの受光部側に対して粘着層を有する表面保護フィルムを貼り合せる手法が取られている。
このとき、部品実装工程は、映像センサの端子部と実装基板を位置合わせした状態で半田リフロー炉へ投入することで一度に接続実装する方法が用いられることが多くなり、半田付け等の高温領域での工程が含まれるため、保護フィルムおよび粘着層には、耐熱性が要求される。しかし、現状の表面保護粘着テープの多くは、上記工程に相当する耐熱性を有さないため、部品の実装工程の際に一度表面保護粘着テープが剥され、部品実装工程後に、再度、別途表面保護粘着テープを貼り合せることになる。
また、ポリイミドを主成分とした高耐熱性を有するフィルムを用いた表面保護用粘着テープを用いる手法も採用されているが、ポリイミドフィルムが茶褐色の色相を有するために、視認性が悪く、部品実装後の光学検査を行う際の全光線透過率が低い。そのため、テープ貼付形態での光学検査は困難である。
さらに、ポリエチレンテレフタレート(以下「PET」という。)のような透明性に秀でたフィルムを使用する手法も取られているが、180℃といった高温条件では、フィルムの熱収縮よって粘着テープが剥離してしまうため、粘着テープの持つ粘着力を高くする必要がある。しかし、この方法では、加熱後冷却された粘着テープの被着体である映像センサ受光部のガラス表面への粘着力が上昇するため、粘着テープの粘着層の破壊が生じ、被着体表面に粘着層を残してしまい不具合となる。
従って、本発明は、固体撮像デバイスの製造工程において、映像センサの受光側に粘着テープを貼りあわせたままの状態で半田リフローのための加熱工程を経ることで、半田リフロー工程前後での粘着テープの貼り替え作業を必要としないことを可能とすることが重要な課題であり、映像センサ表面を異物による汚染、傷つきから保護するとともに、半田付け等の加熱条件下での部品実装工程および部品実装後の内部検査工程においてもテープの剥離を行わずに作業が可能な、作業性、安全性、生産性の高い映像センサの実装方法を提供することを目的とする。併せて、こうした映像センサの実装時に使用が可能な、熱収縮性が高く、適正な粘着力を有し、かつ、テープ全体が優れた視認性を有する保護用粘着テープを提供することを目的とする。
本発明者らは、前記課題を解決すべく鋭意検討を重ねた結果、以下に示す実装方法あるいは粘着テープの使用により前記目的を達成することができることを見出し、本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明は、映像センサの実装方法であって、固体撮像デバイスを用いた映像センサの実装工程において、映像センサの受光部に、ポリエチレンナフタレートを基材とし、かつ、少なくとも片面に粘着層を有する粘着テープを貼り合せることを特徴とする。
上記方法によれば、従来の機能である部品搬送時における異物による汚染や傷からガラス面を保護する性能を有するとともに、PETが有する耐熱性によって、従前のような部品実装前のテープ剥しを行う必要をなくすことができる。また、基材の収縮率が小さいために、粘着テープの熱収縮による剥離を防ぐことができるとともに、従来のテープよりも低い粘着力でのテープ設計が可能となり、部品実装後のテープの剥離の際に、被着体表面に粘着剤を残存させることがなく作業効率が上昇する。
さらに、テープの透過率が高いために、部品実装後の内部検査を行う際にも、テープの剥離を伴うことなく検査を行うことができる。従って、固体撮像デバイスの部品実装後の検査工程において、粘着テープによる透過率の減衰による検査工程への障害が軽減され、粘着テープを貼り合せた状態での検査が可能となる。その結果、検査後粘着テープの再貼り付け等の工程が不要となる。また、検査後搬送等の工程においても、粘着テープを貼り合わせた状態での出荷が可能となることで、安全性が確保される。さらに、粘着テープを貼り合わせた状態での一貫工程が可能となることで、生産性の向上が実現できる。
本発明は、上記映像センサの実装方法であって、前記粘着テープにおいて、前記映像センサの受光部に掛かる部分に粘着層を設けないことを特徴とする。
本発明においては、映像センサの保護用粘着テープに関し、基材および粘着層を工夫することで粘着テープを貼り合わせた状態での一貫工程を図るものであり、さらに、当該粘着テープの受光部に対応する部分に粘着層を設けないことにより、部品実装後のテープ剥離の際に被着体表面に粘着剤を残存することがなく作業効率が上昇することを案出したものである。つまり、映像センサの実装工程において、映像センサの受光部側に少なくとも耐熱性のあるフィルムを基材構成材料として用い、かつ受光部分には粘着層を設けない構成の粘着テープを貼りあわせた状態で、170℃以上の加熱工程を経ることによって、作業性、安全性、生産性の高い映像センサの実装方法を提供することが可能となる。
また、本発明は、上記映像センサの実装方法であって、前記粘着テープに用いる基材の150℃における熱収縮率が、1.0%以下であることを特徴とする。
つまり、上記のように、粘着テープの熱収縮による剥離を防ぐには基材の収縮率が小さいことが好ましく、映像センサの実装においては基材の収縮率を上記の範囲にすることが好適であるとの知見を得たもので、これによって、従来のテープよりも低い粘着力でのテープ設計が可能となり、部品実装後のテープの剥離の際に、被着体表面に粘着剤を残存させることがなく作業効率が上昇する。
さらに、本発明は、上記映像センサの実装方法であって、180℃の加熱を1時間実施した後の前記粘着テープの熱収縮率が、1.0%以下であることを特徴とする。
つまり、上記のように、映像センサの実装においては基材の収縮率が小さいことが好ましく、特に半田付け等の高温領域での工程を含むことから、高温条件下での基材の収縮率を上記の範囲にすることが好適であるとの知見を得たもので、こうした付加的条件を明確にすることで、さらに作業効率が上昇する。
また、本発明は、上記映像センサの実装方法であって、180℃の加熱を1時間実施した後の前記粘着テープの粘着力が、0.1〜8.0N/19mm幅であることを特徴とする。
つまり、粘着テープの剥離を防ぐには、所定以上の粘着力が必要である一方、被着体からテープを剥離した後の粘着層の残存を防ぐには、所定以下の粘着力とする必要がある。特に、高温領域での実装工程を含む場合にあっては、加熱条件下での粘着テープの粘着力を上記の範囲にすることが好適であるとの知見を得たもので、これによって、粘着テープの機能を損なわず、かつ、部品実装後のテープの剥離の際に、被着体表面に粘着剤を残存させることがなく作業効率が上昇する。
また、本発明は、上記映像センサの実装方法であって、前記粘着テープの光透過率が、50%以上であることを特徴とする。
上記のように、映像センサの実装においては、部品実装後の内部を光学検査する際にも、粘着テープの剥離を伴うことなく検査を行うことが好ましい。つまり、粘着テープの光透過率を所定値以上確保することで、光学検査する際にも、こうした機能を保持することができる。その結果、検査後粘着テープの再貼り付け等の工程が不要となり、検査後搬送等の工程にも粘着テープを貼り合わせた状態での出荷が可能となることで、安全性が確保される。また、粘着テープを貼り合わせた状態での一貫工程が可能となることで、生産性の向上が実現できる。
本発明は、ポリエチレンナフタレートを基材とし、かつ、少なくとも片面に粘着層を有する粘着テープであって、上記のいずれかの映像センサの実装方法に用いることを特徴とする。
上記の実装方法には、映像センサ表面を異物による汚染、傷つきから保護するとともに、半田付け等の加熱条件下での部品実装工程および部品実装後の内部検査工程においてもテープの剥離を行わずに作業が可能な粘着テープが要求される。本発明では、ポリエチレンナフタレートを基材とする、優れた熱収縮性、粘着性、かつ視認性を有する表面保護用の粘着テープを提供することによって、こうした要求を満たすことが可能となる。
以上のように、本発明によれば、固体撮像デバイスの部品などの実装工程あるいは検査工程などにおいて、粘着テープを貼り合わせた状態で一貫工程が可能となることで、映像センサ表面を保護しつつ、作業性、安全性、生産性の高い映像センサの実装方法を提供することが可能となる。併せて、こうした映像センサの実装時に使用が可能な、熱収縮性が高く、適正な粘着力を有し、かつ、テープ全体が優れた視認性を有する保護用粘着テープを提供することが可能となる。
以下、本発明の実施の形態について説明する。
本発明の粘着テープは、基本的に、テープ基材および基材の片面に設けられた粘着層から形成されるが、粘着テープの基材に対し離型フィルムを貼り合わせていても良い。つまり、少なくとも1つの面に離型処理を施した離型フィルムを、粘着層を介して粘着テープの基材に貼りつけることで、粘着層を保護し映像センサ表面の保護を図ることができる。
また、粘着テープは、映像センサの受光部に掛かる部分に粘着層を設けないことが好ましい。部品実装後のテープ剥離の際に被着体表面に粘着剤を残存することがなく作業効率が上昇するためである。
具体的には、図1に例示するように、粘着層2を基材1上に形成するに際し、粘着テープの中央の映像センサの受光部に掛かる部分に、幅aの未塗布部分ができるように、両端に幅bの粘着層2を形成し、粘着テープを作製する方法などを挙げることができる。ただし、粘着層2の形状は、基本的に映像センサの受光部に掛かる部分に未塗布部分ができるようになれば、特に限定されるものではなく、例えば、図2に例示するように、(A)円形状、(B)角状、など任意の形状の刳り抜きを設ける方法や、(C)基材1の四隅に粘着層2の形成する方法、(D)所定幅の傾斜状の未塗布部分を形成する方法、など種々の方法を適用することが可能である。図2斜線部は、粘着剤塗布部分を示している。
以上の方法によって、粘着層2を映像センサ表面に対し偏りなく、かつ被着面積を確保するように形成することによって、映像センサ表面への貼り付け強度を十分確保しながら受光部への影響を防止することができる。
粘着テープの基材は、180℃の温度条件下での耐熱性を有するフィルムであれば、特に限定されない。例えば、PETフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム(PEN)、ポリエーテルサルフォン(PES)フィルム、ポリエーテルイミド(PEI)フィルム、ポリサルフォン(PSF)フィルム、ポリフェニレンサルファイド(PPS)フィルム、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)フィルム、ポリアリレート(PAR)フィルム、アラミドフィルム、ポリイミドフィルム、又は液晶ポリマー(LCP)フィルムからなることが好ましい。特に、基材の収縮率、映像センサへの貼り合せを鑑みると、上記耐熱性と、貼り合せの際の視認性を併せ持つポリエチレンナフタレートを主成分とする基材からなることが好ましい。
粘着テープの厚みは、折れや裂けを防止するため少なくとも5μm以上が好ましく、さらに、好適なハンドリング性に鑑みると10〜100μmが好ましい。
また、粘着剤については、耐熱性を有するものであれば特に限定されない。具体的にはアクリル系粘着剤、あるいはシリコーン系粘着剤などが挙げられる。特に、シリコーン系粘着剤は耐熱性に優れるばかりでなく、粘着力の調整も容易であることから、最終的に実装が完了した後にテープを剥離する際の粘着力を任意に調整することで、ハンドリングに優れた粘着テープの設計が可能となり、特に適した粘着材料であるといえる。
例えば、アクリル系粘着剤としては、少なくともアルキル(メタ)アクリレートを含むモノマーの共重合から得られたアクリル系共重合体からなる粘着剤である。ここでいうアルキル(メタ)アクリレートの例としては、メチル(メタ)アクリレート,エチル(メタ)アクリレート,ブチル(メタ)アクリレート,イソアミル(メタ)アクリレート,n−ヘキシル(メタ)アクリレート,2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート,イソオクチル(メタ)アクリレート,イソノニル(メタ)アクリレート,デシシル(メタ)アクリレート,ドデシル(メタ)アクリレートなどが挙げられる。また、これらのアクリル系粘着剤には適宜な架橋剤を含有しうる。例えば一例として、イソシアネート架橋剤、エポキシ架橋剤、アジリジン系化合物、キレート系架橋剤などである。
さらに、必要に応じて他の添加剤として、例えば、充填剤、老化防止剤、顔料、染料、シランカップリング剤等の各種添加剤を添加することができる。アクリル系粘着剤は比較的耐熱性も高く、本発明に最も好適な粘着剤である。
粘着テープの粘着層の厚さは、1μm以上50μm以下、好ましくは3μm以上30μm以下、さらに好ましくは5μm以上20μm以下であることが望ましい。粘着層の確保には、基材表面に対して少しでも段差を生じれば有効であるが、1μm未満の場合、表面保護テープの撓みによって受光部分へ接触して傷付ける可能性があり、貼付け性も低下する。また、加熱中のフィルムの熱収縮により粘着テープの剥離を生じる可能性がある。50μmを超える場合には、テープのスリット加工及び打ち抜き加工時の粘着剤の変形、または、デ一プ貼付け時の加圧、輸送時等のテープへの圧力及び実装時の加熱による粘着剤の変形により受光部分に粘着剤が掛かる可能性がある。また、透過性を考慮すると薄層である方が好ましい。
つまり、映像センサの保護のためには、粘着テープとして所定の実装上の強度が要求されるとともに、映像センサとの調和した貼り合せ状態を保持する必要があり、また加工性も需要である。従って、本発明における粘着テープは、実測の結果、上記範囲が最適範囲であることを見出したものである。従って、こうした粘着層の厚みを有する粘着テープによって、作業性、安全性、生産性の高い映像センサの実装方法を提供することが可能となる。
本発明における粘着テープの基材の熱収縮率は、150℃で30分間加熱した場合の収縮率が1.0%以下であることが好ましく、さらには0.5%以下であることが好ましい。熱収縮による剥離を防ぐためである。ここでいう熱収縮率とは、JIS C2318に準じて測定した値が基準となる。
さらに、本発明では、180℃の加熱を1時間実施した後の粘着テープの熱収縮率が、1.0%以下、より好ましくは0.5%以下、さらに好ましくは0.3%以下であることが望まれる。高温条件下での基材の収縮率について付加的条件を明確にすることで、さらに作業効率をあげるためである。ここでいう熱収縮率は、粘着テープ形態にて、BA板に貼り合せ、180℃の温度条件下にて1時間放置した後の値が基準となる。具体的な熱収縮率の測定方法は、粘着テープを20mm角にカットし、BA板に貼付け、180℃の温度条件下で加熱し、その加熱前後のテープのサイズを、投影機(ミツトヨ製:PROFILE PROJECTOR PJ−H300F)を用いてMD方向およびTD方向のいずれもについて測定した。なお、BA板とは、JIS「BA仕上げ」に準じ、BA5号に表面仕上げしたSUS304板(日本金属(株)製BA5号仕上げSUS304)をいう。
また、本発明においては、180℃の加熱を1時間実施した後の粘着テープの粘着力が、0.1〜8.0N/19mm幅であることが好ましく、また0.2N〜5.0N/19mm幅がより好ましく、さらに0.3N〜4.0N/19mm幅がより一層好ましい。8.0N/19mmを超える粘着力では被着体からのテープ剥離が工程上困難かつ、被着体表面に粘着層を残存させる可能性があり、0.1N/19mmを下回る加熱中のフィルムの熱収縮により粘着テープの剥離を生じる可能性があるからである。ここでいう粘着力は、JIS Z0237に準じて測定した値が基準となる。
本発明における粘着テープの光透過率は、50%以上であることが好ましく、より好ましくは70%以上であることが望まれる。部品実装後の内部を光学検査する際にも、粘着テープの光透過率を所定値以上確保することで、粘着テープの剥離を伴うことなく検査を行うことができるためである。ここでいう光透過率とは、可視光領域での光透過性を示しており、波長領域としては400〜700nmでの透過率を意味する。本発明においては、この波長領域でのいずれの透過率も50%以上であることが好ましい。50%を下回る透過率の場合は、粘着テープを介しての固体撮像デバイスの有する結線工程等の確認が困難になるためである。ここでいう光透過率は以下の測定方法による値が基準となる。
<光透過率の測定方法>
(1)測定装置:分光光度計(島津製作所製、MPS−2000)
(2)測定範囲:波長域400nm〜700nmの範囲
(3)サンプルサイズ:測定装置に対し適切な大きさに切断
(4)粘着テープの測定は粘着剤側から測定を行った。なお、基材の測定については、粘着剤が塗布あるいは存在する側から測定を行った。
また、粘着テープに離型フィルムを使用する場合、離型フィルムは、公知のいずれのものを使用してもよい。具体的には、離型フィルムの基材の粘着層との接合面に離型コート層、例えばシリコーン層が形成されたものを用いることができる。離型フィルムの基材としては、例えば、グラシン紙のような紙材や、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステル等よりなる樹脂フィルムが挙げられる。
また、本粘着テープはその用途、例えば対象とする固体撮像デバイスのサイズに応じて加工されていてもよい。加工方法に関しては、均一な形状が保たれ、かつ、加工断面部に粘着剤を残さない方法であれば、特に限定されないが、生産性を鑑みて打ち抜き加工が好ましい。
以下、本発明の構成と効果を具体的に示す実施例等について説明する。また、実施例等における評価方法は下記のように行った。なお、本発明がかかる実施例、評価方法に限定されるものでないことはいうまでもない。
<評価方法>
上記条件によって作製したテープについて、下記の項目について評価を行った。
(1)加熱後のテープの形状
ガラス面に上記実施例・比較例のサンプルを貼り合せた後、180℃の温度条件下に一時間放置した後のテープの形状
(2)パッケージ形成後形成後の内部の光学検査を想定した視認性
アクリル板にて高さ5mmのボックスを形成し、その内部に結線工程を行った半導体素子を入れる。かつ、アクリル板上部に粘着テープを貼り合わせ、テープ越しにアクリル板内部にある半導体素子の結線の有無の確認を行った。効果の確認は、5人の目視により行った。なお、評価基準については、次の3段階にて類別を行った。
○:結線工程の有無を明確に確認できるもの。
△:結線工程をかろうじて確認できるもの。
×:結線工程を確認できないもの。
<実施例1>
厚さが25μmのポリエチレンナフタレート(基材の熱収縮率0.4%:150℃−30分)からなる基材上に、アクリル系粘着剤の溶液塗布、乾燥して、厚さが10μmの粘着層を形成した粘着テープを作成した。この粘着テープを180℃の加熱を1時間程実施した後、JIS Z0237に準じて粘着力を測定すると2.0N/19mmであり、熱収縮率は0.15%、粘着テープの400〜700nmでの光透過率はいずれも50%以上(平均88.0%)であった。
<実施例2>
厚さが25μmのポリエチレンナフタレートからなる基材上に、アクリル系粘着剤の溶液を幅10mmの塗布部と幅10mmの未塗布部を交互にストライプ状に塗布、乾燥して、厚さが5μmの粘着層を形成した粘着テープを作製した。この粘着テープを未塗布部分がテープの中央になる様に20mm幅でスリットして粘着テープとした。図1におけるa=10mm、b=5mmの粘着テープとなる。この粘着テープを180℃の加熱を1時間程実施した後、JIS Z0237に準じて粘着力を測定すると1.0N/19mmであり、熱収縮率は0.15%であった。
<実施例3>
厚さが30μmの粘着層を形成する以外は、実施例2と同様な方法にて作製した粘着テープを得た。この粘着テープを180℃の加熱を1時間程実施した後、JIS Z0237に準じて粘着力を測定すると3.0N/19mmであり、熱収縮率は0.15%であった。
<比較例1>
厚さが25μmのPETフィルム(基材の熱収縮率1.5%:150℃−30分)からなる以外は、実施例1と同様な方法にて作製した粘着テープを得た。この粘着テープを180℃の加熱を1時間程実施した後、JIS Z0237に準じて粘着力を測定すると2.0N/19mmであり、熱収縮率は1.3%、この粘着テープの400〜700nmでの光透過率はいずれも50%以上(平均は91.0%)であった。
<比較例2>
厚さが25μmのポリイミドフィルム(基材の熱収縮率0.2%:150℃−30分)からなる以外は、実施例1と同様な方法にて粘着テープを得た。この粘着テープの光透過率は波長510nm以下の領域では50%未満の光透過率であった。この粘着テープを180℃の加熱を1時間程実施した後、JIS Z0237に準じて粘着力を測定すると2.0N/19mmであり、熱収縮率は0.1%であった。
<比較例3>
アクリル系粘着剤の溶液をストライプ状に塗布しない以外は、実施例2と同様な方法にて作製した粘着テープを得た。この粘着テープを180℃の加熱を1時間程実施した後、JIS Z0237に準じて粘着力を測定すると2.0N/19mmであり、熱収縮率は0.15%であった。
<結果>
(1)加熱後のテープの形状
ポリエチレンナフタレートを基材に使用した実施例1および、ポリイミド基材を使用した比較例2に関しては、テープのガラス面からの浮き・剥離が確認されなかったのに対して、PETを使用した比較例1に関しては、テープ端面が熱収縮により剥離していることが確認された。実施例2および実施例3に関しては、テープのガラス面からの浮き・剥離が確認されなかったのに対して、比較例3に関しては、テープ剥離後のガラス表面に粘着剤に由来する異物が確認された。
(2)視認性
表1にパッケージ形成後の内部の視認性について検討を行った結果を記載する。
Figure 2005341520
(3)まとめ
以上の結果より、耐熱性かつ、視認性に優れたCCDパッケージ成型時に使用される表面保護粘着テープを提供することができた。
本発明の実施例2に係る粘着テープの基本的な構成を示す説明図。 本発明に実施例2に係る粘着テープの他の構成を示す説明。
符号の説明
1 基材
2 粘着層

Claims (7)

  1. 固体撮像デバイスを用いた映像センサの実装工程において、映像センサの受光部に、ポリエチレンナフタレートを基材とし、かつ、少なくとも片面に粘着層を有する粘着テープを貼り合せることを特徴とする映像センサの実装方法。
  2. 前記粘着テープにおいて、前記映像センサの受光部に掛かる部分に粘着層を設けないことを特徴とする請求項1記載の映像センサの実装方法。
  3. 前記粘着テープに用いる基材の150℃における熱収縮率が、1.0%以下であることを特徴とする請求項1または2記載の映像センサの実装方法。
  4. 180℃の加熱を1時間実施した後の前記粘着テープの熱収縮率が、1.0%以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の映像センサの実装方法。
  5. 180℃の加熱を1時間実施した後の前記粘着テープの粘着力が、0.1〜8.0N/19mm幅であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の映像センサの実装方法。
  6. 前記粘着テープの光透過率が、50%以上であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の映像センサの実装方法。
  7. ポリエチレンナフタレートを基材とし、かつ、少なくとも片面に粘着層を有する粘着テープであって、請求項1〜6のいずれかに記載の映像センサの実装方法に用いることを特徴とする粘着テープ。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013115116A1 (ja) * 2012-02-01 2013-08-08 日東電工株式会社 表面保護フィルム、該表面保護フィルムを用いた固体撮像素子の製造方法、および該製造方法で得られた固体撮像素子
JPWO2016157921A1 (ja) * 2015-03-31 2017-06-15 リンテック株式会社 表面保護フィルム

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