JP2005323193A - コンデンサ型音響変換装置及びその製造方法 - Google Patents
コンデンサ型音響変換装置及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005323193A JP2005323193A JP2004140077A JP2004140077A JP2005323193A JP 2005323193 A JP2005323193 A JP 2005323193A JP 2004140077 A JP2004140077 A JP 2004140077A JP 2004140077 A JP2004140077 A JP 2004140077A JP 2005323193 A JP2005323193 A JP 2005323193A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capacitor
- layer
- diaphragm
- manufacturing
- support layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)
Abstract
【解決手段】まず、活性層1と支持層2とそれらの間に挟まれた絶縁層3との3層からなるSOI基板に、ダイアフラム領域を画定する。そしてダイアフラム領域の支持層2に、絶縁層3までエッチングすることで複数のアコースティックホール7を形成する。その後、ダイアフラム領域の絶縁層3を選択的にエッチングし、支持層2と活性層1の間に空隙層4を形成する。最後に活性層1と支持層2にそれぞれ電極パッド10,11を形成することで、ダイアフラムとしてシリコンを用いるコンデンサ型音響変換装置を製造する。
【選択図】図3
Description
2 支持層
3 絶縁層
4 空隙層
5 バイアス電圧
6 プリアンプ
7 アコースティックホール
9 絶縁性ビーズ
10,11 電極パッド
Claims (21)
- ダイアフラムとしてシリコンを用いるコンデンサ型音響変換装置の製造方法であって、該方法は、
活性層と支持層とそれらの間に挟まれた絶縁層との3層からなるSOI基板を提供する過程と、
前記SOI基板にダイアフラム領域を画定する過程と、
前記ダイアフラム領域の前記支持層に、前記絶縁層までエッチングすることで複数のアコースティックホールを形成する過程と、
前記アコースティックホールを介して前記ダイアフラム領域の前記絶縁層を選択的にエッチングし、前記ダイアフラム領域の前記活性層と前記支持層の間に空隙層を形成する過程と、
前記活性層と前記支持層にそれぞれ電極パッドを形成する過程と、
を具備することを特徴とするコンデンサ型音響変換装置の製造方法。 - 請求項1に記載の製造方法において、前記アコースティックホール形成過程は、ドライエッチングで行うことを特徴とするコンデンサ型音響変換装置の製造方法。
- 請求項1又は請求項2に記載の製造方法において、前記アコースティックホールは、前記ダイアフラムに対して略垂直に形成されることを特徴とするコンデンサ型音響変換装置の製造方法。
- 請求項1又は請求項2に記載の製造方法において、前記アコースティックホールは、前記ダイアフラムに向かってテーパー状に形成されることを特徴とするコンデンサ型音響変換装置の製造方法。
- 請求項1乃至請求項4の何れかに記載の製造方法において、前記ダイアフラムは、単結晶シリコンからなることを特徴とするコンデンサ型音響変換装置の製造方法。
- 請求項1乃至請求項5の何れかに記載の製造方法において、前記活性層に形成される電極パッドと前記支持層に形成される電極パッドは、同一方向に向いて形成されることを特徴とするコンデンサ型音響変換装置の製造方法。
- 請求項1乃至請求項6の何れかに記載の製造方法であって、さらに、アンプを含む周辺回路を同一基板上に形成する過程を含むことを特徴とするコンデンサ型音響変換装置の製造方法。
- 請求項1乃至請求項7の何れかに記載の製造方法であって、さらに、コンデンサ型音響変換装置を同一基板上に複数形成する過程を含むことを特徴とするコンデンサ型音響変換装置の製造方法。
- 請求項8に記載の製造方法において、前記ダイアフラム領域画定過程は、前記複数形成されたコンデンサ型音響変換装置のそれぞれのダイアフラム領域の大きさを変えて画定する過程であることを特徴とするコンデンサ型音響変換装置の製造方法。
- 請求項8又は請求項9に記載の製造方法であって、さらに、前記複数形成されたコンデンサ型音響変換装置のためのアンプを含む周辺回路を同一基板上にそれぞれ形成する過程を含み、前記周辺回路により前記複数形成されたコンデンサ型音響変換装置の信号レベルを揃えることを特徴とするコンデンサ型音響変換装置の製造方法。
- 請求項1乃至請求項10に記載の製造方法であって、さらに、
前記活性層の上にさらに第2絶縁層を介して第2支持層を有するSOI基板を提供する過程と、
前記ダイアフラム領域の前記第2支持層に、前記第2絶縁層までエッチングすることで複数の第2アコースティックホールを形成する過程と、
前記第2アコースティックホールを介して前記ダイアフラム領域の前記第2絶縁層を選択的にエッチングし、前記ダイアフラム領域の前記第2活性層と前記第2支持層の間に第2空隙層を形成する過程と、
前記第2支持層に第2電極パッドを形成する過程と、
を具備することを特徴とするコンデンサ型音響変換装置の製造方法。 - ダイアフラムとしてシリコンを用いるコンデンサ型音響変換装置であって、該装置は、
活性層と支持層とそれらの間に挟まれた絶縁層との3層からなるSOI基板を具備し、
前記支持層は、前記絶縁層までエッチングすることでダイアフラム領域に形成された複数のアコースティックホールを有し、
前記絶縁層は、前記ダイアフラム領域の前記活性層と前記支持層の間に空隙層を有し、
前記活性層と前記支持層は、それぞれ電極パッドを有する、
ことを特徴とするコンデンサ型音響変換装置。 - 請求項12に記載のコンデンサ型音響変換装置において、前記アコースティックホールは、前記ダイアフラムに対して略垂直であることを特徴とするコンデンサ型音響変換装置。
- 請求項12に記載のコンデンサ型音響変換装置において、前記アコースティックホールは、前記ダイアフラムに向かってテーパー状であることを特徴とするコンデンサ型音響変換装置。
- 請求項12乃至請求項14の何れかに記載のコンデンサ型音響変換装置において、前記ダイアフラムは単結晶シリコンからなることを特徴とするコンデンサ型音響変換装置。
- 請求項12乃至請求項15の何れかに記載のコンデンサ型音響変換装置において、前記活性層の電極パッドと前記支持層の電極パッドは、同一の方向に向いていることを特徴とするコンデンサ型音響変換装置。
- 請求項12乃至請求項16の何れかに記載のコンデンサ型音響変換装置であって、さらに、同一基板上にアンプを含む周辺回路を有することを特徴とするコンデンサ型音響変換装置。
- 請求項12乃至請求項17の何れかに記載のコンデンサ型音響変換装置であって、さらに、同一基板上にコンデンサ型音響変換装置を複数有することを特徴とするコンデンサ型音響変換装置。
- 請求項18に記載のコンデンサ型音響変換装置において、前記複数のコンデンサ型音響変換装置は、ダイアフラム領域の大きさがそれぞれ異なることを特徴とするコンデンサ型音響変換装置。
- 請求項18又は請求項19に記載のコンデンサ型音響変換装置であって、さらに、前記複数のコンデンサ型音響変換装置のためのアンプを含む周辺回路をそれぞれ同一基板上に有し、前記周辺回路により前記複数形成されたコンデンサ型音響変換装置の信号レベルが揃えられることを特徴とするコンデンサ型音響変換装置。
- 請求項12乃至請求項20の何れかに記載のコンデンサ型音響変換装置であって、さらに、
前記活性層の上にさらに第2絶縁層を介して第2支持層を有するSOI基板を具備し、
前記第2支持層は、前記第2絶縁層までエッチングすることでダイアフラム領域に形成された複数の第2アコースティックホールを有し、
前記第2絶縁層は、前記ダイアフラム領域の前記第2活性層と前記第2支持層の間に第2空隙層を有し、
前記第2支持層は、第2電極パッドを有する、
ことを特徴とするコンデンサ型音響変換装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004140077A JP4396975B2 (ja) | 2004-05-10 | 2004-05-10 | コンデンサ型音響変換装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004140077A JP4396975B2 (ja) | 2004-05-10 | 2004-05-10 | コンデンサ型音響変換装置及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005323193A true JP2005323193A (ja) | 2005-11-17 |
JP4396975B2 JP4396975B2 (ja) | 2010-01-13 |
Family
ID=35470124
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004140077A Expired - Fee Related JP4396975B2 (ja) | 2004-05-10 | 2004-05-10 | コンデンサ型音響変換装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4396975B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1958480A1 (de) * | 2005-11-29 | 2008-08-20 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanische struktur zum empfang und/oder zur erzeugung von akustischen signalen, verfahren zur herstellung einer mikromechanischen struktur und verwendung einer mikromechanischen struktur |
JP2008533951A (ja) * | 2006-05-09 | 2008-08-21 | ビーエスイー カンパニー リミテッド | 付加的なバックチェンバを有する指向性シリコンコンデンサマイクロホン |
WO2011114398A1 (ja) * | 2010-03-16 | 2011-09-22 | パナソニック株式会社 | Memsデバイス |
JP2014510472A (ja) * | 2011-03-04 | 2014-04-24 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | マイクロフォン及び2つのバックプレート間で膜を位置決めする方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104113812A (zh) * | 2014-08-11 | 2014-10-22 | 苏州敏芯微电子技术有限公司 | 电容式微硅麦克风及其制造方法 |
CN111491244B (zh) * | 2020-03-16 | 2021-11-16 | 歌尔微电子有限公司 | 一种mems麦克风的加工方法和mems麦克风 |
-
2004
- 2004-05-10 JP JP2004140077A patent/JP4396975B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1958480A1 (de) * | 2005-11-29 | 2008-08-20 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanische struktur zum empfang und/oder zur erzeugung von akustischen signalen, verfahren zur herstellung einer mikromechanischen struktur und verwendung einer mikromechanischen struktur |
JP2009517940A (ja) * | 2005-11-29 | 2009-04-30 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 音響的な信号を受信および/または発生させるためのマイクロマシニング構造体、マイクロマシニング構造体を製造するための方法、およびマイクロマシニング構造体の使用法 |
JP2008533951A (ja) * | 2006-05-09 | 2008-08-21 | ビーエスイー カンパニー リミテッド | 付加的なバックチェンバを有する指向性シリコンコンデンサマイクロホン |
JP2010104006A (ja) * | 2006-05-09 | 2010-05-06 | Bse Co Ltd | 付加的なバックチェンバを有する指向性シリコンコンデンサマイクロホン |
JP4738481B2 (ja) * | 2006-05-09 | 2011-08-03 | ビーエスイー カンパニー リミテッド | 付加的なバックチェンバを有する指向性シリコンコンデンサマイクロホン |
WO2011114398A1 (ja) * | 2010-03-16 | 2011-09-22 | パナソニック株式会社 | Memsデバイス |
JP2014510472A (ja) * | 2011-03-04 | 2014-04-24 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | マイクロフォン及び2つのバックプレート間で膜を位置決めする方法 |
US9197967B2 (en) | 2011-03-04 | 2015-11-24 | Epcos Ag | Microphone and method to position a membrane between two backplates |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4396975B2 (ja) | 2010-01-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10057684B2 (en) | Integrated electroacoustic MEMS transducer with improved sensitivity and manufacturing process thereof | |
KR101787187B1 (ko) | 마이크로폰용 시스템 및 방법 | |
US10111021B2 (en) | MEMS device and process | |
US9540226B2 (en) | System and method for a MEMS transducer | |
US20120091546A1 (en) | Microphone | |
US20050254673A1 (en) | High performance MEMS thin-film teflon electret microphone | |
US7089638B2 (en) | Method for fabricating a micromachined piezoelectric microspeaker | |
TWI659923B (zh) | Mems裝置與製程 | |
JP2012217162A (ja) | テーパー面を備えた膜支持部を有する微小機械音響トランスデューサ | |
US10469958B2 (en) | MEMS sound transducer, MEMS microphone and method for providing a MEMS sound transducer | |
JP2007067893A (ja) | 音響センサ | |
JP2005110204A (ja) | コンデンサーマイクロフォン及びその作製方法 | |
JP4396975B2 (ja) | コンデンサ型音響変換装置及びその製造方法 | |
JP4355273B2 (ja) | 静電容量型センサ及びその製造方法 | |
Goto et al. | High-performance condenser microphone with single-crystalline silicon diaphragm and backplate | |
Yoo et al. | Development of directional mems microphone single module for high directivity and snr | |
US20210314718A1 (en) | Process of fabricating lateral mode capacitive microphone including a capacitor plate with sandwich structure | |
US10524060B2 (en) | MEMS device having novel air flow restrictor | |
US20210058727A1 (en) | Process of fabricating lateral mode capacitive microphone | |
JP4975265B2 (ja) | 圧力センサ及びその製造方法 | |
KR101893486B1 (ko) | 강성 백플레이트 구조의 마이크로폰 및 그 마이크로폰 제조 방법 | |
JP5022198B2 (ja) | トランスデューサ用基板の製造方法 | |
JP4737720B2 (ja) | ダイヤフラム及びその製造方法並びにそのダイヤフラムを有するコンデンサマイクロホン及びその製造方法 | |
US20210337333A1 (en) | Process of fabricating capacitive microphone comprising moveable single conductor and stationary composite conductor | |
US20210345054A1 (en) | Process of fabricating capacitive microphone comprising movable composite conductor and stationary single conductor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20070501 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080925 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081007 |
|
RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425 Effective date: 20090318 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20090604 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20090904 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20090928 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Effective date: 20091014 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Effective date: 20091016 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121030 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |