JP2005321196A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. シリコン基板と、
   前記シリコン基板の表面に設けられた第1の窒化シリコン膜と、
   前記シリコン基板の裏面に設けられた第2の窒化シリコン膜とを有し、
   前記第1の窒化シリコン膜は、生体物質と結合するプローブを表面に固定するための第1の領域を有することを特徴とするチップ。
2. 前記第1の領域は、前記第1の窒化シリコン膜の他の領域よりも膜厚が厚いことを特徴とする請求項１に記載のチップ。
3. 前記第1の窒化シリコン膜の屈折率は2.0程度から2.6程度の範囲の値であることを特徴とする請求項1に記載のチップ。
4. 前記第1の窒化シリコン膜の窒素とシリコンの組成比は、シリコン量をｘ、窒素量をｙとしたときにｘ／ｙが１．１以下であることを特徴とする請求項1に記載のチップ。
5. 前記プローブはタンパク質であることを特徴とする請求項１に記載のチップ。
6. 前記第１の領域は、屈折率が２．２程度であることを特徴とする請求項１に記載のチップ。
7. 前記第１の領域は、屈折率が２．０程度であることを特徴とする請求項１に記載のチップ。
8. 前記第1の窒化シリコン膜は、前記シリコン基板の表面に設けられかつ屈折率が２．４程度の第3の窒化シリコン膜と、前記第3の窒化シリコン膜の表面に設けられかつ屈折率２．０程度の第4の窒化シリコン膜とからなることを特徴とする請求項1に記載のチップ。
9. 基板を設置するための台と、
   前記基板に試料溶液を供給する試料溶液供給部と、
   光源と、
   前記基板の表面に設けられた複数のプローブ固定領域の各々に対応して、前記光源からの光を照射するための複数の第1光ファイバと、
   前記基板の表面に設けられた複数のプローブ固定領域の各々に対応して、前記プローブ固定領域で反射した光を検出する複数の第2光ファイバと、
   前記反射した光を測定する受光部と、
   前記受光部の測定結果について処理を行う計算部とを有し、
   前記第1光ファイバと前記第2光ファイバとは、前記基板と対面する端部の配置が前記基板に対して回転方向に関して非対称であることを特徴とする測定装置。
10. 前記第1光ファイバと前記第2光ファイバを保持しかつ可動である光ファイバ保持部と、前記光ファイバ保持部の位置を定める位置決め機構とを有することを特徴とする請求項９に記載の測定装置。