JP2005328085A5 - - Google Patents
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Description
本発明の気化器は、
(1)内部に形成されたガス通路と、
該ガス通路に加圧されたキャリアガスを導入するためのガス導入口と、
該ガス通路に原料溶液を供給するための手段と、
原料溶液を含むキャリアガスを気化部に送るためのガス出口と、
該ガス通路を冷却するための手段と、
を有する分散部と、
(2)前記分散部から送られてきた、原料溶液を含むキャリアガスを加熱して気化させるための気化部と、
を有することを特徴とする。
(1)内部に形成されたガス通路と、
該ガス通路に加圧されたキャリアガスを導入するためのガス導入口と、
該ガス通路に原料溶液を供給するための手段と、
原料溶液を含むキャリアガスを気化部に送るためのガス出口と、
該ガス通路を冷却するための手段と、
を有する分散部と、
(2)前記分散部から送られてきた、原料溶液を含むキャリアガスを加熱して気化させるための気化部と、
を有することを特徴とする。
Claims (2)
- (1)内部に形成されたガス通路と、
該ガス通路に加圧されたキャリアガスを導入するためのガス導入口と、
該ガス通路に原料溶液を供給するための手段と、
原料溶液を含むキャリアガスを気化部に送るためのガス出口と、
該ガス通路を冷却するための手段と、
を有する分散部と、
(2)前記分散部から送られてきた、原料溶液を含むキャリアガスを加熱して気化させるための気化部と、
を有することを特徴とする気化器。 - 原料溶液を含むキャリアガスに直進流と旋回流とが併存する状態を与えて原料溶液を含むキャリアガスを気化部に供給し、該気化部において気化させることを特徴とする気化方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005216010A JP4238239B2 (ja) | 2005-07-26 | 2005-07-26 | 気化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005216010A JP4238239B2 (ja) | 2005-07-26 | 2005-07-26 | 気化方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003189112A Division JP3987465B2 (ja) | 2003-06-30 | 2003-06-30 | 気化器 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2008210130A Division JP5185726B2 (ja) | 2008-08-18 | 2008-08-18 | 気化器、薄膜形成装置及びｍｏｃｖｄ装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2005328085A JP2005328085A (ja) | 2005-11-24 |
| JP2005328085A5 true JP2005328085A5 (ja) | 2006-12-21 |
| JP4238239B2 JP4238239B2 (ja) | 2009-03-18 |
Family
ID=35474121
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005216010A Expired - Fee Related JP4238239B2 (ja) | 2005-07-26 | 2005-07-26 | 気化方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4238239B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010098308A1 (ja) * | 2009-02-24 | 2010-09-02 | 株式会社アルバック | 有機化合物蒸気発生装置及び有機薄膜製造装置 |
-
2005
- 2005-07-26 JP JP2005216010A patent/JP4238239B2/ja not_active Expired - Fee Related
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