JP2005331406A - 遠心式加速度試験装置 - Google Patents

遠心式加速度試験装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2005331406A
JP2005331406A JP2004150761A JP2004150761A JP2005331406A JP 2005331406 A JP2005331406 A JP 2005331406A JP 2004150761 A JP2004150761 A JP 2004150761A JP 2004150761 A JP2004150761 A JP 2004150761A JP 2005331406 A JP2005331406 A JP 2005331406A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
centrifugal acceleration
acceleration
acceleration sensor
rotating body
rotating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004150761A
Other languages
English (en)
Inventor
Katsunori Hirose
克則 広瀬
Toshiyuki Baba
敏之 馬場
Hiroyuki Tsunematsu
裕之 恒松
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Proterial Ltd
Original Assignee
Hitachi Metals Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Metals Ltd filed Critical Hitachi Metals Ltd
Priority to JP2004150761A priority Critical patent/JP2005331406A/ja
Publication of JP2005331406A publication Critical patent/JP2005331406A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
  • Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)

Abstract

【課題】この発明の目的は、広範囲な遠心加速度を付加しても被試験体の諸特性を高精度に測定できる遠心式加速度試験装置を提供するものである。
【解決手段】この発明の1の実施態様は、被試験体に遠心加速度を付加して被試験体の諸特性を評価する試験機であって、回転軸を備え、前記被試験体が回転軸の軸心から偏心した位置に取り付けられる回転体と、前記回転体を回転させる駆動手段と、前記回転体に組み込まれ、前記軸心から偏心した位置に配設され遠心加速度を検出する加速度センサと、加速度センサの出力信号を電波に変換し送信する発信器と、発信器と加速度センサに電力を供給する電源と、前記回転体外に設置され前記電波を受信する受信器とを備える遠心加速度試験機である。
【選択図】図1

Description

本発明は、遠心力を利用して被試験体に所定方向および所定力の加速度を加え、被試験体の諸特性を調査するための遠心式加速度試験装置に関するものである。
遠心式加速度試験装置は、回転体の外周部に被試験体を取り付け、水平面で回転体を回転させて被試験体に遠心加速度を与え、このときの出力を測定したり特性を検定したりするものである。
そのような遠心式加速度試験装置として、例えば特許文献1に示すものがある。この試験装置は、回転駆動をするモータとしてブラシレスモータを用いることでモーターブラシの摺動ノイズをなくしている。また、ベルトやギアボックスを介さずに回転体をダイレクトドライブして、回転体の回転支持にはエアベアリングを用いることで不要な振動が回転体に伝わることを低減している。ブラシレスモータは該ブラシレスモータの回転数を測定してエンコードするエンコーダの出力信号を、パルスジェネレータのパルスを基準にして位相比較を行い、その位相差に応じて所定の設定速度になるようにモータコントローラによりその回転速度を制御されるようにしている。さらに、伝送系では、被試験体の出力信号を回転体に配置したマルチプレクサ及びコントローラ、アナログ/ディジタル変換器、パラレル・シリアル変換器、変調器等でディジタル信号に変換し、電気信号を非接触で伝送するための電気的回転継手である回転トランス(いわゆるスリップリング)で上記ディジタル信号を伝送することでノイズの影響を受け難くしている。マルチプレクサやコントローラには外部電源から回転トランスを介してレギュレータに供給された電力が供給される。
特許第2913520号(段落番号0014)
しかし、特許文献1に記載の遠心式加速度試験装置においては、回転トランスで信号を伝送しているためにその回転中に発熱し、試験装置を加熱する。その結果、被試験体に温度依存性のある場合、試験結果の信頼性が問題になる。例えば、被試験体の出力信号が1℃当たり0.02%変化する場合、試験装置内に配置された被試験体の温度が10℃変化すると出力信号は0.2%変化する。短時間に試験装置内の被試験体が配置される部位の温度が10℃変化することはほとんど無いが、複数の被試験体を次々に測定する場合、間欠的ではあるが長時間にわたり温度上昇するため無視できなくなる。例えば間欠的に5時間使用する場合、1時間当たり2℃の温度変化でも、最初と最後の被試験体では出力信号には0.2%の変化を生じてしまう。この問題は、個々の被試験体の温度を測定して出力データを補正するとか、温度変化を生じないように試験装置に冷却装置を組み込めば解決するが、試験装置が複雑になるという問題が生じる。
遠心加速度を制御するためにブラシレスモータの実回転速度をエンコーダで測定し、その測定値をエンコードしてモータコントローラに伝送している。モータコントローラはパルスジェネレータから伝送されるパルスと上記エンコーダ出力の位相差に応じてブラシレスモータに制御信号を伝送している。この方法だと電気信号伝送における遅延時間の揺らぎであるジッタを生じてしまい、さらに、このジッタは回転数が小さいほど大きくなる傾向を示す。回転数が300rpmでのジッタはおよそ0.004%であり、回転数が約2000rpmでのジッタはおよそ0.0005%である。従って、高回転数から低回転数まで一貫して同じ精度の回転数測定および制御は難しい。また、このジッタはパルスの時間的な偏差に起因するため被試験体の動特性測定など測定時間が重要な場合に誤差が大きくなる。
この発明は上述の事情に鑑みてなされたものであり、その目的は広範囲な遠心加速度を付加しても被試験体の諸特性を高精度に測定できる遠心式加速度試験装置を提供するものである。
この発明の1の実施態様は、被試験体に遠心加速度を付加して被試験体の諸特性を評価する試験機であって、回転軸を備え、前記被試験体が回転軸の軸心から偏心した位置に取り付けられる回転体と、前記回転体を回転させる駆動手段と、前記回転体に組み込まれ、前記軸心から偏心した位置に配設され遠心加速度を検出する加速度センサと、加速度センサの出力信号を電波に変換し送信する発信器と、発信器と加速度センサに電力を供給する電源と、前記回転体外に設置され前記電波を受信する受信器とを備える遠心加速度試験機である。
第1に、加速度センサの出力信号を伝達するのに無線を用いるため、回転トランスと比して発熱が小さく、回転体や試験装置の加熱を抑制することができ、温度変化に敏感な被試験体あるいは加速度センサに対して良好な測定環境を維持できる。第2に、回転体を回転させることで生じる遠心加速度を検知する手段として、加速度センサを採用しているので、エンコーダとパルスジェネレータそれぞれの出力信号の位相差を用いた遠心加速度の測定と異なり、回転数に依存したジッタの変化がなく、広範囲な加速度を一貫して同じ精度で測定することができる。
本発明について、その一実施態様の遠心式加速度試験装置(以下、試験装置と称す)に基づき図1を参照して説明する。
本態様の試験装置2には、例えば被試験体として信号を発生する電子部品(図示せず)をセットする保持具1を有しており、電子部品は保持具1にセットされた状態で試験装置2に取り付けられる。この保持具1は電子部品の出力信号を伝送するケーブルで試験装置2に接続するために、電子部品を交換する時に取り外すためのコネクタ11を有している。なお、ケーブルはノイズ対策のためシールドを有しているものを使用すればよい。
試験装置2は、回転して遠心加速度を発生する回転部22と、電子部品と、加速度センサの出力信号を増幅し電波に変換する送信部21と、送信部21からの電波を受信する受信部23と、受信部23からの信号を受け取りデータ収集や整理、保存などをするデータ処理部24と、回転部22に運転信号を与えるコントローラ25で構成されている。
回転部22は、回転体221および回転軸223、モータ224、電源である電池225、電池ホルダー226、及び加速度センサCを有している。モータ224は回転軸223を介してその上部にある回転体221と連結している。電池225を乗せた電池ホルダー226は回転部22の回転中心近傍に配置する。これは電池225を配置した状態での電池ホルダー226の重心が回転軸223の回転中心とずれるほど回転時に不要な振動を生じ、また、電池225や電池ホルダー226に不要な遠心加速度が付加されるからである。電池が複数必要な場合は、回転軸中心にバランスよく配置して重心を回転中心に合わせる。図1では電池が4個必要な場合を示しており、4個の電池を正四角形の頂点に配置し、この正四角形の重心が回転中心に一致するように配置している。
保持具1は保持具装着孔222に収納される。保持具装着孔222は保持具1が回転中に動かないように、保持具1の形状にその形状を合わせ、できるだけ保持具1の大きさに近い大きさにする。保持具装着孔222は電子部品を保持した保持具1の電子部品に遠心加速度が付加されるように回転軸223の回転中心に対して偏心した位置に配置されている。加速度センサCの位置は、電子部品と同一の回転半径上にあることが望ましく、さらに好ましくは電子部品の直上あるいは直下であるが、図1では180度隔てた電子部品の回転半径上に配置している。電気的接続について、電池225を有する電池ホルダー226は送信部21と接続し、加速度センサC送信部21に接続する。モータ224はブラシレスモータを用いてブラシ摺動時のノイズを排する。また、モータ224はエンコーダつきのモータであり、このエンコーダの出力をモータ回転数制御に用いている。
送信部21は支持部材211、送信基板212及びソケット213を有している。変換した電波を伝送するためのアンテナは支持部材211にパターン印刷しておくと、耐遠心力の点で良い。支持部材221には電気回路が形成されており、送信基板221と保持具1に配置された電子部品と接続するソケット213や上述の電池ホルダー226、加速度センサCの電気的接続を行う。また、図示しないが、支持部材211には電子部品や加速度センサCに電池225の電力を調整して安定した電力を与えるレギュレータや、電子部品や加速度センサCからの出力信号を増幅するためのアンプ、電波に載るノイズの影響を低減するため増幅したアナログ信号をディジタルに変換するアナログ/ディジタル変換器、ディジタル信号を電波に変換して送信する無線送信モジュールなどが搭載される。さらに電池の浪費を避けるために必要に応じて電池のON/OFFスイッチ等が配置される。送信部21は、加わる遠心力を最小にして不要な振動の発生を抑えるため、重心が回転部22の回転中心に可能な限り一致するように配置する。
受信部23は回転体221と離れて設置され、アンテナ231、受信基板232及び支持部材233を有している。アンテナ231は回転する送信部21の回転中心上に可能な限り送信部21に近づけて設置する。これにより回転中心付近に配置された送信部21から送信された電波を効率良く受信することができる。
データ処理部24は、受信部23とコントローラ25に電気的に接続されている。受信部23からは電子部品並びに加速度センサCの出力信号を受信し、コントローラ25からはモータ224に設置したエンコーダの出力信号に基づいた回転数のデータを受信する。モータ224の回転数は、エンコーダの出力信号の代わりに、データ処理部24で受信した加速度センサCの出力信号に基づいてコントローラ25に信号を送信して制御することもできる。
図1に示す試験装置2のうち、保持具1、送信部21、回転部22及びコントローラ25は図2に示すように一つのフレーム3に収納する。狭い回転体221の中心部に送信部21、電池ホルダー226などが密集するが、図2のように鉛直方向に配置すると省スペース化できる。送信部21には保持具1と接続するソケット213や場合によって電池225のON/OFFスイッチ等、頻繁に操作するものが配置されており、また、受信感度の関係から送信部とアンテナ231の間に障害物を配置したくないことから電池ホルダー226の上に送信部21を配置する。この際、電池交換等で送信部21と電池225を取り外す必要が出る。電池ホルダー226と送信部支持部材221の再配置時の位置ズレを防止するため回転体221に保持具装着孔222同様の掘り込みを設けておき、ここに設置する。
回転部22は、送信部21の送信基板212とその支持部材211が回転中に分離した場合などに備えてカバーで覆っておく。図2に記載の開閉ドア31とチャンバ32がこのカバーを形成している。
モータ224やコントローラ25が発生する熱が試験装置上部に位置する加速度センサC、電子部品や送信基板212に伝わるのを避けるため、モータ224とコントローラ25が配置される空間は加速度センサC、電子部品や送信基板212が配置される空間と隔離する。図2ではチャンバ32でこれら空間を切り離している。このようにチャンバ32と開閉ドア31に囲まれる空間内に発熱する機器を持ち込まないことで電子部品の温度変化を抑えることが可能となる。さらに通気口34を設けてモータ224やコントローラ25の熱がフレーム3の下部空間に篭らないようにしており、この通気口とさらにファンを利用して積極的に熱を外に換気することもできる。
コントローラ25は、発生するノイズが電波に及ぼす影響を避けるため、電磁シールドボックス33等に収納して試験装置内に配置する。
次に上記試験装置2による試験方法について説明する。電子部品を保持具1に装着し、これを回転体221の保持具装着孔222に設置する
コネクタ11をソケット213に接続して回転部22を回転する。電子部品と加速度センサCの出力信号が送信部21から発信される。その電波は受信部23で受信して信号伝達を行い、データ処理部24に伝送される。データ処理部24では、伝送された電子部品の出力信号と、加速度センサCの出力信号に基づいて換算した遠心加速度のデータの相関を計算する。
上記試験装置による遠心加速度に対する電子部品の静特性と動特性の試験例について説明する。
電子部品の静特性を試験する場合には、あらかじめ電子部品に付与する遠心加速度を数段設定しておき、設定した遠心加速度における電子部品の出力信号を順次測定する。例えば、遠心加速度が50Gおよび100G、150G、200G、250G、300Gの場合の静特性を調べる場合には、この遠心加速度に対応する回転体22の回転数を設定しておき、図3に示すように回転数を連続して変えながら回転体22を回転させた。このようにすれば電子部品には所望の遠心加速度が付与される。
上記試験法で電子部品の静特性の試験を行った結果を図4に示す。図4の横軸は、図5に示す加速度センサCの出力信号に基づいて算出された遠心加速度の振れが規定値以下となった部分(図において水平な部分)の平均値である。また、縦軸は、電子部品の出力信号の平均値である。
次に、遠心加速度が変化した場合の電子部品の動特性の試験をする場合における遠心加速度の測定例について図5を参照し説明する。この試験の説明では、モータ224のエンコーダの出力に基づいて算出した遠心加速度についても比較のため説明する。
図5は、図3において遠心加速度が100Gから150Gに増加する過程における遠心加速度の変化を示した図である。遠心加速度は、目標の150Gに対して一度オーバーシュートしてその後150Gに収束するが、加速度センサCの出力から算出した遠心加速度に対してエンコーダの出力から算出した遠心加速度は、遠心加速度の変動が大きいところで最大150Gの0.1%程度の偏差があった。また、加速度センサCの出力から算出した遠心加速度に対してエンコーダの出力から算出した遠心加速度のピーク位置のズレは最大0.1秒であった。この差異は、エンコーダを用いた場合のジッタを起因としているものである。
なお、上記した試験装置2において、加速度センサCの出力信号に基づいてモータ224の回転数を制御すればより遠心加速度を精密に制御でき有効である。また、上記本態様の試験装置では被試験体として例えば電子部品など信号を出力するものを対象としているが、本発明に係る試験装置の対象とする被試験体はこれに限定されることなく、例えば耐久試験を目的とした機械装置の部品などを対象とすることも可能である。
本発明に係る試験装置の概略構成図である。 図1の試験装置をフレームに組込んだ状態を説明する図である。 図1の試験装置で試験をした結果の一例を示す図である。 図1の試験装置における試験方法を説明する図である。 図1の試験装置で測定された遠心加速度を説明する図である。
符号の説明
1 保持具
2 試験装置
3 フレーム
11 コネクタ
21 送信部
22 回転部
23 受信部
24 データ処理部
25 コントローラ
31 開閉ドア
32 チャンバ
33 磁気シールドボックス
34 通気口
211 支持部材
212 送信基板
213 ソケット
221 回転体
222 保持具装着孔
223 回転軸
224 モータ
225 電池
226 電池ホルダー
231 アンテナ
232 受信基板
233 支持部材
C 加速度センサ

Claims (1)

  1. 遠心加速度を付加して被試験体の特性を評価する試験機であって、回転軸を備え、前記被試験体が回転軸の軸心から偏心した位置に取り付けられる回転体と、前記回転体を回転させる駆動手段と、前記軸心から偏心した位置において前記回転体に組み込まれ遠心加速度を検出する加速度センサと、前記加速度センサの出力信号を電波に変換し送信する発信器と、前記発信器および前記加速度センサに電力を供給する電源と、前記回転体の外に設置され前記電波を受信する受信器とを備える遠心加速度試験機。
JP2004150761A 2004-05-20 2004-05-20 遠心式加速度試験装置 Pending JP2005331406A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004150761A JP2005331406A (ja) 2004-05-20 2004-05-20 遠心式加速度試験装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004150761A JP2005331406A (ja) 2004-05-20 2004-05-20 遠心式加速度試験装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2005331406A true JP2005331406A (ja) 2005-12-02

Family

ID=35486157

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004150761A Pending JP2005331406A (ja) 2004-05-20 2004-05-20 遠心式加速度試験装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2005331406A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008109027A (ja) * 2006-10-27 2008-05-08 Tokyo Electron Ltd 基板処理装置、基板受け渡し位置の調整方法及び記憶媒体
JP2011215116A (ja) * 2010-04-02 2011-10-27 Komatsu Ltd 回転衝撃試験装置
JP2011215115A (ja) * 2010-04-02 2011-10-27 Komatsu Ltd 回転衝撃試験方法及び回転衝撃試験装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008109027A (ja) * 2006-10-27 2008-05-08 Tokyo Electron Ltd 基板処理装置、基板受け渡し位置の調整方法及び記憶媒体
JP4607848B2 (ja) * 2006-10-27 2011-01-05 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置、基板受け渡し位置の調整方法及び記憶媒体
JP2011215116A (ja) * 2010-04-02 2011-10-27 Komatsu Ltd 回転衝撃試験装置
JP2011215115A (ja) * 2010-04-02 2011-10-27 Komatsu Ltd 回転衝撃試験方法及び回転衝撃試験装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9605996B2 (en) Apparatus for monitoring a rotating machine part
KR20140024891A (ko) 회전 비틀림 시험기
CN105940288A (zh) 用于压力测量的机电微型装置
JP2006226680A (ja) 加速度センサの校正方法及び加速度測定装置
KR100940104B1 (ko) 센서를 캘리브레이션하는 장치 및 방법
CN105737855A (zh) 用于传感器校准与测试的转台系统
US8720284B2 (en) Photoelectric powered wireless sensor unit
JP2005331406A (ja) 遠心式加速度試験装置
WO2016140035A1 (ja) 異常検出装置
KR100692129B1 (ko) 토크 측정장치
JP2019184404A (ja) センサシステム
JP2008537779A (ja) 電子機器、電気機械機器および機械機器用の音響信号試験
JP6327065B2 (ja) 振動検出装置及び振動検出方法
JP7337144B2 (ja) 電気モーター、ファン、および、電気モーターと評価ユニットとからなるシステム
RU2256880C1 (ru) Способ комплексных испытаний бесплатформенных инерциальных измерительных блоков на основе микромеханических гироскопов и акселерометров и устройство для его осуществления
US7498759B2 (en) Semiconductor wafer processing accelerometer
JP2005352775A (ja) 被試験体の保持具およびそれを備えた試験装置
JP6526271B1 (ja) 分離式センサ装置
US20240003757A1 (en) Status monitoring for a rotating element of a motor or work machine, more particularly for the rotor of an electric motor
CN110319915A (zh) 振动与声波整合感测系统及方法
RU169944U1 (ru) Устройство контроля вибрации редуктора
US10281443B2 (en) Gas detection device
EP3486616B1 (en) Measuring apparatus
US11955847B2 (en) Electric motor with service life estimating unit and ventilator with corresponding electric motor
KR20060124237A (ko) 초음파센서가 구비된 기기의 테스트장치