JP2005327860A - 強磁性微粒子検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 絶縁性の基板11上に形成された化合物半導体薄膜から成る動作層12と、複数の端子電極13と、多数の短絡電極14とを備えた磁気センサ10Mと、動作層12を構成する化合物半導体薄膜に垂直にバイアス磁界を印加する永久磁石15と磁気センサ10Mを保護する金属ケース18とを備えるとともに、感磁面となる動作層12に、0.1テスラを超える磁束密度を有する磁界を印加するようにした。
【選択図】 図18
Description
更に、従来のInSb磁気抵抗素子では、感磁部を形成するInSbは抵抗率が1℃当たり約2%と大きな温度依存性を有し、周辺温度や動作に関わる電流通電などで磁気抵抗素子の抵抗値が変化するという問題があり、これが原因で、出力電圧が変動することも多かった。
一方、InSb磁気抵抗素子を真空蒸着法により形成した場合も、膜厚や組成のばらつきが多く磁気抵抗素子の特性を揃えることが困難なだけでなく、更には、十分な電子移動度が得られず、また、その温度依存性も大きかった。
・微細加工精度の優れた高感度の化合物半導体薄膜材料開発とその温度特性の低減技術
・素子特性のばらつきを抑えるための高度な化合物半導体薄膜の膜厚制御技術及び均一性の高い不純物のドープ技術
・強磁性微粒子(磁気パターン)の高感度検出が可能な素子構造
・低コストの量産プロセス技術
・高感度で信頼性の高い素子構造
の開発に取り組んだ。その結果、微細加工精度に優れた、膜厚均一性の良い薄膜材料の開発、面内均一性の高い不純物のドープ技術、高い電子移動度を得る薄膜の単結晶成長技術、接触抵抗値の少ない化合物半導体への電極形成技術、高感度でかつ信頼性の高い素子構造、バイアス磁界印加手段などの複数の技術を開発し、更に、これらを適切に、かつ最適化した構成で組み合わせることで、極めて小さい微弱磁界を初めて検出可能とした化合物半導体薄膜を磁気検出部に採用した、量産性に優れるとともに、特性のばらつきの少ない高性能な強磁性微粒子検出装置を得ることができることを見いだし、本発明に到ったものである。
すなわち、本発明の請求項1に記載の発明は、化合物半導体薄膜から成り抵抗値が磁界によって変化する感磁部と、この感磁部に垂直な成分を有する磁界を印加する手段とを備え、面上に所定のパターンに従って配列された強磁性微粒子の配列状態を検出する装置であって、前記感磁面に0.1テスラを超える磁束密度を有する磁界を印加したことを特徴とするものである。
請求項4に記載の発明は、請求項3に記載の強磁性微粒子検出装置において、前記化合物半導体薄膜に、Si,Sn,S,Se,Te,Ge,Cから選ばれる少なくとも1つまたは複数のドナー不純物をドープしたものである。
また、請求項5に記載の発明は、請求項3に記載の強磁性微粒子検出装置において、感磁部を構成する化合物半導体薄膜を絶縁性の基板または表面に半導体絶縁層が形成された基板上に形成するとともに、この基板の感磁部とは反対側に、基板に密着または近接して、化合物半導体薄膜の膜厚よりも厚い軟磁性薄板もしくは軟磁性薄層を、化合物半導体薄膜と平行に設けたことを特徴とするものである。
また、感磁面における磁束密度を、感磁部の抵抗値の変化率が50%以上となる磁束密度とすることによっても、感磁部を構成する磁気抵抗効果素子の検出感度を向上させることができるので、強磁性微粒子検出装置の検出感度を向上させることができる。。
また、感磁部を構成する化合物半導体薄膜を、高い電子移動度有するInを含む化合物半導体から構成するようにすれば、検出感度を更に向上させることができる。更に、化合物半導体薄膜に、Si,Sn,S,Se,Te,Ge,Cから選ばれる少なくとも1つまたは複数のドナー不純物をドープすれば、温度ドリフトを大幅に低減することができる。
また、化合物半導体薄膜が形成された絶縁性の基板または表面に半導体絶縁層が形成された基板の感磁部とは反対側に、基板に密着または近接して、化合物半導体薄膜の膜厚よりも厚い軟磁性薄板もしくは軟磁性薄層を、化合物半導体薄膜と平行に設けるようにすれば、バイアス磁界を感磁部へ集磁できるので、検出感度を更に向上させることができる。
[実施の形態1]
図1は、本実施の形態1に係る強磁性微粒子検出装置1の構成を示す断面図で、図2はこの強磁性微粒子検出装置1に用いられる磁気抵抗効果型の磁気センサ10の構成を示す図である。本発明の強磁性微粒子検出装置1は、センサ部1Aと駆動検出部1Bとから成り、センサ部1Aは、絶縁性の基板11上に形成された化合物半導体薄膜から成る2個の磁気抵抗素子12a,12bと、複数の端子電極13(13a,13b,13c)と、多数の短絡電極14とを備えた3端子の磁気抵抗素子から成る磁気センサ10と、この磁気センサ10の検出対象物である磁気印刷物2の表面に印刷された強磁性微粒子3側とは反対側に設けられ、感磁部となる磁気抵抗素子12a,12bに垂直にバイアス磁界を印加するための永久磁石15と、この永久磁石15を保持するモールド樹脂16と、端子電極13に接続された、磁気センサ10に電圧を供給したり磁気センサ10の出力を外部に取出したりするための端子ピン17と、磁気センサ10を保護するための金属ケース18とを備えており、駆動検出部1Bは、磁気センサ10を駆動する駆動回路19aと磁気センサ10からの出力を増幅する増幅回路19bとを備えている。
なお、磁気抵抗素子12a,12bのような、化合物半導体薄膜から成る磁気抵抗素子を、以下、総称して、動作層12という。この動作層12は磁気センサ10の、感磁部(抵抗値が磁界によって変化する部位)を構成するもので、この動作層12を構成する化合物半導体薄膜の膜面を感磁部面という。
短絡電極14は、必要に応じ、磁界検出時の抵抗変化を大きくする(磁界に対する高感度化)目的で設置されもので、図2に示すように、磁気抵抗素子12a,12bの電流の流れる電流の流れる方向(磁気抵抗素子12a,12bの延長方向)に直交する方向に形成される。本例のように、短絡電極14を設置した場合は、短絡電極14,14間にある化合物半導体の形状としては、電流に直交する方向の幅Wに対し、電流方向の長さLが小さいこと、すなわち、L/Wを1.0以下とすることが好ましく、0.3以下であれば、更に、磁界での抵抗変化が大きくなるので実用上のメリットが大きくなり好ましい。
また、動作層12を構成する化合物半導体薄膜の膜厚としては、0.1〜4μmの範囲とすることが好ましく、より好ましくは3μm以下である。更に、特記すべきは、厚さが1.5μm以下の厚さの場合は、高抵抗素子が製作しやすく高センサ出力が得られるのでしばしば用いられる。
磁気抵抗素子の作製プロセスでは、通常のフォトリソグラフィーの技術を用いるが、このとき、ウェットエッチングによって所望の形状に化合物半導体薄膜をメサエッチングすることが多い。ウェットエッチングは膜厚方向のエッチングともに、膜厚方向とは垂直方向のサイドエッチングが進むため、膜厚が厚過ぎると、膜厚方向のエッチングは終了する時点ではサイドエッチングもかなり進む。そのため、素子抵抗値の設計値と実際の素子抵抗値がずれるだけでなく、素子抵抗値の個体差も大きくなる。すなわち、膜厚が4μmを超えると、フォトリソグラフィーの精度が悪化するため、素子特性が劣化するだけでなく、素子特性にバラツキが大きくなる。また、膜厚が0.1μm未満では動作層12の体積が小さくなって十分な素子特性が得られないので、化合物半導体薄膜の膜厚としては0.1〜4μmの範囲とすることが好ましい。
しかし、あまりに多くのドナー不純物を添加してしまうと、磁気抵抗素子の感度を左右する電子移動度を低下させてしまうという問題があるため、添加するキャリアの数としては、2×1016cm−3から1×1018cm−3とすることが好ましく、さらに好ましくは、5×1016cm−3から5×1017cm−3とするのがよい。
また、化合物半導体薄膜は、絶縁性の基板であればその上に形成できるが、より好ましくは絶縁性の半導体層上に製作することが好ましい。そこで、可能であれば、図3(a)に示すように、動作層12となる化合物半導体薄膜を成長する前に予め動作層12に近いかもしくは一致する絶縁性あるいは高抵抗の化合物半導体薄膜から成る絶縁層11Aを形成し、しかる後に、この絶縁層11A上に動作層12である化合物半導体薄膜を形成しても良い。更に、図3(b)に示すように、化合物半導体薄膜の上,下に、それぞれ、絶縁性あるいは高抵抗の化合物半導体薄膜から成る絶縁層11A,11Bを有していることも好ましい構造としてしばしば用いられる。
このような構造においては、絶縁層11A,11Bを構成する化合物半導体としては、InSbのような動作層12を構成する化合物半導体に比較して通常大きな禁制帯幅を有することが必要である。また、絶縁層11A,11Bは、必須ではないが、動作層12を構成する化合物半導体薄膜と同じかまたは近い値の格子定数を有することが好ましい。特に、動作層12の膜厚が1μm以下、更には、0.5μm以下の場合は、絶縁層11A,11Bを構成する化合物半導体としては、動作層12を構成する化合物半導体薄膜と同じかまたは近い値の格子定数を有することが好ましい。
また、化合物半導体薄膜を作製する際には、接触抵抗の低減のために、少なくとも化合物半導体薄膜が端子電極13及び短絡電極14と接触する部位は、電極13,14と接していない化合物半導体薄膜の他の部分に比較して、電子濃度が大きく製作されていることが好ましい。具体的には、少なくとも電極と接する表面近傍または電極と接触する一部もしくは全体に渉って、電子濃度が他の部位に比べて10倍以上もしくは2×1017cm−3以上、好ましくは1×1018cm−3以上、更に好ましくは5×1018cm−3以上あることが好ましい。このため、化合物半導体薄膜の、これら複数の端子電極13及び短絡電極14と接触する部位には、少なくとも電子濃度の増加の目的で、上記のようなドナー不純物がドープされていることが好ましい。なお、ドナー不純物のドープのプロファイルは、少なくとも電極13,14と接する表面近傍または電極13,14と接触する一部もしくは電極13,14との接触部全体に渉っていてもよい。
更に、ドナー不純物のドープは、化合物半導体の厚さの全体でも良く、表面のみでも良い、更に、電極13,14と接触する表面が上述した電子濃度の条件を満たしていれば、厚さ方向で電子濃度の勾配、または変化があっても良い。
図4及び図5は、磁気センサ10の作製プロセスフローを示す図で、プロセスとしては、通常のフォトリソグラフィーの技術を用いることができる。
はじめに、図4(a)に示すように、絶縁性基板であるGaAs基板11上に、動作層12を構成するためのInSb薄膜12Fを形成する。具体的には、分子線エピタキシー(MBE)法を用いて、半絶縁性のGaAs単結晶基板の(100)面上に、化合物半導体薄膜としてSnドープInSb薄膜12Fをエピタキシャル成長させる。
次に、図4(b)に示すように、InSbのメサエッチング用のフォトマスクを用いて、動作層12のパターンを露光・現像した後に、InSb薄膜12Fを塩酸・過酸化水素系のエッチング液で所望の形状にメサエッチングして、前2個の磁気抵抗素子12a,12bを形成する。
その後、図5(a)に示すように、磁気抵抗素子12a,12b上に、複数の短絡電極14を形成し、更に、図5(b)に示すように、窒化シリコン薄膜から成る絶縁層11Bを、プラズマCVD法により形成する。そして、図5(c)に示すように、端子電極13部分のみの窒化シリコン膜を反応性イオンエッチング装置を用いて除去した後、端子電極13を形成する。
このようにして、SnドープInSb薄膜から成る磁気抵抗素子12a,12bを動作層12とし、端子電極13を3個を有し、端子電極13,13間に複数の短絡電極14を有する高磁界感度の磁気センサ10を、フォトリソグラフィーを応用した微細加工プロセスの応用により、1枚のウエーハ上に多数製作することができる。
なお、本例では、後述するモールドによる化合物半導体薄膜へ応力緩和のため、図5(d)に示すように、更に、磁気センサ10の動作層12上(実際には、絶縁層11B上)に、上記部位を覆うように、柔らかいシリコン樹脂層から成る軟質樹脂層20を形成するようにしている。
また、より高感度の磁気パターンを検出するためには、金属ケース18の先端部の厚さは、0.01〜0.15mmの範囲が実用上からは好ましい。特に、0.10〜0.15mmの範囲は、実用上の堅牢さと磁気パターンへの近接性を阻害しないので、磁気パターンの高感度検出が可能であり良く使われる範囲である。
ここで、上記設定により、磁気センサ10が高感度で、かつ、温度ドリフトが極めて小さくなることを、図7に示すような2端子の磁気抵抗素子12Sを用いて説明する。
なお、メサエッチング後のInSb薄膜12kの幅(電流に直交する方向の幅:素子幅)をWとし、短絡電極14間の距離(素子長)をLとすると、L/Wを形状因子と呼ぶが、本例では、この形状因子をL/W=0.2とした。
磁気抵抗素子12Sに電磁石で一様な磁場をかけて、端子電極13p,13q間の抵抗値と磁束密度の関係を測定した結果を図8示す。また、磁気抵抗変化率ΔR/R0と磁束密度との関係を図9に示す。ここで、ΔR=RB−R0であり、RBは磁場中での抵抗値、R0は磁場なしでの抵抗値である。図9からわかるように、磁束密度が大きくなるほど、磁気抵抗変化率ΔR/R0の傾きは大きくなる。すなわち、磁界に対する感度が大きくなる。この高感度となる磁束密度は、0.1テスラ以上、もしくは、磁気抵抗変化率ΔR/R0が(磁気抵抗効果による感磁部の抵抗値が)50%以上であることが分かる。例えば、磁束密度0.3テスラのもとでの抵抗値は2498Ωであり、3ミリテスラの磁束密度が増加した0.303テスラでは、抵抗値は2521Ωとなる。
図11の縦軸は、信号出力電圧Voutから電源電圧の半分(Vin/2)を差し引いたもの(以下、オフセット電圧eと称する)である。これにより、信号出力電圧の温度ドリフトがほとんどないことがわかる。
このことは、本発明の磁気センサ10は、感磁部の全面に渉り、磁界の印加された状態の抵抗値の温度依存性が均一であること意味している。
本例では、図12に示すように、3端子の磁気センサ10を用いて、強磁性微粒子3を含んだ磁気インクで磁気印刷物2に印刷された磁気パターンを検出する。なお、磁気センサ10の磁気抵抗素子12a,12bは、永久磁石15により形成される一様なバイアス磁界中に配置されており、かつ、磁気抵抗素子12aと磁気抵抗素子12bとは、図10に示したように、直列接続されるとともに定電圧電源19Eに接続されている。なお、本例においては、強磁性微粒子3を、永久磁石15からの磁界を集磁する軟磁性体から成る微粒子とした。
磁気印刷物2が走査されると、永久磁石15からの磁界は、図12の(a)→(b)→(c)のように変化する。ここで、図中の矢印は磁力線を表している。また、磁気印刷物2の走査方向は図の左から右である。(a)図の状態では、磁気抵抗素子12aの直下の磁束密度が増加するため、磁気抵抗素子12aの抵抗値が増加する。したがって、出力端子である端子電極3cの電位が低くなる。次に、(b)図の状態では、磁気抵抗素子12a及び磁気抵抗素子12bの直下の磁束密度は等しいので、その抵抗値も同じである。そのため、端子電極3cは中間状態となる。更に、(c)図の状態では、磁気抵抗素子12bの直下の磁束密度が増加し、磁気抵抗素子12bの抵抗値が増加する。そのため、端子電極3cの電位は高くなる。
このように、磁気印刷物2が走査されることにより、端子電極3cからは、図13に示すような、信号振幅がVppの微分型の検出信号が出力される。
本発明の検出装置1では、磁気センサ10の感磁面である動作層12を高い電子移動度を有するSnドープInSb薄膜から構成するとともに、永久磁石15により、0.1テスラを超える磁束密度を有する磁界を印加しているので、検出感度が高く、大きな信号振幅がVppを有する微分型の検出信号が得ることができる。したがって、強磁性微粒子3を含んだ磁気インクで磁気印刷物2に印刷された磁気パターンを精度良く検出することができる。また、本発明の磁気センサ10では、感磁部の全面に渉り、磁界の印加された状態での抵抗値の温度依存性の均一性が±1.0%以内であり、温度変化に対しても安定した出力が得られるので、磁気パターンの検出精度を向上させることができる。
また、上記例では、センサ部1Aと駆動検出部1Bとを別個に作製したが、金属ケース18内に駆動検出部1Bを収納して、センサ部1Aと駆動検出部1Bとを一体化しても良い。
あるいは、図16に示すように、図15の磁気センサ10の動作層12とは反対側の面側のパッケージ樹脂や、アイランドの金属部分、及び、動作層12の形成された絶縁性の基板11の一部を研磨により除去して、感磁部である動作層12をより表面に近づけるようにすれば、動作層12と磁気印刷物2とを更に近接させることができる。なお、この場合には、同図のRで示す絶縁性の基板11の裏面側が検出面となる。動作層12の位置は、研磨する箇所にもよるが、検出面の表面より0.05mm以内の距離まで近接させることができる。この構造では、非磁性金属のケースによる補強をした場合でも動作層12と金属ケース18外側の表面での距離を0.10mm以内にすることができる。したがって、磁気検出部である磁気センサ10と被検出部である磁気印刷物2の磁気パターンを極めて接近させることができ、高感度の強磁性微粒子検出(磁気パターン検出)が可能となる。
また、上記例では、強磁性微粒子3を、永久磁石15からの磁界を集磁する軟磁性体から成る微粒子としたが、強磁性微粒子3が永久磁石の微粒子であっても磁気パターンの検出は可能である。
実施の形態1では、硬質樹脂23によりによりパッケージした磁気センサ10の裏面側に、モールド樹脂16により保持された永久磁石15を配置したが、図17に示すように、硬質樹脂23の磁気センサ10が配置されている側とは反対側に、永久磁石15を接着剤等により固定するようにすれば、磁気センサ10と永久磁石15とが一体化された磁気センサ10Mを有する強磁性微粒子検出装置を構成することができる。
このとき、図18に示すように、リードフレーム25Fを、動作層12を構成する化合物半導体薄膜の面に対して垂直方向に折り曲げるようにして円筒形の金属ケース18に収納すれば、センサ部を容易に円柱状とすることができる。なお、リードフレーム25Fは上記のように折り曲げられているので、金属ケース18に接触することはない。
磁気誘導層26は、永久磁石15からの磁界を感磁部である動作層12に集磁する機能を有するので、この集磁効果により、動作層12に作用する磁界の大きさを更に大きくすることができるだけでなく、動作層12の端部においても、磁界の垂直成分が増加するため、出力振幅が増加し、検出感度が向上する。
磁気誘導層26は、例えば、図20に示すように、微細加工プロセスの応用により1枚のウエーハ11P上に素子を多数製作した後、裏面研磨によって絶縁性の基板11となるウエーハ11Pを所定の厚さだけ研磨し、この裏面に、接着剤により、厚さ0.25mm程度のフェライト薄板26Pに貼りあわせ、その後、ダイシングにより個別の磁気センサ10Tに切離すことにより作製する。なお、切り離しは、通常、上述した軟質樹脂層20の形成後に行う。
[実施例1]
薄膜形成法の一例として分子線エピタキシー法を用いて、半絶縁性のGaAs単結晶基板の(100)面上に、SnドープInSb薄膜をエピタキシャル成長させた。
まず、厚さ0.35mmの半絶縁性のGaAs単結晶基板にAsを照射しながら、650℃で加熱し表面酸素を脱離させる。次に、580℃で温度を下げてGaAsバッファ層を200nmの厚さで形成する。次に、Asを照射しながら400℃まで温度を下げた後、SnとIn、Sbを同時に基板に照射しながら化合物半導体薄膜の膜厚1μmからなるSnドープInSb単結晶薄膜を形成した。この際、InSb単結晶薄膜の電子濃度は、7×1016cm−3になるようにSnセル温度を調節した。成膜したInSb単結晶薄膜の電気特性を測定したところ、電子濃度は7×1016cm−3、電子移動度は40,000cm/Vsであった。
次に、InSb/GaAs基板のInSb表面にフォトレジストをスピンコータで均一に塗布する。フォトレジストの塗布条件は、100cpの粘度で3200rpmの回転速度で20秒間回転すると2.5μmの厚さとなる。InSbのメサエッチング用のフォトマスクを用いて、露光・現像した後に塩酸・過酸化水素系のエッチング液で所望の形状にInSb薄膜をメサエッチングした。
その後、再度、フォトレジストを塗布した後に、短絡電極を形成するための露光・現像を行い、真空蒸着法により電極を蒸着し、リフトオフ法で短絡電極を形成した。詳細には、フォトレジストによりレジストパターンを形成した後に、電子ビーム法により短絡電極として50nm厚のTiと400nm厚のAu、さらに50nm厚のNiからなる積層電極を形成し、リフトオフ法を用いて所望の短絡電極を形成した。
更に、絶縁層として窒化シリコン薄膜を300nmの厚さでプラズマCVD法により形成し、端子電極部分のみの窒化シリコン膜を、反応性イオンエッチング装置を用いて除去し、最後に短絡電極の形成方法と同様にして、端子電極を形成した。端子電極として50nm厚のTiと400nm厚のAuからなる積層電極とした。化合物半導体薄膜から成る動作層との接触を改善するために、不活性ガス雰囲気で500℃×2分間の熱処理を行った。
このようにして化合物半導体薄膜を感磁部とし、端子電極3個を有し、これらの端子電極間に複数の短絡電極を有する、図2に示した磁気センサ10と同様の構成の磁気センサを、フォトリソグラフィーを応用した微細加工プロセスの応用により、1枚のウエーハ上に多数製作した。
その後、ダイシングにより個別の磁気センサに切離した。こうして製作した磁気センサ子チップを、リードフレームを利用して、ボンデングパッケージをした。具体的には、リードフレームのアイランド上に磁気センサチップを、ダイボンダーを用いダイボンドし、次いで、30μmの金ワイヤーにより、磁気センサを構成する磁気抵抗素子の3個の端子とリード間をワイヤーボンダーを用いワイヤーボンドした後、トランスファーモールド法によりエポキシ樹脂によりパッケージした。その後、タイバーカット、リードカットによりリードのフォーミングを行い、最後に、パッケージされた磁気センサと永久磁石とを円筒状のケースに収納し、全体が円柱状であるセンサ部を備えた強磁性微粒子検出装置を作製した。
この強磁性微粒子検出装置の温度ドリフトを測定したところ、図11に示したように、測定温度範囲(−60℃〜160℃)において、温度ドリフトは認められなかった。これにより、本発明の強磁性微粒子検出装置は、信号出力電圧の温度ドリフトがほとんどない優れた抵抗値の温度依存性を有することが確認された。このことは、感磁部の全面に渉り、磁界の印加された状態の抵抗値の温度依存性の均一性が極めてよいこと意味しており、半絶縁性のGaAs単結晶から成る絶縁性基板上に、SnドープInSb薄膜を分子線エピタキシー法により成長させ、これを感磁部とした磁気抵抗素子は、各素子の特性も揃っており、かつ、抵抗値の温度依存性が極めて小さいことを示している。
磁気センサ10Mを備えた強磁性微粒子検出装置を用いて、図21に示すようなテスト印刷された磁気パターンを検出したときの出力信号波形を図22に示す。磁気パターンのうち、同図の右側のパターンAは、長さが8.0mm、幅が0.8mmのバーを3.0mm間隔で配置したもので、同図の左側のパターンBは、長さが8.0mm、幅が0.3mmのバーを1.5mm間隔で配置したものである。また、図22の出力信号波形は、磁気センサ10の出力端子の出力を約10,000倍の増幅回路に通して得た信号である。
これにより、本発明の強磁性微粒子検出装置においては、微小なパターンを高感度で検出していることが確認された。また、詳細なセンサ出力の計算から、本発明の磁気センサの安定して検出可能な磁束の変化、すなわち、0.25テスラのバイアス磁束密度下で検出可能な最小検出磁束密度変化(絶対最小磁束密度感度)は±1.0μTであった。
また、図19に示した磁気誘導層を有する磁気センサ10Tを備えた強磁性微粒子検出装置を用いて、実施例2と同様に、テスト印刷された磁気パターンを検出したときの検出信号を図23に示す。図22と図23を比較して分かるように、磁気センサ10Tを備えた強磁性微粒子検出装置では、実施例2に比べて信号振幅が更に大きくなっていることがわかる。詳細な磁場解析計算によると、GaAs基板の下の、フェライト薄板の集磁効果によることがわかった。
動作層12を構成する化合物半導体薄膜の、少なくとも端子電極13及び短絡電極14と接触する部位の電子濃度を、電極13,14と接していない化合物半導体薄膜の他の部分よりも大きく製作することにより、化合物半導体薄膜と電極13,14との接触抵抗値を低くして、磁気センサの磁気抵抗変化率を大きくできることを確認するため、以下の実験を行った。
実施例1と同様にして、図24に示すような磁気センサ10Jを作製した。実施例1と異なるのは、窒化シリコン薄膜(絶縁層11B)がないことと、一方の磁気抵抗素子12Pには短絡電極14があるが、他方の磁気抵抗素子12Qには短絡電極がない構造であることである。ここで、一方の磁気抵抗素子12P上に短絡電極14を形成する際、図25(a)に示すように、GaAs基板11上に成長させた、電子濃度7×1016cm−3、厚さ1μmのInSb薄膜(動作層)12の上に、電子濃度5×1018cm−3、厚さ50nmのInSb薄膜から成る中間層12mを積層して短絡電極14および端子電極13を形成した後、図25(b)に示すように、ウェトエッチングによって、電極部以外の中間層を除去し、動作層12と短絡電極14および端子電極13との間に電子濃度の高い中間層を介在させた。なお、図25(c)は、短絡電極がない構造の磁気抵抗素子12Qの断面図である。
また、比較例として、図26(a),(b)に示すような、中間層を省略した磁気抵抗素子12pと、短絡電極がない構造の磁気抵抗素子12qとを備えた磁気センサを作製した。
これらの模式図から、磁気抵抗素子12Pの抵抗値をMR1とし、磁気抵抗素子12Qの抵抗値をMR2とすると、
MR1={Rs2(Rm+2Rc)/(Rc2+Rm+2Rc)+Rs1}×n+Rs1‥‥(1)
MR2=Rs3 ‥‥‥‥(2)
となる。
また、磁気抵抗素子12Pの短絡電極14が載っていない箇所の化合物半導体薄膜の面積と、磁気抵抗素子12Qの化合物半導体薄膜の面積を等しく素子設計すると、
(n+1)Rs1=Rs3=MR2 ‥‥‥‥(3)
となり、接触抵抗Rcは、
Rc={nRs2Rm―(MR1−MR2)(Rs2+Rm)}/2{(MR1−MR2)
−nRs2} ‥‥‥‥(4)
と表せる。
MR1およびMR2は素子より実測した。
また、Rmは以下の方法にて測定した。図28に示すようなパターンで、GaAs基板11上に直接、実施例1の短絡電極材料で、同じ層構造の膜を成膜した。同図において、31は端子電極で、電極膜32の寸法は、1mm×10mm、1mm×20mm、1mm×30mmの3種類とし、それぞれ抵抗値を測定した。そして、その抵抗値を、それぞれの面積で割り返したものをRm□とし、その平均値を採用した。すなわち、Rm=Rm□×(短絡電極部の面積)となる。
また、Rs2は、MR2から面積換算にて求めた。
以上求めた値を式(4)に代入することにより、接触抵抗Rcを求めた結果、接触抵抗Rcは約0.02Ωであった。
また、図26(a),(b)に示した比較例についても、同様の計算を行って接触抵抗を求めた結果、接触抵抗は約0.25Ωであった。
次に、比較例で示した接触抵抗が約0.25Ωの磁気抵抗素子12pと、接触抵抗が約0.02Ωの磁気抵抗素子12Pの磁気抵抗効果を測定した。その結果を図29に示す。図29から明らかなように、接触抵抗を低減することにより、磁気抵抗効果を高くできることが確認された。
更に、従来は、磁気記録の読み出しはコイルヘッドが中心であったが、本発明による磁気パターン読みだしの磁気検出部は、薄膜であり、光リソグラフィーを利用して微細な検出部が製作出来るので、多数の素子を集積して製作できる。このように多数の磁気検出部が集積された磁気パターン検出は2次元的なパターン信号の検出にもつながるので信号の読みとり精度が飛躍的に向上するとともに、パターンの複製が極めて難しくなることにより、紙幣などの磁気パターン検出による真偽識別の信頼度が飛躍的に向上する。また、このように多数の磁気検出部が集積された本発明の装置の実現により多トラックでの磁気パターンの読み出しが可能となった。
更に、本発明を使うことで、磁気記録の検出読み出しも可能である。特に、これまでは難しかった多トラックの磁気記録の読み出しも可能となった。この結果、高度の複製し難い複雑なパターンの磁気記録パターンや印刷磁気パターンを実用的に使うことが可能となった。
更に、本発明により、オフセット電圧の安定した磁気抵抗素子を製作できるので、検出信号の信頼性も向上し、更に、自動販売機などでよく見られる、間違った信号の検出読みとりによる繰り返しも少なくなる。
3 強磁性微粒子、10 磁気センサ、11 絶縁性の基板、11P ウエーハ、
12 動作層、12a,12b 磁気抵抗素子、12F InSb薄膜、
13,13a,13b,13c 端子電極、14 短絡電極、15 永久磁石、
16 モールド樹脂、17 端子ピン、18 金属ケース、19a 駆動回路、
19b 増幅回路、20 軟質樹脂層、21,25 リードフレーム、
22 金ワイヤー、23 硬質樹脂、24 電磁石、26 磁気誘導層、
26P フェライト薄板。
Claims (5)
- 化合物半導体薄膜から成り抵抗値が磁界によって変化する感磁部と、この感磁部に垂直な成分を有する磁界を印加する手段とを備え、面上に所定のパターンに従って配列された強磁性微粒子の配列状態を検出する装置であって、前記感磁面に0.1テスラを超える磁束密度を有する磁界を印加したことを特徴とする強磁性微粒子検出装置。
- 化合物半導体薄膜から成り抵抗値が磁界によって変化する感磁部と、この感磁部に垂直な成分を有する磁界を印加する手段とを備え、面上に所定のパターンに従って配列された強磁性微粒子の配列状態を検出する装置であって、前記感磁面における磁束密度を、前記感磁部の抵抗値の変化率が50%以上となる磁束密度としたことを特徴とする強磁性微粒子検出装置。
- 前記感磁部を構成する化合物半導体薄膜を、Inを含む化合物半導体から構成したことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の強磁性微粒子検出装置。
- 前記化合物半導体薄膜に、Si,Sn,S,Se,Te,Ge,Cから選ばれる少なくとも1つまたは複数のドナー不純物をドープしたことを特徴とする請求項3に記載の強磁性微粒子検出装置。
- 前記感磁部を構成する化合物半導体薄膜を絶縁性の基板または表面に半導体絶縁層が形成された基板上に形成するとともに、この基板の前記感磁部とは反対側に、前記基板に密着または近接して、前記化合物半導体薄膜の膜厚よりも厚い軟磁性薄板もしくは軟磁性薄層を、前記化合物半導体薄膜と平行に設けたことを特徴とする請求項3に記載の強磁性微粒子検出装置。
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