JP2005321069A - 流体制御装置 - Google Patents
流体制御装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005321069A JP2005321069A JP2004141007A JP2004141007A JP2005321069A JP 2005321069 A JP2005321069 A JP 2005321069A JP 2004141007 A JP2004141007 A JP 2004141007A JP 2004141007 A JP2004141007 A JP 2004141007A JP 2005321069 A JP2005321069 A JP 2005321069A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid
- passage
- block
- line
- passage block
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17D—PIPE-LINE SYSTEMS; PIPE-LINES
- F17D1/00—Pipe-line systems
- F17D1/02—Pipe-line systems for gases or vapours
- F17D1/04—Pipe-line systems for gases or vapours for distribution of gas
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Valve Housings (AREA)
- Pipeline Systems (AREA)
- Flow Control (AREA)
Abstract
【解決手段】 流体導入部10は、一列に配置された第1番目から第n番目までの下段通路ブロック12A,12と、隣り合う2つの下段通路ブロック12A,12にまたがって配置された第1番目から第(n−1)番目までの上段通路ブロック13,13A,13Bと、第1番目の下段通路ブロック12Aの入口ポートに接続されたプロセスガス導入配管14と、プロセスガス導入配管14と第4番目の上段通路ブロック13Aとを接続する第1バイパス配管15と、第1バイパス配管15と第8番目の上段通路ブロック13Bとを接続する第2バイパス配管16とを備えている。
【選択図】 図1
Description
(12A)(12) 下段通路ブロック
(13)(13A)(13B) 上段通路ブロック
(14) プロセスガス導入配管
(15) 第1バイパス配管
(16) 第2バイパス配管
Claims (3)
- 上方に開口した入口ポート、上方に開口した出口ポートおよび側方に開口した出口ポートを有する第1番目から第n番目までの下段通路ブロックが一列に配置され、隣り合う下段通路ブロックの出口ポートと入口ポートとを連通する第1番目から第(n−1)番目までの上段通路ブロックが一列に配置され、下段通路ブロックの側方に開口した出口ポートに第1番目から第n番目までの流体制御器が接続されている流体制御装置であって、
第1番目の下段通路ブロックの入口ポートに流体導入配管が接続され、第2番目から第(n−1)番目までの上段通路ブロックのうちの少なくとも1つが流体導入配管とバイパス配管を介して連通されていることを特徴とする流体制御装置。 - n≦10であり、流体導入配管と第n1番目の通路ブロックとがバイパス配管で連通され、3≦n1≦6とされている請求項1の流体制御装置。
- n>10であり、流体導入配管と第n1番目の通路ブロックとが第1バイパス配管で連通され、第n1番目の通路ブロックと第n2番目の通路ブロックとが第2バイパス配管で連通されており、3≦n1≦6および7≦n2≦10とされている請求項1の流体制御装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004141007A JP3858155B2 (ja) | 2004-05-11 | 2004-05-11 | 流体制御装置 |
PCT/JP2004/018984 WO2005108852A1 (ja) | 2004-05-11 | 2004-12-14 | 流体制御装置 |
TW94104575A TW200538646A (en) | 2004-05-11 | 2005-02-17 | Fluid control apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004141007A JP3858155B2 (ja) | 2004-05-11 | 2004-05-11 | 流体制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005321069A true JP2005321069A (ja) | 2005-11-17 |
JP3858155B2 JP3858155B2 (ja) | 2006-12-13 |
Family
ID=35320301
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004141007A Expired - Fee Related JP3858155B2 (ja) | 2004-05-11 | 2004-05-11 | 流体制御装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3858155B2 (ja) |
TW (1) | TW200538646A (ja) |
WO (1) | WO2005108852A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021006654A (ja) * | 2019-06-28 | 2021-01-21 | 株式会社フジキン | ガス供給装置および半導体製造装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0633878B2 (ja) * | 1988-04-08 | 1994-05-02 | 株式会社本山製作所 | 超高純度ガス用管装置 |
JP2003322127A (ja) * | 2002-04-26 | 2003-11-14 | Fujikin Inc | 流体継手 |
-
2004
- 2004-05-11 JP JP2004141007A patent/JP3858155B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2004-12-14 WO PCT/JP2004/018984 patent/WO2005108852A1/ja active Application Filing
-
2005
- 2005-02-17 TW TW94104575A patent/TW200538646A/zh unknown
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021006654A (ja) * | 2019-06-28 | 2021-01-21 | 株式会社フジキン | ガス供給装置および半導体製造装置 |
JP7333053B2 (ja) | 2019-06-28 | 2023-08-24 | 株式会社フジキン | ガス供給装置および半導体製造装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3858155B2 (ja) | 2006-12-13 |
TW200538646A (en) | 2005-12-01 |
WO2005108852A1 (ja) | 2005-11-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100714755B1 (ko) | 유체 제어장치 | |
US7152629B2 (en) | Fluid control device | |
TWI564502B (zh) | Integrated gas supply device | |
JP2002349797A (ja) | 流体制御装置 | |
US8950433B2 (en) | Manifold system for gas and fluid delivery | |
US20090250126A1 (en) | Fluid Control Device | |
JP5868219B2 (ja) | 流体制御装置 | |
JPH1011147A (ja) | 遮断開放器およびこれを備えた流体制御装置 | |
SG145668A1 (en) | Method and apparatus for controlling gas flow to a processing chamber | |
SG145669A1 (en) | Method and apparatus for controlling gas flow to a processing chamber | |
TWI669460B (zh) | 接頭及流體控制裝置 | |
TWI484110B (zh) | 流體控制裝置 | |
JP6147113B2 (ja) | 流体制御装置用継手および流体制御装置 | |
WO2007017937A1 (ja) | 流体制御装置 | |
JP4314425B2 (ja) | 流体制御装置 | |
TWI677643B (zh) | 接頭組件及使用該接頭組件的流體控制裝置、半導體製造方法及半導體製造裝置 | |
JP3858155B2 (ja) | 流体制御装置 | |
JP6518501B2 (ja) | 流体制御装置用継手、流体制御装置用開閉弁および流体制御装置 | |
KR20210052297A (ko) | 유체 제어 장치 및 반도체 제조 장치 | |
JP2018084255A (ja) | 流体制御装置 | |
US10982782B2 (en) | Valve apparatus | |
TWI358508B (ja) | ||
KR100625740B1 (ko) | 바이패스 유로가 포함된 단일블럭 | |
JP6632804B2 (ja) | 継手および流体制御装置 | |
KR20230135655A (ko) | 가스 공급 장치 및 반도체 제조 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051101 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051227 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060314 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060512 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20060522 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060808 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060904 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 3858155 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100929 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110929 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120929 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130929 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |