JP2005327923A - Method and device of sticking conductive joint film - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a conductive joint film sticking method and a conductive joint film sticking device capable of performance enhancement with certainty, by improving productivity, versatility, and the like. <P>SOLUTION: The conductive coupling film sticking device 1 comprises a transferring mechanism 3 for transferring a sticking part Fa to a stuck part Pc. The transferring mechanism 3 is provided with a transfer head 9 having contact/separation action to/from the stuck part Pc via an electric conductive coupling film F from the separator S side. In this transfer head 9, there is provided a vibrator 11 possessing a pressurization oscillating side 12 formed in the same plane shape as the stuck part Pc. The electric conductive coupling film sticking method is constituted such that after locating the electric conductive coupling film F in the stuck part Pc, vibration and pressure may be granted to the sticking part Fa from the separator S side. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、電子部品の部品間の電気的な接続に用いられる導電接合膜を電子部品の被着部に貼着するのに好適な導電接合膜貼着方法および導電接合膜貼着装置に関する。   The present invention relates to a conductive bonding film sticking method and a conductive bonding film sticking apparatus suitable for sticking a conductive bonding film used for electrical connection between parts of an electronic component to an adhesion part of the electronic component.

従来から、電子部品の部品間の電気的な接続を導電接合膜により行う技術が知られている。例えば、回路基板の電極と、半導体、LED、抵抗、コンデンサなどのチップ化されたチップ部品の電極との接続を行うチップ部品の実装や、回路基板の電極と他の回路基板の電極との電気的な接続をハンダ付けのかわりに行う部品接続に導電接合膜が用いられている。このような導電接合膜としては、異方性導電膜(ACF:Anisotropic Conductive Film )が一般的に用いられている。   2. Description of the Related Art Conventionally, a technique for performing electrical connection between electronic components using a conductive bonding film is known. For example, mounting of a chip component that connects an electrode of a circuit board and an electrode of a chip component made into a chip such as a semiconductor, LED, resistor, capacitor, etc., or electrical connection between an electrode of a circuit board and an electrode of another circuit board Conductive bonding films are used for connecting parts that perform general connection instead of soldering. As such a conductive bonding film, an anisotropic conductive film (ACF: Anisotropic Conductive Film) is generally used.

前記異方性導電膜は、絶縁性を具備する接着剤(バインダ)と導電粒子とにより構成されている。この接着剤としては、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂などを挙げることができる。そして、異方性導電材に用いる導電粒子としては、ニッケル、銅などの金属粒子あるいは樹脂ビーズにニッケル、金などの金属を被覆した粒子などを挙げることができる。また、異方性導電膜は、絶縁性を有する接着剤中に導電粒子が分散されていることにより、厚み方向(接続方向)に導電性を有し、面方向(水平方向)に絶縁性を有する電気的異方性を備えたものである。この異方性導電膜による接続は、基本的には加熱圧着であり、導電粒子が電気的な接続の機能を分担し、接着剤が圧接状態を保持する機能を分担するようになっている。また、異方性導電膜は、被着部に貼り付ける前は、両面テープの如き構成、すなわち、ポリエチレンテレフタレート(PET)あるいはポリイミド(PI)などの可撓性を有するフィルム状のセパレータ(剥離フィルム)に異方性導電膜を剥離可能に積層したテープ状の異方性導電テープとして供給されるようになっている。   The anisotropic conductive film is composed of an adhesive (binder) having insulating properties and conductive particles. Examples of the adhesive include thermoplastic resins and thermosetting resins. Examples of the conductive particles used for the anisotropic conductive material include metal particles such as nickel and copper, or particles obtained by coating a resin bead with a metal such as nickel and gold. In addition, the anisotropic conductive film has conductivity in the thickness direction (connection direction) and conductivity in the surface direction (horizontal direction) by dispersing conductive particles in the insulating adhesive. It has electrical anisotropy. The connection by the anisotropic conductive film is basically thermocompression bonding, and the conductive particles share the function of electrical connection, and the adhesive shares the function of maintaining the pressure contact state. In addition, the anisotropic conductive film has a structure like a double-sided tape, that is, a flexible film-like separator such as polyethylene terephthalate (PET) or polyimide (PI) (release film) before being attached to the adherend. ) Is supplied as a tape-like anisotropic conductive tape in which an anisotropic conductive film is detachably laminated.

電子部品の被着部に導電接合膜としての異方性導電膜を貼り付ける方法としては、例えば、セパレータに貼り付けたまま異方性導電膜のみを所定の大きさに切断し、セパレータとともに電子部品の被着部の上に移動させた後、加熱圧着によって異方性導電膜を被着部の電極が配置されている被着面上に仮付けし、その後、仮付けした異方性導電膜からセパレータを剥がす構成の異方性導電膜貼着方法が導電接合膜貼着方法として知られている。このような導電接合膜貼着方法を実現するため、異方性導電テープを供給リールから巻取りリールに送るテープ送り機構、異方性導電テープの異方性導電膜部分のみに切れ目を入れるハーフカット機構、異方性導電膜を被着部に貼り付ける圧着機構、セパレータを異方性導電膜から剥がす剥離機構を有する異方性導電膜貼着装置が導電接合膜貼着装置として提案されている(例えば、特許文献1参照)。   As a method for attaching an anisotropic conductive film as a conductive bonding film to an adhesion part of an electronic component, for example, only the anisotropic conductive film is cut to a predetermined size while being attached to the separator, and the electronic film is attached together with the separator. After moving onto the adherend part of the component, the anisotropic conductive film is temporarily attached to the adherend surface on which the electrode of the adherent part is arranged by thermocompression bonding, and then the temporarily attached anisotropic conductive film An anisotropic conductive film sticking method in which a separator is peeled off from a film is known as a conductive bonding film sticking method. In order to realize such a conductive bonding film sticking method, a tape feeding mechanism that feeds the anisotropic conductive tape from the supply reel to the take-up reel, and a half that cuts only the anisotropic conductive film portion of the anisotropic conductive tape. An anisotropic conductive film sticking device having a cutting mechanism, a pressure bonding mechanism for sticking an anisotropic conductive film to an adherend, and a peeling mechanism for peeling the separator from the anisotropic conductive film has been proposed as a conductive bonding film sticking device. (For example, refer to Patent Document 1).

従来の導電接合膜貼着方法を実施する導電接合膜貼着装置について、異方性導電膜貼着方法を実施する異方性導電膜貼着装置を例示して説明する。   About the conductive bonding film sticking apparatus which implements the conventional conductive bonding film sticking method, the anisotropic conductive film sticking apparatus which implements the anisotropic conductive film sticking method will be exemplified and described.

図5は従来の異方性導電膜貼着方法を実施する異方性導電膜貼着装置を示すものである。従来の異方性導電膜貼着装置101には、テープ状のセパレータSに異方性導電膜Fを積層した異方性導電テープTが用いられている。この異方性導電テープTは、テープ送り機構102の一対のリール103、104間に巻回されており、図5左側に示す一方のリール103は、異方性導電テープTを送り出す送出リールとされ、図5右側に示す他方のリール104は、異方性導電テープTを巻き取る巻取りリールとされている。また、両リール103、104は、各部の動作を制御する制御部を備えたフレーム(共に図示せず)に配設されており、異方性導電テープTを送出リール103から巻き取りリール104に向かって送ることができるように形成されている。また、テープ送り機構102には、異方性導電テープTのテープ移動経路に臨む2つのガイドローラ105、106が配設されており、これらのガイドローラ105、106を異方性導電テープTのセパレータSに当接させることによって、異方性導電テープTのテープ移動経路が図5に矢印にて示すように制御されている。なお、テープ送り機構102には、異方性導電テープTを円滑に送ることができるように、テンションローラなどの図示しない張力付与手段が設けられている。   FIG. 5 shows an anisotropic conductive film sticking apparatus for carrying out a conventional anisotropic conductive film sticking method. In the conventional anisotropic conductive film sticking apparatus 101, an anisotropic conductive tape T in which an anisotropic conductive film F is laminated on a tape-shaped separator S is used. The anisotropic conductive tape T is wound between a pair of reels 103 and 104 of the tape feeding mechanism 102. One reel 103 shown on the left side of FIG. The other reel 104 shown on the right side of FIG. 5 is a take-up reel for winding the anisotropic conductive tape T. Both reels 103 and 104 are arranged in a frame (both not shown) having a control unit for controlling the operation of each unit, and the anisotropic conductive tape T is transferred from the delivery reel 103 to the take-up reel 104. It is formed so that it can be sent toward. The tape feed mechanism 102 is provided with two guide rollers 105 and 106 facing the tape moving path of the anisotropic conductive tape T, and these guide rollers 105 and 106 are arranged on the anisotropic conductive tape T. By contacting the separator S, the tape moving path of the anisotropic conductive tape T is controlled as indicated by arrows in FIG. The tape feeding mechanism 102 is provided with tension applying means (not shown) such as a tension roller so that the anisotropic conductive tape T can be smoothly fed.

そして、異方性導電テープTがテープ移動経路に沿って移動する途中に、テープ移動方向の上流側から順に、ハーフカット機構107と圧着機構108とが配設されている。   A half-cut mechanism 107 and a pressure-bonding mechanism 108 are arranged in this order from the upstream side in the tape moving direction while the anisotropic conductive tape T moves along the tape moving path.

前記ハーフカット機構107は、異方性導電テープTの異方性導電膜F部分のみに切れ目を入れるためのものであり、異方性導電テープTの異方性導電膜Fと対向するように配設されたカッター109を有している。このカッター109は、異方性導電テープTの異方性導電膜Fに対して接離可能に形成されている。   The half-cut mechanism 107 is for cutting only the anisotropic conductive film F portion of the anisotropic conductive tape T and is opposed to the anisotropic conductive film F of the anisotropic conductive tape T. A cutter 109 is provided. The cutter 109 is formed so as to be able to contact and separate from the anisotropic conductive film F of the anisotropic conductive tape T.

前記圧着機構108は、カッター109により所定形状に形成された異方性導電膜Fを回路基板などの電子部品Pの電極が形成されている被着部Pc上に貼り付け(仮圧着)するためのものであり、加熱可能な圧着ヘッド110を有している。この圧着ヘッド110は、その先端面(圧着面)が異方性導電テープTのセパレータSと対向するように配設されている。また、圧着ヘッド110の先端面は、平坦に形成されており、異方性導電テープTのセパレータSに対して接離可能に形成されている。   The crimping mechanism 108 is for pasting (temporary crimping) the anisotropic conductive film F formed in a predetermined shape by the cutter 109 onto the adherend Pc on which the electrode of the electronic component P such as a circuit board is formed. And has a heatable crimping head 110. The pressure-bonding head 110 is disposed such that the front end surface (pressure-bonded surface) faces the separator S of the anisotropic conductive tape T. Moreover, the front end surface of the crimping head 110 is formed flat and is formed so as to be able to contact and separate from the separator S of the anisotropic conductive tape T.

前記ハーフカット機構107のテープ移動経路の下流側には、電子部品Pを所定位置に搬送保持する搬送機構111が配置されており、電子部品Pの被着部Pcを異方性導電テープTを介して圧着ヘッド110の先端面と対向する位置に搬送保持することができるようになっている。   A transport mechanism 111 that transports and holds the electronic component P at a predetermined position is disposed on the downstream side of the tape moving path of the half-cut mechanism 107, and the adherend portion Pc of the electronic component P is attached to the anisotropic conductive tape T. Thus, it can be conveyed and held at a position facing the front end surface of the crimping head 110.

このような構成からなる異方性導電膜貼着装置101によれば、図6(a)に示すように、異方性導電膜Fのみを所定位置でハーフカット機構107のカッター109により切断し、ついで、異方性導電テープTをテープ経路に沿って所定の長さ分送った後に、図6(b)に示すように、異方性導電膜Fのみを再びカッター109で切断することにより、異方性導電膜Fの貼着に供する貼着部位Faを得る。ついで、異方性導電テープTをテープ経路に沿って所定の長さ分送るとともに、電子部品Pを所定の位置に搬送保持することにより、被着部Pcを圧着ヘッド110の先端面と対向する位置に搬送保持するとともに、貼着部位Faを被着部Pcと対向させる。ついで、図6(c)に示すように、圧着機構108の圧着ヘッド110を異方性導電テープTのセパレータS側に軽い圧力と80℃程度の熱を加えながら当接させることで、異方性導電膜Fの貼着部位Faに圧力および熱を加えて、異方性導電膜Fの貼着部位Faを電子部品Pの被着部Pcに仮付けする。ついで、図6(d)に示すように、仮付けした異方性導電膜Fの貼着部位FaからセパレータSを剥離することにより、貼着部位Faを被着部Pcに貼り付ける(仮付けする)異方性導電膜貼着方法が実施されるようになっている。   According to the anisotropic conductive film sticking apparatus 101 having such a configuration, as shown in FIG. 6A, only the anisotropic conductive film F is cut at a predetermined position by the cutter 109 of the half-cut mechanism 107. Then, after feeding the anisotropic conductive tape T by a predetermined length along the tape path, only the anisotropic conductive film F is cut again by the cutter 109 as shown in FIG. 6B. The sticking site | part Fa used for sticking of the anisotropic conductive film F is obtained. Next, the anisotropic conductive tape T is fed by a predetermined length along the tape path, and the electronic component P is conveyed and held at a predetermined position, so that the adherend Pc is opposed to the front end surface of the pressure-bonding head 110. While being transported and held at the position, the attachment site Fa is made to face the adherend Pc. Next, as shown in FIG. 6 (c), the pressure-bonding head 110 of the pressure-bonding mechanism 108 is brought into contact with the separator S side of the anisotropic conductive tape T while applying light pressure and heat of about 80 ° C. Pressure and heat are applied to the adhesion part Fa of the conductive film F, and the adhesion part Fa of the anisotropic conductive film F is temporarily attached to the adherend Pc of the electronic component P. Next, as shown in FIG. 6 (d), the separator S is peeled off from the sticking portion Fa of the temporarily attached anisotropic conductive film F, thereby sticking the sticking portion Fa to the adherend Pc (temporary attachment). Yes) An anisotropic conductive film sticking method is implemented.

なお、セパレータSの剥離は、テープ送り機構102の全体あるいはガイドローラ105、106を上方に移動させたり、セパレータ剥離機構を用いることで行われるようになっている。   The separator S is peeled off by moving the entire tape feed mechanism 102 or the guide rollers 105 and 106 upward or using a separator peeling mechanism.

特開平5−53130号公報JP-A-5-53130

しかしながら、従来の異方性導電膜貼着方法を実施する異方性導電膜貼着装置101においては、近年の生産性および汎用性などの向上による高性能化を図ることができないという問題点があった。   However, in the anisotropic conductive film pasting apparatus 101 that performs the conventional anisotropic conductive film pasting method, there is a problem that it is not possible to achieve high performance by improving productivity and versatility in recent years. there were.

すなわち、従来の異方性導電膜貼着方法を実施する異方性導電膜貼着装置101においては、セパレータSに積層されている異方性導電膜Fにカッター109の切断刃を直接接触させて切断する構成とされているため、切断刃に異方性導電膜Fの一部が付着し、カッター109のメンテナンスを必要とするという問題点があった。   That is, in the anisotropic conductive film bonding apparatus 101 that performs the conventional anisotropic conductive film bonding method, the cutting blade of the cutter 109 is brought into direct contact with the anisotropic conductive film F stacked on the separator S. Therefore, there is a problem in that a part of the anisotropic conductive film F adheres to the cutting blade and maintenance of the cutter 109 is required.

また、従来の異方性導電膜貼着方法を実施する異方性導電膜貼着装置101においては、セパレータSに積層されている異方性導電膜Fにカッター109の切断刃を2回当てて切断することにより異方性導電膜Fの貼着に供する貼着部位Faを得る構成とされているため、貼着部位Faの平面形状が長方形に限定されるという問題点があった。その結果、電子部品Pの被着部Pcの多種多様の形状に対応することができない、すなわち、汎用性に劣るという問題点があった。   Moreover, in the anisotropic conductive film sticking apparatus 101 which implements the conventional anisotropic conductive film sticking method, the cutting blade of the cutter 109 is applied twice to the anisotropic conductive film F laminated on the separator S. Since it is set as the structure which obtains the sticking site | part Fa used for sticking of the anisotropic conductive film F by cut | disconnecting, there existed a problem that the planar shape of the sticking site | part Fa was limited to a rectangle. As a result, there is a problem in that it cannot cope with various shapes of the adherend part Pc of the electronic component P, that is, it is inferior in versatility.

さらに、従来の異方性導電膜貼着方法を実施する異方性導電膜貼着装置101においては、異方性導電膜Fの貼着に供する貼着部位Faを得るためのハーフカット機構107と、異方性導電膜Fの貼着に供する貼着部位Faを電子部品Pの被着部Pcに仮付けする圧着機構108とを個別に配置する構成とされているため、全体構成が複雑になるという問題点があった。このことは、ハーフカット機構107による異方性導電膜Fの2回の切断を実施した後に、圧着機構108による仮付け工程を実施する必要があるためタクトタイムの増加を招くことになる。   Furthermore, in the anisotropic conductive film sticking apparatus 101 that performs the conventional anisotropic conductive film sticking method, the half-cut mechanism 107 for obtaining the sticking part Fa used for sticking the anisotropic conductive film F is used. And the pressure bonding mechanism 108 for temporarily attaching the bonding portion Fa to be bonded to the anisotropic conductive film F to the adherend portion Pc of the electronic component P, the overall configuration is complicated. There was a problem of becoming. This leads to an increase in tact time because it is necessary to carry out a temporary attachment process by the pressure-bonding mechanism 108 after the cutting of the anisotropic conductive film F by the half-cut mechanism 107 twice.

そこで、生産性および汎用性などの向上による高性能化を確実に図ることのできる導電接合膜貼着方法および導電接合膜貼着装置が求められている。   Therefore, there is a need for a conductive bonding film sticking method and a conductive bonding film sticking apparatus that can reliably improve performance by improving productivity and versatility.

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、生産性および汎用性などの向上による高性能化を確実に図ることのできる導電接合膜貼着方法および導電接合膜貼着装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above points, and provides a conductive bonding film bonding method and a conductive bonding film bonding apparatus capable of surely improving performance by improving productivity and versatility. The purpose is to do.

前述した目的を達成するため、本発明の導電接合膜貼着方法の特徴は、セパレータに積層されている導電接合膜の貼着に供する貼着部位を電子部品の被着部に貼着するための導電接合膜貼着方法であって、前記導電接合膜を前記被着部に位置させた後に、前記セパレータ側から前記貼着部位に振動および圧力を付与する点にある。   In order to achieve the above-described object, the conductive bonding film sticking method of the present invention is characterized in that a sticking site used for sticking a conductive bonding film laminated on a separator is stuck on an adherent portion of an electronic component. In this method, the conductive bonding film is positioned on the adherend, and then vibration and pressure are applied from the separator side to the bonding site.

本発明の導電接合膜貼着方法においては、前記振動として、超音波振動を用いることが好ましく、また、前記導電接合膜として、異方性導電接合膜を用いることが好ましい   In the conductive bonding film sticking method of the present invention, it is preferable to use ultrasonic vibration as the vibration, and it is preferable to use an anisotropic conductive bonding film as the conductive bonding film.

前記貼着部位が複数である場合には、これらの複数の貼着部位のそれぞれに振動および圧力を同時に付与することが好ましい。   When there are a plurality of sticking parts, it is preferable that vibration and pressure are simultaneously applied to each of the plurality of sticking parts.

また、本発明の導電接合膜貼着装置の特徴は、セパレータに積層されている導電接合膜の貼着に供する貼着部位を電子部品の被着部に貼着するための導電接合膜貼着装置であって、前記貼着部位を前記被着部に転写するための転写機構を有しており、前記転写機構には、前記セパレータ側から前記導電接合膜を介して前記被着部に接離可能とされた転写ヘッドが設けられており、この転写ヘッドには、前記被着部と同一平面形状に形成されている加圧振動面を具備する振動子が設けられている点にある。   In addition, the conductive bonding film sticking apparatus of the present invention is characterized in that the conductive bonding film sticking for sticking the sticking part for sticking the conductive bonding film laminated on the separator to the adherend part of the electronic component. An apparatus having a transfer mechanism for transferring the sticking part to the adherend, the transfer mechanism contacting the adherent from the separator side via the conductive bonding film. A transfer head that can be separated is provided, and this transfer head is provided with a vibrator having a pressurizing vibration surface that is formed in the same plane as the adherend.

本発明の導電接合膜貼着装置においては、前記振動子が、超音波発振器に接続されていることが好ましく、また、前記導電接合膜が、異方性導電膜であることが好ましい。さらに、前記転写ヘッドに、複数の前記加圧振動面が突設されている構成としてもよい。   In the conductive bonding film sticking apparatus of the present invention, the vibrator is preferably connected to an ultrasonic oscillator, and the conductive bonding film is preferably an anisotropic conductive film. Furthermore, a configuration may be adopted in which a plurality of the pressure vibration surfaces protrude from the transfer head.

本発明に係る導電接合膜貼着方法および導電接合膜貼着装置によれば、生産性および汎用性などの向上による高性能化を確実に図ることができる。また、本発明の導電接合膜貼着装置によれば、本発明の導電接合膜貼着方法を確実かつ容易に実施することができるなどの極めて優れた効果を奏する。   According to the conductive bonding film sticking method and the conductive bonding film sticking apparatus according to the present invention, it is possible to reliably achieve high performance by improving productivity and versatility. Moreover, according to the electroconductive bonding film sticking apparatus of this invention, there exists an outstanding effect that the conductive bonding film sticking method of this invention can be implemented reliably and easily.

以下、本発明を図面に示す実施形態により説明する。なお、前述した従来のものと同一ないし相当する構成については図面中に同一の符号を付しその説明は省略する。   The present invention will be described below with reference to embodiments shown in the drawings. Note that the same or corresponding components as those of the conventional one described above are denoted by the same reference numerals in the drawings, and description thereof is omitted.

図1および図2は、本発明に係る導電接合膜貼着方法を実施する導電接合膜貼着装置の実施形態を示すものであり、図1は全体構成の要部を簡略化して示す概略図、図2は転写ヘッドの拡大正面図である。   FIG. 1 and FIG. 2 show an embodiment of a conductive bonding film sticking apparatus for carrying out the conductive bonding film sticking method according to the present invention, and FIG. 1 is a schematic view showing the main part of the overall configuration in a simplified manner. FIG. 2 is an enlarged front view of the transfer head.

本実施形態の導電接合膜貼着装置1は、電子部品Pの被着部Pcに貼着する導電接合膜として異方性導電膜Fが用いられており、セパレータに導電接合膜を積層した導電接合膜テープとして、従来と同様に、テープ状のセパレータSに異方性導電膜Fを積層した異方性導電テープTが用いられている。   In the conductive bonding film sticking apparatus 1 of the present embodiment, an anisotropic conductive film F is used as a conductive bonding film to be stuck to the adherend part Pc of the electronic component P, and a conductive film in which a conductive bonding film is stacked on a separator. As a bonding film tape, an anisotropic conductive tape T in which an anisotropic conductive film F is laminated on a tape-shaped separator S is used as in the past.

図1に示すように、本実施形態の導電接合膜貼着装置1は、テープ送り機構2、転写機構3および搬送機構4を有している。   As shown in FIG. 1, the conductive bonding film sticking apparatus 1 of the present embodiment includes a tape feeding mechanism 2, a transfer mechanism 3, and a transport mechanism 4.

前記テープ送り機構2は、導電接合膜テープとしての異方性導電テープTを所定のテープ移動経路に沿って送るためのものであり、異方性導電テープTが巻回される一対のリール5、6を有している。これらのリール5、6は、図1左側に示す一方のリールが異方性導電テープTを送り出す送出リールとされ、図1右側に示す他方のリールが異方性導電テープTを巻き取る巻取りリールとされている。これらのリール5、6は、各部の動作を制御するCPU、メモリなどを具備する制御部を備えたフレーム(図示せず)に配設されている。また、テープ移動経路には、複数、本実施形態においては2つのガイドローラ7、8が異方性導電テープTのテープ移動経路に臨むように配設されており、これらのガイドローラ7、8を異方性導電テープTのセパレータSに当接させることで、異方性導電テープTのテープ移動経路が図1の矢印にて示すように制御されている。そして、テープ送り機構2は、制御部から送出される制御指令に基づいて、所定のタイミングで駆動されるステッピングモータなどの図示しないアクチュエータの駆動力によって、所定のタイミング、かつ、所定の速度で、異方性導電テープTを送出リール5から巻き取りリール6に向かって所定のテープ移動経路に沿って送ることができるように形成されている。   The tape feeding mechanism 2 is for feeding an anisotropic conductive tape T as a conductive bonding film tape along a predetermined tape movement path, and a pair of reels 5 around which the anisotropic conductive tape T is wound. , 6. These reels 5 and 6 are used as a delivery reel in which one of the reels shown on the left side of FIG. 1 feeds the anisotropic conductive tape T, and the other reel shown on the right side of FIG. It is said to be a reel. These reels 5 and 6 are arranged in a frame (not shown) provided with a control unit including a CPU, a memory and the like for controlling the operation of each unit. Further, a plurality of, in the present embodiment, two guide rollers 7 and 8 are arranged in the tape moving path so as to face the tape moving path of the anisotropic conductive tape T, and these guide rollers 7 and 8 are arranged. Is brought into contact with the separator S of the anisotropic conductive tape T, so that the tape moving path of the anisotropic conductive tape T is controlled as indicated by the arrows in FIG. The tape feeding mechanism 2 is driven at a predetermined timing and at a predetermined speed by a driving force of an actuator (not shown) such as a stepping motor driven at a predetermined timing based on a control command sent from the control unit. The anisotropic conductive tape T is formed so as to be fed from the delivery reel 5 toward the take-up reel 6 along a predetermined tape moving path.

なお、テープ送り機構2には、異方性導電テープTを円滑に送ることができるように、テンションローラなどの図示しない張力付与手段が設けられている。   The tape feeding mechanism 2 is provided with tension applying means (not shown) such as a tension roller so that the anisotropic conductive tape T can be smoothly fed.

また、テープ送り機構2としては、従来公知の各種のものから選択使用することができる。   The tape feeding mechanism 2 can be selected from various conventionally known ones.

前記転写機構3は、異方性導電膜Fの貼着部位Faを電子部品Pの被着部Pcに転写、すなわち、貼着部位Faの被着部Pcへの貼り付けを行うためのものであり、この転写機構3は、異方性導電テープTがテープ移動経路に沿って送られる途中に設けられている。   The transfer mechanism 3 is for transferring the adhesion part Fa of the anisotropic conductive film F to the adhesion part Pc of the electronic component P, that is, for adhering the adhesion part Fa to the adhesion part Pc. The transfer mechanism 3 is provided in the middle of feeding the anisotropic conductive tape T along the tape moving path.

本実施形態のテープ転写機構3は、転写ヘッド9を有している。この転写ヘッド9は、図1下方に示す平坦な先端面9aを異方性導電テープTのセパレータSと対向するように配設されている。また、転写ヘッド9には、振動発生装置としての超音波発振器10が接続されている。すなわち、本実施形態においては、転写ヘッド9の全体が振動子11とされている。   The tape transfer mechanism 3 of this embodiment has a transfer head 9. The transfer head 9 is disposed such that a flat front end surface 9a shown in the lower part of FIG. 1 faces the separator S of the anisotropic conductive tape T. The transfer head 9 is connected to an ultrasonic oscillator 10 as a vibration generator. That is, in the present embodiment, the entire transfer head 9 is the vibrator 11.

図2に詳示するように、転写ヘッド9の先端面9aは、被着部Pcと同一平面形状に形成された加圧振動面12とされている。そして、転写ヘッド9は、制御部から送出される制御指令に基づいて所定のタイミングで駆動される往復動シリンダなどのアクチュエータ13の駆動力によって上下方向に往復動可能とされている。そして、転写ヘッド9の往復動により、転写ヘッド9の先端面9aたる振動面12は、所定の速度、かつ、所定の圧力でセパレータ側から異方性導電テープTを介して被着部Pcに接離可能とされている。   As shown in detail in FIG. 2, the front end surface 9a of the transfer head 9 is a pressing vibration surface 12 formed in the same plane shape as the adherend Pc. The transfer head 9 can be reciprocated in the vertical direction by a driving force of an actuator 13 such as a reciprocating cylinder driven at a predetermined timing based on a control command sent from the control unit. Then, due to the reciprocating movement of the transfer head 9, the vibration surface 12 as the leading end surface 9 a of the transfer head 9 is applied to the adherend Pc from the separator side through the anisotropic conductive tape T at a predetermined speed and a predetermined pressure. It can be connected and separated.

すなわち、転写機構3には、セパレータ側から異方性導電膜Fを介して被着部Pcに接離可能とされた転写ヘッド9が設けられている。   In other words, the transfer mechanism 3 is provided with a transfer head 9 that can be brought into and out of contact with the adherend Pc through the anisotropic conductive film F from the separator side.

前記加圧振動面12の形状およびサイズは、被着部Pcの形状およびサイズに応じて選択することができる。この加圧振動面12の形状としては、円形、楕円形、三角形、正方形を含む四角形、多角形、台形、直線および曲線を単独もしくは組み合わせた形などの各種の形状を挙げることができる。   The shape and size of the pressing vibration surface 12 can be selected according to the shape and size of the adherend Pc. Examples of the shape of the pressure vibration surface 12 include various shapes such as a circle, an ellipse, a triangle, a quadrangle including a square, a polygon, a trapezoid, a straight line, and a curve.

また、加圧振動面12の形成位置は、セパレータSと対向し得る位置であればよい。例えば、セパレータSに向かって接離可能とされた転写ヘッド9を、水平軸心を中心として回転可能な断面多角形状の胴部を有する構成とし、この胴部の周囲の各面に、それぞれ異なる形状の加圧振動面12を設けることができる。このような構成とすることで、転写ヘッド9に汎用性をもたせることができるので、段取り時間の短縮化を図ることができる。   Moreover, the formation position of the pressurization vibration surface 12 should just be a position which can oppose the separator S. FIG. For example, the transfer head 9 that can be moved toward and away from the separator S has a barrel section having a polygonal cross section that can rotate around a horizontal axis, and is different on each surface around the barrel section. A pressurizing vibration surface 12 having a shape can be provided. With such a configuration, the transfer head 9 can be provided with versatility, and the setup time can be shortened.

なお、振動子11とアクチュエータ13との接続部には、図示しない防振ゴムなどの防振装置を介装することが、振動によるアクチュエータ13への悪影響を防止することができるという意味で好ましい。   In addition, it is preferable that a vibration isolating device such as an anti-vibration rubber (not shown) is interposed in the connection portion between the vibrator 11 and the actuator 13 in the sense that adverse effects on the actuator 13 due to vibration can be prevented.

また、転写ヘッド9の少なくとも加圧振動面12を樹脂などからなる保護カバーによって被覆する構成としてもよい。   Further, at least the pressure vibration surface 12 of the transfer head 9 may be covered with a protective cover made of resin or the like.

前記振動子11としては、工具鋼などの金属、セラミックス、ルビーなどの振動の伝達と加圧力に耐えうる各種の素材から選択することができるが、工具鋼を素材として形成することが、加工が容易であるとともに、硬さ、耐摩耗性および耐久性に優れたものを容易かつ安価に得ることができるという意味で好ましい。   The vibrator 11 can be selected from various materials that can withstand vibration transmission and applied pressure, such as metal such as tool steel, ceramics, and ruby. It is preferable in the sense that it is easy and can be obtained easily and inexpensively with excellent hardness, wear resistance and durability.

なお、加圧振動面12を具備する振動子11を個別に形成し、この振動子11を転写ヘッド9の先端部に固着する構成としてもよい。すなわち、転写ヘッド9には、加圧振動面12を具備する振動子11が設けられていればよい。   Note that the vibrator 11 having the pressurizing vibration surface 12 may be formed individually, and the vibrator 11 may be fixed to the tip of the transfer head 9. That is, the transfer head 9 only needs to be provided with the vibrator 11 having the pressure vibration surface 12.

また、回路基板に複数のチップ部品を実装する場合などのように、電子部品Pに被着部Pcが複数設けられている場合には、1つの転写ヘッド9に、被着部Pcの数と位置に合わせて、複数の加圧振動面12を突設するとよい。この複数の加圧振動面12を設けた転写ヘッド9Aの一例を図3に示す。このように、1つの転写ヘッド9Aに、複数の加圧振動面12を突設する構成とすることで、高密度配置された複数の被着部Pcへの異方性導電膜Fの貼着を同時に行うことが容易にできる。すなわち、異方性導電膜Fの高密度配置を容易に行うことができる。   Further, when a plurality of adherend parts Pc are provided on the electronic component P, such as when a plurality of chip parts are mounted on a circuit board, the number of the adherent parts Pc is set on one transfer head 9. A plurality of pressurizing vibration surfaces 12 may be provided in a projecting manner according to the position. An example of the transfer head 9A provided with the plurality of pressure vibration surfaces 12 is shown in FIG. As described above, the anisotropic conductive film F is adhered to the plurality of adherends Pc arranged at high density by providing a configuration in which the plurality of pressure vibration surfaces 12 protrude from one transfer head 9A. Can be easily performed simultaneously. That is, high density arrangement of the anisotropic conductive film F can be easily performed.

前記搬送機構4は、電子部品Pを所定位置に搬送保持するためのものであり、電子部品Pの被着部Pcを異方性導電テープTを介して転写ヘッド9の先端面9aと対向する位置に搬送保持することができるようになっている。   The transport mechanism 4 is for transporting and holding the electronic component P at a predetermined position, and the adherend portion Pc of the electronic component P is opposed to the front end surface 9a of the transfer head 9 via the anisotropic conductive tape T. It can be conveyed and held at the position.

なお、搬送機構4としては、従来公知の各種のものから選択使用することができる。   The transport mechanism 4 can be selected from various conventionally known ones.

つぎに、本発明に係る導電接合膜貼着装置の作用について本発明の導電接合膜貼着方法とともに説明する。   Next, the operation of the conductive bonding film bonding apparatus according to the present invention will be described together with the conductive bonding film bonding method of the present invention.

図4は本発明に係る導電接合膜貼着方法の実施形態を示すものであり、図4(a)は異方性導電テープを被着部に位置させたセット状態の要部を示す概略説明断面図、図4(b)は図4(a)に続く転写ヘッドによる貼着部位の貼着状態の要部を示す概略説明断面図、図4(c)は図4(b)に続く転写ヘッドの復帰状態の要部を示す概略説明断面図、図4(d)は図4(c)に続く貼着部位の貼付完了状態の要部を示す概略説明断面図である。   FIG. 4 shows an embodiment of the conductive bonding film sticking method according to the present invention, and FIG. 4 (a) is a schematic explanation showing the main part in a set state in which the anisotropic conductive tape is positioned on the adherend. Sectional drawing, FIG. 4B is a schematic explanatory sectional view showing the main part of the pasting state of the pasting part by the transfer head following FIG. 4A, and FIG. 4C is the transfer following FIG. FIG. 4D is a schematic explanatory cross-sectional view showing a main part in a state where the sticking is completed at the sticking site following FIG. 4C.

本実施形態の導電接合膜貼着方法は、前述した図1に示す本実施形態の導電接合膜貼着装置1を用いて実施する。   The conductive bonding film sticking method of this embodiment is implemented using the conductive bonding film sticking apparatus 1 of this embodiment shown in FIG.

そして、本実施形態の導電接合膜貼着方法を開始すると、テープ送り機構2および搬送機構4が駆動し、異方性導電テープTを所定の位置に送るとともに、電子部品Pの被着部Pcが異方性導電テープTを介して転写ヘッド9の先端面9aと対向する位置に搬送保持される。そして、従来公知の如く、テープ送り機構2の全体あるいはガイドローラ7、8を下方に移動させたりすることで、電子部品Pの被着部Pc上に異方性導電テープTを位置させる。これにより、被着部Pcの上方に転写ヘッド9の先端面9aが異方性導電テープTを介して対向配置される。この異方性導電テープTを電子部品Pの被着部Pcに位置させたセット状態を図4(a)に示す。   Then, when the conductive bonding film sticking method of the present embodiment is started, the tape feeding mechanism 2 and the transport mechanism 4 are driven to send the anisotropic conductive tape T to a predetermined position, and the adherend portion Pc of the electronic component P. Is conveyed and held at a position facing the front end surface 9a of the transfer head 9 via the anisotropic conductive tape T. Then, as is conventionally known, the anisotropic conductive tape T is positioned on the adherend Pc of the electronic component P by moving the entire tape feeding mechanism 2 or the guide rollers 7 and 8 downward. As a result, the front end surface 9a of the transfer head 9 is disposed so as to face the adherent part Pc via the anisotropic conductive tape T. FIG. 4A shows a set state in which the anisotropic conductive tape T is positioned on the adherend Pc of the electronic component P. FIG.

ついで、アクチュエータ13を駆動して、転写ヘッド9を異方性導電テープTのセパレータ側に下降し、先端面9aたる加圧振動面12を異方性導電テープTのセパレータSに押しつけて加圧するとともに、超音波発振器10を駆動する。すると、異方性導電膜Fの貼着部位Faが加圧振動され、超音波振動による摩擦熱によって、貼着部位Faが溶融し被着部Pcに貼り付く。この転写ヘッド9の加圧振動面12による異方性導電膜Fの貼着部位Faの加圧振動状態を図4(b)に示す。   Next, the actuator 13 is driven to lower the transfer head 9 toward the separator side of the anisotropic conductive tape T and pressurize the pressurizing vibration surface 12 as the end face 9a against the separator S of the anisotropic conductive tape T. At the same time, the ultrasonic oscillator 10 is driven. Then, the adhesion site Fa of the anisotropic conductive film F is vibrated under pressure, and the adhesion site Fa is melted and adhered to the adherend Pc by frictional heat due to ultrasonic vibration. FIG. 4B shows a pressure vibration state of the adhesion site Fa of the anisotropic conductive film F by the pressure vibration surface 12 of the transfer head 9.

ここで、異方性導電膜Fの貼着部位Faの加圧振動による被着部Pcへの貼り付けについて具体的に説明する。   Here, the sticking to the adherend Pc by the pressure vibration of the sticking part Fa of the anisotropic conductive film F will be specifically described.

例えば、異方性導電テープTとして、ソニーケミカル株式会社製ACF(型番FP3111N:PETからなるセパレータSの厚さ50μm、異方性導電膜Fの厚さ50μm、異方性導電膜Fのバインダがエポキシ樹脂、導電粒子が樹脂にニッケル/金メッキを施した粒径5μm、導電粒子数が1平方ミリメートル当たり150万個)を用い、電子部品Pの被着部Pcを回路が形成されているガラスエポキシ基板の外部接続端子(電極)の形成部とし、貼着部位Faの形状を正方形とし、転写ヘッド9の加圧振動面12を正方形とする。   For example, as the anisotropic conductive tape T, an ACF manufactured by Sony Chemical Co., Ltd. (model number FP3111N: a separator S made of PET having a thickness of 50 μm, an anisotropic conductive film F having a thickness of 50 μm, and an anisotropic conductive film F having a binder) Glass epoxy in which a circuit is formed on the adherend portion Pc of the electronic component P using an epoxy resin, a conductive particle having a particle diameter of 5 μm obtained by nickel / gold plating on the resin, and a number of conductive particles of 1.5 million per square millimeter) The external connection terminal (electrode) forming part of the substrate is used, the shape of the sticking part Fa is square, and the pressure vibration surface 12 of the transfer head 9 is square.

そして、被着部Pc、すなわち、加圧振動面12のサイズを一辺が1mmの正方形とした場合、異方性導電膜Fを被着部Pcに貼り付けるには、超音波発振器10による振動数を30kHz、その出力を5〜10W、加圧力を160〜650MPa、加圧時間を1〜5秒の範囲とするとよい。   When the size of the adherend Pc, that is, the pressure vibration surface 12 is a square having a side of 1 mm, the frequency of the ultrasonic oscillator 10 is used to attach the anisotropic conductive film F to the adherend Pc. Is 30 kHz, the output is 5 to 10 W, the applied pressure is 160 to 650 MPa, and the pressurization time is 1 to 5 seconds.

前記超音波発振器10の出力がこの範囲を下回ると、超音波振動の摩擦熱による貼着部位Faの溶融が不十分となるため超音波振動の付与部と非付与部との境界が不明確になり、セパレータSを剥離する際に、貼着部分Faの外周の形状が不安定になる傾向がある。一方、出力がこの範囲を超えると超音波振動の摩擦熱により貼着部位Faが溶融し過ぎて、セパレータSを剥離する際に、貼着部位Faが被着部Pcから剥離してしまい、被着部Pcに貼着部位Faが残らない、すなわち、被着部Pcに貼着部位Faを貼り付けることができなくなる傾向がある。   When the output of the ultrasonic oscillator 10 falls below this range, the bonding portion Fa is not sufficiently melted by the frictional heat of ultrasonic vibration, so the boundary between the ultrasonic vibration applying portion and the non-applying portion is unclear. Thus, when the separator S is peeled off, the shape of the outer periphery of the sticking portion Fa tends to become unstable. On the other hand, when the output exceeds this range, the adhesion site Fa is excessively melted by the frictional heat of ultrasonic vibration, and when the separator S is peeled off, the adhesion site Fa is peeled off from the adherend Pc, There is a tendency that the sticking part Fa does not remain on the sticking part Pc, that is, the sticking part Fa cannot be stuck on the sticking part Pc.

さらに、加圧力および加圧時間のそれぞれの範囲も、それぞれ超音波発振器10の出力と同様の傾向がある。すなわち、加圧力および加圧時間のそれぞれにおいても、前記範囲を下回った場合には、貼着部分Faの外周の形状が不安定になる傾向があり、前記範囲を超えると被着部Pcに貼着部位Faが残らない傾向がある。   Further, the respective ranges of the pressing force and the pressurizing time have the same tendency as the output of the ultrasonic oscillator 10. That is, when the pressure and pressurization time are both below the range, the shape of the outer periphery of the sticking portion Fa tends to become unstable. There is a tendency that the wearing site Fa does not remain.

また、加圧振動面12のサイズを一辺が3mmの正方形とした場合、異方性導電膜Fを被着部Pcに貼り付けるには、超音波発振器10による振動数を22kHz、その出力を10〜15W、加圧力を12〜72MPa、加圧時間を5〜45の範囲とするとよい。   Further, when the size of the pressure vibration surface 12 is a square having a side of 3 mm, in order to attach the anisotropic conductive film F to the adherend Pc, the frequency of the ultrasonic oscillator 10 is 22 kHz, and the output is 10 It is good to set it to the range of -15W, pressurization pressure 12-72MPa, and pressurization time 5-45.

さらに、加圧振動面12のサイズを一辺が5mmの正方形とした場合、異方性導電膜Fを被着部Pcに貼り付けるには、超音波発振器10による振動数を22kHz、その出力を15〜25W、加圧力を8.6〜30MPa、加圧時間を5〜60秒の範囲とするとよい。   Further, when the size of the pressure vibration surface 12 is a square having a side of 5 mm, in order to attach the anisotropic conductive film F to the adherend Pc, the frequency of the ultrasonic oscillator 10 is 22 kHz, and the output is 15 It is good to set it to the range of -25W, pressurizing force 8.6-30MPa, and pressurization time for 5-60 seconds.

さらにまた、加圧振動面12のサイズを一辺が10mmの正方形とした場合、異方性導電膜Fを被着部Pcに貼り付けるには、超音波発振器10による振動数を22kHz、その出力を15〜25W、加圧力を6.5〜19.5MPa、加圧時間を10〜60秒の範囲とするとよい。   Furthermore, when the size of the pressure vibration surface 12 is a square having a side of 10 mm, in order to attach the anisotropic conductive film F to the adherend Pc, the frequency of the ultrasonic oscillator 10 is 22 kHz, and the output is It is preferable that the pressure is 15 to 25 W, the applied pressure is 6.5 to 19.5 MPa, and the pressing time is 10 to 60 seconds.

なお、超音波発振器10による周波数、出力、加圧力、加圧保持時間などは、異方性導電テープT、電子部品Pの被着部Pcなどの仕様に応じて設定すればよい。   In addition, what is necessary is just to set the frequency, output, pressurization force, pressurization holding time, etc. by the ultrasonic oscillator 10 according to specifications, such as the anisotropic conductive tape T and the adherend part Pc of the electronic component P.

また、被着部Pcに対する貼着部位Faの貼り付けには、異方性導電テープTの温度を20℃以下とすることが、長時間に亘り安定した貼り付けを実施することができるという意味で好ましい。なぜならば、異方性導電テープTを20℃を越える温度環境下に長時間さらした場合、時間の経過にともなって異方性導電膜Fが柔らかくなり、貼着部位Faの安定した形状を得にくくなるからである。そこで、使用に供する前の異方性導電テープTは、−20〜5℃の温度で保管するとよい。   In addition, for attaching the attachment site Fa to the adherend Pc, the temperature of the anisotropic conductive tape T is set to 20 ° C. or less, which means that stable attachment can be performed for a long time. Is preferable. This is because when the anisotropic conductive tape T is exposed to a temperature environment exceeding 20 ° C. for a long time, the anisotropic conductive film F becomes soft with the passage of time, and a stable shape of the sticking part Fa is obtained. This is because it becomes difficult. Therefore, the anisotropic conductive tape T before being used may be stored at a temperature of -20 to 5 ° C.

さらに、超音波発振器10による周波数については、15〜30kHzの範囲内において有意差のないことが実験により確認できた。   Furthermore, it has been confirmed by experiments that there is no significant difference in the frequency of the ultrasonic oscillator 10 within the range of 15 to 30 kHz.

本実施形態の導電接合膜貼着方法に戻って、ついで、転写ヘッド9を上昇させると、転写ヘッド9が異方性導電テープTから離間し初期位置に復帰する。この転写ヘッド9の復帰状態を図4(c)に示す。   Returning to the conductive bonding film attaching method of the present embodiment, when the transfer head 9 is then raised, the transfer head 9 is separated from the anisotropic conductive tape T and returned to the initial position. The return state of the transfer head 9 is shown in FIG.

ついで、貼着部位FaからセパレータSを剥離すると、貼着部位Faが被着部Pcに残り、本実施形態の導電接合膜貼着方法が完了する。この異方性導電膜Fの貼付完了状態を図4(d)に示す。   Next, when the separator S is peeled from the sticking site Fa, the sticking site Fa remains on the adherend Pc, and the conductive bonding film sticking method of the present embodiment is completed. FIG. 4D shows a state where the anisotropic conductive film F has been pasted.

なお、セパレータSの剥離は、従来と同様に、テープ送り機構2の全体あるいはガイドローラ7、8を上方に移動させたり、セパレータ剥離機構を用いることで行われるようになっている。   The separator S is peeled off by moving the entire tape feeding mechanism 2 or the guide rollers 7 and 8 upward or using a separator peeling mechanism, as in the prior art.

このように、本実施形態の導電接合膜貼着方法によれば、導電接合膜としての異方性導電膜Fを被着部Pcに位置させた後に、セパレータ側から貼着部位Faに振動および圧力を付与することで、圧力および振動による摩擦熱を用いて、貼着部位Faを被着部Pcに容易に貼り付けることができる。   Thus, according to the conductive bonding film sticking method of the present embodiment, after the anisotropic conductive film F as the conductive bonding film is positioned on the adherend portion Pc, vibration and vibration are applied from the separator side to the sticking site Fa. By applying pressure, it is possible to easily attach the attachment site Fa to the adherend Pc using frictional heat due to pressure and vibration.

また、本実施形態の導電接合膜貼着方法によれば、従来のセパレータSに貼り付けたまま異方性導電膜Fのみを所定の大きさに切断して貼着部位Faを得、その後、貼着部位Faを被着部Pcに位置させる方法と異なり、異方性導電膜Fを被着部Pcに位置させた後、セパレータ側ら貼着部位Faに振動および圧力を付与することで、貼着部位Faを被着部Pcに貼り付けることができるので、テープ送り機構2による異方性導電テープTの送り精度を従来のように高く保持するための高精度の送り制御機構を必要としない。その結果、装置の構造の簡便化、低コスト化を図ることができる。   Moreover, according to the conductive bonding film sticking method of the present embodiment, only the anisotropic conductive film F is cut into a predetermined size while being stuck to the conventional separator S to obtain the sticking site Fa, Unlike the method of positioning the sticking part Fa on the adherent part Pc, by positioning the anisotropic conductive film F on the sticking part Pc, by applying vibration and pressure to the sticking part Fa from the separator side, Since the sticking part Fa can be stuck to the adherend part Pc, a highly accurate feed control mechanism is required to keep the feed accuracy of the anisotropic conductive tape T by the tape feed mechanism 2 as high as conventional. do not do. As a result, the structure of the device can be simplified and the cost can be reduced.

なお、従来の導電接合膜貼着方法においては、切断した後の貼着部位Faを被着部Pcに位置させるため、テープ送り機構102には、送りピッチ、すなわち、位置決め精度を高精度に行うための送り制御機構が必要である。   Note that in the conventional conductive bonding film sticking method, the tape feeding mechanism 102 is provided with high feed pitch, that is, positioning accuracy, in order to position the cut sticking site Fa on the adherend Pc. A feed control mechanism is required.

さらに、本実施形態の導電接合膜貼着方法によれば、異方性導電膜Fの貼着部位Faの被着部Pcへの貼り付けを一工程で行うことができるので、工程の簡素化およびタクトタイムの短縮化、すなわち、生産効率の向上を容易に図ることができる。   Furthermore, according to the conductive bonding film sticking method of the present embodiment, the sticking part Fa of the anisotropic conductive film F can be stuck to the adherend Pc in one step, so that the process can be simplified. In addition, the tact time can be shortened, that is, the production efficiency can be easily improved.

したがって、本実施形態の導電接合膜貼着方法によれば、近年の生産性および汎用性などの向上による高性能化を図ることができる。   Therefore, according to the conductive bonding film sticking method of this embodiment, high performance can be achieved by improving productivity and versatility in recent years.

また、本実施形態の導電接合膜貼着方法によれば、振動として超音波振動を用いることで、貼着部位Faを溶融させるための熱を容易に得ることができる。   In addition, according to the conductive bonding film sticking method of the present embodiment, heat for melting the sticking site Fa can be easily obtained by using ultrasonic vibration as vibration.

さらに、本実施形態の導電接合膜貼着方法によれば、導電接合膜として、異方性導電接合膜Fを用いることで、電子部品Pの部品間の電気的な接続を容易かつ確実に行うことができる。   Furthermore, according to the conductive bonding film sticking method of the present embodiment, the anisotropic conductive bonding film F is used as the conductive bonding film, so that the electrical connection between the components of the electronic component P is easily and reliably performed. be able to.

さらにまた、本実施形態の導電接合膜貼着方法によれば、異方性導電テープTのセパレータ側に加圧振動面12を当接させているので、従来のカッター109の切断刃を異方性導電膜Fに直接接触させて切断する構成した場合に生じる切断刃に異方性導電膜Fの一部が付着するという不都合が生じない。すなわち、本実施形態の導電接合膜貼着方法によれば、加圧振動面12に異方性導電膜Fの一部が付着することがないので、異方性導電膜Fの付着による加圧振動面12、ひいては転写ヘッド9のメンテナンスを必要としない。   Furthermore, according to the conductive bonding film sticking method of the present embodiment, the pressure vibration surface 12 is brought into contact with the separator side of the anisotropic conductive tape T, so that the cutting blade of the conventional cutter 109 is anisotropic. There is no inconvenience that a part of the anisotropic conductive film F adheres to the cutting blade that occurs when the cutting is performed by directly contacting the conductive film F. That is, according to the conductive bonding film sticking method of the present embodiment, since the anisotropic conductive film F does not partially adhere to the pressurizing vibration surface 12, pressurization due to the adhesion of the anisotropic conductive film F is performed. Maintenance of the vibration surface 12 and thus the transfer head 9 is not required.

また、本実施形態の導電接合膜貼着方法においては、貼着部位Faが複数であっても、1つの転写ヘッド9に、複数の加圧振動面12を突設させることで、複数の貼着部位Faのそれぞれに振動および圧力を同時に付与することができる。その結果、装置の構造の簡便化を確実に図ることができる。   Further, in the conductive bonding film sticking method of the present embodiment, even if there are a plurality of sticking portions Fa, a plurality of pressure vibration surfaces 12 are provided on one transfer head 9 so as to project a plurality of sticking parts Fa. Vibration and pressure can be simultaneously applied to each of the landing sites Fa. As a result, it is possible to reliably simplify the structure of the apparatus.

本実施形態の導電接合膜貼着装置1によれば、貼着部位Faを被着部Pcに転写するための転写機構3を有しており、転写機構3には、セパレータ側から導電接合膜としての異方性導電膜Fを介して被着部Pcに接離可能とされた転写ヘッド9が設けられており、この転写ヘッド9には、被着部Pcと同一平面形状に形成されている加圧振動面12を具備する振動子11が設けられているので、本発明の導電接合膜貼着方法、すなわち、セパレータSに積層されている導電接合膜の貼着に供する貼着部位を電子部品Pの被着部Pcに貼着するための導電接合膜貼着方法であって、導電接合膜を被着部Pcに位置させた後に、セパレータ側から貼着部位Faに振動および圧力を付与する導電接合膜貼着方法を簡便な工程で容易に実施することができる。その結果、異方性導電膜Fの貼着部位Faの被着部Pcへの貼り付けを一工程で行うことができるので、工程の簡素化およびタクトタイムの短縮化、すなわち、生産効率の向上を容易に図ることができる。   According to the conductive bonding film sticking apparatus 1 of this embodiment, it has the transfer mechanism 3 for transferring the sticking site Fa to the adherend Pc, and the transfer mechanism 3 includes a conductive bonding film from the separator side. A transfer head 9 that can be brought into and out of contact with the adherend Pc is provided via an anisotropic conductive film F as a transfer head 9 and is formed in the same plane shape as the adherend Pc. Since the vibrator 11 having the pressurizing vibration surface 12 is provided, the conductive bonding film sticking method of the present invention, that is, the sticking site used for sticking the conductive bonding film laminated on the separator S is provided. A method of attaching a conductive bonding film for attaching to an adherent part Pc of an electronic component P, wherein after the conductive adhesive film is positioned on the adherent part Pc, vibration and pressure are applied from the separator side to the attachment part Fa. The conductive bonding film attaching method to be applied can be easily implemented in a simple process. Kill. As a result, since the anisotropic conductive film F can be attached to the adherent part Pc in one step, the process is simplified and the tact time is shortened, that is, the production efficiency is improved. Can be easily achieved.

したがって、本実施形態の導電接合膜貼着装置1によれば、近年の生産性および汎用性などの向上による高性能化を図ることができる。   Therefore, according to the conductive bonding film sticking apparatus 1 of this embodiment, high performance can be achieved by improving productivity and versatility in recent years.

また、本実施形態の導電接合膜貼着装置1によれば、加圧振動面12の平面形状を被着部Pcの形状に応じて設定することで、異方性導電膜Fの貼着部位Faの形状を電子部品Pの被着部Pcの多種多様の形状に対応させることができる。   Moreover, according to the conductive bonding film sticking apparatus 1 of the present embodiment, the sticking site of the anisotropic conductive film F is set by setting the planar shape of the pressure vibration surface 12 according to the shape of the adherend part Pc. The shape of Fa can be made to correspond to various shapes of the adherend part Pc of the electronic component P.

さらに、本実施形態の導電接合膜貼着装置1によれば、加圧振動面12によってセパレータ側から貼着部位Faを溶融させて被着面Pcに貼り付けることができるので、従来のカッター109の切断刃を異方性導電膜Fに直接接触させて切断する構成した場合に生じる切断刃に異方性導電膜Fの一部が付着するという不都合が生じないので、加圧振動面12、すなわち、転写ヘッド9のメンテナンスを必要としない。   Furthermore, according to the conductive bonding film sticking apparatus 1 of the present embodiment, the sticking portion Fa can be melted from the separator side by the pressurizing vibration surface 12 and stuck on the adherend surface Pc. Since there is no inconvenience that a part of the anisotropic conductive film F adheres to the cutting blade that occurs when the cutting blade is configured to be brought into direct contact with the anisotropic conductive film F, the pressing vibration surface 12, That is, maintenance of the transfer head 9 is not required.

また、本実施形態の導電接合膜貼着装置1によれば、振動子11が、超音波発振器10に接続されているので、貼着部位Faを溶融させるための熱を容易に得ることができる。   Further, according to the conductive bonding film sticking apparatus 1 of the present embodiment, since the vibrator 11 is connected to the ultrasonic oscillator 10, heat for melting the sticking site Fa can be easily obtained. .

さらに、本実施形態の導電接合膜貼着装置1によれば、導電接合膜が異方性導電膜Fであるので、電子部品Pの部品間の電気的な接続を容易かつ確実に行うことができる。   Furthermore, according to the conductive bonding film sticking apparatus 1 of the present embodiment, since the conductive bonding film is the anisotropic conductive film F, the electrical connection between the components of the electronic component P can be easily and reliably performed. it can.

さらにまた、本実施形態の導電接合膜貼着装置1によれば、転写ヘッド9に、複数の加圧振動面12を突設することができるので、複数の貼着部位Faのそれぞれに振動および圧力を同時に付与することができる。その結果、装置の構造の簡便化を確実に図ることができる。   Furthermore, according to the conductive bonding film sticking apparatus 1 of the present embodiment, since a plurality of pressure vibration surfaces 12 can be projected on the transfer head 9, vibration and vibration are respectively applied to the plurality of sticking parts Fa. Pressure can be applied simultaneously. As a result, it is possible to reliably simplify the structure of the apparatus.

なお、本実施形態においては、電子部品Pの被着部Pcに貼着する導電接合膜として異方性導電膜Fが用いられており、セパレータに導電接合膜を積層した導電接合膜テープとして、テープ状のセパレータSに異方性導電膜Fを積層した異方性導電テープTが用いられているが、これに限定されるものではない。   In the present embodiment, the anisotropic conductive film F is used as the conductive bonding film to be attached to the adherend portion Pc of the electronic component P, and as a conductive bonding film tape in which the conductive bonding film is laminated on the separator, Although the anisotropic conductive tape T in which the anisotropic conductive film F is laminated on the tape-shaped separator S is used, it is not limited to this.

すなわち、本実施形態の導電接合膜貼着方法および導電接合膜貼着装置に用いる導電接合膜および導電接合膜テープとしては、振動による摩擦熱を用いて貼着部位を被着部に転写できることのできるものであればよく、例えば、剥離テープにインジウムを蒸着などによって剥離可能に担持させたインジウム箔テープや、剥離テープにハンダ箔を蒸着などにより剥離可能に担持させたハンダ箔テープなどを挙げることができる。   That is, as the conductive bonding film and the conductive bonding film tape used in the conductive bonding film bonding method and the conductive bonding film bonding apparatus of the present embodiment, the bonding site can be transferred to the adherend using frictional heat due to vibration. As long as it can be used, for example, an indium foil tape in which indium is releasably supported by vapor deposition on a peeling tape, or a solder foil tape in which solder foil is releasably carried by vapor deposition on a peeling tape, etc. Can do.

なお、インジウム箔テープを用いても、本実施形態の異方性導電テープTを用いた場合と同様の結果となることが実験により確認することができた。   In addition, even if it used the indium foil tape, it was able to confirm by experiment that it became the same result as the case where the anisotropic conductive tape T of this embodiment was used.

また、本発明は、前述した実施形態に限定されるものではなく、必要に応じて種々の変更が可能である。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made as necessary.

本発明に係る導電接合膜貼着方法を実施する導電接合膜貼着装置の実施形態の全体構成の要部を簡略化して示す概略図Schematic which simplifies and shows the principal part of the whole structure of embodiment of the conductive bonding film sticking apparatus which implements the conductive bonding film sticking method which concerns on this invention 図1の転写ヘッドの拡大正面図1 is an enlarged front view of the transfer head of FIG. 転写ヘッドに複数の加圧振動面を設けた変形例を示す下面図Bottom view showing a modified example in which a plurality of pressure vibration surfaces are provided on the transfer head. 本発明に係る導電接合膜貼着方法の実施形態を示すものであり、(a)は異方性導電テープを被着部に位置させたセット状態の要部を示す概略説明断面図、図4(b)は図4(a)に続く転写ヘッドによる貼着部位の貼着状態の要部を示す概略説明断面図、図4(c)は図4(b)に続く転写ヘッドの復帰状態の要部を示す概略説明断面図、図4(d)は図4(c)に続く貼着部位の貼付完了状態の要部を示す概略説明断面図BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 shows an embodiment of a method for attaching a conductive bonding film according to the present invention, and FIG. FIG. 4B is a schematic cross-sectional view showing the main part of the pasting state of the pasting site by the transfer head following FIG. 4A, and FIG. 4C is the return state of the transfer head following FIG. Schematic explanatory cross-sectional view showing the main part, FIG. 4 (d) is a schematic explanatory cross-sectional view showing the main part of the pasting completion state of the pasting site following FIG. 4 (c) 従来の異方性導電膜貼着方法を実施する異方性導電膜貼着装置の全体構成の要部を簡略化して示す概略図Schematic which simplifies and shows the principal part of the whole structure of the anisotropic conductive film sticking apparatus which enforces the conventional anisotropic conductive film sticking method 従来の異方性導電膜貼着方法の要部を示す概略説明断面図Schematic explanatory cross-sectional view showing the main part of a conventional anisotropic conductive film attaching method

符号の説明Explanation of symbols

1 導電接合膜貼着装置
2 テープ送り機構
3 転写機構
4 搬送機構
9 転写ヘッド
9a 先端面
10 超音波発振器
11 振動子
12 加圧振動面
T 異方性導電テープ
F 異方性導電膜
Fa 貼付部位
S セパレータ
P 電子部品
Pc 被着部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Conductive bonding film sticking apparatus 2 Tape feed mechanism 3 Transfer mechanism 4 Conveyance mechanism 9 Transfer head 9a Tip surface 10 Ultrasonic oscillator 11 Vibrator 12 Pressurized vibration surface T Anisotropic conductive tape F Anisotropic conductive film Fa S Separator P Electronic component Pc

Claims (8)

セパレータに積層されている導電接合膜の貼着に供する貼着部位を電子部品の被着部に貼着するための導電接合膜貼着方法であって、
前記導電接合膜を前記被着部に位置させた後に、前記セパレータ側から前記貼着部位に振動および圧力を付与することを特徴とする導電接合膜貼着方法。
It is a conductive bonding film sticking method for sticking a sticking part to be attached to a sticking part of an electronic component to be used for sticking a conductive bonding film laminated on a separator,
After the conductive bonding film is positioned on the adherend, vibration and pressure are applied from the separator side to the bonding site.
前記振動として、超音波振動を用いることを特徴とする請求項1に記載の導電接合膜貼着方法。   2. The conductive bonding film sticking method according to claim 1, wherein ultrasonic vibration is used as the vibration. 前記導電接合膜として、異方性導電接合膜を用いることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の導電接合膜貼着方法。   The conductive bonding film sticking method according to claim 1, wherein an anisotropic conductive bonding film is used as the conductive bonding film. 前記貼着部位が複数であり、これらの複数の貼着部位のそれぞれに振動および圧力を同時に付与することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の導電接合膜貼着方法。   4. The conductive bonding film sticking according to claim 1, wherein there are a plurality of sticking parts, and vibration and pressure are simultaneously applied to each of the sticking parts. How to wear. セパレータに積層されている導電接合膜の貼着に供する貼着部位を電子部品の被着部に貼着するための導電接合膜貼着装置であって、
前記貼着部位を前記被着部に転写するための転写機構を有しており、
前記転写機構には、前記セパレータ側から前記導電接合膜を介して前記被着部に接離可能とされた転写ヘッドが設けられており、この転写ヘッドには、前記被着部と同一平面形状に形成されている加圧振動面を具備する振動子が設けられていることを特徴とする導電接合膜貼着装置。
It is a conductive bonding film sticking device for sticking a sticking part to be attached to a sticking part of an electronic component for sticking a conductive bonding film laminated on a separator,
It has a transfer mechanism for transferring the sticking part to the adherend,
The transfer mechanism is provided with a transfer head that can be brought into and out of contact with the adherend from the separator side through the conductive bonding film. The transfer head has the same planar shape as the adherend. An electroconductive bonding film sticking apparatus, comprising: a vibrator having a pressure vibration surface formed on the surface.
前記振動子が、超音波発振器に接続されていることを特徴とする請求項5に記載の導電接合膜貼着装置。   The conductive bonding film sticking apparatus according to claim 5, wherein the vibrator is connected to an ultrasonic oscillator. 前記導電接合膜が、異方性導電膜であることを特徴とする請求項5または請求項6に記載の導電接合膜貼着装置。   The conductive bonding film sticking apparatus according to claim 5, wherein the conductive bonding film is an anisotropic conductive film. 前記転写ヘッドに、複数の前記加圧振動面が突設されていることを特徴とする請求項5ないし請求項7のいずれか1項に記載の導電接合膜貼着装置。   The conductive bonding film sticking apparatus according to claim 5, wherein a plurality of the pressure vibration surfaces protrude from the transfer head.
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