JP7333053B2 - ガス供給装置および半導体製造装置 - Google Patents
ガス供給装置および半導体製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7333053B2 JP7333053B2 JP2019121020A JP2019121020A JP7333053B2 JP 7333053 B2 JP7333053 B2 JP 7333053B2 JP 2019121020 A JP2019121020 A JP 2019121020A JP 2019121020 A JP2019121020 A JP 2019121020A JP 7333053 B2 JP7333053 B2 JP 7333053B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pipe
- fluid control
- gas
- upstream
- way valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
複数の処理チャンバに共通の液体材料をガス化して供給する場合には、複数の処理チャンバの各々に対応して複数の流体制御装置を用意し、液体材料のタンクから複数の流体制御装置にそれぞれ延びる配管を設けることにより対応していた。処理チャンバの複数の箇所にガスを供給する場合にも同様の方法が採用されていた。
プロセス材料を処理装置に供給する複数の流体制御装置を有するガス供給装置であって、
前記複数の流体制御装置の各々は、
プロセス材料が供給される入力部と、前記入力部を通じて供給されたプロセス材料の一部または全部を前記処理装置に連通するプロセスラインに排出する第1の出力部と、前記入力部を通じて供給されたプロセス材料の一部を排出する第2の出力部とを備える分岐ブロックを有し、
前記複数の流体制御装置の各々の分岐ブロックは、前記入力部がプロセス材料の供給源に供給管を介して接続され、又は、上流側の他の流体制御装置の分岐ブロックの第2の出力部に分岐管を介して接続され、
最下流側の流体制御装置の分岐ブロックの第2の出力部は、前記分岐管が接続される代わりに、閉止部材によって閉止されている。
前記複数の流体制御装置の各々は、パージガス用配管を有し、
前記パージガス用配管は、
前記プロセスラインの前記気化器への液体材料の供給ラインに接続された上流側配管と、
前記プロセスラインの前記気化器からのガスの排出ラインに接続された下流側配管と、
前記供給ラインの前記分岐ブロックの第1の出力部からの液体材料の供給位置よりもさらに上流側に接続された最上流側配管と、を有する。
図1は、本発明の一実施形態に係るガス供給装置1の概略構成を示している。
図1において、ガス供給装置1は、複数の流体制御装置10(10A~10C)を有している。
流体制御装置10A~10Cは、液体材料を処理チャンバ20A~20Cに接続すると共に、下流側の流体制御装置10B、10Cとに分岐させるための分岐ブロック部50をそれぞれ備えている。
流体制御装置10Bの分岐ブロック部50は、下流側の流体制御装置10Cの分岐ブロック部50と分岐管61により接続され、気化器11に排出管70により接続されている。
図1における40はパージガス供給部であり、供給管60を通じて流体制御装置10A~10CにパージガスPGを供給するが、詳細は後述する。
図2A,図2Bに示すように、分岐ブロック部50は、分岐ブロック51と、分岐ブロック51上の接続ブロック62,63からなる。
分岐ブロック51には、液体材料Lが供給される入力部51aと、入力部51aを通じて供給された液体材料Lの一部または全部L1を気化器11に排出する第1の出力部51bと、入力部51aを通じて供給された液体材料Lの一部L2を排出する第2の出力部51cが形成されている。
入力部51aには、接続ブロック62によって供給管60または分岐管61が接続されている。
第1の出力部51bには、排出管70が直接接続されている。
第2の出力部51cには、接続ブロック63によって分岐管61が接続されている。
閉止ブロック64は、第2の出力部51cを閉止する。
なお、接続ブロック62,63および閉止ブロック64は、分岐ブロック51に対して着脱自在に形成されている。
処理チャンバの数を削減する場合には、分岐管61の代わりに閉止ブロック64で第2の出力部51cを閉止すればよい。すなわち、分岐管61と閉止ブロック64の接続関係を変更するだけで、ガスの出力数を簡単に変更できる。
ガス供給装置1は頻繁に取り外してメンテナンスする必要がある。メンテナンス時には、各配管に液体材料やガスが残留していないようにパージガスで予めパージしてやる必要がある。
このため、図4A,4Bに示すように、複数の流体制御装置10A~10Cの各々は、パージガス用配管100を備えている。
パージガス用配管100は、気化器11の下流に設けられたヒータライン12の下流にパージガスPGを供給する下流側配管101と、気化器11への液体材料Lの供給ライン15に接続された上流側配管102と、供給ライン15の分岐ブロック部50からの液体材料Lの供給位置よりもさらに上流側に接続された最上流側配管103とを有する。ヒータライン12は、気化器11で気化されたガスが液化しないように加熱するために設けられている。
図4Aおよび図4Bに示すパージガス用配管100には、複数のバルブV1~V6(V3,V5は三方弁である。)が設けられている。これらのバルブV1,V2,V3,V4,V6を開放することで、下流側配管101、上流側配管102および最上流側配管103からパージガスPGが供給される。
バルブV1は、図示しないパージガス供給源からのパージガスPGを供給する供給管104に設けられ、バルブV2は下流側配管101の出口に設けられ、バルブV3は上流側配管102の出口に設けられ、バルブV4はバルブV3の上流側に設けられ、バルブV5は排出管70の出口に設けられ、バルブV6はバルブV5の上流側に設けられている。
ここで、バルブV3~V6、供給ライン15、気化器11、ヒータライン12、処理チャンバに連通する排出ライン16を含めてプロセスラインPLとする。
なお、バルブV3,V4,V6を開放すると、プロセスラインPLの最上流側からパージガスPGが供給され、プロセスラインPL供内の液体材料が全てパージされ、プロセスラインPL内に液体材料Lの液だまりが生じるのを防止できる。
から最上流側の流体制御装置10Aに向けて液体材料Lを供給することもできる。この場合には、供給管60の接続ブロック62を閉止ブロック64に交換し、最下流側の流体制御装置10Cに設けた閉止ブロック64を供給管60の接続ブロック62に取り換える。このように、分岐ブロック部50により流体制御装置10A~10Cをひとつなぎにすることで、液体材料の供給位置も可変にできる。
図5に示すガス供給装置100Aのように、流体制御装置110(110A~110C)の上流側に気化器11を設け、流体制御装置110A~110Cでは気化を行わないことも可能である。
また、最下流側から液体材料を供給する場合には、気化器11を下流側に配置すればよい。
10,10A-10C :流体制御装置
11 :気化器
12 :ヒータライン
15 :供給ライン
PL :プロセスライン
20A-20C :処理チャンバ
30 :液体材料タンク
40 :パージガス供給部
50 :分岐ブロック部
51 :分岐ブロック
51a :入力部
51b :第1の出力部
51c :第2の出力部
60 :供給管
61 :分岐管
62,63 :接続ブロック
64 :閉止ブロック
70 :排出管
100 :パージガス用配管
101 :下流側配管
102 :上流側配管
103 :最上流側配管
104 :供給管
L,L1,L2 :液体材料
PG :パージガス
V1-V6 :バルブ
Claims (3)
- プロセス材料を処理チャンバに供給する複数の流体制御装置を有するガス供給装置であって、
前記複数の流体制御装置の各々は、
プロセス材料が供給される入力部と、前記入力部を通じて供給されたプロセス材料の一部または全部を前記処理チャンバに連通するプロセスラインに排出する第1の出力部と、前記入力部を通じて供給されたプロセス材料の一部を排出する第2の出力部とを備える分岐ブロックを有し、
前記複数の流体制御装置の各々の分岐ブロックは、前記入力部がプロセス材料の供給源に供給管を介して接続され、又は、上流側の他の流体制御装置の分岐ブロックの第2の出力部に分岐管を介して接続され、
最下流側の流体制御装置の分岐ブロックの第2の出力部は、前記分岐管が接続される代わりに、閉止部材によって閉止されており、
前記複数の流体制御装置の各々は、
前記プロセスラインに設けられて液体材料からなるプロセス材料をガス化する気化器と、
前記プロセスラインにおける前記気化器の上流に、上流側から直列にこの順に設けられた第1の二方弁、第1の三方弁、第2の二方弁及び第2の三方弁を含むバルブ列であって、前記第1の三方弁が前記第1の出力部に接続された、バルブ列と、
前記プロセスラインにパージガスを流すためのパージガス用配管を有し、
前記パージガス用配管は、
前記プロセスラインの前記第2の三方弁に接続された上流側配管と、
前記プロセスラインの前記気化器からのガスの排出ラインに接続された下流側配管と、
前記プロセスラインの前記第1の三方弁に接続された最上流側配管と、を有する、ガス供給装置。 - 前記分岐管および閉止部材は、前記分岐ブロックに対して着脱自在に形成されている、請求項1に記載のガス供給装置。
- 密閉された処理チャンバ内においてプロセスガスによる処理工程を要する半導体装置の製造プロセスにおいて、前記プロセスガスの供給に請求項1又は2に記載のガス供給装置を用いる半導体製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019121020A JP7333053B2 (ja) | 2019-06-28 | 2019-06-28 | ガス供給装置および半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019121020A JP7333053B2 (ja) | 2019-06-28 | 2019-06-28 | ガス供給装置および半導体製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021006654A JP2021006654A (ja) | 2021-01-21 |
JP7333053B2 true JP7333053B2 (ja) | 2023-08-24 |
Family
ID=74174799
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019121020A Active JP7333053B2 (ja) | 2019-06-28 | 2019-06-28 | ガス供給装置および半導体製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7333053B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115874162A (zh) * | 2022-09-23 | 2023-03-31 | 盛吉盛半导体技术(上海)有限公司 | 一种用于化学气相沉积的气体控制柜 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005321069A (ja) | 2004-05-11 | 2005-11-17 | Fujikin Inc | 流体制御装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3997338B2 (ja) * | 1997-02-14 | 2007-10-24 | 忠弘 大見 | 流体制御装置 |
-
2019
- 2019-06-28 JP JP2019121020A patent/JP7333053B2/ja active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005321069A (ja) | 2004-05-11 | 2005-11-17 | Fujikin Inc | 流体制御装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021006654A (ja) | 2021-01-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7532037B2 (ja) | 加圧ガスをタンクに充填するための装置及び方法 | |
TW468020B (en) | Auto-switching gas delivery system utilizing sub-atmospheric pressure gas supply vessels | |
JP7333053B2 (ja) | ガス供給装置および半導体製造装置 | |
IL145332A (en) | A device for controlling drainage and a gas treatment system that includes the device | |
JP7370384B2 (ja) | 非石油燃料の温度を制御するための流体バイパス方法及びシステム | |
US7367350B2 (en) | Processing device and method of maintaining the device | |
JPH10141599A (ja) | 半導体製造装置のガス供給装置 | |
CN111601668B (zh) | 利用高压氮气的水管清洗系统及利用其的水管清洗方法 | |
JP2022066177A (ja) | 加圧ガスタンクを充填するための装置及び方法 | |
JP5063383B2 (ja) | 液化天然ガスサテライト設備 | |
KR20180098464A (ko) | 고압 고온 퍼지가 가능한 가스공급 장치의 퍼지 시스템 | |
JP2021167670A (ja) | 加圧ガスタンクを充填するための装置 | |
JP4663235B2 (ja) | 流体の搬送装置及びベースプレート | |
KR101322996B1 (ko) | 비상용 천연 가스 이송 장치 | |
JPH11281266A (ja) | 液化天然ガスの気化設備 | |
US7290572B2 (en) | Method for purging a high purity manifold | |
JP2021167671A (ja) | 加圧ガスタンクを充填するための装置及び方法 | |
JP2016094960A (ja) | 燃料電池車用ガス充填装置の制御装置 | |
JP5073328B2 (ja) | オープンラック式気化装置の散水装置およびその操作方法 | |
RU2714589C1 (ru) | Система регулируемого поднятия давления низконапорного газа | |
KR101145852B1 (ko) | 전자소재 제조용 가스공급장치 및 방법 | |
CN113110650B (zh) | 一种单源多支路出口介质供应系统及其方法 | |
KR20010084011A (ko) | 반도체장치 제조설비의 가스공급시스템 | |
JP7257025B2 (ja) | 流体供給システム | |
JP2017194070A (ja) | 製薬用水供給装置および方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220518 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230221 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230306 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230425 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230711 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230804 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7333053 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |