JP4025265B2 - 磁気パターン検出装置 - Google Patents
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Description
該磁気的相互作用に基づいた磁束の変化を、前記磁束変化検出手段の前記磁気抵抗素子の抵抗値の変化に比例した出力信号として検出し、前記磁気抵抗素子は、基板上に半導体結晶を成長させた薄膜層を感磁部の動作層とする薄膜磁気抵抗素子であり、該薄膜磁気抵抗素子の動作層には、キャリアを増加させるための不純物が添加されている半導体薄膜を動作層とすることを特徴とする。
前記磁気抵抗素子は、基板上に半導体結晶を成長させた薄膜層を感磁部の動作層とする薄膜磁気抵抗素子であり、該薄膜磁気抵抗素子の動作層には、キャリアを増加させるための不純物が添加されている半導体薄膜を動作層とすることを特徴とする。
図1〜図3は、本発明に係る実際の磁気パターンによる磁束の変化に比例した信号を得るため(以下、絶対磁気量検出と略す)の磁気パターン検出装置の概略構成を示す。
磁気パターン検出装置の概略構成について説明する。
図1は、磁気パターン検出装置の磁束変化検出手段および出力信号検出手段として構成されたMRヘッド100の構成を示す。
図3は、実装されたMRヘッド100の構成を示す。
実際には、このようにCAN16で封止したものが使用される。すなわち、磁気抵抗素子13を8mm×6mm×4.5mmの希土類磁石15に両側に(N側の磁気抵抗素子13とS側の磁気抵抗素子14)に貼り付ける。その後、これら素子13,14をCAN16の中に挿入し、エポキシ樹脂17をポッティングし、MRヘッド100として作製する。端子4は、それぞれの磁気抵抗素子13,14の電極パッド部にAu線で接続されている。
図4は、磁気抵抗素子13,14の基本構成を示す。
1は動作層、2は電極、3はモールド樹脂、4は電極2と接続された端子を示す。なお、磁気抵抗素子13,14の動作層1は、磁気抵抗素子の場合は高い磁気抵抗変化率を得るためにできるだけ高い電子移動度を有していることが好ましく、Si,GaAs、InSbやInAsおよびこれらの混晶系であるInAsSbなどが好ましい。
図5に示すように、メサエッチング後のInSb薄膜の幅(素子幅)11をWとし、短絡電極間の距離(素子長)12をLとすると、L/Wを形状因子と呼ぶ。本例では、L/W=0.2とした。
図8は、直流増幅回路(反転増幅器)の構成例を示す。
入力電圧19をV1、抵抗22をR1、抵抗23をRf、端子24の電圧をVa、端子25の電圧をVb、出力電圧26をVoutとする。開ループ利得が十分大きいと、オペアンプの入力電圧Va=Vbとみなすことができる。磁気抵抗素子13、14のそれぞれの抵抗値をR13、R14とすれば、入力電圧はV1=(R14/(R13+R14))Vin、出力電圧はVout=(1+Rf/R1)Vb−(Rf/R1)V1となる。ポテンシオ27でVbを変えることにより、Voutを変えることができる。抵抗28をR1’、抵抗29をRf’とすると、Vb=(Rf’/(R1’+Rf’))Vddとなる。V1=2.5V(R14/R13=1の場合)、R1=1kΩ、Rf=10MΩ、R1’/Rf’=1.0002とすると、Vout=0Vとなる。
図10は、磁気印刷物20の磁気パターンの構成例を示す。
磁気パターンを構成する磁気インク20として、磁性粉の含有量(すなわち、磁気量)の異なる4種類(A,B,C,D)用意する。磁気インク20の1本の大きさは幅0.8mm、長さ8.0mmであり、これを16本、4.5mmの間隔でA,B,C,D順番に並べて磁気印刷物20上に印刷することにより、磁気パターンを作成する。
以下、本装置の動作について説明する。
(磁気パターン検出原理)
図12は、磁気パターンの信号検出原理を示す。
図1のMRヘッド100を用いて、磁気印刷物20に形成された磁性粉を含有した磁気インク21からなる磁気パターンの信号を検出する原理について説明する。
図13は、出力信号150の測定原理を示す。
図2の信号測定回路200を用いて、磁気抵抗素子13により検出された信号を、磁気抵抗素子14により出力電圧19(出力信号)として測定する原理について説明する。
上記のような検出・測定原理により、検出された出力信号の波形について説明する。
上記のように検出された出力信号を直流増幅する物理的意味について説明する。
前述した第1の例では、図3に示すようなMRヘッド100も用いたが、本例では、MRヘッド100として、図17に示すような、磁束変化検出手段としての磁気抵抗素子13のみを希土類の磁石15のN側に貼り付けた構造として構成した場合の例である。
本例では、出力信号検出手段として、図20に示すように、固定抵抗30の代わりに、磁気抵抗素子31をプリント基板18上に配置し、その上に希土類の磁石15を貼り付けた。なお、MRヘッド100は、前述した第2の例と同じものを用いて構成した。
2 電極
3 モールド樹脂
4 端子
7 メサエッチングしたInSb薄膜
8 短絡電極
10 電極パッド部
11 素子幅(W)
12 素子長(L)
13 磁気抵抗素子
14 磁気抵抗素子
15 希土類磁石
16 CAN
17 エポキシ樹脂
18 プリント基板
19 出力信号(出力電圧)
20 磁気印刷物
21 磁気インク
22 抵抗
23 抵抗
24 オペアンプ(−)端子電圧
25 オペアンプ(+)端子電圧
26 出力電圧
27 ポテンシオ
28 抵抗
29 抵抗
30 固定抵抗
31 磁気抵抗素子
32 磁気抵抗素子
33 磁気抵抗素子
34 出力端子
35 コンデンサ
36 端子
37 端子
38 帯状の磁気パターン
39 検出信号
40 中心間距離
41 磁気パターン
42 検出信号
43 磁気パターン
44 磁気パターン
45 磁気パターン
46 コンデンサ通過前の検出信号
47 コンデンサ通過後の検出信号
48 磁気抵抗素子
49 磁気抵抗素子
50 電極パッド部
51 電極パッド部
52 電極パッド部
100 MRヘッド
150 出力信号
200 信号測定回路
Claims (8)
- 基体の表面若しくは内部に形成された磁気パターンに含まれる磁性体微粒子の微弱な濃淡変化に対応した磁束の変化を検出する磁気パターン検出装置であって、
磁気抵抗素子からなる磁束変化検出手段と、
前記磁束変化検出手段の前記磁気抵抗素子に対して一定の外部磁界を印加する磁界印加手段と、
前記磁束変化検出手段と直列接続された直列回路の接続点に現れる出力信号を検出する磁気抵抗素子からなる出力信号検出手段と、
前記接続点に現れる出力信号を増幅する増幅手段と
を具え、
前記出力信号検出手段は、
前記磁気パターンに含まれる磁性体微粒子と前記一定の外部磁界との磁気的相互作用に基づいた磁束の変化の影響を受けることなく、かつ、
該磁気的相互作用に基づいた磁束の変化を、前記磁束変化検出手段の前記磁気抵抗素子の抵抗値の変化に比例した出力信号として検出し、
前記磁気抵抗素子は、基板上に半導体結晶を成長させた薄膜層を感磁部の動作層とする薄膜磁気抵抗素子であり、該薄膜磁気抵抗素子の動作層には、キャリアを増加させるための不純物が添加されている半導体薄膜を動作層とすることを特徴とする磁気パターン検出装置。 - 基体の表面若しくは内部に形成された磁気パターンに含まれる磁性体微粒子の微弱な濃淡変化に対応した磁束の変化を検出する磁気パターン検出装置であって、
磁気抵抗素子からなる磁束変化検出手段と、
前記磁束変化検出手段と直列接続された直列回路の接続点に現れる出力信号を検出する磁気抵抗素子からなる出力信号検出手段と、
前記磁束変化検出手段の前記磁気抵抗素子および前記出力信号検出手段の前記磁気抵抗素子に対して一定の外部磁界を印加する磁界印加手段と、
前記接続点に現れる出力信号を増幅する増幅手段と
を具え、
前記磁束変化検出手段の前記磁気抵抗素子および前記出力信号検出手段の前記磁気抵抗素子は、前記磁界印加手段の前記一定の外部磁界を発生する側の同一面内に配設され、
前記出力信号検出手段は、
前記磁気パターンに含まれる磁性体微粒子と前記一定の外部磁界との磁気的相互作用に基づいた磁束の変化を、前記磁束変化検出手段の前記磁気抵抗素子の抵抗値の変化に比例した出力信号として検出し、
前記磁気抵抗素子は、基板上に半導体結晶を成長させた薄膜層を感磁部の動作層とする薄膜磁気抵抗素子であり、該薄膜磁気抵抗素子の動作層には、キャリアを増加させるための不純物が添加されている半導体薄膜を動作層とすることを特徴とする磁気パターン検出装置。 - 前記磁束変化検出手段を構成する前記磁気抵抗素子は、磁束密度の変化に対して磁気抵抗変化率が大きい特性を有し、
前記出力信号検出手段を構成する前記磁気抵抗素子は、磁束密度の変化に対して磁気抵抗変化率が小さい特性を有することを特徴とする請求項2記載の磁気パターン検出装置。 - 前記磁束変化検出手段を構成する前記磁気抵抗素子、および、前記出力信号検出手段を構成する前記磁気抵抗素子において、素子長をLとし、素子幅をWとし、形状因子をL/Wと定義するとき、
前記磁束変化検出手段を構成する前記磁気抵抗素子の前記形状因子L/Wは、磁気抵抗変化率が大きい範囲に対応した値に設定され、
前記出力信号検出手段を構成する前記磁気抵抗素子の前記形状因子L/Wは、磁気抵抗変化率が小さい範囲に対応した値に設定されたことを特徴とする請求項2又は3記載の磁気パターン検出装置。 - 前記磁束変化検出手段を構成する前記磁気抵抗素子の前記形状因子L/Wは、0.3以下の値に設定され、
前記出力信号検出手段を構成する前記磁気抵抗素子の前記形状因子L/Wは、10以上の値に設定されたことを特徴とする請求項4記載の磁気パターン検出装置。 - 基体の表面若しくは内部に形成された磁気パターンに含まれる磁性体微粒子の微弱な濃淡変化に対応した磁束の変化を検出する磁気パターン検出装置であって、
磁気抵抗素子からなる磁束変化検出手段と、
前記磁束変化検出手段の前記磁気抵抗素子に対して一定の外部磁界を印加する磁界印加手段と、
前記磁束変化検出手段と直列接続された直列回路の接続点に現れる出力信号を検出する固定抵抗からなる出力信号検出手段と、
前記接続点に現れる出力信号を増幅する増幅手段と
を具え、
前記出力信号検出手段は、
前記磁気パターンに含まれる磁性体微粒子と前記一定の外部磁界との磁気的相互作用に基づいた磁束の変化の影響を受けることなく、かつ、
該磁気的相互作用に基づいた磁束の変化を、前記磁束変化検出手段の前記磁気抵抗素子の抵抗値の変化に比例した出力信号として検出し、
前記磁気抵抗素子は、基板上に半導体結晶を成長させた薄膜層を感磁部の動作層とする薄膜磁気抵抗素子であり、該薄膜磁気抵抗素子の動作層には、キャリアを増加させるための不純物が添加されている半導体薄膜を動作層とすることを特徴とする磁気パターン検出装置。 - 前記薄膜磁気抵抗素子の動作層の組成は、InxGa1−xAsySb1−y(0≦x≦1、0≦y≦1)であり、
不純物は珪素、錫、セレン、テルル、或いは硫黄であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の磁気パターン検出装置。 - 前記キャリアの数は、4×10 16 /cm 3 以上1×10 18 /cm 3 以下であることを特徴とする請求項7記載の磁気パターン検出装置。
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