JP2005337982A - マイクロ気体検出装置及び該装置を備えるマイクロ化学システム - Google Patents
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Abstract
【課題】 マイクロチップの流路中の気体の有無を感度よく検出することができるマイクロ気体検出装置及び該装置を備えるマイクロ化学システムを提供する。
【解決手段】マイクロ気体検出装置20は、シングルモードファイバから出射された光をマイクロチップ1の流路10に集光するロッドレンズ21と、流路10を透過した光の一部を通過させるピンホール22を有するピンホール板23と、ピンホール22を通過した光を検出する検出器24とを備える。
【選択図】 図1
【解決手段】マイクロ気体検出装置20は、シングルモードファイバから出射された光をマイクロチップ1の流路10に集光するロッドレンズ21と、流路10を透過した光の一部を通過させるピンホール22を有するピンホール板23と、ピンホール22を通過した光を検出する検出器24とを備える。
【選択図】 図1
Description
本発明は、マイクロ気体検出装置及び該装置を備えるマイクロ化学システムに関し、特に、マイクロ化学システム用チップの流路中の気体の有無を検出するマイクロ気体検出装置及び該装置を備えるマイクロ化学システムに関する。
従来から、化学反応を微小空間で行うための集積化技術が、化学反応の高速性や微少量での反応、オンサイト分析等の観点から注目されており、そのための研究が、世界的に精
力的に進められている。
力的に進められている。
化学反応の集積化技術の1つとして微細な流路の中で試料溶液の混合、反応、分離、抽出、検出等を行う所謂マイクロ化学システムがある。このマイクロ化学システムで行われるものとしては反応の例として、ジアゾ化反応、ニトロ化反応、抗原抗体反応などがあり、抽出、分離の例として溶媒抽出、電気泳動分離、カラム分離などがある。マイクロ化学システムは、分離だけを目的としたような単一の機能のみで用いられても良く、また複合的に用いられても良い。
上記の機能のうち、分離のみを目的としたものとして、極微量のタンパクや核酸等を分析する電気泳動装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。これは互いに接合された2つのガラス基板から成るマイクロ化学システム用チップを備えている。この部材は板状であるので、断面が円形又は角形のガラスキャピラリーチューブに比べて破損しにくく、取り扱いが容易である。
上記マイクロ化学システム用チップ内の微小な流路において、微少量の気体又は液体の流れを制御するマイクロバルブ、微小量の気体又は液体を昇圧又は減圧して搬送するマイクロポンプ、微小量の気体又は液体を混合するマイクロミキサー等が提案されている。
特開平8−178897号公報
しかしながら、上記マイクロ化学システム用チップ内の流路中の気体の有無を確認するための気体検出装置が重要であるが、簡便な気体検出装置を製造する技術はまだ知られていない。
本発明の目的は、マイクロ化学システム用チップの流路中の気体の有無を感度よく検出することができるマイクロ気体検出装置及び該装置を備えるマイクロ化学システムを提供することにある。
上述の目的を達成するために、請求項1記載のマイクロ気体検出装置は、マイクロ化学システム用チップの流路中の気体の有無を検出するマイクロ気体検出装置であって、光を出射する出射手段と、前記出射された光を前記流路へ向けて集光する集光手段と、前記流路を透過した光の一部を検出する検出手段とを備えることを特徴とする。
請求項2記載のマイクロ気体検出装置は、請求項1記載のマイクロ気体検出装置において、前記集光手段はレンズであり、前記検出手段は、前記透過した光の一部が通過するピンホールを有するピンホール構造体と、前記ピンホールを通過した光を検出する検出器とからなることを特徴とする。
請求項3記載のマイクロ気体検出装置は、請求項2記載のマイクロ気体検出装置において、前記流路を透過した光の前記ピンホール構造体の位置における直径と前記ピンホールの直径の比が0.2〜0.7であることを特徴とする。
請求項4記載のマイクロ気体検出装置は、請求項3記載のマイクロ気体検出装置において、前記比がほぼ0.4であることを特徴とする。
請求項5記載のマイクロ気体検出装置は、請求項1乃至4のいずれか1項に記載のマイクロ気体検出装置において、前記集光された光の焦点は前記流路中に位置することを特徴とする。
請求項6記載のマイクロ気体検出装置は、請求項2乃至5のいずれか1項に記載のマイクロ気体検出装置において、前記検出器はフォトダイオードから成ることを特徴とする。
請求項7記載のマイクロ化学システムは、マイクロ化学システム用チップと、請求項1乃至6のいずれか1項に記載のマイクロ気体検出装置とを備えることを特徴とする。
請求項1記載のマイクロ気体検出装置によれば、出射された光を流路へ向けて集光し、流路を透過した光の一部を検出するので、マイクロ化学システム用チップの流路中の気体の有無を感度よく検出することができる。
請求項3記載のマイクロ気体検出装置によれば、流路を透過した光のうちピンホール板の位置における光軸上の強度の1/e2以上の強度の光の直径に対するピンホールの直径の比が0.2〜0.7であるので、マイクロ化学システム用チップの流路中の気体の有無をさらに感度よく正確に検出することができる。
請求項4記載のマイクロ気体検出装置によれば、比がほぼ0.4であるので、マイクロ化学システム用チップの流路中の気体の有無をより正確に検出することができる。
請求項5記載のマイクロ気体検出装置によれば、集光された光の焦点は流路中に位置するので、マイクロ化学システム用チップの流路中の気体の有無を正確に検出することができる。
本発明者は、上記目的を達成すべく鋭意研究を行った結果、マイクロ気体検出装置が流路中の流体に光を集光するレンズと、流路中の流体を透過した光を通過させ、且つ直径が流路中の流体を透過した光の直径より小さいピンホールを有するピンホール板と、ピンホールを通過した光を検出する検出器とを備え、好ましくは流路を透過した光のピンホール板の位置における直径とピンホールの直径の比が0.2〜0.7であると、マイクロ化学システム用チップの流路中の気体の有無を検出することができることを見出した。
本発明は、上記研究の結果に基づいてなされたものである。
以下、本発明の実施の形態に係るマイクロ気体検出装置の構成を図面を参照して説明する。
図1は、本発明の実施の形態に係るマイクロ気体検出装置が適用されるマイクロ化学システム用チップの構造を示す斜視図である。
図1において、マイクロ化学システム用チップ(以下、単に「マイクロチップ」という)1は、流路10用の溝を備える後述する図5のガラス基板1aと、該溝を覆うようにガラス基板1aに接合されると共に後述する貫通孔11,12,13を備えるガラス基板1bとを備え、ガラス基板1aの溝によって流路10が画成される。
マイクロ気体検出装置は、図1に示すように、不図示のシングルモードファイバから出射された光をマイクロチップ1の流路10に集光するロッドレンズ21と、流路10を透過した光の一部を通過させるピンホール22を有するピンホール板23と、ピンホール22を通過した光を検出する検出器24とから成る。
図2は、図1におけるマイクロ気体検出装置の構成を概略的に示す図であり、(a)は流路10に水を満たした場合、(b)は流路10に空気を満たした場合を夫々示す。
図2のマイクロ気体検出装置20は、不図示のシングルモードファイバから出射された光をマイクロチップ1の流路10に集光するロッドレンズ21と、流路10を透過した光の一部を通過させるピンホール22を有するピンホール板23と、ピンホール22を通過した光を検出する検出器24とから成り、これらはロッドレンズ21により集光された光の焦点が流路10中に位置するように設けられる。これにより、流路外の光が乱反射を起こし、ノイズの原因となるのを防止することができる。
ロッドレンズ21は、円筒状のガラス製又は樹脂製のレンズであり、中心軸から半径方向に屈折率勾配がある微小レンズである。ガラス製のロッドレンズとしては、屈折率勾配をイオン交換処理によって生成させたもの(例えば、日本板硝子株式会社製のSMLレンズ(商品名))を用いることができる。これにより、マイクロ気体検出装置の大きさを小さくすることができ、例えば、他の装置と組み合わせてマイクロチップ上に設置することにより集積化が可能となる。
検出器24は、光を受光して電気信号に変換するフォトダイオードと、変換された電気信号を増幅するIVアンプとからなる。
図3に示すように、ロッドレンズ21により集光された光の強度は、ガウス分布の広がりを持ち、光軸(X=0)において光強度が最大となる。光軸(X=0)の光強度を1としたときに、強度1/e2となる点をX=Xrとすると、2Xrを「光の直径」と定義する。
図2に戻り、ピンホール22は、直径が1mmφであり、ロッドレンズ21により集光された光の直径に対するピンホールの直径の比がほぼ0.4になるように位置決めされる。ロッドレンズ21の開口数(NA)が大きい場合は焦点からピンホール板23の距離を近く、NAが小さい場合は焦点からピンホール板23の距離を遠くすることにより、光の直径に対するピンホールの直径の比を調整することができる。ピンホール22を通過する光は、光軸を含むことが好ましい。
空気と水の屈折率は異なるので、図2(a)に示すように、流路10に水を満たした場合は、流路10を透過した光の広がりは小さくなり、ピンホール22を透過する光の強度は大きくなる。一方、図2(b)に示すように、流路10に空気を満たした場合は、流路10を透過した光の広がりは大きくなり、ピンホール22を透過する光の強度は小さくなる。したがって、検出器24によりピンホール22を透過した光の強度を検出することにより、流路中の気体の有無を検出することができる。
ロッドレンズ21により集光された光の焦点は流路10内にあるとしたが、図4に示すように、焦点は、流路10の下(図4(a))、流路10中(図4(b))、流路10の上(図4(c))のいかなる位置にあってもよい。これにより、正確な調整をしなくても気体検出が可能となるため、マイクロ気体検出装置のマイクロチップへの設置が容易になる。
液体と気体の屈折率は異なるので、マイクロ気体検出装置1はいかなる溶液に対しても適用することができる。また、気体と液体に限らず、屈折率の異なる2種の流体を区別することも可能である。
ピンホール板23は、ロッドレンズ21により集光された光の直径に対するピンホール22の直径の比がほぼ0.4なるように位置決めされるとしたが、少なくともピンホール22の直径が光の直径より小さければよい。
ピンホール22は円形であるとしたが、三角形、四角形などどのような形状であってもよい。ピンホール板23の代わりに筒状のピンホールを用いてもよい。また、ピンホールを用いずに、検出面積の小さい検出器を用いてもよい。
図5は、図1におけるガラス基板1aの構造を示す斜視図である。
図5において、ガラス基板1aの溝によって画成される流路10は、内壁親水性の上流側主流路10a、上流側主流路10aと接続すると共に、上流側主流路10aの親水性よりも相対的に内壁疎水性の合流部10c、及び合流部10cと接続すると共に、上流側主流路10aと同じ程度に内壁親水性の下流側主流路10bから成る主流路10dと、合流部10cと接続した内壁疎水性の副流路10eと、副流路10eの内部が加熱できる位置に設置されたパネルヒータ14とを備える。
上流側主流路10a及び下流側主流路10bは、幅100μm、深さ50μmであり、副流路10eは、幅50μm、深さ25μmである。
図1に示すように、ガラス基板1bは、上流側主流路10aに連通する貫通孔11と、副流路10eに連通する貫通孔12と、下流側主流路10bに連通する貫通孔13とを備える。貫通孔11には、親水性の試料溶液を上流側主流路10aに導入する不図示の試料溶液導入部が接続され、貫通孔12は、空気を副流路10eに導入する不図示の空気導入部が接続され、貫通孔13には、下流側主流路10bから排出される試料溶液を受容する試料溶液排出部が接続されている。
上記において、流路内壁の「親水性」とは、内壁に付着した親水性の液体のその面に対する接触角が小さいことをいい、同「疎水性」とは、内壁に付着した親水性の液体のその面に対する接触角が大きいことをいう。
ガラス基板1a,1bは、ソーダライムガラス、アルミノ硼珪酸ガラス、アルミノ珪酸ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス等のいかなるガラスを用いてもよいが、親水性、耐薬品性が最も高い石英ガラスを用いるのがより好ましい。
貫通孔11から主流路10dに水を供給すると共にこの供給された水を主流路10dから貫通孔13に排出している状態で、貫通孔12より空気を供給し、副流路10eに充填する。
次に、図5に示されるパネルヒータ14で副流路10eを加熱し、副流路10e内の空気の体積を膨張させて合流部10cまで空気を導入する。これにより主流路10d内に気液界面が生じ、主流路10d中の水において内壁疎水性の合流部10cと内壁親水性の上流側主流路10a及び下流側主流路10bの境界に留まろうとする圧力Pgmが発生する。この圧力が主流路10dを流れていた水の流れを止めるマイクロバルブとしての機能を果たす。
その後、パネルヒータ14の加熱を停止すると、加熱膨張した空気の体積が冷えて収縮して副流路10eに戻る圧力Pggが発生する。この圧力Pggが気液界面で留まろうとする圧力Pgmより大きくなった場合、空気は副流路10eに戻り、主流路10dの水は再び流れるようになる。
マイクロチップ1において、流路10内の気体導入の有無を検出するために、マイクロ気体検出装置20が用いられる。
本実施の形態において、マイクロ気体検出装置が適用されるマイクロチップとしてマイクロバルブを例に説明したが、マイクロ気体検出装置20は、マイクロポンプ、マイクロミキサー等において、気体のフィードバックコントロールに有用である。
本実施の形態に係るマイクロ気体検出装置によれば、マイクロチップ1の流路10に集光された光であって、流路10を透過した光の一部を通過させるピンホール22を通過した光を検出するので、マイクロチップの流路中の気体の有無を検出することができる。
集光された光を用いない場合、例えば、マイクロチップの流路に平行光を照射し、液体界面と気体界面の反射率の違いによって生じる流路を透過した光の透過率の違いを検出する場合は、液体と気体の透過率の違いが約7%と小さいので、検出が困難となり、また、マイクロチップの流路の幅は非常に小さいので、平行光を用いた場合は流路以外からの透過光も検出器に入ってしまい、透過率の違いが7%以下となり、感度が低く、誤作動が多くなる。
以下、本発明の実施例を説明する。
幅100μm、深さ45μmのパイレックス(登録商標)ガラス製のマイクロチップ1を作製した。
実施例1として、本実施の形態に係るマイクロ気体検出装置を準備した。シングルモードファイバから出射される光は、波長が785nm、強度が0.5mWである。ロッドレンズ21は、焦点位置が流路10の中心になるように設置した。また、ピンホール22の直径は1.4mmφとした。ロッドレンズ21を透過した光は、媒質が空気のときは、開口数(NA)が0.2、レンズ面から焦点までの距離が0.5mmであった。ピンホール22の位置は、焦点の位置から10mmであり、ピンホール22を通過した光は全て検出器24により受光して検出した。
比較例1として、マイクロチップ1の流路10に平行光を照射し、流路10を透過した光の強度を検出した。
比較例2として、実施例1と同様にマイクロチップ1の流路10にロッドレンズ21により集光された光を照射し、ピンホール22を用いずに流路10を透過した光の強度を検出した。
上記実施例と比較例において、流路10に水を満たした場合と空気を満たした場合の検出器24の出力電圧を夫々測定し、空気を満たした場合の測定値(I2)の水を満たした場合の測定値(I1)に対する減少率((I1−I2)/I1×100(%))を計算した。結果を表1に示す。
表1において、「〇」印は、測定値の減少率が十分に高く、検出感度が良好であることを示し、「×」印は、測定値の減少率が低く、検出感度が不良であることを示す。表1によれば、マイクロチップ1の流路10に集光された光であって、流路10を透過した光の一部を通過させるピンホール22を通過した光を検出すると、マイクロチップの流路中の気体の有無を検出することができることが分かる。
次に、上記と同様に、幅100μm、深さ45μmのパイレックス(登録商標)ガラス製のマイクロチップ1を作製した。シングルモードファイバから出射される光は、波長が785nm、強度が0.5mWである。ロッドレンズ21は、焦点位置が流路10の中心になるように設置した。また、ピンホール22の直径は1.4mmφとした。ロッドレンズ21を透過した光は、媒質が空気のときは、開口数(NA)が0.2、レンズ面から焦点までの距離が0.5mmであった。ピンホール22の位置は、流路10を透過してピンホール板23に照射される光の直径のピンホール22の直径に対する比(ピンホール径/光径)が0.1〜1.0の範囲になるように設置し、ピンホール22を通過した光は全て検出器24により受光した。
ピンホール径/光径の各値における流路10に水を満たした場合と空気を満たした場合の検出器24の出力電圧を夫々測定し、空気を満たした場合の測定値(I2)の水を満たした場合の測定値(I1)に対する減少率((I1−I2)/I1×100(%))を計算した。結果を表2に示す。
表2において、「◎」印は、最適であることを示し、「〇」印は、測定値の減少率が十分に高く、検出感度が良好であることを示し、「×」印は、測定値の減少率が低く、検出感度が不良であることを示す。表2によれば、ピンホール径/光径が0.2〜0.7であると、マイクロチップの流路中の気体の有無を感度よく正確に検出することができることが分かる。好ましくは、ピンホール径/光径が0.4〜0.5がよいことが分かる。
1 マイクロチップ
10 流路
20 マイクロ気体検出装置
21 ロッドレンズ
22 ピンホール
23 ピンホール板
24 検出器
10 流路
20 マイクロ気体検出装置
21 ロッドレンズ
22 ピンホール
23 ピンホール板
24 検出器
Claims (7)
- マイクロ化学システム用チップの流路中の気体の有無を検出するマイクロ気体検出装置であって、光を出射する出射手段と、前記出射された光を前記流路へ向けて集光する集光手段と、前記流路を透過した光の一部を検出する検出手段とを備えることを特徴とするマイクロ気体検出装置。
- 前記集光手段はレンズであり、前記検出手段は、前記透過した光の一部が通過するピンホールを有するピンホール構造体と、前記ピンホールを通過した光を検出する検出器とからなることを特徴とする請求項1記載のマイクロ気体検出装置。
- 前記流路を透過した光の前記ピンホール構造体の位置における直径と前記ピンホールの直径の比が0.2〜0.7であることを特徴とする請求項2記載のマイクロ気体検出装置。
- 前記比がほぼ0.4であることを特徴とする請求項3記載のマイクロ気体検出装置。
- 前記集光された光の焦点は前記流路中に位置することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のマイクロ気体検出装置。
- 前記検出器はフォトダイオードから成ることを特徴とする請求項2乃至5のいずれか1項に記載のマイクロ気体検出装置。
- マイクロ化学システム用チップと、請求項1乃至6のいずれか1項に記載のマイクロ気体検出装置とを備えることを特徴とするマイクロ化学システム。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004159554A JP2005337982A (ja) | 2004-05-28 | 2004-05-28 | マイクロ気体検出装置及び該装置を備えるマイクロ化学システム |
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JP2004159554A JP2005337982A (ja) | 2004-05-28 | 2004-05-28 | マイクロ気体検出装置及び該装置を備えるマイクロ化学システム |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016024429A1 (ja) * | 2014-08-11 | 2016-02-18 | シャープ株式会社 | 微小粒子検出装置 |
-
2004
- 2004-05-28 JP JP2004159554A patent/JP2005337982A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2016024429A1 (ja) * | 2014-08-11 | 2016-02-18 | シャープ株式会社 | 微小粒子検出装置 |
JP2016038360A (ja) * | 2014-08-11 | 2016-03-22 | シャープ株式会社 | 微小粒子検出装置 |
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