JP2005331194A

JP2005331194A - ファンフィルタユニット

Info

Publication number: JP2005331194A
Application number: JP2004151560A
Authority: JP
Inventors: Mitsuji Nagaya; 充志長屋; Yosuke Sugimoto; 洋介杉本
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2004-05-21
Filing date: 2004-05-21
Publication date: 2005-12-02

Abstract

【課題】空気清浄ユニットにおいて、定期的に交換が必要なフィルタの交換をクリーン空間に入ることなく行なえると共にフィルタの交換に際して塵埃除去フィルタを外すことなく行えることを目的とする。
【解決手段】ファン１とモーター２と天板３のファンユニット天板部４と、ファンユニット天板部４の下流側に有り内部チャンバー５に塵埃除去フィルタ６を配設して外部チャンバー７にリベット部材９が取付けられている。
また天板３には複数の瓢箪型の孔１０が開いており、まずリベット部材９の頭の部分が天板３の複数の瓢箪型の孔１０の大きい孔に入り外部チャンバー７に装着される。
次に、ファンユニット天板部４を天板３の複数の瓢箪型の孔１０の小さい孔の方向にスライドすることにより外部チャンバー７に固定される。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用される空気清浄ユニットのファンフィルタユニットに関する。

従来、この種のファンフィルタユニットは、フィルタなどを交換する際にはクリーンルーム内側方向からアプローチして着脱可能に構成している（例えば特許文献１参照）。
特開２０００−８４３２６号公報（［０００１］〜［００３０］図１）

このような従来のフィルタの交換ではクリーンな環境を保つべきクリーン空間内に人が入ってフィルタの交換作業をおこなうことになり、内部のクリーンな環境に障害を及ぼすという課題がある。

また、最近の局所クリーン化の動きに伴い、クリーンな環境を維持すべき空間が狭くなっており、内部に設けられた各種製造装置によってクリーン空間内のメンテナンススペースの確保が困難なため、クリーン空間の中に入らずフィルタを交換できることが要求されている。

また、ケミカルフィルタの交換作業についても製造装置等の稼動時間に制約を与えるために、可能な限り短時間で行なえることが要求されている。

また、ケミカルフィルタを交換する際に外部空間からクリーン空間へ塵埃の侵入する課題があるため、塵埃除去フィルタを外さずにケミカルフィルタの交換をおこなうことが要求されている。

本発明は、このような従来のファンフィルタユニットのフィルタ交換の課題を解決するものであり、クリーン空間に入ることなくケミカルフィルタの交換ができ、また、短時間に外部の塵埃をクリーン空間内に侵入させることなく交換がおこなえるファンフィルタユニットを提供する事を目的としている。

本発明のファンフィルタユニットは、上記目的を達成するためにファンとモーターと天板のファンユニット天板部と、前記ファンユニット天板部の下流側に有り内部チャンバーに塵埃除去フィルタを配設して外部チャンバーに前記ファンユニット天板部と前記塵埃除去フィルタを収納した空気清浄ユニットであって、前記外部チャンバーに取付けたリベット部材が、前期天板に設けた複数の瓢箪型の孔に入ってスライドして固定するようにしたものである。

また、他の手段は、ファンとモーターと天板のファンユニット天板部と、前記ファンユニット天板部の下流側に有り内部チャンバーに塵埃除去フィルタを配設して外部チャンバーに前記ファンユニット天板部と前記塵埃除去フィルタを収納した空気清浄ユニットであって、前記外部チャンバーに取付けたボルトが、前期天板に設けた複数の瓢箪型の孔に入ってスライドして固定するようにしたものである。

また、他の手段は、ファンとモーターと天板のファンユニット天板部と、前記ファンユニット天板部の下流側に有り内部チャンバーに取付けたケミカルフィルタのケミカルフィルタ部と、塵埃除去フィルタを配設して外部チャンバーに前記ファンユニット天板部と前記ケミカルフィルタ部と前記塵埃除去フィルタを収納した空気清浄ユニットであって、前記外部チャンバーに取付けたリベット部材が、前期天板に設けた複数の瓢箪型の孔に入ってスライドして固定するようにしたものである。

また、他の手段は、ファンとモーターと天板のファンユニット天板部と、前記ファンユニット天板部の下流側に有り内部チャンバーに取付けたケミカルフィルタのケミカルフィルタ部と、塵埃除去フィルタを配設して外部チャンバーに前記ファンユニット天板部と前記ケミカルフィルタ部と前記塵埃除去フィルタを収納した空気清浄ユニットであって、前記外部チャンバーに取付けたボルトが、前期天板に設けた複数の瓢箪型の孔に入ってスライドして固定するようにしたものである。

また、他の手段は、外部チャンバー天板接触部に天板上流緩衝材を設けて天板の上流の気密をたもつようにしたものである。

また、他の手段は、天板の下流側に外部チャンバーと接触する部分に外部チャンバー緩衝材を設けて天板の下流の気密をたもつようにしたものである。

また、他の手段は、天板の天板上流緩衝材と外部チャンバーの外部チャンバー緩衝材を設けて天板の上流と下流の気密をたもつようにしたものである。

また、他の手段は、天板に複数の天板取っ手を設けてファンユニット天板部を移動しやすいようにしたものである。

また、他の手段は、外部チャンバーに複数のチャンバー取っ手を設けて外部チャンバーを移動しやすいようにしたものである。

また、他の手段は、ケミカルフィルタの吹出し側に吹出し側緩衝材を設けてファンユニット天板部とケミカルフィルタの気密をたもつようにしたものである。

本発明によれば、ファンとモーターと天板のファンユニット天板部と、前記ファンユニット天板部の下流側に有り内部チャンバーに塵埃除去フィルタを配設して外部チャンバーにファンユニット天板部と前記塵埃除去フィルタを収納した空気清浄ユニットであって、外部チャンバーに取付けたリベット部材を天板に設けた複数の瓢箪型の孔の大きい孔に入れてスライドすることにより外部チャンバーにファンユニット天板部が固定するようにしたものである。従来のように固定を複数のねじで行なうよりも簡単に固定ができるようになる。

すなわち、リベット部材の頭の径を瓢箪型の孔の大きい孔より小さくかつリベット部材の頭の径が瓢箪型の孔の小さい孔より大きいという条件のもとで、ファンユニット天板部の天板を水平方向に移動させるだけで短時間に交換が行なえる効果が得られる。

また、本発明によれば、ファンとモーターと天板のファンユニット天板部と、前記ファンユニット天板部の下流側に有り内部チャンバーに塵埃除去フィルタを配設して外部チャンバーにファンユニット天板部と前記塵埃除去フィルタを収納した空気清浄ユニットであって、外部チャンバーに取付けたボルトが、前期天板に設けた複数の瓢箪型の孔に入ってスライドして固定することことにより外部チャンバーにファンユニット天板部が固定するようにしたものである。

すなわち、ファンユニット天板部の天板を水平方向に移動させるだけで短時間に交換が行なえる効果とボルトを締めてさらなる垂直方向の固定が行なえる効果が得られる。

また、本発明によれば、ファンとモーターと天板のファンユニット天板部と、前記ファンユニット天板部の下流側に有り内部チャンバーに取付けたケミカルフィルタのケミカルフィルタ部と、塵埃除去フィルタを配設して外部チャンバーに取付けたリベット部材を天板に設けた複数の瓢箪型の孔の大きい孔に入れてスライドすることにより外部チャンバーにファンユニット天板部が固定するようにしたものである。従来のように固定を複数のねじで行なうよりも簡単に固定ができるようになる。

すなわち、ボルトの頭の径を瓢箪型の孔の大きい孔より小さくかつボルトの頭の径が瓢箪型の孔の小さい孔より大きいという条件のもとで、ファンユニット天板部の天板を水平方向に移動させるだけで短時間に交換が行なえる効果が得られる。

また、本発明によれば、ファンとモーターと天板のファンユニット天板部と、前記ファンユニット天板部の下流側に有り内部チャンバーに取付けたケミカルフィルタのケミカルフィルタ部と、塵埃除去フィルタを配設して外部チャンバーにファンユニット天板部と前記塵埃除去フィルタを収納した空気清浄ユニットであって、外部チャンバーに取付けたボルトが、前期天板に設けた複数の瓢箪型の孔に入ってスライドして固定することことにより外部チャンバーにファンユニット天板部が固定するようにしたものである。

また、本発明によれば、外部チャンバー天板接触部に天板上流緩衝材を設けて天板の上流の気密を保つようにすることにより、内部チャンバーの空気の漏れを防止する効果が得られる。

また、本発明によれば、天板の下流側に外部チャンバーと接触する部分に外部チャンバー緩衝材を設けて天板の下流の気密をたもつようにすることにより、内部チャンバーの空気の漏れを防止する効果が得られる。

また、他の手段は、天板の天板上流緩衝材と外部チャンバーの外部チャンバー緩衝材を設けて天板の上流と下流の気密を保つように内部チャンバーの空気の漏れを防止する効果が得られる。

また、他の手段は、天板に複数の天板取っ手を設けてファンユニット天板部を移動しやすいようにしてフィルタの交換作業の交換時間を短縮する効果が得られる。

また、他の手段は、外部チャンバーに複数のチャンバー取っ手を設けて外部チャンバーを移動しやすいようにしてフィルタの交換作業の交換時間を短縮する効果が得られる。

また、他の手段は、ケミカルフィルタの吹出し側に吹出し側緩衝材を設けてファンユニット天板部とケミカルフィルタの気密をたもつようにしてファンユニット天板部の空気からケミカルフィルタへの空気の漏れを防止する効果が得られる。

本発明の請求項１記載の発明は、ファンとモーターと天板のファンユニット天板部と、前記ファンユニット天板部の下流側に有り内部チャンバーに塵埃除去フィルタを配設して外部チャンバーにファンユニット天板部と前記塵埃除去フィルタを収納した空気清浄ユニットであって、外部チャンバーに取付けたリベット部材を天板に設けた複数の瓢箪型の孔の大きい孔に入れてスライドすることにより外部チャンバーにファンユニット天板部が固定するようにしたものである。従来のように固定を複数のねじで行なうよりも簡単に固定ができるという作用を有する。

また、本発明の請求項２記載の発明は、ファンとモーターと天板のファンユニット天板部と、前記ファンユニット天板部の下流側に有り内部チャンバーに塵埃除去フィルタを配設して外部チャンバーにファンユニット天板部と前記塵埃除去フィルタを収納した空気清浄ユニットであって、外部チャンバーに取付けたボルトが、前期天板に設けた複数の瓢箪型の孔に入ってスライドして固定することことにより外部チャンバーにファンユニット天板部を固定するという作用を有する。

また、本発明の請求項３記載の発明は、ファンとモーターと天板のファンユニット天板部と、前記ファンユニット天板部の下流側に有り内部チャンバーに取付けたケミカルフィルタのケミカルフィルタ部と、塵埃除去フィルタを配設して外部チャンバーに取付けたリベット部材を天板に設けた複数の瓢箪型の孔の大きい孔に入れてスライドすることにより外部チャンバーにファンユニット天板部が固定するようにしたものである。従来のように固定を複数のねじで行なうよりも簡単に固定ができるという作用を有する。

また、本発明の請求項４記載の発明は、ファンとモーターと天板のファンユニット天板部と、前記ファンユニット天板部の下流側に有り内部チャンバーに取付けたケミカルフィルタのケミカルフィルタ部と、塵埃除去フィルタを配設して外部チャンバーにファンユニット天板部と前記塵埃除去フィルタを収納した空気清浄ユニットであって、外部チャンバーに取付けたボルトが、前期天板に設けた複数の瓢箪型の孔に入ってスライドして固定することことにより外部チャンバーにファンユニット天板部が固定ができるという作用を有する。

また、本発明の請求項５記載の発明は、外部チャンバー天板接触部に天板上流緩衝材を設けることにより天板の上流の気密をたもつという作用を有する。

また、本発明の請求項６記載の発明は、天板の下流側に外部チャンバーと接触する部分に外部チャンバー緩衝材を設けて天板の下流の気密をたもつという作用を有する。

また、本発明の請求項７記載の発明は、天板の天板上流緩衝材と外部チャンバーの外部チャンバー緩衝材を設けて天板の上流と下流の気密をたもつという作用を有する。

また、本発明の請求項８記載の発明は、天板に複数の天板取っ手を設けてファンユニット天板部を移動しやすいようにして容易にフィルタの交換が行なえる作用を有する。

また、本発明の請求項９記載の発明は、外部チャンバーに複数のチャンバー取っ手を設けて外部チャンバーを移動しやすいようにして容易にフィルタの交換が行なえる作用を有する。

また、本発明の請求項１０記載の発明は、ケミカルフィルタの吹出し側に吹出し側緩衝材を設けてファンユニット天板部とケミカルフィルタの気密をたもつようにするという作用を有する。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。

（実施の形態１）
図１および図２に示すようにファン１とモーター２と天板３のファンユニット天板部４と、ファンユニット天板部４の下流側に有り内部チャンバー５に塵埃除去フィルタ６を配設して外部チャンバー７にファンユニット天板部４と塵埃除去フィルタ６を収納した空気清浄ユニット８で構成され、外部チャンバー７にはリベット部材９が取付けられている。

また天板３には複数の瓢箪型の孔１０が開いており、複数の瓢箪型の孔１０の配置はリベット部材９に対応して開いている。まずリベット部材９の頭の部分が天板３の複数の瓢箪型の孔１０の大きい孔に入りファンユニット天板部４が外部チャンバー７に装着される。

次に、ファンユニット天板部４を天板３の複数の瓢箪型の孔１０の小さい孔の方向にスライドすることにより、リベット部材９の頭の部分が複数の瓢箪型の孔１０の小さい孔より大きいため抜けなくなり外部チャンバー７にファンユニット天板部４垂直方向に固定されることになる。

さらに、ファンユニット天板部４の天板３を固定ねじ１２で固定することにより水平方向にも移動しないように固定される。外部チャンバー７が垂直に置かれた場合は、ファンユニット天板部４は垂直に保持され水平方向に抜けなくなり、外部チャンバー７の向きは水平方向でも、垂直方向でも有効である。

（実施の形態２）
図３および図４に示すようにファン１とモーター２と天板３のファンユニット天板部４と、ファンユニット天板部４の下流側に有り内部チャンバー５に塵埃除去フィルタ６を配設して外部チャンバー７にファンユニット天板部４と塵埃除去フィルタ６を収納した空気清浄ユニット８で構成され、外部チャンバー７にはボルト１１が取付けられている。

また天板３には複数の瓢箪型の孔１０が開いており、複数の瓢箪型の孔１０の配置はボルト１１の中心に対応して開いている。まずボルト１１の頭の部分が天板３の複数の瓢箪型の孔１０の大きい孔に入りファンユニット天板部４が外部チャンバー７に装着される。
次に、ファンユニット天板部４を天板３の複数の瓢箪型の孔１０の小さい孔の方向にスライドすることにより、ボルト１１の頭の部分が複数の瓢箪型の孔１０の小さい孔より大きいため抜けなくなり外部チャンバー７にファンユニット天板部４垂直方向に固定されることになる。

さらに、ファンユニット天板部４の天板３をボルト１１で固定することにより水平方向に確実に固定される。

（実施の形態３）
図５に示すようにファン１とモーター２と天板３のファンユニット天板部４と、ファンユニット天板部４の下流側に有り内部チャンバー５に取付けたケミカルフィルタ１３のケミカルフィルタ部１４と、塵埃除去フィルタ６を配設して外部チャンバー７にファンユニット天板部４と塵埃除去フィルタ６を収納した空気清浄ユニット８で構成され、外部チャンバー７にはリベット部材９が取付けられている。

また図２に示すように天板３には複数の瓢箪型の孔１０が開いており、複数の瓢箪型の孔１０の配置はリベット部材９に対応して開いている。まずリベット部材９の頭の部分が天板３の複数の瓢箪型の孔１０の大きい孔に入りファンユニット天板部４が外部チャンバー７に装着される。

さらに、ファンユニット天板部４の天板３を固定ねじ１２で固定することにより水平方向にも固定される。外部チャンバー７が垂直に置かれた場合は、ファンユニット天板部４は垂直に保持され水平方向に抜けなくなり、外部チャンバー７の向きは水平方向でも、垂直方向でも有効である。

（実施の形態４）
図６に示すようにファン１とモーター２と天板３のファンユニット天板部４と、ファンユニット天板部４の下流側に有り内部チャンバー５に取付けたケミカルフィルタ１３のケミカルフィルタ部１４と、塵埃除去フィルタ６を配設して外部チャンバー７にファンユニット天板部４と塵埃除去フィルタ６を収納した空気清浄ユニット８で構成され、外部チャンバー７にはボルト１１が取付けられている。

また図４に示すように天板３には複数の瓢箪型の孔１０が開いており、複数の瓢箪型の孔１０の配置はボルト１１に対応して開いている。まずボルト１１の頭の部分が天板３の複数の瓢箪型の孔１０の大きい孔に入りファンユニット天板部４が外部チャンバー７に装着される。

次に、ファンユニット天板部４を天板３の複数の瓢箪型の孔１０の小さい孔の方向にスライドすることにより、ボルト１１の頭の部分が複数の瓢箪型の孔１０の小さい孔より大きいため抜けなくなり外部チャンバー７にファンユニット天板部４垂直方向に固定されることになる。

（実施の形態５）
図７に示すように外部チャンバー７の天板３の接触部に天板上流緩衝材１５を設けることにより天板３の上流の気密をたもつようにしたものである。

（実施の形態６）
図８に示すように天板３の下流側に外部チャンバー７と接触する部分に外部チャンバー緩衝材１６を設けて天板の下流の気密をたもつようにしたものである。

（実施の形態７）
図９に示すように天板３の天板上流緩衝材１５と外部チャンバー７の外部チャンバー緩衝材１６を設けて天板３の上流と下流の気密をたもつようにしたものである。

（実施の形態８）
図１０に示すように天板３に複数の天板取っ手１７を設けてファンユニット天板部４を移動しやすいようにして容易にフィルタの交換が行なえるようにしたものである。

（実施の形態９）
図１１に示すように外部チャンバー７に複数のチャンバー取っ手１８を設けて外部チャンバー７を移動しやすいようにして容易にフィルタの交換が行なえるようにしたものである。

（実施の形態１０）
図１２に示すようにケミカルフィルタ１３の吹出し側に吹出し側緩衝材１９を設けてファンユニット天板部４とケミカルフィルタ１３のケミカルフィルタ部１４の気密をたもつようにしたものである。

以上のように本発明によれば、ファンとモーターと天板のファンユニット天板部と、前記ファンユニット天板部の下流側に有り内部チャンバーに塵埃除去フィルタを配設して外部チャンバーにファンユニット天板部と前記塵埃除去フィルタを収納した空気清浄ユニットであって、外部チャンバーに取付けたリベット部材を天板に設けた複数の瓢箪型の孔の大きい孔に入れてスライドすることにより外部チャンバーにファンユニット天板部が固定するように容易にファンユニット天板部の交換ができ、クリーンルーム内で用いられる空気清浄ユニットのフィルタ交換装置の用途に適用できる。

本発明の実施の形態１の構成を示す断面図本発明の実施の形態１の構成を示す平面図本発明の実施の形態２の構成を示す断面図本発明の実施の形態２の構成を示す平面図本発明の実施の形態３の構成を示す断面図本発明の実施の形態４の構成を示す断面図本発明の実施の形態５の構成を示す断面図本発明の実施の形態６の構成を示す断面図本発明の実施の形態７の構成を示す断面図本発明の実施の形態８の構成を示す断面図本発明の実施の形態９の構成を示す断面図本発明の実施の形態１０の構成を示す断面図

符号の説明

１ファン
２モーター
３天板
４ファンユニット天板部
５内部チャンバー
６塵埃除去フィルタ
７外部チャンバー
８空気清浄ユニット
９リベット部材
１０瓢箪型の孔
１１ボルト
１２固定ねじ
１３ケミカルフィルタ
１４ケミカルフィルタ部
１５天板上流緩衝材
１６外部チャンバー緩衝材
１７天板取っ手
１８チャンバー取っ手
１９吹出し側緩衝材

Claims

ファンとモーターと天板のファンユニット天板部と、前記ファンユニット天板部の下流側に有り内部チャンバーに塵埃除去フィルタを配設して外部チャンバーに前記ファンユニット天板部と前記塵埃除去フィルタを収納した空気清浄ユニットであって、前記外部チャンバーに取付けたリベット部材が、前期天板に設けた複数の瓢箪型の孔に入ってスライドして固定することを特徴とするファンフィルタユニット。
ファンとモーターと天板のファンユニット天板部と、前記ファンユニット天板部の下流側に有り内部チャンバーに塵埃除去フィルタを配設して外部チャンバーに前記ファンユニット天板部と前記塵埃除去フィルタを収納した空気清浄ユニットであって、前記外部チャンバーに取付けたボルトが、前期天板に設けた複数の瓢箪型の孔に入ってスライドして固定することを特徴とするファンフィルタユニット。
ファンとモーターと天板のファンユニット天板部と、前記ファンユニット天板部の下流側に有り内部チャンバーに取付けたケミカルフィルタのケミカルフィルタ部と、塵埃除去フィルタを配設して外部チャンバーに前記ファンユニット天板部と前記ケミカルフィルタ部と前記塵埃除去フィルタを収納した空気清浄ユニットであって、前記外部チャンバーに取付けたリベット部材が、前期天板に設けた複数の瓢箪型の孔に入ってスライドして固定することを特徴とするファンフィルタユニット。
ファンとモーターと天板のファンユニット天板部と、前記ファンユニット天板部の下流側に有り内部チャンバーに取付けたケミカルフィルタのケミカルフィルタ部と、塵埃除去フィルタを配設して外部チャンバーに前記ファンユニット天板部と前記ケミカルフィルタ部と前記塵埃除去フィルタを収納した空気清浄ユニットであって、前記外部チャンバーに取付けたボルトが、前期天板に設けた複数の瓢箪型の孔に入ってスライドして固定することを特徴とするファンフィルタユニット。
外部チャンバー天板接触部に天板上流緩衝材を設けたことを特徴とする請求項１、２、３または４記載のファンフィルタユニット。
天板の下流側の外部チャンバーと接触する部分に外部チャンバー緩衝材を設けたことを特徴とする請求項１、２、３または４記載のファンフィルタユニット。
天板の天板上流緩衝材と外部チャンバーの外部チャンバー緩衝材を設けたことを特徴とする請求項１、２、３または４記載のファンフィルタユニット。
天板に複数の天板取っ手を設けたことを特徴とする請求項１、２、３、４、５、６または７記載のファンフィルタユニット。
外部チャンバーに複数のチャンバー取っ手を設けたことを特徴とする請求項１、２、３、４、５、６、７または８記載のファンフィルタユニット。
ケミカルフィルタの吹出し側に吹出し側緩衝材を設けたことを特徴とする請求項３、４、５、６、７、８または９記載のファンフィルタユニット。