JP2005339406A - タッチパネル - Google Patents

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善範 齋藤
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Abstract

【課題】 従来のタッチパネルにおいては、一般的にディスプレイ部と、受光素子とは、別個の生産設備による別個の製造プロセスを経て別個のモジュール品として製造されており、これらのモジュール部品を同一の筐体にアセンブリすることにより完成品を製造していた。このため、機器の部品点数の削減、各モジュール部品の製造コストの低減にも自ずと限界があった。
【解決手段】 表示部周囲の同一基板上に発光素子と受光素子を配置したタッチパネルで、発光素子をマイクロキャビティ型素子とする。これにより、発光素子が、強く指向性の高い光を発することができ、受光素子の感度を向上させることができる。また、発光素子、受光素子はTFTであり、有機EL素子を用いた表示部と同一基板に配置でき、装置の小型化・薄型化を実現できる。
【選択図】 図3


Description

本発明は、タッチパネルに係り、特に、有機EL素子を用いたタッチパネルに関する。
現在のディスプレイデバイスには、例えば光を遮断することにより入力座標を検知する光学式タッチパネルや、外光を検知してディスプレイの画面の輝度をコントロールするもの等、受光素子が組み込まれているものが多い。
例えば、図7には光学式タッチパネル301の一例を示す。光学式タッチパネル301は、表示面302の外周に、赤外線等を発光及び受光する発光器303および受光器304を配置している。このような光学式タッチパネル301は、発光器303が発する赤外線光を座標入力しようとしている指等で遮断することにより、受光器(受光素子)304に赤外線光が到達しない点を入力座標として検知するものである(例えば、特許文献1参照。)。
特開平5−35402公報(第2−3ページ、第2図)
従来のタッチパネルにおいては、一般的にディスプレイ部と、受光素子とは、別個の生産設備による別個の製造プロセスを経て別個のモジュール品として製造されており、これらのモジュール部品を同一の筐体にアセンブリすることにより完成品を製造していた。このため、機器の部品点数の削減、各モジュール部品の製造コストの低減にも自ずと限界があった。
特に、現在では例えばPDAなどのモバイル端末の普及が目覚しく、これにより、タッチパネルは更なる小型化、軽量化、薄型化が要求され、部品点数を削減し、安価に提供することが望まれている。
本発明は上記の課題に鑑みてなされ、第1に、複数の画素を有する表示部と、第1のEL層と導電薄膜からなる複数の発光素子と、第1の薄膜トランジスタからなり前記発光素子に対応して設けられた複数の受光素子とを具備し、前記発光素子をマイクロキャビティ型素子とすることにより解決するものである。
また、複数の画素を有する表示部と、導電薄膜と、第1の平坦化膜と、第1の電極と、第1のEL層と、第2の電極を積層した複数の発光素子と、第1の薄膜トランジスタからなり前記発光素子に対応して設けられた受光素子とを具備し、前記発光素子は、それぞれの前記第1のEL層から前記導電薄膜までの距離を一つの波長の整数倍で離間することを特徴とするものである。
また、前記発光素子の前記第1のEL層から前記導電薄膜までの合計膜厚を一つの波長の整数倍にすることを特徴とするものである。
また、単一の基板上に前記表示部、前記発光素子および受光素子を設け、前記発光素子及び受光素子は前記表示部の周辺に配置されることを特徴とするものである。
また、前記発光素子は前記表示部の2辺に沿って該表示部周囲に配置され、前記受光素子は、前記表示部の他の2辺に沿って該表示部周囲に配置されることを特徴とするものである。
また、前記基板上に設けられ前記発光素子の光を反射して前記表示部上を通過させ前記受光素子に到達させる反射材とをさらに具備することを特徴とするものである。
また、前記表示部を構成する1つの前記画素内に、第3の電極と、第2のEL層および第4の電極を少なくとも有する表示素子が配置されることを特徴とするものである。
また、前記表示部を構成する前記画素内に、前記表示素子を駆動するための複数の第2の薄膜トランジスタを有することを特徴とするものである。
また、前記第1のEL層は青または赤または緑の色成分の光を発光し、前記第2のEL層は他の一つの波長の光を発光することを特徴とするものである。
また、前記第1及び第2のEL層は一つの波長の光を発光し、前記第1のEL層から前記第1の平坦化膜までの合計膜厚が、前記第2のEL層から前記導電薄膜までの合計膜厚と同等であることを特徴とするものである。
本発明によれば、発光素子が強く、指向性の高い光を発することができるので、受光素子の感度を向上させることができる。また、発光素子、受光素子は絶縁基板上に設けたTFTで実現できるので、有機EL素子を用いた表示部と同一基板に配置でき、装置の小型化・薄型化を実現できる。また、表示部と同一の製造工程において、ほぼ同一の膜質で製造できるため、製造工数や部品点数の削減にも寄与できる。
本発明の実施の形態を図1から図6を参照して詳細に説明する。図1(A)はタッチパネルの平面図であり、図1(B)は図1(A)のA−A線断面図である。
本発明のタッチパネル250は、光センサ100と、表示部200と、発光素子240とから構成され、これらを同一絶縁性基板10上に配置したものである。
表示部200は、スイッチ用TFTと駆動用TFTと表示素子とからなる画素をマトリクス状に複数配置する。表示部200の周囲2辺に沿って発光素子240が一定間隔で複数配置され、光センサ100からの光を受光する。発光素子240は、表示部200を構成する有機EL素子と同じ有機EL素子からなる。もしくは、各光センサ100をアクティブ駆動したい場合には、更にこの有機EL素子に表示部200を構成するようなTFTを設けても良い。光センサ100はTFTであり、発光素子240と個々に対応して一定間隔で表示部200の他の2辺に沿って複数配置される。
発光素子240は、図1(B)の如く紙面上方に発光するため、発光素子240の光が表示部200上部を通過し光センサ100に到達するように、鏡などの反射材260が基板10に設けられる。
入力座標の検出の方法の一例を説明すると、発光素子240のうち、一方の辺に配置された発光素子240が最初に素子毎に順次発光し、次に他方の辺に配置された発光素子240が素子毎に順次発光する。この発光は表示部200の上部に何もなければ常に光センサ100で受光されるが、指や入力ペンなどで、表示部200の所定の位置に触れると、特定の発光素子240の発光が遮断され、その発光が特定の光センサ100で受光されなくなる。この発光素子240の発光タイミングと光センサ100の出力から、発光が遮断された領域を2次元的に感知し、入力座標を検出する。
図2は図1の表示部の1表示画素を示す。図2(A)は平面図であり、図2(B)は図2(A)のB−B線断面図である。
図2(A)に示すように、ゲート信号線151とドレイン信号線152とに囲まれた領域に表示画素が形成されている。1つの画素は、表示素子とそれを駆動する駆動用TFT220と、スイッチ用TFT210を有する。
図2(B)のごとく、駆動用TFT220の上層には平坦化膜117が設けられ、透明電極161と、EL層163と、金属電極166が積層された有機EL素子165からなる表示素子が接続する。両信号線の交点付近にはスイッチ用TFT210が備えられており、そのスイッチ用TFT210のソース113sは後述の保持容量電極線154との間で容量をなす容量電極155を兼ねるとともに、表示素子(有機EL素子)165の駆動用TFT220のゲート141に接続されている。駆動用TFT220のソース143sは、ソース電極158を介して有機EL素子165の陽極161に接続され、他方のドレイン143dは有機EL素子を駆動する駆動電源線153に接続されている。
また、スイッチ用TFT210の付近には、ゲート信号線151と並行に保持容量電極線154が配置されている。この保持容量電極線154はゲート絶縁膜12を介してスイッチ用TFT210のソース113sと接続された容量電極155との間で電荷を蓄積して容量を成している。この保持容量170は、駆動用TFT220のゲート141に印加される電圧を保持するために設けられている。この画素がマトリクス状に複数配置されて表示部200を構成する。
図2(B)を参照して、駆動用TFT220と有機EL素子について更に説明する。絶縁性基板10上に、バッファ層となる絶縁膜(SiN、SiO等)14を設け、その上層に多結晶シリコン(Poly−Silicon、以下、「p−Si」と称する。)膜からなる半導体層143を形成する。半導体層143上にはSiN、SiO等からなるゲート絶縁膜12およびクロム(Cr)、モリブデン(Mo)などの高融点金属からなるゲート電極141を順次積層する。
半導体層143には、ゲート電極141下方に真性又は実質的に真性であるチャネル143cと、このチャネル143cの両側に、その両側にイオンドーピングを施してソース143s及びドレイン143dが設けられている。
そして、半導体層143、ゲート絶縁膜12及びゲート電極141上の全面には、SiO膜、SiN膜及びSiO膜の順に積層された層間絶縁膜15を形成し、ドレイン143dに対応して設けたコンタクトホールにAl等の金属を充填して駆動電源に接続された駆動電源線153を配置する。以上の工程により、駆動用TFT220が形成される。なお、スイッチ用TFT210も駆動用TFT220と同じ工程で形成することができる。
次に、層間絶縁膜15のソース143sに対応した位置にコンタクトホールを形成し、コンタクトホールにAl等の金属を充填してソース電極158を設ける。更に全面に例えば有機樹脂から成り表面を平坦にする平坦化膜117を形成して、その平坦化膜117及び層間絶縁膜15のソース143sに対応した位置にコンタクトホールを形成し、ソース電極58とコンタクトしたITO(Indium Tin Oxide)から成る有機EL素子の陽極161を平坦化膜117上に設ける。
表示素子である有機EL素子165は、陽極161に、ホール輸送層162、EL層163及び電子輸送層164をこの順に積層し、更に、マグネシウム・インジウム合金から成る陰極166を積層形成したものである。この陰極166は、図2(A)に示した有機EL表示装置を形成する基板10の全面、即ち紙面の全面に設けられる。また、EL層163は、画素毎に異なる材料を用いることでR(赤)、G(緑)、B(青)の各色の発光を得ることができる
有機EL素子165は、陽極161から注入されたホールと、陰極166から注入された電子とがEL層163の内部で再結合し、EL層163を形成する有機分子を励起して励起子が生じる。この励起子が放射失活する過程でEL層163から光が放たれ、この光が透明な陽極161から透明絶縁基板10を介して外部へ放出されて発光する。
図3は、発光素子240の図2(B)と同様な断面図である。
発光素子240は、EL層と導電薄膜とを有する。すなわち、図のごとく、TFT225の上層に導電薄膜70と、平坦化膜27と、透明電極61と、EL層63と、金属電極66を積層した構造である。なお、本実施形態においては複数の発光素子240をアクティブ駆動させるためにTFT225を設けたが、発光素子240をパッシブ駆動させる場合、TFT225は不要である。
発光素子240の駆動用TFT225も、表示部200内の表示素子の駆動用TFT220と同様な構造であるため説明を省略する。
本実施形態の発光素子240は、後述するマイクロキャビティ(微小光共振器)構造を取り入れるため、層間絶縁膜15の上に例えばAg等の非常に薄い導電薄膜70を配置する。
また、発光素子240を構成する有機EL素子65は、表示部200の有機EL素子と同様である。即ち陽極61に、ホール輸送層62、EL層63及び電子輸送層64をこの順に積層し、更に、陰極66を積層形成したものである。
尚、画素は上述の如く表示素子を構成するEL層163の発光色がR、G、Bの三色あり、これらを順番に配置する。一方発光素子240は、発光すればよいので、EL層63は1つの発光色で良く、特に、本実施形態では、表示部上を通過させて受光素子まで到達させる必要があるので、なるべく強い光を発光できる材料を用いるとよい。
図4は、受光素子100を示す断面図である。受光素子は、ゲート電極と、絶縁膜と、半導体層とから構成されるTFTであり、上述の、表示素子および発光素子の駆動用TFT220、225と同様の構造でも良いが、半導体層の受光面がゲート電極の影とならないように、即ち、受光面がゲート電極に対向しない面になるように形成することが受光量増大の観点からは好適である。従って、後述する、ボトムエミッション型の有機EL素子を用いた発光素子を用いる場合、発光素子の発光がTFTを形成する基板側から出力され、反射材で反射され、基板側から入力されるので、受光面増大の観点からは受光面がゲート電極に重畳しない面が基板側に向いていることが好ましい。つまり、上述の駆動用トランジスタと同様、ゲート電極が半導体層を介して基板と逆に形成される、いわゆるトップゲート型のTFTを受光素子に用いることが好ましい。一方、発光素子の発光がTFTを形成する基板側と逆側に出力されるトップエミッション型の場合は、ボトムゲート型のTFTを受光素子に用いることが好ましい。
以下に説明するいわゆるボトムゲート型のTFTにする場合もある。
まず、絶縁性基板10上に、Cr、Moなどの高融点金属からなるゲート電極11を設ける。ゲート電極11上には、ゲート絶縁膜12を設け、更にp−Si膜からなり、ゲート電極11上方に位置するチャネル13cと、ソース13s及びドレイン13dが設けられた半導体層13を積層する。ゲート絶縁膜12及び半導体層13上の全面に、層間絶縁膜15を設け、ドレイン13d接続するドレイン電極16を設ける。さらにその上層に平坦化膜17を設け、ソース13sに接続するソース電極18を設ける。受光素子により増幅されたフォトカレントはソース電極18(またはドレイン電極16)側から出力される。
受光素子100は、発光素子240に個々に対応して複数設けられる。受光素子100を複数配置する場合には、それぞれ並列に接続するとよい。TFTを複数設けることで、受光素子100としての冗長性、受光の平均化性を持たせることができる。
上記の構造のp−SiTFTでは、TFTがオフ時に半導体層13に外部から光が入射すると、チャネル13cとソース13sまたはチャネル13cとドレイン13dの接合領域において電子−正孔対が発生する。この電子−正孔対が接合領域の電場のために引き分けられて光起電力が生じ、フォトカレントが得られる。このようなフォトカレントの増加を検知して、受光素子として利用するものである。
しかし、図1のタッチパネルでは、発光素子240からの光を反射材260で反射させ、更に表示部200を通過した光を受光素子100で受光する。つまり、受光素子100に到達するまでの間の光の減衰は避けられず、受光素子100は微小な光をセンシングすることになる。そこで、本実施形態の如く発光素子240をマイクロキャビティ型素子にすることにより、高輝度で高指向性をもたせ、受光素子100での感度を向上させることとした。
再度図3を参照し、マイクロキャビティ構造について説明する。本実施形態によれば、有機EL素子にマイクロキャビティ構造を取り入れることで、光の緩衝効果を利用した発光強度の増幅が可能となる。
有機ELの発光は、電子輸送層64からの電子とホール輸送層62からのホールがEL層63内で結合することにより起こるが、更に詳細には電子輸送層64とEL層63の界面付近で発光している。すなわちこの界面から導電薄膜70までの距離、すなわち、EL層63、ホール輸送層62、透明電極61、平坦化膜27の合計膜厚dが、ある一つの波長(共振波長)の整数倍になるように制御する。これにより、電子輸送層64とEL層63の界面で生じた光は、その波長の節目が導電薄膜70に到達し、導電薄膜70から基板10を通過して出力される。一方、上記の界面で生じた光は等方的に出力されるので、全ての光が導電薄膜70に到達したときに波長の節目にあたるわけではない。この場合、その光は透過が抑制され、導電薄膜70から陰極66の方へ反射される。このように導電薄膜70を透過しない光は、導電薄膜70と陰極66の間で反射を繰り返し、波長の節目が導電薄膜70と重なったとき、外部へ放出される。
図5には、マイクロキャビティ型素子の特性を示す。マイクロキャビティ構造ではない有機EL素子(破線)は、波長幅の広い発光スペクトルで発光パターンは指向性のない等方的な発光を出力する。一方、マイクロキャビティ構造の有機EL素子(実線)では、共振波長での強度が増強されるとともに他の波長が抑制され、また半値幅の狭いシャープな発光を出力し、かつその発光が指向性を有する(図5(A))。また、指向性だけでなく発光強度の面でも高効率、高輝度となる(図5(B))。つまり、図3に示す膜厚dを、1つの波長の整数倍になるようにコントロールすることで、所定の波長を有する強い発光が可能な発光素子240が実現できる。ゆえに、受光素子100の受光量を増加させ、感度を向上させることができるので、タッチパネルの低電力化及び高感度化をはかることができる。
また、本実施形態では、発光素子240、受光素子100、表示部200は、全て絶縁基板上に設けたTFTで実現できるので、図1の如く同一基板上に設けることができる。これにより、光センサ(受光素子100)を有するタッチパネルの、小型化、薄型化を実現できる。
以上に述べたように、発光素子240をマイクロキャビティ型素子にすることで、膜厚dの精密な制御が必要となる。そこで、図6(A)のごとく、発光素子240をR、G、B以外のある1つの波長の光を発光するように設け、この波長の整数倍となる膜厚dを、タッチパネル全体に適用するとよい。ある1つの波長が、例えば表示部で用いられない色成分である紫に対応する波長である場合、平坦化膜27、陽極61、ホール輸送層62およびEL層63の合計膜厚dを、紫の波長の整数倍とする。
また、図6(B)のごとく、平坦化膜27を平坦化膜27a及び27bの積層体として、平坦化膜27a及び27bの間に導電薄膜70を形成しても良い。これにより、導電薄膜70より上の平坦化膜27b、陽極61、ホール輸送層62及びEL層63の合計膜厚d’をフレキシブルに変更できるので、設計自由度が上がる。
なお、紫を発光する為の有機EL素子65の形成においては、材料を発光素子240の有機EL素子に用いても良いし、または紫の波長さえ有していればマイクロキャビティ構造によって紫の発光のみ出力されるため、紫の波長を含む色成分の発光材料を用いても良い。
また、上記本実施形態においては、発光素子240の有機EL素子65が発光する色成分を、表示部200を構成する有機EL素子165が発光する色成分と異なるように設定したが、有機EL素子65及び165が発光する色成分が同じ色成分であっても良い。また、表示部及び全ての発光素子に共通した有機EL素子を形成し、少なくとも表示部200の発光出力側に、特定の色成分を透過させるカラーフィルタまたは特定の色成分に変換する色変換部材を設けても良い。ただし、発光素子が出力する色成分は、発光効率の高い色成分にすることが好ましく、発光効率の最も高い色成分にすることがより好ましい。
更に、表示部、受光素子及び発光素子に共通する構成要素(TFT、有機EL素子)が多いため、少なくとも一の共通する構成要素を同時に及び/または同一工程で形成することにより、部品点数の削減や製造プロセスの効率化も図ることができる。より好ましくは、共通する構成要素を全て同時に同一工程で形成する。
例えば、表示部200の駆動用TFT220との形成と同時に、発光素子240に接続するTFT225を同一工程で形成し、且つ/またはこれらの上層に形成される表示部200の有機EL素子165及び発光素子240の有機EL素子65も同一工程で形成することができる。なお、不図示のTFTからなる受光素子100のTFTがボトムゲート型TFTであって、スイッチ用TFT210等の他のTFTがトップゲート型TFTである場合、ボトムゲート型TFTとトップゲート型TFTとでは積層構造が異なるので、異なる積層構造を有する2種類のTFTを受光素子用のTFT及び他のTFTに用いると、同一工程で形成することができない。しかし、少なくとも一の層または膜(例えばゲート絶縁膜12や層間絶縁膜15)を他のTFTと同じ材料及び膜厚であるなら、その層または膜だけ他のTFTと同時に同一工程で積層すれば良い。
本発明の実施の形態を説明するための(A)平面図、(B)断面図である。 本発明の実施の形態を説明するための(A)平面図、(B)断面図である。 本発明の実施の形態を説明するための断面図である。 本発明の実施の形態を説明するための断面図である。 本発明を説明するための(A)特性図、(B)特性図である。 本発明の実施の形態を説明する(A)断面図、(B)断面図である。 従来技術を説明する図である。
符号の説明
10 絶縁性基板
11、141 ゲート電極
13、143 半導体層
16 ドレイン電極
18、158 ソース電極
27、27a、27b、117 平坦化膜
61、161 透明電極(陽極)
65、165 有機EL素子
66、166 金属電極(陰極)
70 導電薄膜
100 光センサ
151 ゲート信号線
152 ドレイン信号線
153 駆動電源線
200 表示部
210 スイッチ用TFT
220 駆動用TFT
240 発光素子

Claims (10)

  1. 複数の画素を有する表示部と、
    第1のEL層と導電薄膜からなる複数の発光素子と、
    第1の薄膜トランジスタからなり前記発光素子に対応して設けられた複数の受光素子とを具備し、
    前記発光素子はマイクロキャビティ型素子であることを特徴とするタッチパネル。
  2. 複数の画素を有する表示部と、導電薄膜と、第1の平坦化膜と、第1の電極と、第1のEL層と、第2の電極を積層した複数の発光素子と、第1の薄膜トランジスタからなり前記発光素子に対応して設けられた受光素子とを具備し、
    前記発光素子は、それぞれの前記第1のEL層から前記導電薄膜までの距離を一つの波長の整数倍で離間することを特徴とする請求項1に記載のタッチパネル。
  3. 前記発光素子の前記第1のEL層から前記導電薄膜までの合計膜厚を一つの波長の整数倍にすることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のタッチパネル。
  4. 単一の基板上に前記表示部、前記発光素子および受光素子を設け、前記発光素子及び受光素子は前記表示部の周辺に配置されることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のタッチパネル。
  5. 前記発光素子は前記表示部の2辺に沿って該表示部周囲に配置され、前記受光素子は、前記表示部の他の2辺に沿って該表示部周囲に配置されることを特徴とする請求項4に記載のタッチパネル。
  6. 前記基板上に設けられ前記発光素子の光を反射して前記表示部上を通過させ前記受光素子に到達させる反射材とをさらに具備することを特徴とする請求項4または請求項5に記載のタッチパネル。
  7. 前記表示部を構成する1つの前記画素内に、第3の電極と、第2のEL層および第4の電極を少なくとも有する表示素子が配置されることを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載のタッチパネル。
  8. 前記表示部を構成する前記画素内に、前記表示素子を駆動するための複数の第2の薄膜トランジスタを有することを特徴とする請求項7に記載のタッチパネル。
  9. 前記第1のEL層は青または赤または緑の色成分の光を発光し、前記第2のEL層は他の一つの波長の光を発光することを特徴とする請求項7または請求項8に記載のタッチパネル。
  10. 前記第1及び第2のEL層は一つの波長の光を発光し、前記第1のEL層から前記第1の平坦化膜までの合計膜厚が、前記第2のEL層から前記導電薄膜までの合計膜厚と同等であることを特徴とする請求項7または請求項8に記載のタッチパネル。
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